JP3637295B2 - 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッドの検査を行うための磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ヘッドを検査するに際には、磁気力顕微鏡(Magnetic Force Microsocpe; MFM)がよく利用される。例えば、特開平6−349027号公報は、薄膜磁気ヘッドのウェハ検査工程において、ウェハ上に複数の薄膜磁気ヘッドが形成されている状態で、媒体と当該薄膜磁気ヘッドのヘッドギャップとが接する面に溝を設け、この溝に磁気力顕微鏡の探針を挿入し、上記ヘッドギャップ面の形状及び上記薄膜磁気ヘッドの電磁変換特性を検査する方法を開示している。
【0003】
MFMとは、走査プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope; SPM)の一種であり、磁性体もしくは非磁性体に磁性体を付着させた先鋭な探針(MFM探針)と被測定試料から生じる磁界との力学的相互作用を検出する装置である。分解能は、測定方式や探針形状にもよるが、数十nmと非常に高く、サブミクロンオーダーの磁気特性評価に非常に有効である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、MFM探針はカンチレバーといわれる板バネによって支えられており、MFM探針の質量とカンチレバーのバネ定数によって決まる機械的共振周波数を有する。したがって、通常モードのMFM測定では機械的共振周波数(一般的数十kHz〜数百kHz)よりも高い周波数の応答を測定することはできない。
【0005】
上述の特開平6−349027号公報による検査方法においても、高周波電流を記録ヘッドに印加して上記MFM測定を行うが、測定されるMFM信号からは上記制限のため所望の応答を得ることはできず、高周波成分はDC信号に含まれた状態となっている。また、測定されるMFM信号のDC成分は、ヘッドの他からの寄与、例えばヘッド磁極から発生しているDC磁界によるMFM相互作用も含んでいる。そのような測定条件では、磁気ヘッドから生じている真の磁界分布を測定することはできない。言い換えれば、厳密な磁気ヘッドの検査は困難である。
【0006】
また、MFM測定を行う場合、MFM探針を変更した際にティップバリエーション(tip variation)によって測定値にばらつきが生じるという問題がある(被測定試料である磁気ヘッドが同じでも異なる場合がある)。これは、MFM探針先端の磁性体の状態(形状、膜厚、コンタミネーションなど)がMFM探針によって少しずつ異なっていること、MFM探針を支えているカンチレバーの変位を測定する光学系アライメントのばらつき、カンチレバー背面に付着しており上記光学系アライメントで必要な金属薄膜の反射率の違いによる検出感度のばらつきなどによる。
【0007】
以上を考えると、大量の磁気ヘッドを検査する工程では、ティップバリエーションの影響を補償する必要があるが、上述した文献にはそのような問題を解決する方法は述べられていない。
【0008】
このように、従来は、真の高周波磁界を測定することができず、得られた測定データはティップバリエーションにより測定ばらつきが生じるという問題があった。
【0009】
また、従来、磁気ヘッドの電磁変換測定を行うにあたっては、例えばスピンスタンドを用いて測定が行われている。この場合、磁気ヘッドをHGA(Head gimbals assembly)の状態で測定する必要がある。すなわち、不良品となるものも含めてHGAの状態で測定しているため、歩留まりの向上に限界があるという問題があった。
【0010】
本発明は上記実状に鑑みてなされたものであり、ティップバリエーションによる測定ばらつきを低減するとともに、歩留まりを向上させることのできる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る磁気ヘッド検査装置は、記録用磁気ヘッドの磁界発生部分における諸特性を検査するための磁気ヘッド検査装置であって、前記記録用磁気ヘッドの近傍に一定の強度及び周波数の磁界を外部から印加し、検査する磁界強度や周波数の校正を行うための校正用磁界発生源と、前記校正用磁界発生源によって磁界が印加される前記記録用磁気ヘッドの巻き線に対し、所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加する電流印加手段と、前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加によって前記記録用磁気ヘッドに生じる高周波磁界を測定する磁気ヘッド測定装置とを具備し、前記校正用磁界発生源を用いて測定される測定信号を規格化することによって測定ばらつきをなくすための校正処理を行った後に、前記諸特性の検査のための測定を前記電流印加手段及び前記磁気ヘッド測定装置を用いて行うことを特徴とする。
【0012】
また、本発明に係る磁気ヘッド検査方法は、記録用磁気ヘッドの磁界発生部分における諸特性を検査するための磁気ヘッド検査方法であって、検査する磁界強度や周波数の校正を行うための校正用磁界発生源を用いて、前記記録用磁気ヘッドの近傍に一定の強度及び周波数の磁界を印加するステップと、前記校正用磁界発生源によって磁界が印加される前記記録用磁気ヘッドの巻き線に対し、所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を電流印加手段により印加するステップと、前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加によって前記記録用磁気ヘッドに生じる高周波磁界を測定するステップと、前記校正用磁界発生源を用いて測定される測定信号を規格化することによって測定ばらつきをなくすための校正処理を行うステップと、前記校正処理を行った後に、前記諸特性の検査のための測定を前記電流印加手段及び前記磁気ヘッド測定装置を用いて行うステップとを有することを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【0014】
図1は、本発明の第1〜第4の実施形態に係る磁気ヘッド検査装置の要部を示すブロック図である。
【0015】
磁気ヘッド検査装置10は、被検査試料としての磁気ヘッド11を検査するための磁気ヘッド測定装置12、磁気ヘッド測定装置12に対して用意された交換用磁性体探針13、及び磁気ヘッド11の測定ばらつきを校正するための校正用磁界発生源14を有する。
【0016】
磁気ヘッド11は、ウェハもしくはロー・バー(row bar)の形態で供給され、磁気ヘッド検査装置10に備えられる固定用冶具により固定される。なお、ロー・バーとは、磁気ヘッド製造工程においてウェハからスライダに加工する過程で当該ウェハを短冊状に切断したものをいう。また、上記磁気ヘッド11は、HGAの状態でも測定可能である。
【0017】
磁気ヘッド測定装置12には、走査プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microsocpe; SPM)の一形態である高周波磁気力顕微鏡(High-Frequency Magnetic Force Microscope; HF-MFM)が組み込まれている。通常のMFMとの違いとしては、カンチレバーの機械的共振周波数以上の周波数応答を測定できる点にある。このようなHF-MFMを採用することにより、真の高周波磁界分布に対応した測定を行うことができ、磁気ヘッドを精度よく検査することができる。なお、HF-MFMは、R. Proksch and P. Neilson, S. Austvold and J. J. Schmidt, Applied Physics Letters 74 (1999) 1308. (Digital Instruments et.al.)や、特願2000-82590号(現時点では未公開)に示される技術を用いて構築することができる。
【0018】
上記磁気ヘッド測定装置12は、磁気ヘッド11に振幅変調電流を印加することができる。もちろん、振幅変調電流だけでなく、他の信号も印加できるようになっている。また、磁気ヘッド測定装置12は、磁気ヘッド11の特性を測定し得られたデータを保存・解析することができる。
【0019】
磁気ヘッド測定装置12には、磁気ヘッド11を高分解能に測定するために、磁性体もしくは非磁性体に磁性体を付着させた磁性体探針が組み込まれており、その探針を交換するために上記交換用磁性体探針13が使用され、必要に応じて交換が行われる。
【0020】
交換用磁性探針13は、手動と自動のどちらの方法で交換してもよい。また、交換用磁性探針13は、磁気ヘッド検査装置10内に保存することもできるが、保存せず必要時に調達して交換するようにしてもよい。
【0021】
校正用磁界発生源14は、磁気ヘッド11に対し、一定の強度及び周波数の磁界を発生させる。この校正用磁界発生源14は、均一な磁界を発生できるものならばどのような形態のものでもよいが、MFMで測定できる平坦さが必要であり、走査範囲が限られる(例えば50μm角以内)。また、校正用磁界発生源14は、交流電流と直流電流のいずれかを流すことにより、それぞれ交流磁界と直流磁界のいずれかを磁気ヘッド11に印加してもよいが、印加した電流に対する実際の磁界の大きさを見積もることができるものであることが望ましい。具体的な磁界発生源としては、SiもしくはSiO2、シリコンナイトライドなどの一般的な基板上に作成したマイクロコイルや微細なワイヤや、磁気ヘッドが挙げられる。
【0022】
なお、磁気ヘッド測定装置12及び校正用磁界発生源14に大きい電流を流した場合、信号線が焼ききれるおそれがあるので、印加する電流の電流密度は10-8A/cm2以下であることが望ましい。
【0023】
図2は、上記磁気ヘッド検査装置10の構成をより詳細に示す図である。
【0024】
磁気ヘッド検査装置10は、前述の交換用磁性体探針13や校正用磁界発生源14のほか、磁気ヘッド測定装置12の構成要素として、探針101、カンチレバー102、圧電素子103、信号発生器104、信号発生器106、電流値モニタ107、走査用圧電素子108、変位検出計109、位相検出器110、同期検波器111、振幅/直流電圧変換回路(RMS−DC回路)112、フィードバック回路113を有しており、またコンピュータ114も備えられる。
【0025】
探針101は、磁性体もしくは非磁性体に磁性体を付着させて磁化された交換可能なMFM探針である。
【0026】
カンチレバー102は、探針101を支えるものである。
【0027】
圧電素子103は、カンチレバー102を支え、探針101とは反対側に取り付けてあり、探針101及びカンチレバー102を振動させる。
【0028】
信号発生器104は、圧電素子103に信号(共振周波数:ωr)を印加する。
【0029】
信号発生器106は、搬送波周波数ωrと変調周波数ωmとで振幅変調された振幅変調電流を発生するAM信号発生器のほか、直流電流を発生する直流信号発生器、ならびに直流と交流を加算した電流を発生する信号発生器を含んでおり、磁気ヘッド11に電流を印加して磁界を発生させる。
【0030】
電流値モニタ107は、磁気ヘッド11に流れる電流を測定する。
【0031】
走査用圧電素子108は、探針101と磁気ヘッド11との3次元の相対位置を定める。
【0032】
変位検出計109は、カンチレバー102の変位を検出する。
【0033】
位相検出器110は、信号発生器104の出力と変位検出計109の出力との位相差を出力する。
【0034】
同期検波器111は、位相検出器110から出力された信号のうち、上記AM信号発生器の変調成分に同期した成分を検波する。
【0035】
振幅/直流電圧変換回路(RMS−DC回路)112は、変位検出計109の出力の実効値(root mean square)を出力する。
【0036】
フィードバック回路113は、振幅/直流電圧変換回路112の出力があらかじめ設定しておいた値になるように(探針−試料間距離が一定となるように)、走査用圧電素子108を制御する。
【0037】
コンピュータ114は、同期検波器111の出力から得られる高周波磁界の情報とフィードバック回路113の出力から得られる表面形状の情報を記録・保存し、装置10全体の制御や各種パラメータの監視を行う。また、このコンピュータ114は、解析項目の選択処理を行い、選択した解析項目に対応するデータを解析・評価したり、磁気ヘッド11の合否を判定したりすることが可能である。
【0038】
図2に示した磁気ヘッド検査装置10における磁気ヘッド測定は、基本的には次のような手順で行う。
【0039】
まず、磁気ヘッド11に振幅変調(搬送波周波数ωc、変調周波数(ωm)された電流を印加する。
【0040】
探針101を磁気ヘッド11に近づけると、探針−試料間相互作用によって磁気ヘッド11に生じた高周波(ωc)磁界成分が低周波(ωm)の相互作用成分に変換される。
【0041】
このとき、探針101を支えているカンチレバー102の共振周波数ωrと変調周波数ωmをωm<<ωrなる条件にし、圧電素子103と外部信号を用いてカンチレバー102を機械的共振周波数(ωr)で場の強度に関係なくほぼ一定の振幅を保ちながら、カンチレバー振動の位相変化(位相シフト)もしくは周波数変化(周波数シフト、T. R. Albrecht, P. Gru¨tter, D. Horne, and D. Rugar, Journal of Applied Physics, 69 (1991) 668.)に含まれる変調周波数(ωm)に同期した成分を測定する。これにより、高い分解能の高周波磁界を安定して測定できる。
【0042】
このようにHF-MFM技術を応用することにより、真の高周波磁界を測定できることが可能となる。また、装置内部にティップバリエーションを補償する校正用磁界発生源を組み込んであるため、測定ばらつきの問題を改善することが可能となる。また、スピンスタンドを用いずに、ロー・バーの状態で電磁変換特性を測定できるため、歩留まりを向上させることが可能となる。
【0043】
図3は、校正用磁界発生源が環状の導体である場合の例を説明するための図である。図示の校正用磁界発生源14aは、環状の導体である。形成された円の半径がrで、円の中心から点Pまでの距離がzである場合、導体に電流Iが流れているときの点Pでの磁界の強さは、H=Ir2/{2(r2+z2)3/2} (AT/m)となる。
【0044】
なお、図3では校正用磁界発生源が環状である場合を例示したが、もちろん他の形状として、例えば線状を採用してもよい。
【0045】
図4は、ある解析項目の解析・評価においてMSMイメージ(Magnetoresistive Sensitive Mapping Image)を取得するための一構成例を示す図である。なお、MSMについては、Magnetoresistive Sensitive Mapping(G. A. Gibson and S. Schultz IEEE Trans. Magn. 28, 2310 (1992).)を参照されたい。
【0046】
図示のように、信号発生器104から圧電素子103に信号を印加した状態で、磁気ヘッドの再生素子11に直流電流印加源115によって流される直流電流を差動増幅器からなる電圧測定回路116を通じて取り出し、この取り出された信号と信号発生器104の信号とをロックインアンプ117にてロックイン処理して、MSMイメージを取得することができる。
【0047】
MSMイメージは、例えば図5に示すような画像やグラフの形で取得される。図5中の(A)は磁気ヘッドを上方からみた高周波磁界の2次元画像であり、図5中の(B)はそのラインプロファイルを示す。
【0048】
次に、図6を参照して、第1の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明する。
【0049】
まず、試料である磁気ヘッド11を磁気ヘッド検査装置10にセットし(ステップS101)、磁気ヘッド測定装置12が磁気ヘッド11を検査する解析項目を選択する(ステップS102)。解析項目としては、高周波磁界分布や局所的な高周波磁界強度の見積りだけでなく、高周波漏れ磁界、水平磁界成分の再構成計算、各種電磁変換特性の予想なども用意されており、各々を任意に選択できる。
【0050】
次に、磁気ヘッドに搬送波周波数ωc、変調周波数ωmの振幅変調電流を印加し(ステップS103)、高周波磁気力顕微鏡で高周波磁界を測定する(ステップS104)。なお、ここでは高周波磁界を測定するだけでなく、表面形状も測定してもよい。これにより、表面形状に対応した磁界発生位置を確認することができる。
【0051】
そして、高周波磁界の測定で得られたデータを解析・評価し(ステップS105)、その結果に基づいて合否判定を行う(ステップS106)。合格である場合には合格処理を行い(ステップS107)、不合格である場合には不合格処理を行う(ステップS108)。
【0052】
最後に、測定を終了するか否かの確認を行い(ステップS109)、測定を終了しない場合は上記の各ステップを繰り返し、測定を終了する場合は当該磁気ヘッド検査を終了する。
【0053】
この第1の実施形態によれば、HGAに組み込む以前の状態で磁気ヘッドの検査を行うことができるため、HGA歩留まりの大幅な改善が可能となる。
【0054】
次に、図7を参照して、第2の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明する。
【0055】
この第2の実施形態は、前述の第1の実施形態(図6)では得られない特性、例えば再生部の形状や感度評価、飽和磁界現象などを得るための処理を含んでいる。
【0056】
まず、試料である磁気ヘッド11を磁気ヘッド検査装置10にセットし(ステップS201)、磁気ヘッド測定装置12が磁気ヘッド11を検査する解析項目を選択する(ステップS202)。解析項目としては、高周波磁界分布や局所的な高周波磁界強度の見積りだけでなく、高周波漏れ磁界、水平磁界成分の再構成計算、各種電磁変換特性の予想なども用意されており、各々を任意に選択できる。
【0057】
次に、磁気ヘッドに搬送波周波数ωc、変調周波数ωmの振幅変調電流を印加し(ステップS203)、高周波磁気力顕微鏡で高周波磁界を測定する(ステップS204)。なお、ここでは高周波磁界を測定するだけでなく、表面形状も測定してもよい。これにより、表面形状に対応した磁界発生位置を確認することができる。
【0058】
そして、高周波磁界の測定で得られたデータを解析・評価する(ステップS205)。また、上記高周波磁界の測定以外についても評価を行うか否かを判別する(ステップS206)。
【0059】
高周波磁界の測定以外についても評価を行う場合は、評価・解析手法を選択し(ステップS207)、選択した手法により評価を実施する(ステップS208)。なお、評価・解析手法としては、高周波磁界だけでは得られない磁気ヘッド特性、例えばMagnetoresistive Sensitive Mapping(G. A. Gibson and S. Schultz IEEE Trans. Magn. 28, 2310 (1992).)による再生部の形状もしくは感度の測定や、記録部の飽和現象の解析などが挙げられる。
【0060】
次に、上記解析・評価の結果に基づいて合否判定を行う(ステップS209)。合格である場合には合格処理を行い(ステップS210)、不合格である場合には不合格処理を行う(ステップS211)。
【0061】
最後に、測定を終了するか否かの確認を行い(ステップS212)、測定を終了しない場合は上記の各ステップを繰り返し、測定を終了する場合は当該磁気ヘッド検査を終了する。
【0062】
この第2の実施形態によれば、前述の第1の実施形態で得られる効果に加え、再生ヘッドや磁気飽和特性も含めた総合的な評価を行うことができるという効果がある。
【0063】
次に、図8を参照して、第3の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明する。
【0064】
ところで、測定を繰り返し行うとMFM探針の劣化によって所定の検査結果が得られない場合がある。具体的には、分解能の悪化や測定信号のS/Nの低下などが上げられる。ここでいう劣化とは、測定中における物理的に探針先端が先鋭でなくなること、磁性膜を付着するような探針では磁性膜がはがれてしまうこと、探針の着磁がうまく行かないこと等を含む。そのような場合、MFM探針を新しく変更する必要がある。こうした事情を考慮し、この第3の実施形態は、MFM探針を交換する処理を含んでいる。
【0065】
まず、磁気ヘッド測定装置12に搭載されている探針を交換する必要がある否かを判別する(ステップS301)。もし交換の必要があれば、探針を交換する(ステップS302)。なお、探針の交換は、手動と自動のどちらで行ってもよい。また、交換用の探針は、磁気ヘッド検査装置10内に保存することもできるし、保存せず必要時に調達するようにしてもよい。
【0066】
次に、試料である磁気ヘッド11を磁気ヘッド検査装置10にセットし(ステップS303)、磁気ヘッド測定装置12が磁気ヘッド11を検査する解析項目を選択する(ステップS304)。解析項目としては、高周波磁界分布や局所的な高周波磁界強度の見積りだけでなく、高周波漏れ磁界、水平磁界成分の再構成計算、各種電磁変換特性の予想なども用意されており、各々を任意に選択できる。
【0067】
次に、磁気ヘッドに搬送波周波数ωc、変調周波数ωmの振幅変調電流を印加し(ステップS305)、高周波磁気力顕微鏡で高周波磁界を測定する(ステップS306)。なお、ここでは高周波磁界を測定するだけでなく、表面形状も測定してもよい。これにより、表面形状に対応した磁界発生位置を確認することができる。
【0068】
そして、高周波磁界の測定で得られたデータを解析・評価する(ステップS307)。また、上記高周波磁界の測定以外についても評価を行うか否かを判別する(ステップS308)。
【0069】
高周波磁界の測定以外についても評価を行う場合は、評価・解析手法を選択し(ステップS309)、選択した手法により評価を実施する(ステップS310)。なお、評価・解析手法としては、高周波磁界だけでは得られない磁気ヘッド特性、例えばMagnetoresistive Sensitive Mapping(G. A. Gibson and S. Schultz IEEE Trans. Magn. 28, 2310 (1992).)による再生部の形状もしくは感度の測定や、記録部の飽和現象の解析などが挙げられる。
【0070】
次に、上記解析・評価の結果に基づいて合否判定を行う(ステップS311)。合格である場合には合格処理を行い(ステップS312)、不合格である場合には不合格処理を行う(ステップS313)。
【0071】
最後に、測定を終了するか否かの確認を行い(ステップS314)、測定を終了しない場合は上記の各ステップを繰り返し、測定を終了する場合は当該磁気ヘッド検査を終了する。
【0072】
この第3の実施形態によれば、前述の第2の実施形態で得られる効果に加え、探針を交換することができるので、測定の繰り返しによる探針の劣化を回避できるという効果がある。
【0073】
次に、図9を参照して、第4の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明する。
【0074】
ところで、前述の第3の実施形態(図8)に示したように探針を交換しながら測定する場合、探針を交換する前後の実験結果が異なる場合がある(被測定試料である磁気ヘッドが同じでも異なる場合がある)。その結果、大量の磁気ヘッドを検査工程では、所定の検査を適切に行うことができないことがあり得る。これは、探針先端の磁性体の状態(形状、膜厚、コンタミネーションなど)が探針によって少しずつ異なっていること、探針を支えているカンチレバーの変位を測定する光学系アライメントのばらつき、カンチレバー背面に付着しており上記光学系アライメントで必要な金属薄膜の反射率の違いによる検出感度のばらつきなどによる。このようなばらつきが、ティップバリエーションと呼ばれるものである。
【0075】
ティップバリエーションを補償するためには、その探針の感度を校正し、得られる測定信号を規格化する必要がある。そこで、この第4の実施形態は、感度校正を行いながら、大量の磁気ヘッドを検査する処理を含んでいる。
【0076】
まず、磁気ヘッド測定装置12に搭載されている探針を交換する必要がある否かを判別する(ステップS401)。もし交換の必要があれば、探針を交換する(ステップS402)。なお、探針の交換は、手動と自動のどちらで行ってもよい。また、交換用の探針は、磁気ヘッド検査装置10内に保存することもできるし、保存せず必要時に調達するようにしてもよい。
【0077】
次に、試料である磁気ヘッド11を磁気ヘッド検査装置10にセットする(ステップS403)。
【0078】
ここで、ティップバリエーションによる測定ばらつきをなくすための校正を実行するか否かを判別する(ステップS404)。当該測定ばらつきをなくすための校正を行う必要がある場合は、校正処理を行う(ステップS405)。
【0079】
次に、磁気ヘッド測定装置12が磁気ヘッド11を検査する解析項目を選択する(ステップS406)。解析項目としては、高周波磁界分布や局所的な高周波磁界強度の見積りだけでなく、高周波漏れ磁界、水平磁界成分の再構成計算、各種電磁変換特性の予想なども用意されており、各々を任意に選択できる。
【0080】
次に、磁気ヘッドに搬送波周波数ωc、変調周波数ωmの振幅変調電流を印加し(ステップS407)、高周波磁気力顕微鏡で高周波磁界を測定する(ステップS408)。なお、ここでは高周波磁界を測定するだけでなく、表面形状も測定してもよい。これにより、表面形状に対応した磁界発生位置を確認することができる。
【0081】
そして、高周波磁界の測定で得られたデータを解析・評価する(ステップS409)。また、上記高周波磁界の測定以外についても評価を行うか否かを判別する(ステップS410)。
【0082】
高周波磁界の測定以外についても評価を行う場合は、評価・解析手法を選択し(ステップS411)、選択した手法により評価を実施する(ステップS412)。なお、評価・解析手法としては、高周波磁界だけでは得られない磁気ヘッド特性、例えばMagnetoresistive Sensitive Mapping(G. A. Gibson and S. Schultz IEEE Trans. Magn. 28, 2310 (1992).)による再生部の形状もしくは感度の測定や、記録部の飽和現象の解析などが挙げられる。
【0083】
次に、上記解析・評価の結果に基づいて合否判定を行う(ステップS413)。合格である場合には合格処理を行い(ステップS414)、不合格である場合には不合格処理を行う(ステップS415)。
【0084】
最後に、測定を終了するか否かの確認を行い(ステップS416)、測定を終了しない場合は上記の各ステップを繰り返し、測定を終了する場合は当該磁気ヘッド検査を終了する。
【0085】
この第4の実施形態によれば、前述の第3の実施形態で得られる効果に加え、ティップバリエーションの影響を低減して測定を行うことができるという効果がある。
【0086】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することが可能である。
【0087】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ティップバリエーションによる測定ばらつきを低減するとともに、歩留まりを向上させることのできる磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1〜第4の実施形態に係る磁気ヘッド検査装置の要部を示すブロック図。
【図2】上記磁気ヘッド検査装置の構成をより詳細に示す図。
【図3】校正用磁界発生源が環状の導体である場合の例を説明するための図。
【図4】ある解析項目の解析・評価においてMSMイメージを取得するための一構成例を示す図。
【図5】磁気ヘッドを上方からみた高周波磁界の2次元画像及びそのラインプロファイルを示す図。
【図6】第1の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明するためのフローチャート。
【図7】第2の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明するためのフローチャート。
【図8】第3の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明するためのフローチャート。
【図9】第4の実施形態による磁気ヘッド検査方法を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
10…磁気ヘッド検査装置
11…磁気ヘッド
12…磁気ヘッド測定装置
13…交換用磁性体探針
14…校正用磁界発生源
101…探針
102…カンチレバー
103…圧電素子
104…信号発生器
106…信号発生器
107…電流値モニタ
108…走査用圧電素子
109…変位検出計
110…位相検出器
111…同期検波器
112…振幅/直流電圧変換回路
113…フィードバック回路
114…コンピュータ
Claims (17)
- 記録用磁気ヘッドの磁界発生部分における諸特性を検査するための磁気ヘッド検査装置であって、
前記記録用磁気ヘッドの近傍に一定の強度及び周波数の磁界を外部から印加し、検査する磁界強度や周波数の校正を行うための校正用磁界発生源と、
前記校正用磁界発生源によって磁界が印加される前記記録用磁気ヘッドの巻き線に対し、所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加する電流印加手段と、
前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加によって前記記録用磁気ヘッドに生じる高周波磁界を測定する磁気ヘッド測定装置と
を具備し、前記校正用磁界発生源を用いて測定される測定信号を規格化することによって測定ばらつきをなくすための校正処理を行った後に、前記諸特性の検査のための測定を前記電流印加手段及び前記磁気ヘッド測定装置を用いて行うことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。 - 前記磁気ヘッド測定装置は、一部もしくは全部が磁性体からなる交換可能な磁性体探針を有する磁気力顕微鏡であることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記電流印加手段は、直流電流を印加することができることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記電流印加手段は、交流電流を印加することができることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記電流印加手段は、電流密度が10-8A/cm2以下の印加電流を印加することを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、環状の導体を有し、前記記録用磁気ヘッドに電流を印加することができることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、線状の導体を有し、前記記録用磁気ヘッドに電流を印加することができることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、電流を印加することができ、かつ印加した電流に対する磁界の大きさを見積もることができるものであること特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、被測定対象とは別に校正用に設置した記録用磁気ヘッドを有することを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、前記記録用磁気ヘッドに直流電流を印加することができることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、前記記録用磁気ヘッドに交流電流を印加することができることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 前記校正用磁界発生源は、電流密度が10-8A/cm2以下の印加電流を印加することを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド検査装置。
- 磁気ヘッドの磁界発生部分における諸特性を検査するための磁気ヘッド検査装置であって、
前記磁気ヘッドの近傍に一定の強度及び周波数の磁界を外部から印加し、検査する磁界強度や周波数の校正を行うための校正用磁界発生源と、
前記校正用磁界発生源によって磁界が印加される前記磁気ヘッドの巻き線に対し、所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加する電流印加手段と、
前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加によって前記磁気ヘッドに生じる高周波磁界を測定する磁気ヘッド測定装置とを具備し、
前記磁気ヘッド測定装置は、
前記磁気ヘッドに直流電流を印加する直流電流印加源と、
前記直流電流印加源によって直流電流が印加された前記磁気ヘッドの電圧を測定する電圧測定回路と、
前記電圧測定回路の出力電圧のうち、所定の周波数を同期検波する同期検波回路と
を備え、
前記校正用磁界発生源を用いて測定される測定信号を規格化することによって測定ばらつきをなくすための校正処理を行った後に、前記諸特性の検査のための測定を前記電流印加手段及び前記磁気ヘッド測定装置を用いて行うことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。 - 記録用磁気ヘッドの磁界発生部分における諸特性を検査するための磁気ヘッド検査方法であって、
検査する磁界強度や周波数の校正を行うための校正用磁界発生源を用いて、前記記録用磁気ヘッドの近傍に一定の強度及び周波数の磁界を印加するステップと、
前記校正用磁界発生源によって磁界が印加される前記記録用磁気ヘッドの巻き線に対し、所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を電流印加手段により印加するステップと、
前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加によって前記記録用磁気ヘッドに生じる高周波磁界を測定するステップと、
前記校正用磁界発生源を用いて測定される測定信号を規格化することによって測定ばらつきをなくすための校正処理を行うステップと、
前記校正処理を行った後に、前記諸特性の検査のための測定を前記電流印加手段及び前記磁気ヘッド測定装置を用いて行うステップと
を有することを特徴とする磁気ヘッド検査方法。 - 前記記録用磁気ヘッドに一定の振幅を保つように設定された定電流を印加するステップと、
前記定電流の印加された前記記録用磁気ヘッドの電圧を測定するステップと
を更に有することを特徴とする請求項14記載の磁気ヘッド検査方法。 - 前記測定に用いられる高周波磁気力顕微鏡において、その測定信号の出力電圧のうち、所定の周波数を同期検波するステップを更に有することを特徴とする請求項14記載の磁気ヘッド検査方法。
- 前記測定に用いられる高周波磁気力顕微鏡において、それに使用する探針を交換するステップを更に有することを特徴とする請求項14記載の磁気ヘッド検査方法。
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