CN109917407A - 一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置 - Google Patents
一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置，属于太赫兹显微成像领域。该方法基于近场探针测距装置实现，该测距装置包括激光器，可见光源，可见光显微镜，光电导微探针，样品，样品位移台，电机控制盒以及计算机。所述方法具体包括：S1：将样品放置在样品位移台上；S2：可见光照射在光电导微探针针尖上，通过可见光显微镜结合CCD探测器实时获取针尖附近的场景，并传输到计算机进行图像处理及特征提取，得到光电导微探针‑样品在图像尺度上的间距S；S3：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到光电导微探针‑样品的实际距离d。本发明用于准确测量光电导微探针与样品间距和自动调节其间距。
Description
技术领域
本发明属于太赫兹显微成像领域，涉及一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置。
背景技术
近年来，太赫兹(terahertz，THz)技术已成为国内外的研究热点。根据瑞利判据，传统的THz远场成像系统受衍射极限的限制，成像的最高空间分辨率只能达到波长的二分之一(1THz对应的波长为300μm)。利用THz近场扫描成像技术，成像空间分辨率可突破衍射极限，达到亚波长尺寸，甚至可达到纳米级。
基于光电导微探针的THz近场扫描成像系统可在太赫兹波段实现微米级分辨率的成像探测，目前已被应用于功能器件检测、生物组织成像和物质鉴别等方面。光电导微探针作为其中最为核心的探测器件，具有信号质量好、噪声低等优点。光电导微探针主要结构是在约1μm厚度的LT-GaAs衬底上沉积一对微米级宽度的金属微电极，因此极其脆弱。
在对样品进行THz近场测试时，光电导微探针与样品的间距一般为微米量级，间距越小，探针所在点的电场对探针的贡献比例越大，因而在水平方向上的分辨尺度也越小，系统的成像分辨率越高；但是，间距越小，探针损坏的可能性越大。因此，在进行样品近场扫描过程中，实时获得并调整光电导微探针与样品的间距是亟待解决的问题。然而，长期以来，人们仅仅停留在利用CCD获得图像，并通过用肉眼及其经验来判断其大概间距，尚未提出准确测量光电导微探针与样品间距并自动调节其间距的方法。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基于激光反射的近场探针测距方法及装置，基于太赫兹近场扫描成像系统，用于准确测量光电导微探针与样品间距并自动调节其间距。
为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种基于激光反射的近场探针测距方法，具体包括以下步骤：
S1：将样品放置在样品位移台(8)上；
S2：打开可见光源(4)，发出可见光照射在光电导微探针(5)针尖上，通过可见光显微镜(3)结合CCD探测器(2)实时获取针尖附近的场景，并传输到计算机(1)进行图像处理及特征提取，得到光电导微探针-样品在图像尺度上的间距S；
S3：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到光电导微探针-样品的实际距离d。
进一步，所述步骤S2中，所述图像处理包括：伪彩色处理、阈值二值化、腐蚀及膨胀。
进一步，所述步骤S2中，所述特征提取包括：对图像边缘提取并计算边缘区域的边界距离。
进一步，所述步骤S3具体包括：通过电机控制盒(9)准确控制三维样品台(8)沿Z方向位移L时，测得光电导探针-样品在图像上间距变化ΔS；已知光电导微探针-样品的实际间距d与图像上测得间距S的关系为d＝S·sinα，0＜α＜90°，其中α为可见光显微镜(3)与样品位移台(8)水平方向夹角；
(1)对于光滑表面的样品，图像与实际的比例尺k1＝S·sinα/L，计算得到光电导微探针-样品的实际间距d＝k1·S；
(2)对于粗糙表面的样品，图像与实际的比例尺k2＝ΔS/L，计算得到光电导微探针-样品的实际间距d＝k2·S。
进一步，所述测距方法是基于近场探针测距装置实现的，该测距装置包括激光器(6)、可见光源(4)、可见光显微镜(3)、CCD探测器(2)、光电导微探针(5)、样品位移台(8)、电机控制盒(9)以及计算机(1)；
所述激光器(6)用于辐射出探测激光；所述样品位移台(8)水平放置，用于盛放样品(7)，并控制样品在各方向的运动；所述电机控制盒(9)用于准确控制样品位移台(8)在Z方向的运动步进。
进一步，所述可见光显微镜(3)与样品位移台(8)水平方向呈α角度放置，且0＜α＜90°。
进一步，所述可见光显微镜(3)上配有彩色CCD摄像头，其工作在RGB模式下，以30帧/每秒的速率向计算机发送实时图像。
本发明的有益效果在于：本发明在进行样品近场扫描过程中，可实时获得并调整光电导微探针与样品的间距，能够准确测量光电导微探针与样品间距并自动调节其间距。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本发明提供如下附图进行说明：
图1为近场探针测距装置示意图；
图2为光滑表面样品的测距原理示意图；
图3为粗糙表面样品的测距原理示意图；
附图标记为：1-计算机，2-CCD探测器，3-可见光显微镜，4-可见光源，5-光电导微探针，6-激光器，7-样品，8-样品位移台，9-电机控制盒，10-光滑表面的样品，11-粗糙表面的样品，12-光电导微探针的镜像。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明的优选实施例进行详细的描述。
如图1～3所示，本发明所述的一种基于激光反射的近场探针测距方法，是基于近场探针测距装置实现的，该测距装置包括激光器6、可见光源4、可见光显微镜3、光电导微探针5、样品7、样品位移台8、电机控制盒9和计算机1。
所述激光器用于辐射出探测激光；样品位移台水平放置，用于盛放样品并控制样品在各方向的运动；电机控制盒可以准确控制样品位移台在Z方向的运动步进；
可见光显微镜以与样品位移台水平方向呈α(0＜α＜90°)角度放置，显微镜上配有彩色CCD摄像头，其工作在RGB模式下，以每秒30帧率向计算机发送实时图像。
在样品测试实验中，由激光器辐射出的探测激光照射到针尖附近，通过CCD摄像头获取针尖附近的场景，然后将获取的图像通过计算机进行图像处理(伪彩色处理、阈值二值化、腐蚀及膨胀等)及特征提取(图像边缘提取并计算边界区域的最短距离)等方式，可以得到光电导微探针-样品在图像尺度上的间距S，而图像间距与实际间距存在一定的换算关系，即通过他们之间的比例尺，可以间接的得到光电导微探针-样品的实际间距d。
首先，通过电机控制盒准确控制样品位移台沿Z方向位移L时测得光电导探针-样品在图像上间距变化ΔS；
(1)对于表面光滑的样品，探针会通过样品表面产生镜像，激光照射到针尖处，在镜像上也可以观察到激光斑点；因此，在CCD采集到的图像上可以观察到激光斑点同时在针尖以及镜像上；根据光学成像原理，光电导微探针-样品的实际间距d与图像上测得间距S的关系为d＝S·sinα，从而确定图像与实际的比例尺k1＝ΔS·sinα/L，得到光电导微探针-样品的实际间距d＝k1·S。
(2)对于表面粗糙的样品，无法形成镜像，但由于太赫兹近场成像系统采用的探测激光光束直径约为30μm，其中约10μm照射到光电导微探针上，当样品距离针尖在10μm附近时，未照射在光电导微探针的激光会照射到样品上并被漫反射到其他方向，从而被光学显微镜上的CCD探测到。因此，在采集到的图像上观察到激光斑点在针尖以及样品上，从而确定图像与实际的比例尺k2＝ΔS/L，得到光电导微探针-样品的实际间距d＝k2·S。
实施例1：测量光电导微探针与样品间距
步骤一：图像采集与处理
将仪器设备调整完毕后，运行太赫兹近场扫描系统，控制电机控制盒将样品往光电导微探针针尖方向移动(本系统所有样品移动操作，都必须以样品不接触光电导微探针为原则)，在CCD反馈的图像上看见针尖的镜像或者样品上的激光斑点后，选择微米级的步进移动少量，然后在计算机上采集CCD传输的彩色图像，对采集的图像做图像处理及特征提取等方式得到光电导微探针-样品在图像上的间距S1。
步骤二：测得图像与实际的比例尺k
控制电机控制盒将样品移动确定的位移L，采集图像并做图像处理及特征提取，得到间距S2，计算两次图像间距变化△S＝|S2-S1|；根据原图像是否产生镜像，计算图像与实际的比例尺k；对于具有表面光滑的样品，由于镜面反射的作用，在采集到的图像上观察到激光斑点在针尖以及镜像上，因此，其比例尺k1＝ΔS·sinα/L；对于具有粗糙表面的样品，由于样品漫反射的作用，在采集到的图像上观察到激光斑点在针尖以及样品上，因此，其比例尺k2＝ΔS/L。
步骤三：测距定位
在样品近场测试时，控制电动控制盒将样品移动到测试的位置，然后采集图像并做图像处理及特征提取等方式得到光电导微探针-样品在图像上的间距S；则光电导微探针-样品的实际间距为d＝k·S。
实施例2：自动调节测量光电导微探针与样品间距
步骤一：图像采集与比例尺测定
同实施例1中步骤一、二，测得比例尺k(其中，对于具有光滑表面的样品，其图像与实际比例尺为k1，对于具有粗糙表面的样品，其图像与实际比例尺为k2)。
步骤二：自动调整间距系统
预设探针-样品间距安全值d0，在样品扫描测试过程中，通过计算机实时提取图像上间距S，根据相应比例尺计算出其实际间距d，比较d与d0的大小关系，并传递给系统控制中心，再通过控制中心与样品位移台间通信调节样品在Z方向的移动。因此，在太赫兹近场扫描测试过程中，通过计算机与样品位移台的实时反馈调节，可以使探针到样品的间距保持在一固定范围内，以达到安全、自动扫描样品的目的。
最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。
Claims (7)
1.一种基于激光反射的近场探针测距方法，其特征在于，该测距方法具体包括以下步骤：
S1：将样品放置在样品位移台(8)上；
S2：打开可见光源(4)，发出可见光照射在光电导微探针(5)针尖上，通过可见光显微镜(3)结合CCD探测器(2)实时获取针尖附近的场景，并传输到计算机(1)进行图像处理及特征提取，得到光电导微探针-样品在图像尺度上的间距S；
S3：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到光电导微探针-样品的实际距离d。
2.根据权利要求1所述的一种基于激光反射的近场探针测距方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述图像处理包括：伪彩色处理、阈值二值化、腐蚀及膨胀。
3.根据权利要求1所述的一种基于激光反射的近场探针测距方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述特征提取包括：对图像边缘提取并计算边缘区域的边界距离。
4.根据权利要求1所述的一种基于激光反射的近场探针测距方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括：通过电机控制盒(9)准确控制三维样品台(8)沿Z方向位移L时，测得光电导探针-样品在图像上间距变化ΔS；已知光电导微探针-样品的实际间距d与图像上测得间距S的关系为d＝S·sinα，0＜α＜90°，其中α为可见光显微镜(3)与样品位移台(8)水平方向夹角；
(1)对于光滑表面的样品，图像与实际的比例尺k1＝S·sinα/L，计算得到光电导微探针-样品的实际间距d＝k1·S；
(2)对于粗糙表面的样品，图像与实际的比例尺k2＝ΔS/L，计算得到光电导微探针-样品的实际间距d＝k2·S。
5.适用于权利要求1～4中任意一项所述测距方法的一种基于激光反射的近场探针测距装置，其特征在于，该测距装置包括激光器(6)、可见光源(4)、可见光显微镜(3)、CCD探测器(2)、光电导微探针(5)、样品位移台(8)、电机控制盒(9)以及计算机(1)；
所述激光器(6)用于辐射出探测激光；所述样品位移台(8)水平放置，用于盛放样品(7)，并控制样品在各方向的运动；所述电机控制盒(9)用于准确控制样品位移台(8)在Z方向的运动步进。
6.根据权利要求5所述的一种基于激光反射的近场探针测距装置，其特征在于，所述可见光显微镜(3)与样品位移台(8)水平方向呈α角度放置，且0＜α＜90°。
7.根据权利要求5所述的一种基于激光反射的近场探针测距装置，其特征在于，所述可见光显微镜(3)上配有彩色CCD摄像头，其工作在RGB模式下，以30帧/每秒的速率向计算机发送实时图像。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110736715A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-01-31 | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 | 探针防误触方法、装置及系统 |
| CN117572028A (zh) * | 2024-01-19 | 2024-02-20 | 合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室) | 一种太赫兹近场系统激光光路的调整方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11204383B2 (en) * | 2019-09-30 | 2021-12-21 | Formfactor, Inc. | Methods for maintaining gap spacing between an optical probe of a probe system and an optical device of a device under test, and probe systems that perform the methods |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5939709A (en) * | 1997-06-19 | 1999-08-17 | Ghislain; Lucien P. | Scanning probe optical microscope using a solid immersion lens |
| US6960298B2 (en) * | 2001-12-10 | 2005-11-01 | Nanogen, Inc. | Mesoporous permeation layers for use on active electronic matrix devices |
| CN1279414C (zh) * | 2004-03-15 | 2006-10-11 | 哈尔滨工业大学 | 微机械零件三维加工方法 |
| JP5001533B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2012-08-15 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | プローブのアプローチ方法 |
| CN1267721C (zh) * | 2004-09-15 | 2006-08-02 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 完全光纤探针扫描式近场光学显微镜 |
| CN1766661A (zh) * | 2005-09-30 | 2006-05-03 | 电子科技大学 | 非导电探针检测铁电材料微区极性分布的方法 |
| CN100495109C (zh) * | 2006-06-19 | 2009-06-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 模块化扫描探针显微镜 |
| JP2009074987A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡及び表面情報測定方法 |
| KR101488059B1 (ko) * | 2008-06-06 | 2015-01-29 | 인피니트시마 리미티드 | 탐침 검출 시스템 |
| JP2010011791A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Toshiba Corp | 複数核酸の検出方法 |
| JP5813966B2 (ja) * | 2011-03-03 | 2015-11-17 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 変位検出機構およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
| CN102788566B (zh) * | 2012-09-03 | 2015-12-09 | 电子科技大学 | 一种土壤表面粗糙度测量板 |
| CN102937657B (zh) * | 2012-11-06 | 2015-02-11 | 北京航空航天大学 | 一种用于高速原子力显微成像的实时校正方法与系统 |
| CN104049111A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-09-17 | 哈尔滨工业大学 | 基于双探针原子力显微镜的纳米卡尺及采用该纳米卡尺测量微纳米结构关键尺寸的方法 |
| CN105510642B (zh) * | 2014-09-24 | 2018-07-03 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 基于扫描探针显微镜的纳米磁热原位探测装置及探测方法 |
| CN105510637B (zh) * | 2014-09-24 | 2018-10-19 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 基于扫描探针显微镜的微/纳米热电原位探测装置及探测方法 |
| CN104502634B (zh) * | 2014-12-16 | 2017-03-22 | 哈尔滨工业大学 | 探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法 |
| CN104528632B (zh) * | 2014-12-24 | 2016-02-17 | 哈尔滨工业大学 | 利用三棱锥微探针轨迹运动加工微结构的装置及方法 |
| CN105988021A (zh) * | 2015-02-05 | 2016-10-05 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 基于微透镜修饰探针的光学超分辨率动态成像系统和方法 |
| CN113376364A (zh) * | 2015-08-10 | 2021-09-10 | Essenlix 公司 | 步骤简化、小样品、快速、易使用的生物/化学分析装置和方法 |
| CN105911311A (zh) * | 2016-07-05 | 2016-08-31 | 北京工业大学 | 一种纳米材料力学性能原位测试系统及方法 |
| EP3324194B1 (en) * | 2016-11-22 | 2019-06-26 | Anton Paar GmbH | Imaging a gap between sample and probe of a scanning probe microscope in substantially horizontal side view |
| CN106443218B (zh) * | 2016-11-24 | 2019-06-21 | 电子科技大学 | 一种表面电荷测量方法 |
| CN107402443A (zh) * | 2017-08-08 | 2017-11-28 | 苏州显纳精密仪器有限公司 | 一种基于倒置显微镜和微球透镜的光学超分辨率成像系统及采用该系统的动态成像方法 |
| CN107860742B (zh) * | 2017-11-03 | 2020-04-07 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜 |
| CN108844914B (zh) * | 2018-05-28 | 2020-09-11 | 南开大学 | 一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法 |
-
2019
- 2019-03-22 CN CN201910224214.XA patent/CN109917407A/zh active Pending
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110736715A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-01-31 | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 | 探针防误触方法、装置及系统 |
| CN110736715B (zh) * | 2019-10-25 | 2022-05-24 | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司 | 探针防误触方法、装置及系统 |
| CN117572028A (zh) * | 2024-01-19 | 2024-02-20 | 合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室) | 一种太赫兹近场系统激光光路的调整方法 |
| CN117572028B (zh) * | 2024-01-19 | 2024-04-30 | 合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室) | 一种太赫兹近场系统激光光路的调整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110146898A (zh) | 2019-08-20 |
| CN110146898B (zh) | 2023-10-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
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Application publication date: 20190621 |