RU2010154664A - Система обнаружения зонда - Google Patents

Система обнаружения зонда Download PDF

Info

Publication number
RU2010154664A
RU2010154664A RU2010154664/28A RU2010154664A RU2010154664A RU 2010154664 A RU2010154664 A RU 2010154664A RU 2010154664/28 A RU2010154664/28 A RU 2010154664/28A RU 2010154664 A RU2010154664 A RU 2010154664A RU 2010154664 A RU2010154664 A RU 2010154664A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
probe
detection system
cantilever
tip
light
Prior art date
Application number
RU2010154664/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2512674C2 (ru
Inventor
Эндрю ХАМФРИС (GB)
Эндрю ХАМФРИС
Original Assignee
Инфинитесима Лтд (Gb)
Инфинитесима Лтд
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GB0810389A external-priority patent/GB0810389D0/en
Priority claimed from GB0822505A external-priority patent/GB0822505D0/en
Application filed by Инфинитесима Лтд (Gb), Инфинитесима Лтд filed Critical Инфинитесима Лтд (Gb)
Publication of RU2010154664A publication Critical patent/RU2010154664A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2512674C2 publication Critical patent/RU2512674C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
    • G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
    • G01Q10/065—Feedback mechanisms, i.e. wherein the signal for driving the probe is modified by a signal coming from the probe itself
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

1. Система обнаружения для использования со сканирующим зондовым микроскопом, причем система содержит источник света для формирования луча, чтобы освещать зонд, содержащий кантилевер с опорным и свободным концами, причем свободный конец поддерживает острый наконечник, средство сбора для сбора света, отраженного от зонда, при этом луч освещает верхнюю поверхность зонда в окрестности его наконечника, и отраженный свет содержит две составляющие: первую составляющую, от которой получается указание отклонения верхней поверхности зонда, и вторую составляющую для передачи в систему обнаружения высоты, выполненную с возможностью извлечения из этой составляющей информации, относящейся к положению верхней поверхности зонда относительно контрольной точки. ! 2. Система обнаружения по п.1, в которой система обнаружения высоты содержит интерферометр, выполненный с возможностью обнаруживать разность хода между второй составляющей отраженного света и опорным лучом высоты. ! 3. Система обнаружения по п.2, в которой интерферометр включает в себя средство для формирования пары фазовых квадратурных интерферограмм. ! 4. Система обнаружения по п.3, где система включает в себя устройство счета полос, выполненное с возможностью создания выходного сигнала, зависящего от количества полос, обнаруженных в каждой интерферограмме. ! 5. Система обнаружения по п.4, в которой устройство счета полос включает в себя устройство подразделения полос. ! 6. Система обнаружения по любому из пп.3-5, в которой средство для формирования пары фазовых квадратурных интерферограмм является светоделителем с расщепляющим фазы покрытием. ! 7. Система обна�

Claims (35)

1. Система обнаружения для использования со сканирующим зондовым микроскопом, причем система содержит источник света для формирования луча, чтобы освещать зонд, содержащий кантилевер с опорным и свободным концами, причем свободный конец поддерживает острый наконечник, средство сбора для сбора света, отраженного от зонда, при этом луч освещает верхнюю поверхность зонда в окрестности его наконечника, и отраженный свет содержит две составляющие: первую составляющую, от которой получается указание отклонения верхней поверхности зонда, и вторую составляющую для передачи в систему обнаружения высоты, выполненную с возможностью извлечения из этой составляющей информации, относящейся к положению верхней поверхности зонда относительно контрольной точки.
2. Система обнаружения по п.1, в которой система обнаружения высоты содержит интерферометр, выполненный с возможностью обнаруживать разность хода между второй составляющей отраженного света и опорным лучом высоты.
3. Система обнаружения по п.2, в которой интерферометр включает в себя средство для формирования пары фазовых квадратурных интерферограмм.
4. Система обнаружения по п.3, где система включает в себя устройство счета полос, выполненное с возможностью создания выходного сигнала, зависящего от количества полос, обнаруженных в каждой интерферограмме.
5. Система обнаружения по п.4, в которой устройство счета полос включает в себя устройство подразделения полос.
6. Система обнаружения по любому из пп.3-5, в которой средство для формирования пары фазовых квадратурных интерферограмм является светоделителем с расщепляющим фазы покрытием.
7. Система обнаружения по любому из пп.2-5, в которой первая составляющая также передается интерферометру, причем интерферометр дополнительно выполнен с возможностью обнаружения оптической разности хода между первой составляющей отраженного света и опорным лучом отклонения, который распространяется по оптической траектории, чья длина задается положением на кантилевере, удаленным от его свободного конца, посредством этого предоставляя информацию относительно отклонения кантилевера.
8. Система обнаружения по п.7, в которой положение на кантилевере, удаленное от его свободного конца, является опорным концом кантилевера.
9. Система обнаружения по любому из пп.1-5, в которой первая составляющая передается детектору отклонения, причем детектор отклонения выполнен с возможностью предоставления указания отклонения верхней поверхности зонда.
10. Система обнаружения по п.9, в которой детектор отклонения является вторым интерферометром, причем второй интерферометр выполнен с возможностью обнаружения оптической разности хода между первой составляющей отраженного света и опорным лучом отклонения, который распространяется по оптической траектории, чья длина задается положением на кантилевере, удаленным от его свободного конца.
11. Система обнаружения по п.10, в которой положение на кантилевере, удаленное от его свободного конца, является опорным концом кантилевера.
12. Система обнаружения по п.9, в которой детектор отклонения является расщепленным фотодиодом, расположенным так, что первая составляющая отраженного света падает на две части диода с относительной силой света, определенной по углу ориентации верхней поверхности зонда.
13. Система обнаружения по любому из пп.1-5, причем система включает в себя светоделитель, выполненный с возможностью разделения отраженного света на первую и вторую составляющие.
14. Система обнаружения по любому из пп.1-5, в которой зонд содержит наконечник, установленный около свободного конца кантилевера, при этом кантилевер поддерживается в своем опорном конце, и где верхняя поверхность зонда, которая освещается лучом, находится над наконечником.
15. Система обнаружения по любому из пп.1-5, в которой зонд включает в себя исполнительный механизм, который функционирует для перемещения наконечника зонда.
16. Сканирующий зондовый микроскоп для формирования изображения образца в соответствии с взаимодействием между образцом и зондом, причем микроскоп содержит средство привода, выполненное с возможностью обеспечения относительного движения между зондом и поверхностью образца, и систему обнаружения зонда по любому из пп.1-15.
17. Сканирующий зондовый микроскоп по п.16, в котором средство привода содержит двухкоординатный (x, y) сканер, выполненный с возможностью обеспечения относительного движения между зондом и поверхностью образца в плоскости, по существу параллельной поверхности образца, и приводной механизм z-направления, выполненный с возможностью обеспечения относительного движения в направлении, перпендикулярном поверхности образца.
18. Сканирующий зондовый микроскоп по п.17, в котором указание отклонения верхней поверхности зонда, полученное от системы обнаружения зонда, включается в систему обратной связи, содержащую приводной механизм z-направления, где приводной механизм z-направления выполнен с возможностью возврата указания угла ориентации зонда на заданный уровень.
19. Сканирующий зондовый микроскоп по п.18, в котором приводной механизм z-направления включает в себя приводной механизм основания, который выполнен с возможностью перемещения основания зонда.
20. Сканирующий зондовый микроскоп по п.19, в котором приводной механизм z-направления также включает в себя исполнительный механизм, который составляет одно целое с зондом, причем исполнительный механизм функционирует для перемещения наконечника зонда.
21. Сканирующий зондовый микроскоп по п.18, 19 или 20, в котором система обратной связи работает в масштабе времени длиннее, чем масштаб, требуемый двухкоординатному (x, y) сканеру для перемещения зонда между пикселями изображения.
22. Сканирующий зондовый микроскоп по любому из пп.18-20, где двухкоординатный (x, y) сканер содержит резонатор, выполненный с возможностью придания колебаний либо зонду, либо образцу плюс опоре на резонансной частоте или близкой к ней.
23. Сканирующий зондовый микроскоп для формирования изображения образца в соответствии с взаимодействием между образцом и зондом, причем микроскоп содержит средство привода, выполненное с возможностью обеспечения относительного движения между зондом и поверхностью образца, и систему обнаружения зонда, выполненную с возможностью предоставления указания положения зонда относительно контрольной точки в направлении, по существу перпендикулярном поверхности образца, где
зонд содержит кантилевер с опорным и свободным концами, причем свободный конец поддерживает острый наконечник;
средство привода содержит двухкоординатный (x, y) сканер, выполненный с возможностью обеспечения относительного движения между зондом и поверхностью образца в плоскости, по существу параллельной поверхности образца, причем сканер включает в себя по меньшей мере один резонатор, выполненный с возможностью придания колебаний либо зонду, либо образцу плюс опоре на резонансной частоте или близкой к ней, и приводной механизм z-направления, выполненный с возможностью обеспечения относительного движения в направлении, по существу перпендикулярном поверхности образца; и
система обнаружения зонда содержит источник света для формирования луча, чтобы освещать зонд, средство сбора для сбора света, отраженного от зонда, где луч освещает верхнюю поверхность зонда в окрестности его наконечника, и систему обнаружения высоты, выполненную с возможностью извлечения из света, отраженного от зонда, информации, относящейся к положению верхней поверхности зонда относительно контрольной точки.
24. Микроскоп по п.23, в котором система обнаружения высоты включает в себя интерферометр, выполненный с возможностью обнаружения разности хода между светом, отраженным от зонда, и опорным лучом высоты.
25. Способ обнаружения света, отраженного от верхней поверхности сканирующего зонда, причем способ включает в себя этап, на котором направляют световой луч на верхнюю поверхность в точке непосредственно над наконечником зонда, собирают свет, отраженный от верхней поверхности, и направляют его в детектор высоты, выполненный с возможностью формирования изображения, указывающего высоту наконечника зонда над контрольным уровнем.
26. Способ по п.25, где способу предшествует этап, на котором находят положение точки на верхней поверхности, которая находится непосредственно над наконечником зонда.
27. Способ по п.26, в котором этап, на котором находят положение точки на верхней поверхности, включает в себя этапы, на которых:
(а) направляют свет на верхнюю поверхность;
(b) придают колебания зонду около его наконечника с тем, чтобы изменить угол верхней поверхности;
(с) контролируют выходной сигнал детектора высоты;
(d) изменяют положение точки на верхней поверхности, в которую падает свет; и
(е) повторяют этапы (c) и (d) до тех пор, пока не минимизированы изменения, видимые в выходном сигнале детектора высоты в результате отклонения зонда.
28. Способ по п.26, в котором зонд содержит кантилевер, удерживаемый в его опорном конце и поддерживающий наконечник на свободном конце или рядом с ним, причем верхняя поверхность зонда, которая освещается лучом, находится на свободном конце кантилевера или рядом с ним.
29. Способ по п.28, в котором этап, на котором находят положение точки на верхней поверхности, включает в себя этапы, на которых:
(а) направляют свет на верхнюю поверхность кантилевера;
(b) перемещают основание кантилевера вертикально, в то же время поддерживая наконечник в фиксированном положении так, чтобы изменить угол ориентации кантилевера;
(с) контролируют выходной сигнал детектора высоты;
(d) изменяют положение точки на верхней поверхности, в которую падает свет; и
(е) повторяют этапы (c) и (d) до тех пор, пока не минимизированы изменения, видимые в выходном сигнале детектора высоты в результате перемещения основания зонда.
30. Способ по п.29, в котором сигнал обратной связи получается из указания ориентации зонда, сигнал обратной связи является таким, чтобы вызвать регулировку высоты основания, так что зонд возвращается в предустановленную ориентацию, и где этап, на котором перемещают основание кантилевера вертикально, осуществляется путем изменения предустановленной ориентации.
31. Способ по п.26, в котором этап, на котором находят положение точки на верхней поверхности, включает в себя этапы, на которых:
(а) направляют свет на верхнюю поверхность;
(b) перемещают наконечник зонда на известное расстояние;
(с) контролируют выходной сигнал детектора высоты;
(d) изменяют положение точки на верхней поверхности, в которую падает свет; и
(e) повторяют этапы (c) и (d) до тех пор, пока выходной сигнал детектора высоты не соответствует предполагаемому для известного перемещения.
32. Способ по п.31, в котором этап (b) содержит этап, на котором сканируют зондом по образцу с известным колебанием высоты.
33. Способ по п.26, в котором этап, на котором находят положение точки на верхней поверхности, включает в себя этапы, на которых:
(а) направляют свет на верхнюю поверхность;
(b) сканируют зондом со скоростью, достаточной для возбуждения его неустановившегося движения;
(с) контролируют выходной сигнал детектора высоты;
(d) изменяют положение точки на верхней поверхности, в которую падает свет; и
(е) повторяют этапы (c) и (d) до тех пор, пока не минимизированы изменения, видимые в выходном сигнале детектора высоты в результате неустановившегося движения.
34. Способ по любому из пп.25-33, в котором зонд является частью сканирующего зондового микроскопа, который включает в себя систему обнаружения по пп.1-15.
35. Способ сбора данных, использующий сканирующий зондовый микроскоп, причем способ содержит этапы, на которых:
(а) перемещают зонд, содержащий кантилевер с опорным и свободным концами, причем свободный конец поддерживает острый наконечник, в непосредственной близости с поверхностью образца;
(b) направляют световой луч на верхнюю поверхность зонда в точке непосредственно над наконечником; и
(c) сканируют зондом по поверхности образца, одновременно собирая и анализируя свет, отраженный от верхней поверхности зонда, причем приводной механизм z-направления функционирует для приведения основания зонда вертикально в ответ на сигнал обратной связи, полученный при анализе первой составляющей собранного света, из которого получается указание отклонения верхней поверхности зонда, и где вторая составляющая собранного света передается интерферометру, выполненному с возможностью обнаружения разности хода между этой составляющей и опорным лучом высоты и выполненному с возможностью формирования изображения, указывающего высоту наконечника зонда над контрольным уровнем.
RU2010154664/28A 2008-06-06 2009-06-08 Система обнаружения зонда RU2512674C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0810389A GB0810389D0 (en) 2008-06-06 2008-06-06 Interferometric detection system
GB0810389.7 2008-06-06
GB0822505A GB0822505D0 (en) 2008-12-10 2008-12-10 Interferometic detection system
GB0822505.4 2008-12-10
PCT/GB2009/050637 WO2009147450A1 (en) 2008-06-06 2009-06-08 Probe detection system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010154664A true RU2010154664A (ru) 2012-07-20
RU2512674C2 RU2512674C2 (ru) 2014-04-10

Family

ID=40999765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010154664/28A RU2512674C2 (ru) 2008-06-06 2009-06-08 Система обнаружения зонда

Country Status (9)

Country Link
US (2) US8528110B2 (ru)
EP (1) EP2297546B1 (ru)
JP (1) JP5580296B2 (ru)
KR (1) KR101488059B1 (ru)
CN (1) CN102084431B (ru)
CA (1) CA2727118A1 (ru)
IL (1) IL209773A0 (ru)
RU (1) RU2512674C2 (ru)
WO (2) WO2009147452A1 (ru)

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2512674C2 (ru) * 2008-06-06 2014-04-10 Инфинитесима Лтд Система обнаружения зонда
SG171994A1 (en) * 2008-12-11 2011-07-28 Infinitesima Ltd Dynamic probe detection system
GB0901772D0 (en) 2009-02-04 2009-03-11 Infinitesima Ltd Control system for a scanning probe microscope
KR101198178B1 (ko) * 2010-06-14 2012-11-12 삼성전자주식회사 고속 및 고정밀 원자힘 현미경
CN103429526B (zh) * 2011-01-31 2016-05-11 英菲尼特斯马有限公司 自适应模式扫描探针显微镜
TWI577523B (zh) * 2011-06-17 2017-04-11 三菱麗陽股份有限公司 表面具有凹凸結構的模具、光學物品、其製造方法、面發光體用透明基材及面發光體
WO2013019719A1 (en) * 2011-08-01 2013-02-07 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Ultra-compact nanocavity-enhanced scanning probe microscopy and method
FR2979143B1 (fr) * 2011-08-16 2016-03-25 Univ Joseph Fourier Dispositif optique d'analyse interferometrique de l'etat de surface interne d'un tube
WO2013059665A1 (en) 2011-10-19 2013-04-25 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Ultracompact fabry-perot array for ultracompact hyperspectral imaging
GB201201640D0 (en) 2012-01-31 2012-03-14 Infinitesima Ltd Photothermal probe actuation
US8516610B1 (en) * 2012-03-19 2013-08-20 Massachusetts Institute Of Technology High-frequency rheology system
WO2013148349A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Graphene photonics for resonator-enhanced electro-optic devices and all-optical interactions
WO2013182721A1 (es) * 2012-06-07 2013-12-12 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) Método y sistema de caracterización de estructuras nano y micro mecánicas
GB201215546D0 (en) * 2012-08-31 2012-10-17 Infinitesima Ltd Multiple probe detection and actuation
US10254306B2 (en) 2012-11-29 2019-04-09 Infinitesima Limited Probe calibration or measurement routine
EP2913681A1 (en) 2014-02-28 2015-09-02 Infinitesima Limited Probe system with multiple actuation locations
EP2913682A1 (en) * 2014-02-28 2015-09-02 Infinitesima Limited Probe actuation system with feedback controller
US9535085B2 (en) * 2014-08-05 2017-01-03 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce Intermittent contact resonance atomic force microscope and process for intermittent contact resonance atomic force microscopy
CN104374954A (zh) * 2014-11-24 2015-02-25 苏州飞时曼精密仪器有限公司 一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置及方法
EP3249348B1 (de) * 2016-05-26 2019-07-03 Baumer Electric AG Sensorvorrichtung zur vermessung einer oberfläche
WO2017208412A1 (ja) * 2016-06-02 2017-12-07 株式会社島津製作所 走査型プローブ顕微鏡
US9952387B2 (en) * 2016-09-02 2018-04-24 Acme Microsystem Inc. Optical fiber transmission system with a laser beam splitting and combining device
GB201615307D0 (en) * 2016-09-09 2016-10-26 Renishaw Plc Measurement method and apparatus
US9835679B1 (en) * 2016-09-30 2017-12-05 Intel Corporation Systems, methods, and apparatuses for implementing fast throughput die handling for synchronous multi-die testing
US10228388B2 (en) * 2016-10-29 2019-03-12 Bruker Nano, Inc. Method and apparatus for resolution and sensitivity enhanced atomic force microscope based infrared spectroscopy
US10725061B2 (en) * 2017-02-03 2020-07-28 Pentagon Technologies Group, Inc. Modulated air surface particle detector
JP6885585B2 (ja) * 2017-03-28 2021-06-16 株式会社日立ハイテクサイエンス 走査型プローブ顕微鏡、及びその走査方法
GB201705613D0 (en) * 2017-04-07 2017-05-24 Infinitesima Ltd Scanning probe system
JP6955893B2 (ja) * 2017-04-25 2021-10-27 株式会社ディスコ レーザー加工装置の高さ位置検出ユニットの評価用治具及びレーザー加工装置の高さ位置検出ユニットの評価方法
EP3404424A1 (en) * 2017-05-15 2018-11-21 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Scanning probe microscopy system for and method of mapping nanostructures on the surface of a sample
CN107102174A (zh) * 2017-05-16 2017-08-29 中国计量科学研究院 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法
EP3441773B1 (en) * 2017-08-11 2022-11-23 Anton Paar GmbH Characterizing a height profile of a sample by side view imaging
CN107576822B (zh) * 2017-09-30 2018-12-14 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 一种扫描探针检测装置
DE102018210098B4 (de) 2018-06-21 2022-02-03 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Untersuchen und/oder zum Bearbeiten einer Probe
TWI674413B (zh) * 2018-10-31 2019-10-11 致茂電子股份有限公司 探針對準設備
CN109485013B (zh) * 2018-12-29 2020-11-06 哈尔滨工业大学 一种纳米连接装置
CN109704273B (zh) * 2018-12-29 2020-10-13 哈尔滨工业大学 一种纳米连接装置和纳米线与电极连接方法
US10768225B1 (en) * 2019-03-08 2020-09-08 Advanced Micro Devices, Inc. Probe placement for laser probing system
CN109917407A (zh) * 2019-03-22 2019-06-21 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置
EP3722817B1 (en) * 2019-04-12 2022-05-11 attocube systems AG Active bimodal afm operation for measurements of optical interaction
CN111458537A (zh) * 2019-05-24 2020-07-28 天津大学 三维正交扫描式原子力显微镜测头
CN112212782B (zh) * 2019-06-25 2023-01-17 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 一种玻璃基板检测方法、装置及系统
CN110646640B (zh) * 2019-10-09 2022-04-05 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种基于扫描探针显微镜的材料微/纳尺度的磁热信号探测方法
CN113125808A (zh) * 2020-01-10 2021-07-16 精浚科技股份有限公司 聚焦式原子力显微镜
US11835545B2 (en) * 2020-01-14 2023-12-05 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Systems, method and computer-accessible medium for providing balanced asymmetric interferometry for vibrationally isolated optical scanning probe(s)
US11519935B2 (en) * 2020-08-18 2022-12-06 Oxford Instruments Asylum Research, Inc. Atomic force microscope
CN115078771A (zh) * 2021-03-11 2022-09-20 百及纳米技术(上海)有限公司 探针测量的控制方法、处理方法以及装置
CN114018921A (zh) * 2021-11-02 2022-02-08 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 一种基于探针光学定位系统的近场光学显微镜

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03123805A (ja) * 1989-10-09 1991-05-27 Olympus Optical Co Ltd 原子間力顕微鏡
US5206702A (en) 1989-10-09 1993-04-27 Olympus Optical Co., Ltd. Technique for canceling the effect of external vibration on an atomic force microscope
JP2661314B2 (ja) * 1990-03-07 1997-10-08 松下電器産業株式会社 形状測定装置及び形状測定方法
US5298975A (en) * 1991-09-27 1994-03-29 International Business Machines Corporation Combined scanning force microscope and optical metrology tool
US5920067A (en) * 1992-03-13 1999-07-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Monocrystalline test and reference structures, and use for calibrating instruments
DE4324983C2 (de) * 1993-07-26 1996-07-11 Fraunhofer Ges Forschung Akustisches Mikroskop
JPH07159155A (ja) * 1993-12-08 1995-06-23 Olympus Optical Co Ltd 走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡
JPH1144695A (ja) * 1997-07-28 1999-02-16 Nikon Corp 光てこ検出機構および走査型プローブ顕微鏡
US6260997B1 (en) * 1997-10-28 2001-07-17 Michael Claybourn Method and apparatus for high spatial resolution spectroscopic microscopy
US6642517B1 (en) * 2000-01-25 2003-11-04 Veeco Instruments, Inc. Method and apparatus for atomic force microscopy
GB0007747D0 (en) * 2000-03-30 2000-05-17 Univ Bristol Methods and apparatus for atomic force microscopy
GB2365142B (en) 2000-07-27 2002-06-19 Michael John Downs Jamin-type interferometers and components therefor
US6354133B1 (en) * 2000-10-25 2002-03-12 Advanced Micro Devices, Inc. Use of carbon nanotubes to calibrate conventional tips used in AFM
WO2002063368A1 (en) 2001-02-06 2002-08-15 University Of Bristol Scanning near-field optical microscope
US6779387B2 (en) * 2001-08-21 2004-08-24 Georgia Tech Research Corporation Method and apparatus for the ultrasonic actuation of the cantilever of a probe-based instrument
US7073938B2 (en) * 2001-10-31 2006-07-11 The Regents Of The University Of Michigan Micromachined arrayed thermal probe apparatus, system for thermal scanning a sample in a contact mode and cantilevered reference probe for use therein
US7998528B2 (en) * 2002-02-14 2011-08-16 Massachusetts Institute Of Technology Method for direct fabrication of nanostructures
US7473887B2 (en) 2002-07-04 2009-01-06 University Of Bristol Of Senate House Resonant scanning probe microscope
CN2577274Y (zh) * 2002-10-24 2003-10-01 中国科学院上海光学精密机械研究所 扫描探针显微镜上的观察装置
US6975129B2 (en) * 2003-06-17 2005-12-13 National Applied Research Labratories Electrical scanning probe microscope apparatus
EP1644937A1 (en) 2003-07-15 2006-04-12 University Of Bristol Probe for an atomic force microscope
US20070180889A1 (en) * 2003-07-23 2007-08-09 Ken Murayama Probe replacement method for scanning probe microscope
US7360405B2 (en) * 2003-09-30 2008-04-22 Iowa State University Research Foundation, Inc. Method to transiently detect sample features using cantilevers
WO2007121208A2 (en) * 2006-04-11 2007-10-25 Massachusetts Institute Of Technology Nanometer-precision tip-to-substrate control and pattern registration for scanning-probe lithography
JP2007320017A (ja) * 2006-06-05 2007-12-13 Sii Nanotechnology Inc 原子間力顕微鏡微細加工装置を用いた加工方法
JP5122775B2 (ja) * 2006-08-23 2013-01-16 株式会社ミツトヨ 測定装置
JP4790551B2 (ja) * 2006-09-21 2011-10-12 株式会社ミツトヨ 微細形状測定装置
US7966867B2 (en) * 2007-04-10 2011-06-28 Hitachi, Ltd. Scanning probe microscope
JP5183989B2 (ja) * 2007-07-19 2013-04-17 株式会社ミツトヨ 形状測定装置
US7770231B2 (en) * 2007-08-02 2010-08-03 Veeco Instruments, Inc. Fast-scanning SPM and method of operating same
RU2512674C2 (ru) 2008-06-06 2014-04-10 Инфинитесима Лтд Система обнаружения зонда

Also Published As

Publication number Publication date
CA2727118A1 (en) 2009-12-10
US20110138506A1 (en) 2011-06-09
KR20110041459A (ko) 2011-04-21
IL209773A0 (en) 2011-04-28
JP5580296B2 (ja) 2014-08-27
CN102084431B (zh) 2014-07-02
WO2009147450A1 (en) 2009-12-10
JP2011522273A (ja) 2011-07-28
EP2297546B1 (en) 2018-09-19
US20110167525A1 (en) 2011-07-07
RU2512674C2 (ru) 2014-04-10
KR101488059B1 (ko) 2015-01-29
EP2297546A1 (en) 2011-03-23
WO2009147452A1 (en) 2009-12-10
CN102084431A (zh) 2011-06-01
US8528110B2 (en) 2013-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010154664A (ru) Система обнаружения зонда
JP2011522273A5 (ru)
RU2011128378A (ru) Система обнаружения для динамического зонда
JP2012511715A5 (ru)
JP3081979B2 (ja) 顕微鏡
US7907288B2 (en) Shape measuring apparatus
EP3500864A1 (en) Infrared characterization of a sample using peak force tapping
CA2825038A1 (en) Adaptive mode scanning probe microscope
US8732861B2 (en) Control system for a scanning probe microscope
JPH10267631A (ja) 光学測定装置
EP0283256A2 (en) Scanning optical microscope
CN110869696A (zh) 耐振白色光干涉显微镜及其振动影响去除方法
JP4009197B2 (ja) 走査型近接場光学顕微鏡
JP3764917B2 (ja) 高周波微小振動測定装置
US6507017B1 (en) Near-field optical inspection apparatus
RU2461839C1 (ru) Сканирующий зондовый микроскоп
RU2703607C1 (ru) Устройство компенсации собственных колебаний иглы зонда сканирующего микроскопа
KR102552859B1 (ko) 고속 고정밀 공초점 센서
JPH08248043A (ja) 走査型近接場光学顕微鏡
RU2695027C2 (ru) Способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа
US10684113B2 (en) SNOM device using heterodyne detection
JPH05133712A (ja) 表面位置測定装置
CN113125807A (zh) 原子力显微镜
JPH07198732A (ja) ニアフィールド顕微鏡
JPH05313087A (ja) 走査始点検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150609