JP2000260012A

JP2000260012A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッドの検査方法、および磁気抵抗効果型磁気ヘッドの検査装置

Info

Publication number: JP2000260012A
Application number: JP11062504A
Authority: JP
Inventors: Keisuke Fukamachi; 啓介深町; Chiharu Mitsumata; 千春三俣; Osamu Shimoe; 治下江
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1999-03-10
Filing date: 1999-03-10
Publication date: 2000-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】ＭＲヘッドをウェハ上に形成した直後の状
態、ＭＲヘッドをスライダに搭載した状態、スライダを
サスペンションに搭載した状態、いずれの状態に於いて
も記録再生動作を繰り返したときに発生する変動を精度
良く測定する。【解決手段】ＭＲヘッドに、交流の記録電流と直流の
外部磁界を印加した後に、ＭＲヘッドの再生特性を測定
し、この印加と測定を複数回繰り返すことでＭＲヘッド
の再生出力の変動を評価する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録などの分野
において使用するＭＲヘッドの良品と不良品を選別する
検査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）に搭
載される磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＭＲヘッド）は、
媒体（ディスク）に記録された情報を磁気的に再生する
ためのＭＲ素子（磁気抵抗効果素子）を有する再生ヘッ
ドと、媒体に情報を磁気的に記録する記録ヘッドを備え
る。ＭＲ素子は媒体に記録された情報から発生する磁界
を受けて、その比抵抗を変化させる。従って、ＭＲ素子
に電流を流すと媒体の磁界の変化をＭＲ素子に発生する
電圧の変化として検出することができる。

【０００３】近年、ＨＤＤの小型化と記録密度の急激な
上昇に伴って、ＭＲヘッド及びＭＲ素子の寸法は小型化
されている。このようなＭＲヘッドを作製する方法とし
ては、薄膜プロセスが用いられている。薄膜プロセス
は、スパッタリング等による薄膜の形成や、フォトリソ
グラフィーによる薄膜の形状加工を利用して、ｎｍレベ
ルからμｍレベル程度の微細構造を作製することが可能
な方法である。

【０００４】この薄膜プロセスを持ちいることによっ
て、１枚のウェハーの上に多数のＭＲヘッドを並行して
形成することができる。ＭＲヘッドを小型化して１枚の
ウェハーにより多くのＭＲヘッドを形成するほど、製造
効率は向上する。しかし、ＭＲヘッドは様々な形状の薄
膜を積層させた構造であるために、小型化するほどその
作製が困難になる。即ち、ＭＲヘッドの不良品が発生し
易くなる。

【０００５】ここで不良品とは、ＭＲ素子の抵抗不良、
ＭＲ素子とシールド間の絶縁不良などの電気抵抗を測定
することで容易に選別できるヘッドの他に、記録再生動
作を繰り返す度に再生出力や出力ピークの上下非対称性
が変動するヘッドなどもある。この様な再生特性が変動
するヘッドでは再生動作に信頼性が期待できない。その
ためＭＲヘッドの製造時の検査として、このような不良
品を抽出して良品と区別すること、即ち良否判定を行う
ＭＲヘッドの検査方法が考えられている。

【０００６】従来の検査方法について説明する。第１の
検査方法は、ＭＲヘッドを有するスライダーにサスペン
ションを設けたものを、ＨＤＤに取り付けて、回転する
ディスクの上でスライダーを浮上させながら、ＭＲヘッ
ドに記録／再生の動作を行わせて、その再生出力から不
良品を判断する方法である。しかしながら、この検査方
法では、ＭＲヘッドをサスペンションに組み立てないと
検査できないため、組立に要する時間とコストがかかる
事、ヘッド当たりの検査に時間がかかる事、不良品とな
ったサスペンションは廃棄処分にする事などの問題点が
あり、効率の良い検査方法とは言えなかった。

【０００７】第２の検査方法は、特開平−１５０２６４
に開示されている方法である。この技術はヘッドブロッ
ク上に配列されたギャップデプス加工後の複数のＭＲヘ
ッドに対し、エアベアリング面に垂直な方向に正弦波状
に変化する交番外部磁界を印加し、この外部磁界の変化
に対するＭＲヘッドの電磁変換特性を得ようとしたもの
である。しかしながら、そこで開示された内容はバルク
ハウゼンノイズの発生の有無を検査するのみであり、記
録再生動作の繰り返しによる再生出力や出力ピークの上
下非対称性の変動に関して触れていない。

【０００８】第３の検査方法は、特開平６−１８７６２
０に開示されている方法である。即ち、ＭＲヘッドを有
するスライダーまたはウェハに、交流一様外部磁界によ
り、薄膜磁気ヘッドを励磁させつつ、直流内部バイアス
磁界を重畳し、直流磁界強度を可変した時の、ＭＲヘッ
ド出力特性におけるノイズ発生位相位置シフト量を測定
する方法である。この方法は、ノイズの位相シフト量か
ら、ヘッド内のノイズ発生箇所を特定するものである。
そこで開示された内容もノイズの発生の有無を検査する
のみであり、記録再生動作の繰り返しによる再生出力や
出力ピークの上下非対称性の変動に関して触れていな
い。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ＭＲ素子をより小型に
したＭＲヘッドにおいて、記録再生動作を繰り返したと
きに、ＭＲヘッドの再生出力や出力ピークの上下非対称
性が変動するという不具合が生じるようになった。従来
の検査方法では、このような不具合を効率的に検査して
良否判定することが困難である。そこで、本発明は記録
再生動作を繰り返すことで発生する再生出力、出力ピー
クの上下非対称性の変動を定量的に且つ高速に、しかも
サスペンションに組み立てる事なく良否判定することを
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの検査方法は、磁気抵抗効果素子およびシー
ルドを備える再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備
える記録ヘッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
コイルに、交流の記録電流を流す第１のステップと、直
流の外部磁界を前記磁気抵抗効果素子に印加する第２の
ステップと、前記磁気抵抗効果素子の再生出力および出
力上下非対称性を測定する第３のステップを有し、第１
および第２のステップを重畳した後に第３のステップを
行う操作をＮ回繰り返した時の、前記再生出力または出
力上下非対称性の頻度分布うち、少なくとも一つの頻度
分布で良否を判定することを特徴とする。また、前記の
本発明では、より精度の高い良否判定を行うために両方
の頻度分布を用いることが望ましい。

【００１１】また、本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の検査装置は、磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドのコイルに、
交流の記録電流を流す手段と、直流の外部磁界を前記磁
気抵抗効果素子に印加する手段と、前記記録電流および
前記直流磁界を重畳した後に前記磁気抵抗効果素子の再
生出力および出力上下非対称性を測定する測定手段と、
前記測定手段で測定をＮ回繰り返した時の、前記再生出
力および前記出力上下非対称性の頻度分布からヘッドの
良否を判定する手段とを備えることを特徴とする。ま
た、前記の本発明では、再生出力の頻度分布からヘッド
の良否を判定する手段、または前記出力上下非対称性の
頻度分布からヘッドの良否を判定する手段のいずれか一
方の手段を備える構成の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの検
査装置として用いることも可能である。

【００１２】また、本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の検査方法は、磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドのコイルに、
交流の記録電流を流す第１のステップと、直流の外部磁
界を前記磁気抵抗効果素子に印加する第２のステップ
と、前記磁気抵抗効果素子の再生出力および出力上下非
対称性を測定する第３のステップを有し、第１および第
２のステップを重畳した時の第３のステップで得られる
前記磁気抵抗効果型素子の抵抗変化から良否を判定する
ことを特徴とする。

【００１３】また、本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の検査装置は、磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドについて、交
流の記録電流をコイルに流す手段と、直流の外部磁界を
前記磁気抵抗効果素子に印加する手段と、前記記録電流
および前記外部磁界を重畳した時の前記磁気抵抗効果素
子の抵抗変化から良否を判定する手段とを備えることを
特徴とする。

【００１４】また、本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の検査方法は、記録磁界および媒体磁界と等価な磁界を
同時にＭＲヘッドに印加した後に、再生出力と出力のピ
ーク非対称性を測定し、これを複数回繰り返すことを特
徴とする。これによって、実際のＨＤＤの動作状況と等
しい条件でヘッドを検査する事が可能になる。

【００１５】

【発明の実施の形態】（実施例１）ＭＲヘッドの検査方
法について以下に説明する。図１に本発明のＭＲヘッド
の測定方法を説明する立体図を示す。図１は、ＭＲヘッ
ドを設けたスライダーに、直流の外部磁界と、交流の記
録電流を供給して、ＭＲヘッドの再生出力を測定する装
置の概略である。まず、スライダー２の構成を説明す
る。スライダー２の側面に設けたＭＲヘッド１は、再生
ヘッドのＭＲ素子と、ＭＲ素子に電極として結合した端
子３と、記録ヘッドの磁極４と、磁極を励磁するコイル
５と、コイル５に電極として結合した端子６を備える。
記録ヘッドに隠れて見えにくい為に、再生ヘッドの記載
は省略した。スライダー２は浮上面７を有する。ＭＲ素
子はこの浮上面７に露出するものとした。なお、再生ヘ
ッドと記録ヘッドの関係は、図８の断面図に記載した。

【００１６】次に、測定装置の構成を述べる。永久磁石
８は、ＭＲ素子に一定の大きさの外部磁界（図中の矢印
９）を印加するものである。可変電流源１０は端子６間
に接続してコイルに交流の励磁電流を供給するものであ
る。可変電流源１１は端子３間に接続してＭＲ素子に電
流を供給する。オシロスコープ（または電圧計）１２
は、端子３間に接続されてＭＲ素子の出力電圧を測定す
るものである。

【００１７】なお、図１において、永久磁石８の代わり
に電磁石を用いてもよい。この電磁石は少なくとも磁極
と、磁極に巻回したコイルと、コイルに電流を供給する
電流源を備える。また、永久磁石８の両方を電磁石に置
き換えた構成、永久磁石８の一方を電磁石に置き換えて
他方を除去した構成、永久磁石８と電磁石を併用して矢
印で示した外部磁界９をＭＲヘッドに印加する構成のう
ち、いずれの方法も選択可能である。

【００１８】次に、図１の測定装置に直流の外部磁界
（ＤＣ磁界）と交流の記録電流Ｉｗを印加することによ
って得られた再生出力と、時間ｔの関係を図２に示す。
図２（ａ）は、永久磁石からＭＲ素子に印加されるＤＣ
磁界Ｘと時間の関係を示し、この場合Ｈｄｃ［Ｏｅ］に
設定した。直流といいながらＡとＣの領域で正負が反転
して矩形波を形成しているのは、永久磁石８の向きを反
転させて、ＭＲ素子の形状に方向依存性がないかを確認
するためである。また、正負両方の極性を有する媒体の
磁界のように、図２（ａ）についても正負の直流外部磁
界を用いたほうが、より現実の測定に近い評価を行うこ
とができる。従って、再生出力の測定をＮ回繰り返すと
きは、−Ｈｄｃ［Ｏｅ］とＨｄｃ［Ｏｅ］の印加をＭＲ
ヘッドに交互に与えこれをＮ回繰り返した。正または負
のいずれか一方の磁界成分を使用して検査することも可
能であるが、正負両方を用いた方が検査の精度を向上で
きる。なお図２（ａ）中のＢとＤの領域の三角波はＭＲ
ヘッドの再生特性を測定する為のものである。

【００１９】図２（ｂ）のＡとＣの領域は、可変電流源
１０を切り替えて発生させた記録電流であり、Ｉｗの振
幅を有する矩形波とした。また、ＢとＤの領域ではＭＲ
ヘッドの再生特性を測定する為記録電流はゼロに設定し
ている。図２（ｃ）は、ＭＲヘッドに図２（ａ）と図２
（ｂ）を重畳した後にＭＲ素子から得られる再生出力Ｙ
の波形を示す。ここで重畳とは並行して印加することを
いう。Ａ、Ｃ領域は測定時間短縮の為に波形の取り込み
を行っていない。図２（ｄ）は、図２（ａ）の磁界Ｘ
と、図２（ｃ）の再生出力Ｙを、オシロスコープに入力
して観察したＸ−Ｙ特性を示す。なお、これらの測定で
はＨｄｃの大きさはＭＲヘッドが受ける媒体磁界に相当
する値、ＩｗはＨＤＤで使用する記録電流値に設定する
のが望ましく、こうする事でより高い精度の検査をする
ことができる。

【００２０】図２中の（ｄ）に示すオシロスコープのＸ
−Ｙ特性を拡大して図３に示す。図３は、再生出力と出
力のピーク非対称性の定義を説明するものである。グラ
フは外部磁界Ｘ中におけるＭＲヘッドの再生出力Ｙをプ
ロットしたものである。Ｖ0、Ｖ＋、Ｖ−はそれぞれ外
部磁界Ｘ＝０、＋Ｈｄｃ、−Ｈｄｃにおける再生出力に
相当する。図３中に示すように、この特性からＭＲ素子
の再生出力（上記の再生出力波形Ｙとは区別する）と、
ピーク非対称性を定義した。

【００２１】図２のＡ，Ｃ領域で直流の外部磁界と記録
電流を重畳した時に、Ｃ、Ｄ領域で得られる再生出力、
ピーク非対称性が変動しない方が望ましく、またこれら
の操作を複数回繰り返した場合もそうである。図２のパ
ターンを１０００回繰り返した時の、再生出力のバラツ
キを図４と図５に、ピーク非対称性のバラツキを図６と
図７に示した。図４および図５において、横軸はＭＲ素
子の再生出力［ｍＶ］であり、縦軸は頻度［％］を表
す。頻度１００％は測定回数Ｎ＝１０００回に相当す
る。印加する外部磁界の条件は、図４（4-1）で０［Ｏ
ｅ］、図４（4-2）で±２５［Ｏｅ］、図５（4-3）で±
５０［Ｏｅ］、図５（4-4）で±７５［Ｏｅ］とした。
その結果、外部磁界に関わらず頻度のピークがほぼ単一
であるＭＲヘッドと、図４及び図５に示した様に外部磁
界によって頻度のピークが二つ以上現れるＭＲヘッドが
あった。両者をさらに、従来の第１の測定方法で調べた
ところ、ピークの分離がＭＲヘッドの良否に関係してい
ることが判った。

【００２２】頻度のピークがほぼ単独であるものは、Ｍ
Ｒヘッドを長時間にわたって使用しても、不良品はほと
んど発生しなかった。一方、頻度のピークが外部磁界の
大きさによって分離することがあるものは、ＭＲヘッド
を長時間にわたって使用すると不良品が発生した。

【００２３】さらに、図６および図７に１０００回測定
したピーク非対称性のバラツキを示す。図６および図７
では、横軸がＭＲ素子のピーク非対称性［％］であり、
縦軸が頻度［％］を表す。頻度１００％は測定回数Ｎ＝
１０００回に対応する。印加する外部磁界の条件は、図
６（6-1）で０［Ｏｅ］、図６（6-2）で±２５［Ｏ
ｅ］、図７（6-3）で±５０［Ｏｅ］、図７（6-4）で±
７５［Ｏｅ］とした。その結果、外部磁界に係わらず頻
度のピークがほぼ一つであるＭＲヘッドと、図６および
図７に示すように外部磁界によって頻度のピークが二つ
以上現れるＭＲヘッドがあった。

【００２４】両者をさらに従来の第１の測定方法で調べ
たところ、図４および図５と、図６および図７の結果と
同様に、頻度のピークの分離がＭＲヘッドの良否に関係
していることが判った。そこで、以上の測定を検査方法
に適用し、ＭＲ素子の再生出力とピーク非対称性の少な
くとも一方について、頻度分布のピークの分離が発生し
たＭＲヘッドを不良品とする検査方法を用いることがで
きた。

【００２５】（実施例２）実施例１の測定方法は測定回
数Ｎが大きいため、検査に時間を要する。そこで、ＭＲ
ヘッドの再生特性の時間的な変動を加速することによっ
てＮを小さくすることを試みた。加速するための要件と
しては、印加する外部直流磁界を媒体磁界よりも大きい
値とすること（条件１）、供給する記録電流をＨＤＤで
使用する電流値より大きい値に設定すること（条件
２）、条件１と２の両方を実行すること（条件３）の３
通りの要件を設けた。その結果、条件３を実行すると実
施例１の測定方法における測定回数をＮ＝１００回程度
にすることができた。

【００２６】実施例２の測定は、ＨＤＤに搭載した場合
のヘッドの動作環境に近い条件で測定しているため、記
録再生繰り返しによる特性変動を正確に検査でき、不良
解析などにも有用である。繰り返し回数Ｎだけでなく直
流磁界や記録電流の励磁時間を短縮すれば測定時間のさ
らなる短縮が可能である。

【００２７】（実施例３）別の実施例として、図１の測
定装置に直流の外部磁界（ＤＣ磁界）と交流の記録電流
Ｉｗを印加することによって得た再生出力と時間ｔの関
係を図８に示す。（１）は、励磁コイルからＭＲ素子に
印加される５０［Ｏｅ］の外部磁界を表している。直流
といいながら正負が反転しているのは、コイルに流す電
流の向きを反転させてＭＲ素子の方向依存性の有無を確
認するためである。

【００２８】図８の（２）は、可変電流源１０を切り替
えて発生させた記録電流であり、Ｉｗの振幅を有する矩
形波である。図８の（３）は、ＭＲヘッドに（１）と
（２）を印加したときに、ＭＲ素子から得られる再生出
力ｄＶの波形を示す。ｄＶの波形が±に変化する際の変
化量をV1、V2、V3、・・・・・、Vn−1、Vnという具合に定義
し、外部磁界０［Ｏｅ］の場合をA、外部磁界−５０
［Ｏｅ］の場合をB、外部磁界５０［Ｏｅ］の場合をCと
した。また、A、B、Cの各々について、ｄＶの波形の振
動回数nを１０００回程度として、想定時間を０．１〜
２［ｓｅｃ］程度とした。このようにして測定した再生
出力のVnを次に述べる定義によって評価した。

【００２９】上記のVnを用いてヒステリシスを定義し
た。即ち、ヒステリシスは、記録電流の変化による出力
変化量V1〜Vnの標準偏差を図６のA、B、Cのそれぞれの
領域について計算した値の総和である。図６（３）のよ
うにほぼ一定の振幅を有する再生出力では、この値がほ
ぼゼロとなる。V1〜Vnの大きさの変化はＭＲ素子の抵抗
の変化に相当する。従って、標準偏差が小さい程、ＭＲ
素子の磁気的なヒステリシスが少ないことを示す。

【００３０】図９において、実際にサスペンション付き
のヘッドをディスクに浮上させて記録再生を繰り返した
ときの再生出力変動と、図８から求められるヒステリシ
スとの相関を示す。図の横軸はヒステリシスであり、縦
軸はＣＯＶである。ＣＯＶ（Coefficience of Varian
ce）は、実際に同一トラック上で記録再生動作を繰り返
したときの再生出力変動の標準偏差を表す。従って、Ｃ
ＯＶの値はヒステリシスと同様にゼロに近い程、再生特
性が安定していることを示す。

【００３１】図９で示すように、本発明のヒステリシス
が大きくなると、実際に測定したＣＯＶも増大する傾向
にある。従って、ＣＯＶを２％以下に規制する場合、ヒ
ステリシスが５０［a.u.］以下であれば良品と出来る確
率が高い。但し、図９中のデータ点は多少のバラツキを
もって分布しているため、実施例１または２の検査方法
を併用することで、検査の精度を向上できる。

【００３２】以上で説明した本発明の検査方法は、狭い
トラック幅と薄い膜厚を有するＭＲ素子を用いたＭＲヘ
ッドの検査に好適である。このようなＭＲヘッドとして
は、ＡＭＲ(Anisotropic Magnetoresistive)ヘッド、
ＧＭＲ素子(Giant Magneto-resistive)ヘッド、トンネ
ル接合型ＭＲヘッドが挙げられる。

【００３３】最後にＭＲヘッドの構造の説明を補足す
る。図１０に本発明の検査方法に用いるＭＲヘッドの断
面図を示す。図１０は記録ヘッドに再生ヘッドを積層し
たＭＲヘッドの構造の概略である。再生ヘッドは下部シ
ールド２３とミッドシールド２４の間に、ギャップ膜を
介してＭＲ素子２１を有する構造である。記録ヘッド
は、下部磁極を兼ねるミッドシールド２４と磁極４が後
部で接続され、その後部の回りをコイル５が巻回してい
る構造である。また、ミッドシールド２４と磁極４は、
後部とは反対側の先端部で記録ギャップ２５を介して対
向する。ＭＲ素子に印加される外部磁界は矢印９の方向
で示す。

【００３４】図１０の構造は再生ヘッドと記録ヘッド
が、ミッドシールドを介して分離されている。従って、
交流の記録電流を流したコイルから励磁された磁界は、
ほとんどがミッドシールドに吸収され、わずかに漏洩し
た分がＭＲ素子に印加されることになる。従って、再生
出力の変動、即ちＭＲ素子の抵抗変化を敏感に検出する
ことが可能である。本発明の測定方法は、この微小な変
化を捉えて、ＭＲヘッドの良否の判定を的確に行うこと
が可能である。

【００３５】一方、ＭＲ素子が磁極を含む磁気回路中に
配置された録再一体型のＭＲヘッドは、コイルから励磁
された磁界が直接にＭＲ素子に印加される。従って、再
生出力における微小な変化を捉えることが困難である。

【００３６】

【発明の効果】以上で説明したように、本発明の検査方
法を用いることで、ＭＲヘッドをウェハ上に形成した直
後の状態、ＭＲヘッドをスライダに搭載した状態、スラ
イダをサスペンションに搭載した状態、いずれの状態に
於いても記録再生動作を繰り返したときに発生する変動
を精度良く測定することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の測定方法を説明する立体図。

【図２】再生出力と時間ｔの関係を説明する特性図。

【図３】再生出力と出力のピーク非対称性の定義を説明
する図。

【図４】Ｎ回測定した再生出力の分布図。

【図５】Ｎ回測定した再生出力の分布図。

【図６】Ｎ回測定した再生出力のピーク非対称性の分布
図。

【図７】Ｎ回測定した再生出力のピーク非対称性の分布
図。

【図８】再生出力と、直流の外部磁界と、交流の記録電
流Ｉｗの時間ｔに対する関係を説明する特性図。

【図９】再生出力変動と記録ヒステリシスの相関を説明
する図。

【図１０】本発明の測定方法に用いるＭＲヘッドの断面
図。

【符号の説明】

１ＭＲヘッド、２スライダー、３端子、４磁
極、５コイル、６端子、７浮上面、８永久磁
石、９外部磁界、１０可変電流源、１１可変電流
源、１２オシロスコープ、２１ＭＲ素子、２３下
部シールド、２４ミッドシールド、２５記録ギャッ
プ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドのコイルに、
交流の記録電流に流す第１のステップと、直流の外部磁
界を前記磁気抵抗効果素子に印加する第２のステップ
と、前記磁気抵抗効果素子の再生出力および出力上下非
対称性を測定する第３のステップを有し、第１および第
２のステップを重畳した後に第３のステップを行う操作
をＮ回繰り返した時の、前記再生出力または前記出力上
下非対称性の頻度分布のうち、少なくとも一つの頻度分
布で良否を判定することを特徴とする磁気抵抗効果型磁
気ヘッドの検査方法。
【請求項２】磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドのコイルに、
交流の記録電流を流す第１のステップと、直流の外部磁
界を前記磁気抵抗効果素子に印加する第２のステップ
と、前記磁気抵抗効果素子の再生出力および出力上下非
対称性を測定する第３のステップを有し、第１および第
２のステップを重畳した時の第３のステップで得られる
前記磁気抵抗効果素子の抵抗変化から良否を判定するこ
とを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッドの検査方法。
【請求項３】磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドのコイルに、
交流の記録電流を流す手段と、直流の外部磁界を前記磁
気抵抗効果素子に印加する手段と、前記記録電流および
前記直流磁界を重畳した後に前記磁気抵抗効果素子の再
生出力および出力上下非対称性を測定する測定手段と、
前記測定手段で測定をＮ回繰り返した時の、前記再生出
力および前記出力上下非対称性の頻度分布からヘッドの
良否を判定する手段とを備えることを特徴とする磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの検査装置。
【請求項４】磁気抵抗効果素子およびシールドを備え
る再生ヘッドと、磁気コアおよびコイルを備える記録ヘ
ッドとを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドのコイルに、
交流の記録電流を流す手段と、直流の外部磁界を前記磁
気抵抗効果素子に印加する手段と、前記記録電流および
前記外部磁界を重畳した時の前記磁気抵抗効果素子の抵
抗変化から良否を判定する手段とを備えることを特徴と
する磁気抵抗効果型磁気ヘッドの検査装置。