RU2005120242A - Способ и устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера - Google Patents
Способ и устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005120242A RU2005120242A RU2005120242/28A RU2005120242A RU2005120242A RU 2005120242 A RU2005120242 A RU 2005120242A RU 2005120242/28 A RU2005120242/28 A RU 2005120242/28A RU 2005120242 A RU2005120242 A RU 2005120242A RU 2005120242 A RU2005120242 A RU 2005120242A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cantilevers
- measuring
- frequency
- natural frequencies
- excitation
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 26
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/38—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/04—Self-detecting probes, i.e. wherein the probe itself generates a signal representative of its position, e.g. piezoelectric gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/06—Probe tip arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Claims (18)
1. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имплантированных на внутренней стороне спирального основания и имеющих различные собственные частоты, освещают общим лазерным возбуждающим пятном с тем, чтобы одновременно возбудить собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебаний.
2. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее
(а) множество кантилеверов, имплантированных на внутренней стороне спирального основания и имеющих различные собственные частоты;
(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний кантилеверов постоянным световым возбуждением;
(с) лазерный доплеровский измеритель для измерения колебаний.
3. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее
(а) множество кантилеверов, имплантированных на внутренней стороне спирального основания и имеющих различные собственные частоты;
(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний кантилеверов с помощью постоянного светового возбуждения; и
(с) гомодинный интерферометр для измерения колебаний.
4. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера по п.2 или 3, в котором кантилеверы расположены по радиусам в группы, так что кантилеверы могут быть облучены общим возбуждающим пятном.
5. Микроскоп со сканирующим зондом с использованием устройства для измерения частоты колебаний мультикантилевера по п.2 или 3 для самовозбуждения собственных частот кантилеверов, для обнаружения взаимодействия между образцом и зондом на кончике каждого кантилевера в виде изменения частоты самовозбуждающегося колебания, амплитуды самовозбуждающегося колебания или фазы самовозбуждающегося колебания.
6. Устройство обнаружения массы/материала с использованием устройства для измерения частоты колебаний мультикантилевера по п.2 или 3 для самовозбуждения собственных частот кантилеверов, для обнаружения изменения массы, присоединенной к зонду на одном кончике каждого кантилевера в виде изменения частоты самовозбуждающегося колебания, амплитуды самовозбуждающегося колебания или фазы самовозбуждающегося колебания.
7. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором размещают множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают модулированным возбуждением в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.
8. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором размещают множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают с помощью модулированного возбуждения в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания гомодинным интерферометром, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.
9. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют по радиусам в имеющее форму островка основание и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают модулированным возбуждением в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.
10. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют по радиусам в имеющее форму островка основание и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают с помощью модулированного возбуждения в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания гомодинным интерферометром, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.
11. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают с помощью модулированного возбуждения в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.
12. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором собственные колебания множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, последовательно возбуждают модулированным возбуждением в результате облучения кантилеверов лазерным пятном, для измерения колебания гомодинным интерферометром, и управляют положением лазерного пятна и сканированием частоты в соответствии с градиентами частот множества кантилеверов так, что обнаруживают материал вместе с кантилеверами.
13. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, освещают общим лазерным возбуждающим пятном с тем, чтобы одновременно возбудить собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебания лазерным доплеровским измерителем.
14. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера, в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, имплантируют на внутренней стороне спирального основания и в котором множество кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, освещают общим лазерным возбуждающим пятном с тем, чтобы одновременно возбудить собственные колебания множества кантилеверов постоянным световым возбуждением для измерения колебания гомодинным интерферометром.
15. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера по любому одному из пп.7-12, в котором модулированное возбуждение представляет собой модулированное оптическое возбуждение.
16. Способ для измерения частоты колебаний мультикантилевера по любому одному из пп.7-12, в котором модулированное возбуждение представляет собой модулированное электрическое возбуждение.
17. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее
(а) множество кантилеверов, имплантированных по радиусам в имеющее форму островка основание и имеющих различные собственные частоты;
(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний множества кантилеверов постоянным световым возбуждением в результате освещения множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, общим лазерным возбуждающим пятном; и
(с) лазерный доплеровский измеритель для измерения возбуждений.
18. Устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера, содержащее
(а) множество кантилеверов, имплантированных по радиусам в имеющее форму островка основание и имеющих различные собственные частоты;
(b) средство для одновременного возбуждения собственных колебаний множества кантилеверов постоянным световым возбуждением в результате освещения множества кантилеверов, имеющих различные собственные частоты, общим лазерным возбуждающим пятном; и
(с) гомодинный интерферометр для измерения возбуждений.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002378996A JP3958206B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 |
| JP2002-378996 | 2002-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005120242A true RU2005120242A (ru) | 2006-01-20 |
| RU2313141C2 RU2313141C2 (ru) | 2007-12-20 |
Family
ID=32708362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005120242/28A RU2313141C2 (ru) | 2002-12-27 | 2003-12-25 | Способ и устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20060162455A1 (ru) |
| EP (1) | EP1577660A4 (ru) |
| JP (1) | JP3958206B2 (ru) |
| KR (1) | KR100699209B1 (ru) |
| RU (1) | RU2313141C2 (ru) |
| WO (1) | WO2004061427A1 (ru) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4076792B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2008-04-16 | 独立行政法人科学技術振興機構 | カンチレバーアレイ、その製造方法及びその装置 |
| US7654140B2 (en) * | 2002-03-12 | 2010-02-02 | Cornell Research Foundation, Inc. | Heat pumped parametric MEMS device |
| JP2006125984A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Japan Science & Technology Agency | デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置 |
| JP2006329973A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-12-07 | Hitachi Ltd | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料観察方法およびデバイス製造方法 |
| US7958565B2 (en) | 2005-05-31 | 2011-06-07 | National University Corporation Kanazawa University | Scan type probe microscope and cantilever drive device |
| DE602005009540D1 (de) * | 2005-09-30 | 2008-10-16 | Max Planck Gesellschaft | Optische Vorrichtung zur Messung von modulierten Lichtsignalen |
| US7843283B2 (en) * | 2005-11-09 | 2010-11-30 | Cornell Research Foundation, Inc. | MEMS controlled oscillator |
| JP2007333432A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及び検査方法 |
| JP5130422B2 (ja) | 2008-11-07 | 2013-01-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 検出センサ |
| JP5242347B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2013-07-24 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 検出センサ |
| GB201218350D0 (en) * | 2012-10-12 | 2012-11-28 | Infinitesima Ltd | Multiple probe actuation |
| GB201215547D0 (en) * | 2012-08-31 | 2012-10-17 | Infinitesima Ltd | Multiple probe actuation |
| JP5939144B2 (ja) * | 2012-12-10 | 2016-06-22 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| CN106840370B (zh) * | 2017-04-06 | 2023-05-12 | 吉林大学 | 一种光纤干涉式检波器共振频率测量装置及测量方法 |
| DE102017221952B3 (de) | 2017-12-05 | 2019-01-03 | Karlsruher Institut für Technologie | Mikro-optomechanisches System und Verfahren zu seiner Herstellung |
| EP4206687A1 (en) * | 2021-02-03 | 2023-07-05 | Oxford Instruments Asylum Research, Inc. | Automated optimization of afm light source positioning |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3577101A (en) * | 1967-10-20 | 1971-05-04 | Forschungslaboratorium Heimann W Prof Dr Ing | Electromechanical torsional oscillator |
| US4263810A (en) * | 1978-03-08 | 1981-04-28 | Chiu Hong Yee | Angular deflection sensing apparatus for load, force, and other types of measurements |
| US5633455A (en) * | 1993-10-05 | 1997-05-27 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Method of detecting particles of semiconductor wafers |
| US5804709A (en) * | 1995-02-07 | 1998-09-08 | International Business Machines Corporation | Cantilever deflection sensor and use thereof |
| JP2730673B2 (ja) * | 1995-12-06 | 1998-03-25 | 工業技術院長 | 超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法および装置 |
| JP3248452B2 (ja) * | 1997-05-26 | 2002-01-21 | 住友金属工業株式会社 | 音響センサ |
| WO1999023483A1 (en) * | 1997-10-31 | 1999-05-14 | Trek, Inc. | Electrostatic force detector with cantilever for an electrostatic force microscope |
| JP3141830B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2001-03-07 | 住友金属工業株式会社 | 音響センサ |
| US6330824B1 (en) * | 1999-02-19 | 2001-12-18 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Photothermal modulation for oscillating mode atomic force microscopy in solution |
| JP2001266317A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
| JP2002090114A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-27 | Mitsutoyo Corp | 光スポット位置センサ及び変位測定装置 |
| JP2002168754A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Japan Science & Technology Corp | 走査型プローブ顕微鏡装置 |
| JP4076792B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2008-04-16 | 独立行政法人科学技術振興機構 | カンチレバーアレイ、その製造方法及びその装置 |
-
2002
- 2002-12-27 JP JP2002378996A patent/JP3958206B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-12-25 EP EP03768212A patent/EP1577660A4/en not_active Withdrawn
- 2003-12-25 RU RU2005120242/28A patent/RU2313141C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2003-12-25 WO PCT/JP2003/016677 patent/WO2004061427A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2003-12-25 US US10/540,567 patent/US20060162455A1/en not_active Abandoned
- 2003-12-25 KR KR1020057012184A patent/KR100699209B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2004061427A1 (ja) | 2004-07-22 |
| US20060162455A1 (en) | 2006-07-27 |
| KR100699209B1 (ko) | 2007-03-28 |
| KR20050088237A (ko) | 2005-09-02 |
| JP2004212078A (ja) | 2004-07-29 |
| EP1577660A4 (en) | 2007-02-28 |
| JP3958206B2 (ja) | 2007-08-15 |
| RU2313141C2 (ru) | 2007-12-20 |
| EP1577660A1 (en) | 2005-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2005120242A (ru) | Способ и устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера | |
| US8164333B2 (en) | Magnetic resonance force detection apparatus and associated methods | |
| RU2011128378A (ru) | Система обнаружения для динамического зонда | |
| RU2010154664A (ru) | Система обнаружения зонда | |
| WO2002103328A1 (en) | Cantilever array, method of manufacturing the array, and scanning probe microscope, sliding device of guide and rotating mechanism, sensor, homodyne laser interferometer, and laser doppler interferometer with specimen light excitation function, using the array, and cantilever | |
| JP4688643B2 (ja) | 加振型カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2023509365A (ja) | スキャニングプローブ顕微鏡および変調周波数の範囲を用いた共振強化検出方法 | |
| JP2012184959A (ja) | 変位検出機構およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
| CN104535172B (zh) | 一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用 | |
| Dräbenstedt et al. | A distance regulation scheme for scanning near‐field optical microscopy | |
| RU2456622C1 (ru) | Устройство атомно-силовой микроскопии с динамическим режимом | |
| WO2015011448A1 (en) | Adaptive mode scanning probe microscope | |
| JP3764917B2 (ja) | 高周波微小振動測定装置 | |
| JP2006337038A (ja) | サンプル中のリガンドの分析方法およびサンプル中のリガンドを分析する装置 | |
| RU2330262C1 (ru) | Использующие матрицу с нанометрическими зазорами способ и устройство для захвата, обнаружения и индентификации вещества | |
| KR101211013B1 (ko) | 주사탐침 현미경 | |
| JP6001728B2 (ja) | 変位検出機構およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
| RU2703607C1 (ru) | Устройство компенсации собственных колебаний иглы зонда сканирующего микроскопа | |
| RU2124251C1 (ru) | Многозондовый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа | |
| RU2282902C2 (ru) | Способ сканирования объектов с помощью сканирующего зондового микроскопа | |
| JPH08248043A (ja) | 走査型近接場光学顕微鏡 | |
| US20070140905A1 (en) | Nanogap series substance capturing, detecting and identifying method and device | |
| Ivaldi et al. | Innovative multi-cantilever array sensor system with MOEMS read-out | |
| JPH11316240A (ja) | 走査型近接場光学顕微鏡 | |
| JP2023063728A (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20081226 |