JP4244347B2 - 試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置 - Google Patents
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〔1〕試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置において、光学的励起部(200)と、信号処理部(300)と、ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)と、原子間力顕微鏡試料ステージ制御部(500)と、前記信号処理部(300)に接続されるネットワークアナライザ(600)とを備え、前記光学的励起部(200)は、レーザダイオードドライバー(201)と、このレーザダイオードドライバー(201)によって駆動されるレーザダイオード(202)と、このレーザダイオード(202)からの光を受けて前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)に取り込むミラー(203)とを備え、前記信号処理部(300)は、前記ネットワークアナライザ(600)に接続される第1スイッチ(301)と、この第1スイッチ(301)の出力側から分岐して前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)に接続される第2スイッチ(302)と、前記第1スイッチ(301)の出力側に接続されるディジタイザー(303)と、このディジタイザー(303)に接続される位相シフター(304)と、この位相シフター(304)に接続されるフィルター(305)と、このフィルター(305)に接続されるとともに、前記レーザダイオードドライバー(201)の出力側に接続される増幅器(306)とを備え、前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)は、He−Neレーザ(401)と、レンズ(405)と、このレンズ(405)に接続される偏波面保存ファイバ(406)と、レーザ出射部(407)とを含み、前記原子間力顕微鏡試料ステージ制御部(500)は、LOに接続されるDBM(501)と、このDBM(501)へ接続されるコントローラ(502)と、このコントローラ(502)に接続され試料(503)を駆動するピエゾ素子(504)を含み、前記レーザダイオード(202)の出力光を、前記He−Neレーザ(401)のヘテロダインレーザドップラー干渉計の計測光に重畳させ、それを前記偏波面保存ファイバ(406)に導入し、前記レーザ出射部(407)を経て前記試料(503)に照射するようにしたことを特徴とする。
(2)“Optical activation of a silicon vibrating sensor”,M.V.Andres,K.W.H.Foulds,M.J.Tudor,Electronics Letters22,1099,(1986).
(3)“Self−excited vibration of a self−supporting thin film caused by laser irradation”,K.Hane,K.Suzuki,Sensors and Actuators A51,179−182(1996).
シリコンマイクロマシン技術により、近年、100万本/cm2 以上の高密度でカンチレバーアレイを作製することが可能になり、それを用いた計測、加工、アクチュエーションが期待されている。しかし、アレイ中の特定のカンチレバーの集合の励振や、すべてのカンチレバーの励振方法はまだ確立されていない。
2 基板の摺動面
3,13,23,32 ナノカンチレバーアレイ
4,54,64,74 多数のコンプライアントなナノカンチレバー(振動子)
5 ナノカンチレバーアレイの摺動方向
12 基板の表面
14,24A〜24E,97,116,131,143,155,169,180,802,815,816,817,818,832,842,855,856,857,858,862,863,864,865,866,872,873,874,875,876 カンチレバー(振動子)
15 表面弾性波の伝搬方向
16,27 カンチレバーの振動方向
22,45 基板上面
25 探針質量
26,51,61,71,96,115,130,142,503,705 試料
31 ベース基板
33 対向する探針
34,35,112 電極
36 電源
41 チャンバ
42 ガス導入口
43 ガス排気口
44,800 基板
46 単結晶シリコンカンチレバーアレイ
47 針状結晶成長箇所
48 平板電極
49 交流電源
50,113 リード線
52 試料の摺動面
53,63 プローブ(ナノカンチレバーアレイ)
55,60 試料の摺動方向
62,72 試料の表面
65 反射防止膜
66,76 ビームスプリッタやハーフミラー
67 光てこ入射光
68,78,118 反射光
69,79,99,119,156 結像レンズ
70,80,101,121,132,144,157 撮像装置(撮像素子)
73 プローブ(ナノカンチレバーアレイ)の微小干渉キャビティ
75 基準面
77 入射光
90,126,137,160,170 光ファイバ
91,128,151,162,171 レーザ出射部
92,152 1/4波長板
93 ハーフミラー
94,117,154,167,178 対物レンズ
95,114 試料のxyzピエゾスキャナー
98,203,409 ミラー
100,120 xyステージ
102,127 光学系ユニット
103 光学系ユニットのxyz位置決め機構
104 AFMベースプレート
105 真空チャンバ隔壁
106 ステージ支持バネ
110 真空チャンバ
111 光半導体装置
122,133 試料準備用真空チャンバ
123〜125,134,135 試料、カンチレバー搬送棒
129,163,174 ビームスプリッタ
136 試料観察用真空チャンバ
138 カンチレバー検出光学系
139 レーザ出射部xyzステージ
140 レーザドップラー出射部
141 試料xyzステージ
153,172 ダイクロイックミラー
161,173 第1の支持部材
164,175 第2の支持部材
165,176 ミラー位置決め機構
166,177 基準ミラー
168,179 カンチレバー支持部材
181 カメラ
200 光学的励起部
201 レーザダイオード(LD)ドライバー
202 レーザダイオード(LD)
300 信号処理部
301 第1スイッチ(sw1)
302 第2スイッチ(sw2)
303,417,419 ディジタイザ
304 位相シフター
305 フィルター
306 増幅器
400 レーザドップラー干渉部
401 He−Neレーザ
402 第1のPBS(ポラライジングビームスプリッタ)
403 第2のPBS
404 合波器
405,702 レンズ
406 偏波面保存ファイバ
407 センサヘッド(レーザ出射部)
408 ナノカンチレバー
408A 探針(プローブ)
410 AOM(音響・光変調器)
411 λ/2波長板
412 第3のPBS
413 偏光子
414 ホトダイオード
415 BPF
416,418,423 アンプ
420 遅延ライン
421,501 DBM
422 LPF
500 AFM試料ステージ制御部
502 コントローラ
504 試料のピエゾ素子
600 ネットワークアナライザ
601 ネットワークアナライザの信号入力端子
602 ネットワークアナライザの評価出力端子
701 レーザ
703 レンズ支持部
704,801,811,812,813,814,831,841,851,852,853,854,861,871 干渉キャビティ
706 試料支持部
803,819,833,843,859,867,877 カンチレバーアレイ
804 レーザ光
820,860 一定光量のレーザ光(波長λ)
834 強度変調されたレーザ光
844,868,878 強度一定のレーザ光(波長λ)
845 探針先端の軌跡
846 スライダー
847 スライダーの変位方向
869 異なる強度変調周波数を有するレーザ光(波長λ)
879 基板の斜め上方から照射される一定波長の入射光
880 異なる周波数を有するレーザ光(波長λ1 ,λ2 ,・・・,λ5 )
Claims (5)
- (a)光学的励起部(200)と、信号処理部(300)と、ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)と、原子間力顕微鏡試料ステージ制御部(500)と、前記信号処理部(300)に接続されるネットワークアナライザ(600)とを備え、
(b)前記光学的励起部(200)は、レーザダイオードドライバー(201)と、該レーザダイオードドライバー(201)によって駆動されるレーザダイオード(202)と、該レーザダイオード(202)からの光を受けて前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)に取り込むミラー(203)とを備え、
(c)前記信号処理部(300)は、前記ネットワークアナライザ(600)に接続される第1スイッチ(301)と、該第1スイッチ(301)の出力側から分岐して前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)に接続される第2スイッチ(302)と、前記第1スイッチ(301)の出力側に接続されるディジタイザー(303)と、該ディジタイザー(303)に接続される位相シフター(304)と、該位相シフター(304)に接続されるフィルター(305)と、該フィルター(305)に接続されるとともに、前記レーザダイオードドライバー(201)の出力側に接続される増幅器(306)とを備え、
(d)前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)は、He−Neレーザ(401)と、レンズ(405)と、該レンズ(405)に接続される偏波面保存ファイバ(406)と、レーザ出射部(407)とを含み、
(e)前記原子間力顕微鏡試料ステージ制御部(500)は、LOに接続されるDBM(501)と、該DBM(501)へ接続されるコントローラ(502)と、該コントローラ(502)に接続され試料(503)を駆動するピエゾ素子(504)を含み、
(f)前記レーザダイオード(202)の出力光を、前記He−Neレーザ(401)のヘテロダインレーザドップラー干渉計の計測光に重畳させ、それを前記偏波面保存ファイバ(406)に導入し、前記レーザ出射部(407)を経て前記試料(503)に照射するようにしたことを特徴とする試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置。 - 請求項1記載の試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置において、前記ネットワークアナライザ(600)により周波数を掃引した信号を用いて前記レーザダイオード(202)の出力光を変調し、該変調した光を用いて前記試料(503)の振動を励起し、前記試料(503)の振動を同時に観察している前記ヘテロダインレーザドップラー干渉部(400)の出力を前記ネットワークアナライザ(600)の信号入力に接続することによって、前記試料(503)の周波数特性を計測することを特徴とする試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置。
- 請求項1記載の試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置において、前記計測光の重畳により、一本の光路により振動計測と振動励振を行うことを特徴とする試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置。
- 請求項1又は2記載の試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置において、原子間力顕微鏡の力検出素子であるカンチレバー(408)の固有振動数の自励を実現し、それにより前記カンチレバー(408)の先端に配置した探針(408A)と前記試料(503)の相互作用や、前記カンチレバー(408)の先端に配置した探針(408A)に付着した質量の変化を、自励振動周波数の変化や、自励振動振幅、位相の変化として検出することを特徴とする試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置。
- 請求項1記載の試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置において、前記レーザ出射部(407)と前記試料(503)の間に光を透過する基板を配置し、ヘテロダインレーザドップラー干渉計測定光と前記試料(503)のなす微小キャビティを用いて一定光励振を行い、同時にヘテロダインレーザドップラー計測を行うことを特徴とする試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005153340A JP4244347B2 (ja) | 2001-06-19 | 2005-05-26 | 試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001184604 | 2001-06-19 | ||
JP2005153340A JP4244347B2 (ja) | 2001-06-19 | 2005-05-26 | 試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002160482A Division JP4076792B2 (ja) | 2001-06-19 | 2002-05-31 | カンチレバーアレイ、その製造方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005274585A JP2005274585A (ja) | 2005-10-06 |
JP4244347B2 true JP4244347B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=35437665
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005153339A Withdrawn JP2005308756A (ja) | 2001-06-19 | 2005-05-26 | カンチレバーの検出及び制御のための装置 |
JP2005153340A Expired - Lifetime JP4244347B2 (ja) | 2001-06-19 | 2005-05-26 | 試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を用いた試料の特性の測定装置 |
JP2007322903A Withdrawn JP2008107358A (ja) | 2001-06-19 | 2007-12-14 | 光ファイバ式ホモダインレーザ干渉計 |
JP2007322893A Withdrawn JP2008134254A (ja) | 2001-06-19 | 2007-12-14 | 走査型プローブ顕微鏡及びカンチレバーアレイの励振方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005153339A Withdrawn JP2005308756A (ja) | 2001-06-19 | 2005-05-26 | カンチレバーの検出及び制御のための装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007322903A Withdrawn JP2008107358A (ja) | 2001-06-19 | 2007-12-14 | 光ファイバ式ホモダインレーザ干渉計 |
JP2007322893A Withdrawn JP2008134254A (ja) | 2001-06-19 | 2007-12-14 | 走査型プローブ顕微鏡及びカンチレバーアレイの励振方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP2005308756A (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008051556A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構及びそれを用いた表面情報計測装置 |
JP2008051555A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Sii Nanotechnology Inc | 光学式変位検出機構及びそれを用いたプローブ顕微鏡 |
JP5140179B2 (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-06 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡の変位検出方法 |
JP2011215168A (ja) * | 2011-08-04 | 2011-10-27 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡の変位検出方法 |
JP5699105B2 (ja) * | 2012-04-11 | 2015-04-08 | 株式会社日立製作所 | 表面計測方法とその装置 |
JP6450285B2 (ja) * | 2015-09-03 | 2019-01-09 | 株式会社小野測器 | レーザドップラ振動計 |
DE102017205528B4 (de) | 2017-03-31 | 2021-06-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung und Verfahren für ein Rastersondenmikroskop |
KR102191673B1 (ko) * | 2019-03-04 | 2020-12-17 | 한국과학기술원 | 초소형 렌즈형 광섬유 프로브를 갖는 내시현미경 |
CN114675048A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-06-28 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种带挠性支撑结构的星载多普勒差分干涉仪 |
-
2005
- 2005-05-26 JP JP2005153339A patent/JP2005308756A/ja not_active Withdrawn
- 2005-05-26 JP JP2005153340A patent/JP4244347B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2007
- 2007-12-14 JP JP2007322903A patent/JP2008107358A/ja not_active Withdrawn
- 2007-12-14 JP JP2007322893A patent/JP2008134254A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008134254A (ja) | 2008-06-12 |
JP2008107358A (ja) | 2008-05-08 |
JP2005308756A (ja) | 2005-11-04 |
JP2005274585A (ja) | 2005-10-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4244347 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140116 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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