JP2783087B2 - 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置Info
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- JP2783087B2 JP2783087B2 JP4257551A JP25755192A JP2783087B2 JP 2783087 B2 JP2783087 B2 JP 2783087B2 JP 4257551 A JP4257551 A JP 4257551A JP 25755192 A JP25755192 A JP 25755192A JP 2783087 B2 JP2783087 B2 JP 2783087B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
媒体から再生を行う磁気抵抗ヘッド（Ｍａｇｎｅｔｏ
Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ、以下ＭＲヘッドと称す
る）の検査方法及び装置に関する。
媒体から再生を行う磁気抵抗ヘッド（Ｍａｇｎｅｔｏ
Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ、以下ＭＲヘッドと称す
る）の検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク等の磁気媒体用の薄
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッ
ドが実用化され始めている。
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッ
ドが実用化され始めている。
【０００３】ＭＲヘッドは、パーマロイ等の強磁性体薄
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良
品が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイ
ズは、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっ
かかりながら移動することに起因するものであり、この
ようなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再
生動作が期待できない。このため、ＭＲヘッド製造時の
検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発
生しない良品であることを確認する必要がある。
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良
品が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイ
ズは、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっ
かかりながら移動することに起因するものであり、この
ようなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再
生動作が期待できない。このため、ＭＲヘッド製造時の
検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発
生しない良品であることを確認する必要がある。
【０００４】しかしながら、バルクハウゼンノイズは、
出たり出なかったりランダムに発生するものであり定量
化することができないので、これを検出することは非常
に困難である。ヘッド用の薄膜材料自体からバルクハウ
ゼンノイズが出るかどうか検査する方法としては、非磁
性基板上の磁性薄膜にリング型ヘッドのギャップ部を接
触させた状態で外部からこの磁性薄膜に直流又は交流の
磁界を印加し、リング型ヘッドから出るノイズ状信号に
基づいてその薄膜の特性評価を行う方法が公知である
（特開昭６０−６９８１０号公報）。しかしながらこの
方法は、ＭＲヘッドを形成する前の薄膜材料の状態で行
うものであるため、実際に完成したヘッドに本当にバル
クハウゼンノイズが発生するかどうかという相関関係が
不明であるから、正確な評価方法として採用できない。
しかもこの公知方法によると、リング型ヘッドや外部か
ら磁界を印加する手段を用意しなければならないため、
検査装置が複雑となってしまう。
出たり出なかったりランダムに発生するものであり定量
化することができないので、これを検出することは非常
に困難である。ヘッド用の薄膜材料自体からバルクハウ
ゼンノイズが出るかどうか検査する方法としては、非磁
性基板上の磁性薄膜にリング型ヘッドのギャップ部を接
触させた状態で外部からこの磁性薄膜に直流又は交流の
磁界を印加し、リング型ヘッドから出るノイズ状信号に
基づいてその薄膜の特性評価を行う方法が公知である
（特開昭６０−６９８１０号公報）。しかしながらこの
方法は、ＭＲヘッドを形成する前の薄膜材料の状態で行
うものであるため、実際に完成したヘッドに本当にバル
クハウゼンノイズが発生するかどうかという相関関係が
不明であるから、正確な評価方法として採用できない。
しかもこの公知方法によると、リング型ヘッドや外部か
ら磁界を印加する手段を用意しなければならないため、
検査装置が複雑となってしまう。
【０００５】このため、完成したＭＲヘッド自体につい
てバルクハウゼンノイズが発生するかどうか検査できる
ことがどうしても必要となる。従来のこの種のノイズ検
出方法としては、完成したＭＲヘッドに一定のセンス電
流を流した状態でその出力電圧を何度も検出することに
よりピークシフト量やアシンメトリ等の測定項目につい
て膨大な量のデータを得、その分布を取ってバルクハウ
ゼンノイズが発生しているかどうか評価することが行わ
れていた。
てバルクハウゼンノイズが発生するかどうか検査できる
ことがどうしても必要となる。従来のこの種のノイズ検
出方法としては、完成したＭＲヘッドに一定のセンス電
流を流した状態でその出力電圧を何度も検出することに
よりピークシフト量やアシンメトリ等の測定項目につい
て膨大な量のデータを得、その分布を取ってバルクハウ
ゼンノイズが発生しているかどうか評価することが行わ
れていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な検査方法によると、膨大な量のデータを必要とするの
で、１つのＭＲヘッドの検査に１〜数分程度要すること
となり、効率の良い検査を行うことができなかった。
な検査方法によると、膨大な量のデータを必要とするの
で、１つのＭＲヘッドの検査に１〜数分程度要すること
となり、効率の良い検査を行うことができなかった。
【０００７】従って本発明は、検査処理が簡単であり、
しかも検査時間を大幅に低減させることができるＭＲヘ
ッドの検査方法及び装置を提供するものである。
しかも検査時間を大幅に低減させることができるＭＲヘ
ッドの検査方法及び装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、検査す
べきＭＲヘッドにセンス電流を流してこのＭＲヘッドか
ら出力電圧を受け取り、受け取った出力電圧に基づいて
所望の項目の測定結果を得ることによりＭＲヘッドの検
査を行う場合に、センス電流の値を徐々に変化させてＭ
Ｒヘッドから出力電圧を得るようにしたＭＲヘッドの検
査方法が提供される。さらに、本発明によれば、検査す
べきＭＲヘッドにセンス電流を流すためのセンス電流供
給手段と、このＭＲヘッドからの出力電圧に基づいて所
望の項目の測定結果を得る測定手段とを備えており、上
述のセンス電流供給手段がセンス電流の値を徐々に変化
させるように構成されているＭＲヘッドの検査装置が提
供される。
べきＭＲヘッドにセンス電流を流してこのＭＲヘッドか
ら出力電圧を受け取り、受け取った出力電圧に基づいて
所望の項目の測定結果を得ることによりＭＲヘッドの検
査を行う場合に、センス電流の値を徐々に変化させてＭ
Ｒヘッドから出力電圧を得るようにしたＭＲヘッドの検
査方法が提供される。さらに、本発明によれば、検査す
べきＭＲヘッドにセンス電流を流すためのセンス電流供
給手段と、このＭＲヘッドからの出力電圧に基づいて所
望の項目の測定結果を得る測定手段とを備えており、上
述のセンス電流供給手段がセンス電流の値を徐々に変化
させるように構成されているＭＲヘッドの検査装置が提
供される。
【０００９】
【作用】ＭＲヘッドに供給されるセンス電流を徐々に変
化させながらこのＭＲヘッドのＴＡＡ（トラックアベレ
ージアンプリチュード、出力）、ＰＷ50（半値幅）、ア
シンメトリ等の所望の項目の測定結果を得ているので、
バルクハウゼンノイズが生じ易いセンス電流領域を全て
カバーすることとなり、ノイズ発生を極めて容易に検出
することが可能となる。
化させながらこのＭＲヘッドのＴＡＡ（トラックアベレ
ージアンプリチュード、出力）、ＰＷ50（半値幅）、ア
シンメトリ等の所望の項目の測定結果を得ているので、
バルクハウゼンノイズが生じ易いセンス電流領域を全て
カバーすることとなり、ノイズ発生を極めて容易に検出
することが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【００１１】図２は、本発明の一実施例であるＭＲヘッ
ド用検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図であ
る。
ド用検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図であ
る。
【００１２】同図において、２０は検査すべきＭＲヘッ
ドを示しており、このＭＲヘッド２０の２つの電極には
通常のヘッドリード／ライトＩＣ２１が接続されてい
る。ヘッドリード／ライトＩＣ２１は、可変のセンス電
流を供給するために設けられており、例えばシリコンシ
ステムズ社（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｎ
ｃ．）製のＳＳＩ２０２０Ｒが本実施例では用いられて
いる。
ドを示しており、このＭＲヘッド２０の２つの電極には
通常のヘッドリード／ライトＩＣ２１が接続されてい
る。ヘッドリード／ライトＩＣ２１は、可変のセンス電
流を供給するために設けられており、例えばシリコンシ
ステムズ社（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｎ
ｃ．）製のＳＳＩ２０２０Ｒが本実施例では用いられて
いる。
【００１３】ヘッドリード／ライトＩＣ２１のチップセ
レクト端子ＣＳ（反転）及びリード／ライト選択端子Ｒ
／Ｗ（Ｗは反転）は接地されており、このため、このＩ
Ｃ２１は書き込み電流を供給するモード、即ち、センス
電流を供給するモードに選択されている。また、ヘッド
セレクト端子ＨＳ０、ＨＳ１は接地されており、従って
Ｈ０Ｘ、Ｈ０Ｙ端子をＭＲヘッド２０の２つの電極に接
続することにより、センス電流が供給可能となってい
る。
レクト端子ＣＳ（反転）及びリード／ライト選択端子Ｒ
／Ｗ（Ｗは反転）は接地されており、このため、このＩ
Ｃ２１は書き込み電流を供給するモード、即ち、センス
電流を供給するモードに選択されている。また、ヘッド
セレクト端子ＨＳ０、ＨＳ１は接地されており、従って
Ｈ０Ｘ、Ｈ０Ｙ端子をＭＲヘッド２０の２つの電極に接
続することにより、センス電流が供給可能となってい
る。
【００１４】ＭＲヘッド２０の２つの電極には、ＡＣカ
プラ２２並びにヘッドアンプ２３及び２４を介して測定
ユニット２５がさらに接続されている。測定ユニット２
５は、磁気ヘッドの単体レベルにおける電磁気変換特性
及びエラー特性を評価可能な装置であり、本実施例では
例えばグジック（ＧＵＺＩＫ）社製のリード・ライトア
ナライザーＲＷＡ−３０１が用いられている。
プラ２２並びにヘッドアンプ２３及び２４を介して測定
ユニット２５がさらに接続されている。測定ユニット２
５は、磁気ヘッドの単体レベルにおける電磁気変換特性
及びエラー特性を評価可能な装置であり、本実施例では
例えばグジック（ＧＵＺＩＫ）社製のリード・ライトア
ナライザーＲＷＡ−３０１が用いられている。
【００１５】測定ユニット２５は、磁気ヘッドのＴＡＡ
（トラックアベレージアンプリチュード、出力）、ＰＷ
50（半値幅）、アシンメトリ（＝｜Ｔ1 −Ｔ2 ｜、ただ
しＴ1 は出力電圧の正のピークから次の負のピークまで
の半周期、Ｔ2 はその負のピークから次の正のピークま
での半周期）、アンプリチュードアシンメトリ（＝（Ｖ
1 −Ｖ2 ）／（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）、ただしＶ1 は出力電圧の
正のピーク値、Ｖ2 はその負のピーク値）、分解能等の
所望の項目を測定でき、その結果を表示することも可能
である。
（トラックアベレージアンプリチュード、出力）、ＰＷ
50（半値幅）、アシンメトリ（＝｜Ｔ1 −Ｔ2 ｜、ただ
しＴ1 は出力電圧の正のピークから次の負のピークまで
の半周期、Ｔ2 はその負のピークから次の正のピークま
での半周期）、アンプリチュードアシンメトリ（＝（Ｖ
1 −Ｖ2 ）／（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）、ただしＶ1 は出力電圧の
正のピーク値、Ｖ2 はその負のピーク値）、分解能等の
所望の項目を測定でき、その結果を表示することも可能
である。
【００１６】測定ユニット２５の測定結果である種々の
デジタルデータは、この測定ユニットに接続されたコン
ピュータ２６へ送られる。このコンピュータ２６は、上
述したリード・ライトアナライザーＲＷＡ−３０１の一
部を用いてもよいし、これとは全く別個に設けたもので
あってもよい。
デジタルデータは、この測定ユニットに接続されたコン
ピュータ２６へ送られる。このコンピュータ２６は、上
述したリード・ライトアナライザーＲＷＡ−３０１の一
部を用いてもよいし、これとは全く別個に設けたもので
あってもよい。
【００１７】コンピュータ２６の所定ビットの出力端子
が、Ｄ／Ａ変換器２７を介してヘッドリード／ライトＩ
Ｃ２１の書き込み電流調整端子ＷＣに接続されている。
この書き込み電流調整端子ＷＣは、書き込み電流の調整
を行うために設けられている端子である。さらに、コン
ピュータ２６の１ビットの出力端子がＩＣ２１の書き込
み電流の方向を変えるためのライトデータ入力端子ＷＤ
Ｉに接続されている。
が、Ｄ／Ａ変換器２７を介してヘッドリード／ライトＩ
Ｃ２１の書き込み電流調整端子ＷＣに接続されている。
この書き込み電流調整端子ＷＣは、書き込み電流の調整
を行うために設けられている端子である。さらに、コン
ピュータ２６の１ビットの出力端子がＩＣ２１の書き込
み電流の方向を変えるためのライトデータ入力端子ＷＤ
Ｉに接続されている。
【００１８】図１は、コンピュータ２６の制御プログラ
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いてＭＲ
ヘッド２０の検査方法について説明する。
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いてＭＲ
ヘッド２０の検査方法について説明する。
【００１９】まずステップＳ１において、ＭＲヘッド２
０に印加するセンス電流の方向が初期設定される。この
センス電流の方向は、ＩＣ２１のライトデータ入力端子
ＷＤＩへ送る１ビットのライトデータを「０」又は
「１」に設定することによって制御される。ステップＳ
１では、さらに、センス電流に対応するデータＩS がＩ
S←０ｍＡに初期化され、このセンス電流データＩS の
最大値ＩSMAXが所定値、例えばＩSMAX←１５〜２０ｍＡ
程度の一定値に初期設定される。このセンス電流データ
ＩS は、所定のタイミング毎にＤ／Ａ変換器２７へ出力
され直流電圧に変換されてＩＣ２１の書き込み電流調整
端子ＷＣへ印加される。その結果、ＭＲヘッド２０に印
加されるセンス電流は、センス電流データＩS に対応し
た値となる。
０に印加するセンス電流の方向が初期設定される。この
センス電流の方向は、ＩＣ２１のライトデータ入力端子
ＷＤＩへ送る１ビットのライトデータを「０」又は
「１」に設定することによって制御される。ステップＳ
１では、さらに、センス電流に対応するデータＩS がＩ
S←０ｍＡに初期化され、このセンス電流データＩS の
最大値ＩSMAXが所定値、例えばＩSMAX←１５〜２０ｍＡ
程度の一定値に初期設定される。このセンス電流データ
ＩS は、所定のタイミング毎にＤ／Ａ変換器２７へ出力
され直流電圧に変換されてＩＣ２１の書き込み電流調整
端子ＷＣへ印加される。その結果、ＭＲヘッド２０に印
加されるセンス電流は、センス電流データＩS に対応し
た値となる。
【００２０】ステップＳ２においては、センス電流デー
タＩS がその最大値ＩSMAX以下であるかどうか判別さ
れ、ＩS ≦ＩSMAXの場合のみステップＳ３へ進む。ステ
ップＳ３ではセンス電流データＩS が１ｍＡだけ増大せ
しめられ、次のステップＳ４ではそのセンス電流におけ
る試験項目、例えばＴＡＡの測定が行われる。
タＩS がその最大値ＩSMAX以下であるかどうか判別さ
れ、ＩS ≦ＩSMAXの場合のみステップＳ３へ進む。ステ
ップＳ３ではセンス電流データＩS が１ｍＡだけ増大せ
しめられ、次のステップＳ４ではそのセンス電流におけ
る試験項目、例えばＴＡＡの測定が行われる。
【００２１】ステップＳ２において、ＩS がＩSMAXを越
えたと判別すると、プログラムはステップＳ５へ進み、
測定結果データの集計、表示等が行われてこのＭＲヘッ
ドに関するこの試験項目の検査が終了する。
えたと判別すると、プログラムはステップＳ５へ進み、
測定結果データの集計、表示等が行われてこのＭＲヘッ
ドに関するこの試験項目の検査が終了する。
【００２２】図３は、このようにセンス電流を徐々に変
化させて測定したＭＲヘッド２０のＴＡＡ特性を表す図
である。
化させて測定したＭＲヘッド２０のＴＡＡ特性を表す図
である。
【００２３】同図の破線３０に示すように、ＭＲヘッド
２０が良品である場合は、センス電流の変化に伴ってＴ
ＡＡが一次関数的に変化し、センス電流がある値を越え
ると飽和する。しかしながら、ＭＲヘッド２０がバルク
ハウゼンノイズを発生する不良品である場合は、同図の
実線３１に示すように、センス電流を変化していく途中
でバルクハウゼンノイズが発生しＴＡＡが乱れてしまう
ので、良品、不良品の判別が容易に行えることとなる。
２０が良品である場合は、センス電流の変化に伴ってＴ
ＡＡが一次関数的に変化し、センス電流がある値を越え
ると飽和する。しかしながら、ＭＲヘッド２０がバルク
ハウゼンノイズを発生する不良品である場合は、同図の
実線３１に示すように、センス電流を変化していく途中
でバルクハウゼンノイズが発生しＴＡＡが乱れてしまう
ので、良品、不良品の判別が容易に行えることとなる。
【００２４】バルクハウゼンノイズは、センス電流があ
る一定の値のときに比較的発生し易いが必ずしもこの領
域で生じるとは限らない。しかしながら、本実施例のご
とくセンス電流を変化させてＴＡＡを測定すれば、バル
クハウゼンノイズの発生を簡単にかつ短時間に確実に検
知でき、しかも電流可変回路を新たに設けるだけでよい
ため検査装置の構成は複雑とならない。
る一定の値のときに比較的発生し易いが必ずしもこの領
域で生じるとは限らない。しかしながら、本実施例のご
とくセンス電流を変化させてＴＡＡを測定すれば、バル
クハウゼンノイズの発生を簡単にかつ短時間に確実に検
知でき、しかも電流可変回路を新たに設けるだけでよい
ため検査装置の構成は複雑とならない。
【００２５】図４は、センス電流を徐々に変化させて測
定したＭＲヘッド２０のＰＷ50特性を表す図である。
定したＭＲヘッド２０のＰＷ50特性を表す図である。
【００２６】ＰＷ50特性を測定しても、ＭＲヘッド２０
がバルクハウゼンノイズを発生する不良品である場合
は、センス電流を変化していく途中でバルクハウゼンノ
イズによるＰＷ50の乱れが発生するので、良品、不良品
の判別が容易に行えることとなる。
がバルクハウゼンノイズを発生する不良品である場合
は、センス電流を変化していく途中でバルクハウゼンノ
イズによるＰＷ50の乱れが発生するので、良品、不良品
の判別が容易に行えることとなる。
【００２７】図５は、センス電流を徐々に変化させて測
定したＭＲヘッド２０のアンプリチュードアシンメトリ
特性を表す図である。
定したＭＲヘッド２０のアンプリチュードアシンメトリ
特性を表す図である。
【００２８】アンプリチュードアシンメトリ特性を測定
しても、ＭＲヘッド２０がバルクハウゼンノイズを発生
する不良品である場合は、センス電流を変化していく途
中でバルクハウゼンノイズによるアンプリチュードアシ
ンメトリの乱れが同様に発生するので、良品、不良品の
判別が容易に行えることとなる。
しても、ＭＲヘッド２０がバルクハウゼンノイズを発生
する不良品である場合は、センス電流を変化していく途
中でバルクハウゼンノイズによるアンプリチュードアシ
ンメトリの乱れが同様に発生するので、良品、不良品の
判別が容易に行えることとなる。
【００２９】ＴＡＡ、ＰＷ50、アンプリチュードアシン
メトリの他の項目について同様にセンス電流を変化させ
て測定してもよいことは明らかである。また、上述の実
施例では１ｍＡのステップ幅で段階的にセンス電流を増
大させているが、これとは異なるセンス電流変化方法を
用いてもよいことは明らかである。例えば、ステップ幅
が異なっていてもよいし、連続的に変化させてもよく、
減少させていってもよい。または一定回数の電流増加、
減少の繰り返しを行っても良い。
メトリの他の項目について同様にセンス電流を変化させ
て測定してもよいことは明らかである。また、上述の実
施例では１ｍＡのステップ幅で段階的にセンス電流を増
大させているが、これとは異なるセンス電流変化方法を
用いてもよいことは明らかである。例えば、ステップ幅
が異なっていてもよいし、連続的に変化させてもよく、
減少させていってもよい。または一定回数の電流増加、
減少の繰り返しを行っても良い。
【００３０】また、上述の実施例においては、ヘッドリ
ード／ライトＩＣ２１とコンピュータ２６の一部とが本
発明のセンス電流供給手段に対応しているが、これとは
異なる構成であってもセンス電流供給手段を実現可能で
ある。また、本発明の測定手段が測定ユニット２５とコ
ンピュータ２６の一部とで実施されているが、これとは
異なる構成であってもよいことも明らかである。
ード／ライトＩＣ２１とコンピュータ２６の一部とが本
発明のセンス電流供給手段に対応しているが、これとは
異なる構成であってもセンス電流供給手段を実現可能で
ある。また、本発明の測定手段が測定ユニット２５とコ
ンピュータ２６の一部とで実施されているが、これとは
異なる構成であってもよいことも明らかである。
【００３１】以上の説明は、バルクハウゼンノイズ発生
を検査する点について述べているが、本発明の検査方法
及び装置がバルクハウゼンノイズとは異なるノイズにつ
いても同様に検出できることはいうまでもない。
を検査する点について述べているが、本発明の検査方法
及び装置がバルクハウゼンノイズとは異なるノイズにつ
いても同様に検出できることはいうまでもない。
【００３２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、センス電流の値を徐々に変化させてＭＲヘッドから
出力電圧を得、その出力電圧に基づいて所望の項目の測
定結果を得るようにしているので、バルクハウゼンノイ
ズ等を高精度かつ短時間に検出できる。即ち、検査処理
が簡単であり、しかも検査時間を大幅に低減させること
ができる。また、そのための検査装置の構成が複雑とは
ならない。
ば、センス電流の値を徐々に変化させてＭＲヘッドから
出力電圧を得、その出力電圧に基づいて所望の項目の測
定結果を得るようにしているので、バルクハウゼンノイ
ズ等を高精度かつ短時間に検出できる。即ち、検査処理
が簡単であり、しかも検査時間を大幅に低減させること
ができる。また、そのための検査装置の構成が複雑とは
ならない。
【図１】図２の実施例におけるコンピュータの制御プロ
グラムを表すフローチャートである。
グラムを表すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施例におけるＭＲヘッド用検査装
置の回路構成を概略的に示すブロック図である
置の回路構成を概略的に示すブロック図である
【図３】図２の実施例においてセンス電流を変化させて
測定したＭＲヘッドのＴＡＡ特性を表す図である。
測定したＭＲヘッドのＴＡＡ特性を表す図である。
【図４】図２の実施例においてセンス電流を変化させて
測定したＭＲヘッドのＰＷ50特性を表す図である。
測定したＭＲヘッドのＰＷ50特性を表す図である。
【図５】図２の実施例においてセンス電流を変化させて
測定したＭＲヘッドのアンプリチュードアシンメトリ特
性を表す図である。
測定したＭＲヘッドのアンプリチュードアシンメトリ特
性を表す図である。
２０ ＭＲヘッド ２１ ヘッドリード／ライトＩＣ ２２ ＡＣカプラ ２３、２４ ヘッドアンプ ２５ 測定ユニット ２６ コンピュータ ２７ Ｄ／Ａ変換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山中 昇 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−105316（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−105211（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−91111（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−171618（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−136020（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−90226（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/455 G11B 5/39
Claims (2)
- 【請求項１】 検査すべき磁気抵抗ヘッドにセンス電流
を流して該磁気抵抗ヘッドから出力電圧を受け取り、該
受け取った出力電圧に基づいて所望の項目の測定結果を
得ることにより該磁気抵抗ヘッドの検査を行う方法であ
って、前記センス電流の値を徐々に変化させて前記磁気
抵抗ヘッドから出力電圧を得るようにしたことを特徴と
する磁気抵抗ヘッドの検査方法。 - 【請求項２】 検査すべき磁気抵抗ヘッドにセンス電流
を流すためのセンス電流供給手段と、該磁気抵抗ヘッド
から得られる出力電圧に基づいて所望の項目の測定結果
を得る測定手段とを備えた検査装置であって、前記セン
ス電流供給手段が前記センス電流の値を徐々に変化させ
るように構成されていることを特徴とする磁気抵抗ヘッ
ドの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4257551A JP2783087B2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4257551A JP2783087B2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684147A JPH0684147A (ja) | 1994-03-25 |
| JP2783087B2 true JP2783087B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=17307857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4257551A Expired - Lifetime JP2783087B2 (ja) | 1992-09-02 | 1992-09-02 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2783087B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2773714B2 (ja) * | 1995-10-26 | 1998-07-09 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
| JPH1153701A (ja) | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Hewlett Packard Japan Ltd | 記録装置の測定装置 |
| KR20000055835A (ko) * | 1999-02-10 | 2000-09-15 | 윤종용 | 자기 디스크 드라이브용 자기저항 헤드 검사방법 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02105316A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-17 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドの検査方法及びその装置 |
| JPH0391111A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Hitachi Ltd | 薄膜ヘッドの書込み後のノイズ検査方式および検査装置 |
| JPH04105211A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-07 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘッド装置の特性測定装置 |
-
1992
- 1992-09-02 JP JP4257551A patent/JP2783087B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684147A (ja) | 1994-03-25 |
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