JP2692515B2 - 磁気抵抗効果ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
磁気抵抗効果ヘッドの検査方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
媒体から再生を行う磁気抵抗効果ヘッド（Ｍａｇｎｅｔ
ｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ、以下ＭＲヘッドと
称する）の検査方法及び装置に関する。
媒体から再生を行う磁気抵抗効果ヘッド（Ｍａｇｎｅｔ
ｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ、以下ＭＲヘッドと
称する）の検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク等の磁気媒体用の薄
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッ
ドが実用化され始めている。
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッ
ドが実用化され始めている。
【０００３】ＭＲヘッドは、パーマロイ等の強磁性体薄
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良
品が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイ
ズは、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっ
かかりながら移動することに起因するものであり、この
ようなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再
生動作が期待できない。このため、ＭＲヘッド製造時の
検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発
生しない良品であることを確認する必要がある。
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良
品が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイ
ズは、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっ
かかりながら移動することに起因するものであり、この
ようなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再
生動作が期待できない。このため、ＭＲヘッド製造時の
検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発
生しない良品であることを確認する必要がある。
【０００４】従来のこの種のノイズ検出方法としては、
ＭＲヘッドを単体として完成させた後、これを支持ばね
に取り付けて実際に磁気ディスク上を走らせ、その結
果、ＭＲヘッドから得られる出力電圧波形を測定するこ
とによってバルクハウゼンノイズの発生の有無及び出力
特性を評価していた。
ＭＲヘッドを単体として完成させた後、これを支持ばね
に取り付けて実際に磁気ディスク上を走らせ、その結
果、ＭＲヘッドから得られる出力電圧波形を測定するこ
とによってバルクハウゼンノイズの発生の有無及び出力
特性を評価していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な検査方法によると、完成させた後のＭＲヘッドでない
と検査不可能であるため、非常に手間がかかりしかも１
つのＭＲヘッドの検査に多大の時間を要することとな
り、効率の良い検査を行うことができなかった。ヘッド
を完成させる前に、そのヘッド用の薄膜材料自体からバ
ルクハウゼンノイズが出るかどうか検査する方法とし
て、非磁性基板上の磁性薄膜にリング型ヘッドのギャッ
プ部を接触させた状態で外部からこの磁性薄膜に直流又
は交流の磁界を印加し、リング型ヘッドから出るノイズ
状信号に基づいてその薄膜の特性評価を行う方法が公知
である（特開昭６０−６９８１０号公報）。しかしなが
らこの方法によると、リング型ヘッドを別個に用意しな
ければならないため、検査装置の構成が複雑となってし
まう。また、実際のＭＲヘッドとは異なるリング型ヘッ
ドからの出力信号を検出するものであるため、実際に完
成したヘッドに本当にバルクハウゼンノイズが発生する
かどうかという相関関係が不明であるから、正確な評価
方法として採用できない。
な検査方法によると、完成させた後のＭＲヘッドでない
と検査不可能であるため、非常に手間がかかりしかも１
つのＭＲヘッドの検査に多大の時間を要することとな
り、効率の良い検査を行うことができなかった。ヘッド
を完成させる前に、そのヘッド用の薄膜材料自体からバ
ルクハウゼンノイズが出るかどうか検査する方法とし
て、非磁性基板上の磁性薄膜にリング型ヘッドのギャッ
プ部を接触させた状態で外部からこの磁性薄膜に直流又
は交流の磁界を印加し、リング型ヘッドから出るノイズ
状信号に基づいてその薄膜の特性評価を行う方法が公知
である（特開昭６０−６９８１０号公報）。しかしなが
らこの方法によると、リング型ヘッドを別個に用意しな
ければならないため、検査装置の構成が複雑となってし
まう。また、実際のＭＲヘッドとは異なるリング型ヘッ
ドからの出力信号を検出するものであるため、実際に完
成したヘッドに本当にバルクハウゼンノイズが発生する
かどうかという相関関係が不明であるから、正確な評価
方法として採用できない。
【０００６】従って本発明の目的は、検査装置の構成を
簡単化することができ、しかも実際のＭＲヘッドに則し
た正確な検査結果を得ることができるＭＲヘッドの検査
方法及び装置を提供することにある。
簡単化することができ、しかも実際のＭＲヘッドに則し
た正確な検査結果を得ることができるＭＲヘッドの検査
方法及び装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ヘッド
ブロック上に配列されたギャップデプス加工後の複数の
ＭＲヘッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直
でありかつ正弦波状に変化する交番外部磁界を印加し、
この外部磁界の変化に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特
性を得るようにしたＭＲヘッドの検査方法が提供され
る。
ブロック上に配列されたギャップデプス加工後の複数の
ＭＲヘッドに、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直
でありかつ正弦波状に変化する交番外部磁界を印加し、
この外部磁界の変化に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特
性を得るようにしたＭＲヘッドの検査方法が提供され
る。
【０００８】さらに、本発明によれば、ヘッドブロック
上に配列されたギャップデプス加工後の複数のＭＲヘッ
ドの各々の出力電極に電気的に接触可能なプローブ手段
と、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直でありかつ
正弦波状に変化する交番外部磁界をヘッドブロックに印
加する手段と、外部磁界印加中の各ＭＲヘッドの出力電
圧をプローブ手段を介して受け取り、各ＭＲヘッドの外
部磁界の変化に対する電磁変換特性を測定する手段とを
備えたＭＲヘッドの検査装置が提供される。
上に配列されたギャップデプス加工後の複数のＭＲヘッ
ドの各々の出力電極に電気的に接触可能なプローブ手段
と、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直でありかつ
正弦波状に変化する交番外部磁界をヘッドブロックに印
加する手段と、外部磁界印加中の各ＭＲヘッドの出力電
圧をプローブ手段を介して受け取り、各ＭＲヘッドの外
部磁界の変化に対する電磁変換特性を測定する手段とを
備えたＭＲヘッドの検査装置が提供される。
【０００９】
【作用】多数のＭＲ素子をウエハ上に形成した後、この
ウエハをそれぞれが複数のＭＲ素子を含むように列単位
で切断してバー状のヘッドブロックを取り出す。このヘ
ッドブロックにギャップデプスの研磨加工を行って各Ｍ
Ｒヘッドが最終的な出力特性を得るようにする。この状
態でヘッドブロックに外部磁界を印加する。この場合に
ＭＲヘッドに印加される外部磁界は、ＭＲヘッドが実際
に磁気媒体上を走行しているときに与えられる磁界と同
じ方向に設定されしかも正弦波状に変化せしめられてい
る。ＭＲヘッドの出力電極には、プローブ電極が順次接
触せしめられ、これによって各ＭＲヘッドにセンス電流
を供給すると共に外部磁界の変化に対する電磁変換特
性、即ちＭＲループ及び出力特性が次々に測定される。
ＭＲループからは、バルクハウゼンノイズの発生の有無
を容易に知ることができることは明らかである。
ウエハをそれぞれが複数のＭＲ素子を含むように列単位
で切断してバー状のヘッドブロックを取り出す。このヘ
ッドブロックにギャップデプスの研磨加工を行って各Ｍ
Ｒヘッドが最終的な出力特性を得るようにする。この状
態でヘッドブロックに外部磁界を印加する。この場合に
ＭＲヘッドに印加される外部磁界は、ＭＲヘッドが実際
に磁気媒体上を走行しているときに与えられる磁界と同
じ方向に設定されしかも正弦波状に変化せしめられてい
る。ＭＲヘッドの出力電極には、プローブ電極が順次接
触せしめられ、これによって各ＭＲヘッドにセンス電流
を供給すると共に外部磁界の変化に対する電磁変換特
性、即ちＭＲループ及び出力特性が次々に測定される。
ＭＲループからは、バルクハウゼンノイズの発生の有無
を容易に知ることができることは明らかである。
【００１０】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の一実施例であるＭＲヘッ
ドの検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図であ
る。
ドの検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図であ
る。
【００１２】同図において、１０はＭＲヘッドに印加す
る外部磁界を発生するためのヘルムホルツコイル（空心
コイル）であり、本実施例ではその長軸が上下方向に平
行となるように設置されている。このヘルムホルツコイ
ル１０には、ヘルムホルツコイル電源１１が電気的に接
続されており、制御用コンピュータ１２から与えられる
指示によってその駆動が制御される。ヘルムホルツコイ
ル１０内には、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３の載置台１
３ａと、その載置台１３ａ上に一時的に固定されたヘッ
ドブロック１４とが設けられている。
る外部磁界を発生するためのヘルムホルツコイル（空心
コイル）であり、本実施例ではその長軸が上下方向に平
行となるように設置されている。このヘルムホルツコイ
ル１０には、ヘルムホルツコイル電源１１が電気的に接
続されており、制御用コンピュータ１２から与えられる
指示によってその駆動が制御される。ヘルムホルツコイ
ル１０内には、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３の載置台１
３ａと、その載置台１３ａ上に一時的に固定されたヘッ
ドブロック１４とが設けられている。
【００１３】ヘッドブロック１４は、ウエハ上に多数の
ＭＲヘッド素子を薄膜技術によって形成した後、このウ
エハをそれぞれが複数のＭＲヘッド素子を含むように列
単位でバー状に切断し、その空気ベアリング面（ＡＢ
Ｓ）１４ａを研磨してギャップデプス加工を終えたもの
である。従って、ヘッドブロック１４には、単体に切り
離される前の状態の複数のＭＲヘッド素子が存在してい
る。
ＭＲヘッド素子を薄膜技術によって形成した後、このウ
エハをそれぞれが複数のＭＲヘッド素子を含むように列
単位でバー状に切断し、その空気ベアリング面（ＡＢ
Ｓ）１４ａを研磨してギャップデプス加工を終えたもの
である。従って、ヘッドブロック１４には、単体に切り
離される前の状態の複数のＭＲヘッド素子が存在してい
る。
【００１４】プローブピン１５は、ヘッドブロック１４
における各ＭＲヘッドの出力電極に電気的に接触可能に
固定して設けられており、このプローブピン１５と各出
力電極とは、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３及びこれを制
御するＸ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６によって位置合
わせされる。プローブピン１５と各出力電極との位置合
わせは、この部分を光学系１７を介して撮像するＣＣＤ
撮像器１８及びこの像を表示するＴＶモニタ１９によっ
て監視可能である。
における各ＭＲヘッドの出力電極に電気的に接触可能に
固定して設けられており、このプローブピン１５と各出
力電極とは、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３及びこれを制
御するＸ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６によって位置合
わせされる。プローブピン１５と各出力電極との位置合
わせは、この部分を光学系１７を介して撮像するＣＣＤ
撮像器１８及びこの像を表示するＴＶモニタ１９によっ
て監視可能である。
【００１５】定電流電源２０は、プローブピン１５を介
して電気的に接続されたＭＲヘッドにセンス電流を供給
するためにこのプローブピン１５に接続されている。プ
ローブピン１５には、さらに、ＭＲヘッドからの出力電
圧を表示するためのオシロスコープ２１とこの出力電圧
を受け取って解析を行う制御用コンピュータ１２とが接
続されている。
して電気的に接続されたＭＲヘッドにセンス電流を供給
するためにこのプローブピン１５に接続されている。プ
ローブピン１５には、さらに、ＭＲヘッドからの出力電
圧を表示するためのオシロスコープ２１とこの出力電圧
を受け取って解析を行う制御用コンピュータ１２とが接
続されている。
【００１６】ヘルムホルツコイル電源１１、Ｘ−Ｙ−Ｚ
−θコントローラ１６、及び定電流電源２０は、コンピ
ュータ１２に接続されており、このコンピュータからの
指示によって所定の制御動作を行う。
−θコントローラ１６、及び定電流電源２０は、コンピ
ュータ１２に接続されており、このコンピュータからの
指示によって所定の制御動作を行う。
【００１７】図２は、コンピュータ１２の制御プログラ
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いてＭＲ
ヘッドの検査方法について説明する。
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いてＭＲ
ヘッドの検査方法について説明する。
【００１８】まずステップＳ１において、Ｘ−Ｙ−Ｚ−
θテーブル１３の載置台１３ａ上に固定されているヘッ
ドブロック１４上の検査すべきＭＲヘッドの出力端子と
プローブピン１５との位置合わせを行う。この位置合わ
せには、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６へ指示するこ
とによってＸ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３を移動させる周
知の位置合わせ技術を利用する。
θテーブル１３の載置台１３ａ上に固定されているヘッ
ドブロック１４上の検査すべきＭＲヘッドの出力端子と
プローブピン１５との位置合わせを行う。この位置合わ
せには、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１６へ指示するこ
とによってＸ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１３を移動させる周
知の位置合わせ技術を利用する。
【００１９】次いでステップＳ２において、ヘッドブロ
ック１４への交番外部磁界の強さ及び周波数を設定しそ
の印加を開始する。周知のごとく、ヘルムホルツコイル
１０は、印加される電流に比例した強さの磁界をその長
軸方向に発生するから、これはその駆動電流の大きさ及
び周波数をヘルムホルツコイル電源１１に指示すればよ
い。駆動電流は、正弦波状に変化する交流であり、その
周波数は商用周波数以上であればよくマイクロ波帯であ
ってもよい。
ック１４への交番外部磁界の強さ及び周波数を設定しそ
の印加を開始する。周知のごとく、ヘルムホルツコイル
１０は、印加される電流に比例した強さの磁界をその長
軸方向に発生するから、これはその駆動電流の大きさ及
び周波数をヘルムホルツコイル電源１１に指示すればよ
い。駆動電流は、正弦波状に変化する交流であり、その
周波数は商用周波数以上であればよくマイクロ波帯であ
ってもよい。
【００２０】図３は、ヘッドブロック１４に印加される
交番外部磁界を説明する図である。この外部磁界の方向
は、ＭＲヘッドが実際に磁気媒体上を走行しているとき
に与えられる磁界と同じ方向、即ちヘッドブロック１４
のＡＢＳ１４ａに対して垂直方向である。また、外部磁
界の波形は、同図の３０に示すごとく正負に正弦波状に
変化する交流波形である。外部磁界の強さは、磁気媒体
からＭＲヘッドに実際に印加される磁界（数十Ｏｅ）程
度であることが好ましいが、１〜５００Ｏｅの磁界を印
加することも可能である。なお、図３において、３１は
ＭＲヘッドの出力電極であり、検査すべきＭＲヘッドの
出力電極３１にプローブピン１５が接触している状態を
表している。
交番外部磁界を説明する図である。この外部磁界の方向
は、ＭＲヘッドが実際に磁気媒体上を走行しているとき
に与えられる磁界と同じ方向、即ちヘッドブロック１４
のＡＢＳ１４ａに対して垂直方向である。また、外部磁
界の波形は、同図の３０に示すごとく正負に正弦波状に
変化する交流波形である。外部磁界の強さは、磁気媒体
からＭＲヘッドに実際に印加される磁界（数十Ｏｅ）程
度であることが好ましいが、１〜５００Ｏｅの磁界を印
加することも可能である。なお、図３において、３１は
ＭＲヘッドの出力電極であり、検査すべきＭＲヘッドの
出力電極３１にプローブピン１５が接触している状態を
表している。
【００２１】次いでステップＳ３において、定電流電源
２０に指示し、検査すべきＭＲヘッドにセンス電流を印
加する。センス電流の大きさは、あらかじめ定めた固定
値であってもよいし、適宜変化させてもよい。
２０に指示し、検査すべきＭＲヘッドにセンス電流を印
加する。センス電流の大きさは、あらかじめ定めた固定
値であってもよいし、適宜変化させてもよい。
【００２２】次のステップＳ４では、上述のごとく交番
変化する外部磁界とセンス電流とを印加した状態でのＭ
Ｒヘッドの出力電極からの電圧をＡ／Ｄ変換し、データ
として取り込む。
変化する外部磁界とセンス電流とを印加した状態でのＭ
Ｒヘッドの出力電極からの電圧をＡ／Ｄ変換し、データ
として取り込む。
【００２３】次いでステップＳ５において、入力データ
の解析を行う。入力データとしては、交流の磁界を少な
くとも１周期分印加したときの出力電圧変化を表すもの
を用意する。コンピュータ１２は、この入力データから
ＭＲループの波形の連続性及び波形の傾きを計算してそ
のＭＲヘッドのバルクハウゼンノイズの度合及び出力の
大きさを求める。
の解析を行う。入力データとしては、交流の磁界を少な
くとも１周期分印加したときの出力電圧変化を表すもの
を用意する。コンピュータ１２は、この入力データから
ＭＲループの波形の連続性及び波形の傾きを計算してそ
のＭＲヘッドのバルクハウゼンノイズの度合及び出力の
大きさを求める。
【００２４】ステップＳ６に示すように、上述のデータ
の取り込み（ステップＳ４）及び解析（ステップＳ５）
の処理を必要に応じてｎ回（ｎは整数）実行する。ま
た、ステップＳ７に示すように、上述のセンス電流の設
定（ステップＳ３）、データの取り込み（ステップＳ
４）及び解析（ステップＳ５）の処理を必要に応じてｍ
回（ｍは整数）実行する。
の取り込み（ステップＳ４）及び解析（ステップＳ５）
の処理を必要に応じてｎ回（ｎは整数）実行する。ま
た、ステップＳ７に示すように、上述のセンス電流の設
定（ステップＳ３）、データの取り込み（ステップＳ
４）及び解析（ステップＳ５）の処理を必要に応じてｍ
回（ｍは整数）実行する。
【００２５】次いで、ステップＳ８において、バルクハ
ウゼンノイズ発生の有無による良品、不良品の判定を行
う。
ウゼンノイズ発生の有無による良品、不良品の判定を行
う。
【００２６】図４は、外部磁界（Ｈ）の変化に対するヘ
ッド出力電圧（Ｖ）特性、即ちＭＲループ特性を表す図
である。
ッド出力電圧（Ｖ）特性、即ちＭＲループ特性を表す図
である。
【００２７】同図（Ａ）に示すごとく、バルクハウゼン
ノイズ発生のない良品の場合は、ＭＲループが広がって
おらずしかも連続的に滑らかに変化するループとなる。
しかしながら、同図（Ｂ）に示すごとく、バルクハウゼ
ンノイズが発生している場合は、ＭＲループが広がって
おり、不連続点が生じてしまう。ステップＳ８では、ス
テップＳ５で解析した不連続点の有無等からバルクハウ
ゼンノイズ発生の有無を知って評価を行う。
ノイズ発生のない良品の場合は、ＭＲループが広がって
おらずしかも連続的に滑らかに変化するループとなる。
しかしながら、同図（Ｂ）に示すごとく、バルクハウゼ
ンノイズが発生している場合は、ＭＲループが広がって
おり、不連続点が生じてしまう。ステップＳ８では、ス
テップＳ５で解析した不連続点の有無等からバルクハウ
ゼンノイズ発生の有無を知って評価を行う。
【００２８】このように本実施例によれば、ヘッドブロ
ック１４というピース状態でＭＲループ特性を観測可能
であるため、従来のごとくＭＲヘッド単体に完成させ浮
上させて特性評価する必要がなく、工程数を大幅に短縮
可能である。また、ＭＲループから出力の大きさやバル
クハウゼンノイズの定量化がコンピュータで瞬時に測
定、評価できるため、今まで定量化が困難であり判断の
難しかったノイズの定量化が可能となった。しかもその
評価、選別が非常に短時間に行える。
ック１４というピース状態でＭＲループ特性を観測可能
であるため、従来のごとくＭＲヘッド単体に完成させ浮
上させて特性評価する必要がなく、工程数を大幅に短縮
可能である。また、ＭＲループから出力の大きさやバル
クハウゼンノイズの定量化がコンピュータで瞬時に測
定、評価できるため、今まで定量化が困難であり判断の
難しかったノイズの定量化が可能となった。しかもその
評価、選別が非常に短時間に行える。
【００２９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、ＭＲヘッドの検査方法として、ヘッドブロック上に
配列されたギャップデプス加工後の複数のＭＲヘッド
に、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直でありかつ
正弦波状に変化する交番外部磁界を印加し、この外部磁
界の変化に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特性を得るよ
うにしており、またＭＲヘッドの検査装置として、ヘッ
ドブロック上に配列されたギャップデプス加工後の複数
のＭＲヘッドの各々の出力電極に電気的に接触可能なプ
ローブ手段と、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直
でありかつ正弦波状に変化する交番外部磁界をヘッドブ
ロックに印加する手段と、外部磁界印加中の各ＭＲヘッ
ドの出力電圧をプローブ手段を介して受け取り、各ＭＲ
ヘッドの外部磁界の変化に対する電磁変換特性を測定す
る手段とを備えている。このようにＭＲヘッドを単体と
して完成させる前に検査及び測定処理が行えるから工程
数の大幅な短縮化につながることはもちろんのこと、検
査装置の構成を簡単化することができ、しかも実際のＭ
Ｒヘッドに則した正確な検査結果を得ることができる。
ば、ＭＲヘッドの検査方法として、ヘッドブロック上に
配列されたギャップデプス加工後の複数のＭＲヘッド
に、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直でありかつ
正弦波状に変化する交番外部磁界を印加し、この外部磁
界の変化に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特性を得るよ
うにしており、またＭＲヘッドの検査装置として、ヘッ
ドブロック上に配列されたギャップデプス加工後の複数
のＭＲヘッドの各々の出力電極に電気的に接触可能なプ
ローブ手段と、これらヘッドの空気ベアリング面に垂直
でありかつ正弦波状に変化する交番外部磁界をヘッドブ
ロックに印加する手段と、外部磁界印加中の各ＭＲヘッ
ドの出力電圧をプローブ手段を介して受け取り、各ＭＲ
ヘッドの外部磁界の変化に対する電磁変換特性を測定す
る手段とを備えている。このようにＭＲヘッドを単体と
して完成させる前に検査及び測定処理が行えるから工程
数の大幅な短縮化につながることはもちろんのこと、検
査装置の構成を簡単化することができ、しかも実際のＭ
Ｒヘッドに則した正確な検査結果を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例であるＭＲヘッドの検出装置
の回路構成を概略的に示すブロック図である。
の回路構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図１の実施例におけるコンピュータの制御プロ
グラムを表すフローチャートである。
グラムを表すフローチャートである。
【図３】図１の実施例において、ヘッドブロックに印加
される交番外部磁界を説明する図である。
される交番外部磁界を説明する図である。
【図４】外部磁界（Ｈ）の変化に対するヘッド出力電圧
（Ｖ）特性を表す図である。
（Ｖ）特性を表す図である。
１０ ヘルムホルツコイル １１ ヘルムホルツコイル電源 １２ 制御用コンピュータ １３ Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル １３ａ 載置台 １４ ヘッドブロック １４ａ 空気ベアリング面 １５ プローブピン １６ Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ １７ 光学系 １８ ＣＣＤ撮像器 １９ ＴＶモニタ ２０ 定電流電源 ２１ オシロスコープ
Claims (2)
- 【請求項１】 ヘッドブロック上に配列されたギャップ
デプス加工後の複数の磁気抵抗効果ヘッドに、該ヘッド
の空気ベアリング面に垂直でありかつ正弦波状に変化す
る交番外部磁界を印加し、該外部磁界の変化に対する該
各磁気抵抗効果ヘッドの電磁変換特性を得るようにした
ことを特徴とする磁気抵抗効果ヘッドの検査方法。 - 【請求項２】 ヘッドブロック上に配列されたギャップ
デプス加工後の複数の磁気抵抗効果ヘッドの各々の出力
電極に電気的に接触可能なプローブ手段と、該ヘッドの
空気ベアリング面に垂直でありかつ正弦波状に変化する
交番外部磁界を該ヘッドブロックに印加する手段と、前
記外部磁界印加中の前記各磁気抵抗効果ヘッドの出力電
圧を前記プローブ手段を介して受け取り、該各磁気抵抗
効果ヘッドの外部磁界変化に対する電磁変換特性を測定
する手段とを備えたことを特徴とする磁気抵抗効果ヘッ
ドの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31928792A JP2692515B2 (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 磁気抵抗効果ヘッドの検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31928792A JP2692515B2 (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 磁気抵抗効果ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06150264A JPH06150264A (ja) | 1994-05-31 |
| JP2692515B2 true JP2692515B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=18108527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31928792A Expired - Fee Related JP2692515B2 (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 磁気抵抗効果ヘッドの検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2692515B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2674571B2 (ja) * | 1995-06-01 | 1997-11-12 | ティーディーケイ株式会社 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
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