JP2002133621A - 磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置Info
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- JP2002133621A JP2002133621A JP2000328489A JP2000328489A JP2002133621A JP 2002133621 A JP2002133621 A JP 2002133621A JP 2000328489 A JP2000328489 A JP 2000328489A JP 2000328489 A JP2000328489 A JP 2000328489A JP 2002133621 A JP2002133621 A JP 2002133621A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生する
か否かを正しく判断でき、かつ製造コストの増大を防ぐ
ことができる、ＭＲ素子を有する磁気ヘッドの検査方法
及び装置を提供する。 【解決手段】 検査すべき磁気ヘッドに磁界を印加しな
い状態又は弱い一定の磁界を印加した状態で、磁気ヘッ
ドのＭＲ素子にセンス電流を流すと共にこのセンス電流
を変化させ、センス電流の種々の値に対してＭＲ素子か
ら出力されるノイズ信号を測定することによってＭＲ素
子の良否を判断する。
か否かを正しく判断でき、かつ製造コストの増大を防ぐ
ことができる、ＭＲ素子を有する磁気ヘッドの検査方法
及び装置を提供する。 【解決手段】 検査すべき磁気ヘッドに磁界を印加しな
い状態又は弱い一定の磁界を印加した状態で、磁気ヘッ
ドのＭＲ素子にセンス電流を流すと共にこのセンス電流
を変化させ、センス電流の種々の値に対してＭＲ素子か
ら出力されるノイズ信号を測定することによってＭＲ素
子の良否を判断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果（Ｍ
Ｒ）素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置に関す
る。
Ｒ）素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク等の磁気媒体用の薄膜磁気
ヘッドとして、読出しヘッド部にＭＲ素子を用いること
は極めて一般的に行われている。最近では、スピンバル
ブ磁気抵抗効果等の巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）やトン
ネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）を利用したＭＲ素子が量産
化され始めている。
ヘッドとして、読出しヘッド部にＭＲ素子を用いること
は極めて一般的に行われている。最近では、スピンバル
ブ磁気抵抗効果等の巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）やトン
ネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）を利用したＭＲ素子が量産
化され始めている。
【０００３】この種のＭＲ素子は、強磁性体薄膜の磁気
抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体との相対
速度に依存することなく大きな再生出力を得ることがで
きるが、その反面、バルクハウゼンノイズを発生する不
良品が生成されてしまう可能性がある。
抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体との相対
速度に依存することなく大きな再生出力を得ることがで
きるが、その反面、バルクハウゼンノイズを発生する不
良品が生成されてしまう可能性がある。
【０００４】バルクハウゼンノイズは、主として磁壁が
磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっかかりながら移動する
ことに起因するものであり、このようなノイズを生じる
ヘッドでは一部の領域で正常な再生動作ができず、再生
データエラーを起したり、サーボ信号生成で不都合が生
じる。このため、この種のＭＲ素子を有する磁気ヘッド
製造時の検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノ
イズを発生しない良品であることを確認する必要があ
る。
磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっかかりながら移動する
ことに起因するものであり、このようなノイズを生じる
ヘッドでは一部の領域で正常な再生動作ができず、再生
データエラーを起したり、サーボ信号生成で不都合が生
じる。このため、この種のＭＲ素子を有する磁気ヘッド
製造時の検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノ
イズを発生しない良品であることを確認する必要があ
る。
【０００５】従来のこの種の検査方法には、大きく分け
て２種類の方法がある。
て２種類の方法がある。
【０００６】第１の方法は、ＭＲ素子を有する磁気ヘッ
ドを単体として形成してこれをサスペンションに取り付
けてヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を完成させた
後、このＨＧＡを電磁変換特性測定装置に取付けて検査
するものである。電磁変換特性測定装置では、ＭＲ素子
に一定電流を流すと共に磁気ヘッドを実際に磁気ディス
ク上で走らせ、その結果、ＭＲ素子から得られる出力電
圧波形からベースラインシフトやポッピングを検出する
ことによってバルクハウゼンノイズ発生の有無が判断さ
れる。
ドを単体として形成してこれをサスペンションに取り付
けてヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を完成させた
後、このＨＧＡを電磁変換特性測定装置に取付けて検査
するものである。電磁変換特性測定装置では、ＭＲ素子
に一定電流を流すと共に磁気ヘッドを実際に磁気ディス
ク上で走らせ、その結果、ＭＲ素子から得られる出力電
圧波形からベースラインシフトやポッピングを検出する
ことによってバルクハウゼンノイズ発生の有無が判断さ
れる。
【０００７】第２の方法は、ヘッドブロック（バー）上
に配列された複数のＭＲ素子を有する磁気ヘッドに、こ
れらヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部磁界を印加
し、この外部磁界の変化に対する各ＭＲ素子の出力特
性、即ちρ−Ｈ特性を検出し、そのトランスファーカー
ブ上にヒステリシスループがあるかどうかでバルクハウ
ゼンノイズ発生の有無を判断するものである。
に配列された複数のＭＲ素子を有する磁気ヘッドに、こ
れらヘッドの空気ベアリング面に垂直な外部磁界を印加
し、この外部磁界の変化に対する各ＭＲ素子の出力特
性、即ちρ−Ｈ特性を検出し、そのトランスファーカー
ブ上にヒステリシスループがあるかどうかでバルクハウ
ゼンノイズ発生の有無を判断するものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
第１の検査方法は、付加価値の高いＨＧＡまで完成した
後の検査であるため、バルクハウゼンノイズの発生が確
認されてその磁気ヘッドが不良品であると判断された場
合、ＨＧＡごと破棄することとなるから１不良品毎の損
失が大きく、これは製造コストの増大につながる。
第１の検査方法は、付加価値の高いＨＧＡまで完成した
後の検査であるため、バルクハウゼンノイズの発生が確
認されてその磁気ヘッドが不良品であると判断された場
合、ＨＧＡごと破棄することとなるから１不良品毎の損
失が大きく、これは製造コストの増大につながる。
【０００９】また、従来の第２の検査方法によると、外
部磁界が磁気ヘッド全体に印加されるため、ＭＲ素子の
磁気シールド全体の磁化が変化してしまう。このため、
ＭＲ素子からの出力波形の歪が磁気シールドの磁化変化
によるものなのか、ＭＲ素子自体が発生するバルクハウ
ゼンノイズによるものなのか明確に判別できず、ＭＲ素
子が不良であるかどうかの検査を正しく行うことができ
ない。
部磁界が磁気ヘッド全体に印加されるため、ＭＲ素子の
磁気シールド全体の磁化が変化してしまう。このため、
ＭＲ素子からの出力波形の歪が磁気シールドの磁化変化
によるものなのか、ＭＲ素子自体が発生するバルクハウ
ゼンノイズによるものなのか明確に判別できず、ＭＲ素
子が不良であるかどうかの検査を正しく行うことができ
ない。
【００１０】従って本発明の目的は、ＭＲ素子がバルク
ハウゼンノイズを発生するか否かを正しく判断でき、か
つ製造コストの増大を防ぐことができる、ＭＲ素子を有
する磁気ヘッドの検査方法及び装置を提供することにあ
る。
ハウゼンノイズを発生するか否かを正しく判断でき、か
つ製造コストの増大を防ぐことができる、ＭＲ素子を有
する磁気ヘッドの検査方法及び装置を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、検査す
べき磁気ヘッドに磁界を印加しない状態又は弱い一定の
磁界を印加した状態で、磁気ヘッドのＭＲ素子にセンス
電流を流すと共にこのセンス電流を変化させ、センス電
流の種々の値に対してＭＲ素子から出力されるノイズ信
号を測定することによってＭＲ素子の良否を判断する検
査方法が提供される。
べき磁気ヘッドに磁界を印加しない状態又は弱い一定の
磁界を印加した状態で、磁気ヘッドのＭＲ素子にセンス
電流を流すと共にこのセンス電流を変化させ、センス電
流の種々の値に対してＭＲ素子から出力されるノイズ信
号を測定することによってＭＲ素子の良否を判断する検
査方法が提供される。
【００１２】無磁場状態又はこれに近い状態で、センス
電流の変化した種々の値に対してＭＲ素子から出力され
るノイズ信号を測定することによってこのＭＲ素子の良
否を判断している。このように、センス電流をスィープ
するのみだけでＭＲ素子から出力されるノイズ信号を検
出してバルクハウゼンノイズの有無を判断しているの
で、ＭＲ素子の磁気シールドが磁化変化を起すことがな
いから、ＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生するか
否かを正しく判断することができる。
電流の変化した種々の値に対してＭＲ素子から出力され
るノイズ信号を測定することによってこのＭＲ素子の良
否を判断している。このように、センス電流をスィープ
するのみだけでＭＲ素子から出力されるノイズ信号を検
出してバルクハウゼンノイズの有無を判断しているの
で、ＭＲ素子の磁気シールドが磁化変化を起すことがな
いから、ＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生するか
否かを正しく判断することができる。
【００１３】検査すべき磁気ヘッドが、ヘッドブロック
上又はウエハ上に配列された複数の磁気ヘッドの１つで
あることが好ましい。回転する磁気ディスクから実際に
磁気情報を読み出す必要もないので、このようにＨＧＡ
として組み立てる前の段階であるウエハ上又はバー上
の、場合によってバーから個々に切出されたスライダ上
の磁気ヘッドに対して検査を行うことができる。その結
果、バルクハウゼンノイズの発生が確認されてその磁気
ヘッドが不良品であると判断され破棄された場合にも、
損失は小さく、製造コストの増大を最小限に防ぐことが
できる。
上又はウエハ上に配列された複数の磁気ヘッドの１つで
あることが好ましい。回転する磁気ディスクから実際に
磁気情報を読み出す必要もないので、このようにＨＧＡ
として組み立てる前の段階であるウエハ上又はバー上
の、場合によってバーから個々に切出されたスライダ上
の磁気ヘッドに対して検査を行うことができる。その結
果、バルクハウゼンノイズの発生が確認されてその磁気
ヘッドが不良品であると判断され破棄された場合にも、
損失は小さく、製造コストの増大を最小限に防ぐことが
できる。
【００１４】測定したノイズ信号を閾値と比較すること
によってＭＲ素子の良否を判断することが好ましい。こ
の場合、センス電流を開始値から終了値まで変化させる
間に測定したノイズ信号が閾値を越える回数を計数し、
計数値が許容値を越えた場合にＭＲ素子が不良品である
と判断することがより好ましい。
によってＭＲ素子の良否を判断することが好ましい。こ
の場合、センス電流を開始値から終了値まで変化させる
間に測定したノイズ信号が閾値を越える回数を計数し、
計数値が許容値を越えた場合にＭＲ素子が不良品である
と判断することがより好ましい。
【００１５】閾値が、ＭＲ素子のヘッド抵抗ノイズと、
あらかじめ測定した回路ノイズとに基づいて定められる
ことが好ましい。このヘッド抵抗ノイズが、ＭＲ素子の
抵抗値を測定し、測定した抵抗値とセンス電流値とから
ＭＲ素子の温度を算出し、算出した温度と測定した抵抗
値とから算出されることがより好ましい。
あらかじめ測定した回路ノイズとに基づいて定められる
ことが好ましい。このヘッド抵抗ノイズが、ＭＲ素子の
抵抗値を測定し、測定した抵抗値とセンス電流値とから
ＭＲ素子の温度を算出し、算出した温度と測定した抵抗
値とから算出されることがより好ましい。
【００１６】閾値が、ＭＲ素子に外部から縦バイアス磁
界を印加し、閾値を変化させることによりバルクハウゼ
ンノイズの発生しない最低閾値を求めてその値に定めら
れることも好ましい。
界を印加し、閾値を変化させることによりバルクハウゼ
ンノイズの発生しない最低閾値を求めてその値に定めら
れることも好ましい。
【００１７】測定したノイズ信号の変化するセンス電流
依存性を検出することによってＭＲ素子の良否を判断す
ることも好ましい。この場合、測定したノイズ信号とセ
ンス電流との関係を１次式で近似しておき、測定したノ
イズ信号と近似した１次式による近似値との相関係数を
求め、求めた相関係数と上述の１次式の係数とによって
ＭＲ素子の良否を判断することがより好ましい。
依存性を検出することによってＭＲ素子の良否を判断す
ることも好ましい。この場合、測定したノイズ信号とセ
ンス電流との関係を１次式で近似しておき、測定したノ
イズ信号と近似した１次式による近似値との相関係数を
求め、求めた相関係数と上述の１次式の係数とによって
ＭＲ素子の良否を判断することがより好ましい。
【００１８】本発明によれば、さらに、検査すべき磁気
ヘッドに磁界を印加しない状態又は弱い一定の磁界を印
加した状態で、各磁気ヘッドのＭＲ素子にセンス電流を
流すと共にこのセンス電流を変化させる手段と、センス
電流の種々の値に対してＭＲ素子から出力されるノイズ
信号を測定する測定手段と、測定手段の測定結果に応じ
てＭＲ素子の良否を判断する判定手段とを備えた検査装
置が提供される。
ヘッドに磁界を印加しない状態又は弱い一定の磁界を印
加した状態で、各磁気ヘッドのＭＲ素子にセンス電流を
流すと共にこのセンス電流を変化させる手段と、センス
電流の種々の値に対してＭＲ素子から出力されるノイズ
信号を測定する測定手段と、測定手段の測定結果に応じ
てＭＲ素子の良否を判断する判定手段とを備えた検査装
置が提供される。
【００１９】検査すべき磁気ヘッドが、ヘッドブロック
上又はウエハ上に配列された複数の磁気ヘッドの１つで
あることが好ましい。
上又はウエハ上に配列された複数の磁気ヘッドの１つで
あることが好ましい。
【００２０】判定手段が、測定したノイズ信号を閾値と
比較することによってＭＲ素子の良否を判断する手段で
あることが好ましい。この場合、判断する手段が、セン
ス電流を開始値から終了値まで変化させる間に、測定し
たノイズ信号が閾値を越える回数を計数する手段と、計
数値が許容値を越えた場合にＭＲ素子が不良品であると
判断する手段とを含んでいることがより好ましい。
比較することによってＭＲ素子の良否を判断する手段で
あることが好ましい。この場合、判断する手段が、セン
ス電流を開始値から終了値まで変化させる間に、測定し
たノイズ信号が閾値を越える回数を計数する手段と、計
数値が許容値を越えた場合にＭＲ素子が不良品であると
判断する手段とを含んでいることがより好ましい。
【００２１】ＭＲ素子のヘッド抵抗ノイズと、あらかじ
め測定した回路ノイズとに基づいて閾値を定める閾値設
定手段をさらに備えたことも好ましい。この閾値設定手
段が、ＭＲ素子の抵抗値を測定する手段と、測定した抵
抗値とセンス電流値とからＭＲ素子の温度を算出する手
段と、算出した温度と測定した抵抗値とからヘッド抵抗
ノイズを算出する手段とを含むことがより好ましい。
め測定した回路ノイズとに基づいて閾値を定める閾値設
定手段をさらに備えたことも好ましい。この閾値設定手
段が、ＭＲ素子の抵抗値を測定する手段と、測定した抵
抗値とセンス電流値とからＭＲ素子の温度を算出する手
段と、算出した温度と測定した抵抗値とからヘッド抵抗
ノイズを算出する手段とを含むことがより好ましい。
【００２２】ＭＲ素子に外部から縦バイアス磁界を印加
する手段と、閾値を変化させることによりバルクハウゼ
ンノイズの発生しない最低閾値を求めてこの求めた最低
閾値に閾値を定める閾値設定手段をさらに備えたことも
好ましい。
する手段と、閾値を変化させることによりバルクハウゼ
ンノイズの発生しない最低閾値を求めてこの求めた最低
閾値に閾値を定める閾値設定手段をさらに備えたことも
好ましい。
【００２３】判定手段が、測定したノイズ信号の変化す
るセンス電流依存性を検出することによってＭＲ素子の
良否を判断する手段であることが好ましい。この判断す
る手段が、測定したノイズ信号とセンス電流との関係を
１次式で近似しておく手段と、測定したノイズ信号と近
似した１次式による近似値との相関係数を求める手段
と、求めた相関係数と上述の１次式の係数とによってＭ
Ｒ素子の良否を判断する手段とを備えたことも好まし
い。
るセンス電流依存性を検出することによってＭＲ素子の
良否を判断する手段であることが好ましい。この判断す
る手段が、測定したノイズ信号とセンス電流との関係を
１次式で近似しておく手段と、測定したノイズ信号と近
似した１次式による近似値との相関係数を求める手段
と、求めた相関係数と上述の１次式の係数とによってＭ
Ｒ素子の良否を判断する手段とを備えたことも好まし
い。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施形
態を詳細に説明する。
態を詳細に説明する。
【００２５】図１は、本発明の一実施形態であるＭＲ素
子を有する磁気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に
示すブロック図である。
子を有する磁気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に
示すブロック図である。
【００２６】同図において、１０は検査されるべきＭＲ
素子１０ａとインダクティブ素子１０ｂとを有する磁気
ヘッド、１１はこの磁気ヘッド１０に電気的に接続され
たヘッドアンプであるリード／ライトＩＣ、１２は一方
の入力端子がリード／ライトＩＣ１１の読出し信号出力
端子に接続された比較器、１３は比較器１２の他方の入
力端子にそのアナログ出力端子が接続されたＤ／Ａコン
バータ、１４は比較器１２の出力端子に入力端子が接続
されたカウンタ、１５はカウンタ１４の出力端子及びリ
セット端子、Ｄ／Ａコンバータ１３のデジタル入力端
子、並びにリード／ライトＩＣ１１のセンス電流制御端
子及びＭＲ素子抵抗値出力端子に接続されたデジタルコ
ンピュータをそれぞれ示している。
素子１０ａとインダクティブ素子１０ｂとを有する磁気
ヘッド、１１はこの磁気ヘッド１０に電気的に接続され
たヘッドアンプであるリード／ライトＩＣ、１２は一方
の入力端子がリード／ライトＩＣ１１の読出し信号出力
端子に接続された比較器、１３は比較器１２の他方の入
力端子にそのアナログ出力端子が接続されたＤ／Ａコン
バータ、１４は比較器１２の出力端子に入力端子が接続
されたカウンタ、１５はカウンタ１４の出力端子及びリ
セット端子、Ｄ／Ａコンバータ１３のデジタル入力端
子、並びにリード／ライトＩＣ１１のセンス電流制御端
子及びＭＲ素子抵抗値出力端子に接続されたデジタルコ
ンピュータをそれぞれ示している。
【００２７】以下本実施形態の動作を説明する。
【００２８】まず、検査すべき磁気ヘッドのＭＲ素子１
０ａとインダクティブ素子１０ｂとをこの検査装置のリ
ード／ライトＩＣ１１に接続する。本実施形態において
は、磁気ヘッドに外部から磁界が全く印加されない状態
で検査が行われる。
０ａとインダクティブ素子１０ｂとをこの検査装置のリ
ード／ライトＩＣ１１に接続する。本実施形態において
は、磁気ヘッドに外部から磁界が全く印加されない状態
で検査が行われる。
【００２９】検査すべき磁気ヘッド１０は、ウエハ上に
多数配列された磁気ヘッドの１つ、ヘッドブロック（バ
ー）上に多数配列された磁気ヘッドの１つ、又はバーか
ら個々に分離されたスライダ上の磁気ヘッドである。な
お、本発明の検査のみを実施する場合には、ＭＲ素子１
０ａのみを接続すればよいことは明らかである。
多数配列された磁気ヘッドの１つ、ヘッドブロック（バ
ー）上に多数配列された磁気ヘッドの１つ、又はバーか
ら個々に分離されたスライダ上の磁気ヘッドである。な
お、本発明の検査のみを実施する場合には、ＭＲ素子１
０ａのみを接続すればよいことは明らかである。
【００３０】図２〜図３は、本実施形態におけるコンピ
ュータ１５の処理内容の一部を示すフローチャートであ
る。
ュータ１５の処理内容の一部を示すフローチャートであ
る。
【００３１】図２に示すように、コンピュータ１５は、
検査開始の指示に応答してまず初期化処理を行う（ステ
ップＳ２１）。この初期化処理は、図３に示すルーチン
で行われる。
検査開始の指示に応答してまず初期化処理を行う（ステ
ップＳ２１）。この初期化処理は、図３に示すルーチン
で行われる。
【００３２】即ち、センス電流Ｉｓをスィープ開始値Ｉ
ｓｓｔａｒｔに設定するようなセンス電流制御信号をリ
ード／ライトＩＣ１１に送る（ステップＳ２１１）と共
に、カウンタ１４にリセット信号を送ってリセットする
（ステップＳ２１２）。
ｓｓｔａｒｔに設定するようなセンス電流制御信号をリ
ード／ライトＩＣ１１に送る（ステップＳ２１１）と共
に、カウンタ１４にリセット信号を送ってリセットする
（ステップＳ２１２）。
【００３３】次いで、比較器１２の閾値電圧を設定する
（ステップＳ２２）。この閾値電圧の設定処理は、図４
に示すルーチンで行う。
（ステップＳ２２）。この閾値電圧の設定処理は、図４
に示すルーチンで行う。
【００３４】まず、リード／ライトＩＣ１１からそのと
きのセンス電流ＩｓにおけるＭＲ素子抵抗値の測定情報
を入手する（ステップＳ２２１）。得られたＭＲ素子抵
抗値とセンス電流値Ｉｓとから素子温度を計算で求める
（ステップＳ２２２）。さらに、ＭＲ素子抵抗値と算出
した素子温度とからヘッド抵抗ノイズＮｈｅａｄを算出
する（ステップＳ２２３）。
きのセンス電流ＩｓにおけるＭＲ素子抵抗値の測定情報
を入手する（ステップＳ２２１）。得られたＭＲ素子抵
抗値とセンス電流値Ｉｓとから素子温度を計算で求める
（ステップＳ２２２）。さらに、ＭＲ素子抵抗値と算出
した素子温度とからヘッド抵抗ノイズＮｈｅａｄを算出
する（ステップＳ２２３）。
【００３５】このヘッド抵抗ノイズＮｈｅａｄは、 Ｎｈｅａｄ＝√（４・ｋ・Ｔ・Ｒ・ＢＷ） から求められる。ただし、ｋはボルツマン定数、Ｔは素
子温度、ＲはＭＲ素子抵抗値、ＢＷは周波数帯域であ
る。
子温度、ＲはＭＲ素子抵抗値、ＢＷは周波数帯域であ
る。
【００３６】次いで、あらかじめ測定しておいた回路ノ
イズＮｓｙｓとこのヘッド抵抗ノイズＮｈｅａｄとを合
計し、誤検出防止のために安全係数Ｃｓａｆを乗算して
閾値を決定する（ステップＳ２２４）。例えばＣｓａｆ
√（Ｎｓｙｓ ２＋Ｎｈｅａｄ ２）から決定し、閾値制御
信号をＤ／Ａコンバータ１３へ出力すること（ステップ
Ｓ２２５）によって、決定した閾値に対応する電圧が比
較器１２に印加される。
イズＮｓｙｓとこのヘッド抵抗ノイズＮｈｅａｄとを合
計し、誤検出防止のために安全係数Ｃｓａｆを乗算して
閾値を決定する（ステップＳ２２４）。例えばＣｓａｆ
√（Ｎｓｙｓ ２＋Ｎｈｅａｄ ２）から決定し、閾値制御
信号をＤ／Ａコンバータ１３へ出力すること（ステップ
Ｓ２２５）によって、決定した閾値に対応する電圧が比
較器１２に印加される。
【００３７】次いで、そのときのセンス電流Ｉｓで、閾
値電圧を越えるノイズ信号がリード／ライトＩＣ１１か
ら出力されるかどうか所定時間監視する（ステップＳ２
３）。閾値電圧を越えるノイズ信号が出力されれば、ノ
イズ検出信号が比較器１２から出力され、カウンタ１４
が１つカウントアップする。
値電圧を越えるノイズ信号がリード／ライトＩＣ１１か
ら出力されるかどうか所定時間監視する（ステップＳ２
３）。閾値電圧を越えるノイズ信号が出力されれば、ノ
イズ検出信号が比較器１２から出力され、カウンタ１４
が１つカウントアップする。
【００３８】所定時間が経過した後、Ｉｓ＝Ｉｓ＋Ｉｓ
ｓｔｅｐの処理を行ってセンス電流Ｉｓをわずかに増大
させるようなセンス電流制御信号をリード／ライトＩＣ
１１に送る（ステップＳ２４）。
ｓｔｅｐの処理を行ってセンス電流Ｉｓをわずかに増大
させるようなセンス電流制御信号をリード／ライトＩＣ
１１に送る（ステップＳ２４）。
【００３９】次いで、増大させたセンス電流Ｉｓがその
スィープ終了値Ｉｓｓｔｏｐを越えたかどうかチェック
し（ステップＳ２５）、越えていない場合はステップＳ
２２に戻ってステップＳ２２〜Ｓ２５の処理を繰り返
す。
スィープ終了値Ｉｓｓｔｏｐを越えたかどうかチェック
し（ステップＳ２５）、越えていない場合はステップＳ
２２に戻ってステップＳ２２〜Ｓ２５の処理を繰り返
す。
【００４０】センス電流Ｉｓがそのスィープ終了値Ｉｓ
ｓｔｏｐを越えた場合は、カウンタ１４のカウント値か
らノイズの発生回数を知り、その発生回数が許容値を越
えているかどうかチェックする（ステップＳ２６）。
ｓｔｏｐを越えた場合は、カウンタ１４のカウント値か
らノイズの発生回数を知り、その発生回数が許容値を越
えているかどうかチェックする（ステップＳ２６）。
【００４１】許容値を越えてない場合は、その磁気ヘッ
ドはバルクハウゼンノイズが発生しない良品であると判
断し（ステップＳ２７）、この検査を終了する。
ドはバルクハウゼンノイズが発生しない良品であると判
断し（ステップＳ２７）、この検査を終了する。
【００４２】許容値を越えている場合は、その磁気ヘッ
ドはバルクハウゼンノイズが発生する不良品であると判
断する（ステップＳ２８）。多くの場合、このような不
良品の磁気ヘッドは破棄される。
ドはバルクハウゼンノイズが発生する不良品であると判
断する（ステップＳ２８）。多くの場合、このような不
良品の磁気ヘッドは破棄される。
【００４３】本願の発明者等は、ＭＲ素子に外部磁界を
全く印加しない場合であっても、ＭＲ素子のセンス電流
を変化させてそのバイアス点を変化させると、バルクハ
ウゼンノイズの発生する不良品の場合には比較的大きな
ノイズ信号が発生し、バルクハウゼンノイズの発生しな
い良品の場合にはそのようなバイアス点に依存する比較
的大きなノイズ信号は生じないことを見出した。図５
は、その様子を示しており、Ａはバルクハウゼンノイズ
の発生する不良品から出力されるノイズ信号、Ｂはバル
クハウゼンノイズの発生しない良品から出力されるノイ
ズ信号をそれぞれ示している。なお、図５において、横
軸はＭＲ素子に流されるセンス電流、縦軸はＭＲ素子か
ら出力されるノイズ信号電圧をそれぞれ表している。
全く印加しない場合であっても、ＭＲ素子のセンス電流
を変化させてそのバイアス点を変化させると、バルクハ
ウゼンノイズの発生する不良品の場合には比較的大きな
ノイズ信号が発生し、バルクハウゼンノイズの発生しな
い良品の場合にはそのようなバイアス点に依存する比較
的大きなノイズ信号は生じないことを見出した。図５
は、その様子を示しており、Ａはバルクハウゼンノイズ
の発生する不良品から出力されるノイズ信号、Ｂはバル
クハウゼンノイズの発生しない良品から出力されるノイ
ズ信号をそれぞれ示している。なお、図５において、横
軸はＭＲ素子に流されるセンス電流、縦軸はＭＲ素子か
ら出力されるノイズ信号電圧をそれぞれ表している。
【００４４】従って本実施形態のように、センス電流を
所定の範囲内で変化させる間に、ＭＲ素子から出力され
るノイズ信号が閾値を何回上回るかを計数し、その回数
が許容値を越えた場合にバルクハウゼンノイズの発生し
ている判断をすれば、ＭＲ素子に外部磁界を全く印加す
ることなくかつＨＧＡに組み上げる前にＭＲ素子の良否
を判断することができる。外部磁界が全く印加されない
ので、ＭＲ素子の磁気シールドが磁化変化を起すことが
なく、従ってＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生す
るか否かを正しく判断することができる。しかも、本実
施形態では、検査される磁気ヘッドが、ＨＧＡとして組
み立てる前の段階である、ウエハ上、バー上又は個々の
スライダ上の磁気ヘッドであるため、このようにその磁
気ヘッドが不良品であると判断されて破棄された場合に
も、損失は小さく、製造コストの増大を最小限に防ぐこ
とができる。
所定の範囲内で変化させる間に、ＭＲ素子から出力され
るノイズ信号が閾値を何回上回るかを計数し、その回数
が許容値を越えた場合にバルクハウゼンノイズの発生し
ている判断をすれば、ＭＲ素子に外部磁界を全く印加す
ることなくかつＨＧＡに組み上げる前にＭＲ素子の良否
を判断することができる。外部磁界が全く印加されない
ので、ＭＲ素子の磁気シールドが磁化変化を起すことが
なく、従ってＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生す
るか否かを正しく判断することができる。しかも、本実
施形態では、検査される磁気ヘッドが、ＨＧＡとして組
み立てる前の段階である、ウエハ上、バー上又は個々の
スライダ上の磁気ヘッドであるため、このようにその磁
気ヘッドが不良品であると判断されて破棄された場合に
も、損失は小さく、製造コストの増大を最小限に防ぐこ
とができる。
【００４５】図６は、図１の実施形態の変更態様とし
て、比較器１２の閾値電圧の設定処理の他の例を示すフ
ローチャートである。
て、比較器１２の閾値電圧の設定処理の他の例を示すフ
ローチャートである。
【００４６】同図に示すように、この変更態様では、ま
ず、ＭＲ素子の縦バイアス方向、即ちＭＲ素子を単磁区
化するための永久磁石の着磁方向と同一方向、に十分な
強さの外部磁界を印加する（ステップＳ６１）。これに
りＭＲ素子の磁区を単磁区化しバルクハウゼンノイズが
発生しない状態とする。
ず、ＭＲ素子の縦バイアス方向、即ちＭＲ素子を単磁区
化するための永久磁石の着磁方向と同一方向、に十分な
強さの外部磁界を印加する（ステップＳ６１）。これに
りＭＲ素子の磁区を単磁区化しバルクハウゼンノイズが
発生しない状態とする。
【００４７】次いで、閾値電圧を実際に変えながら前述
の実施形態と同様の測定を行ってそのときの閾値電圧を
越えるノイズ信号が全く生じない最低の閾値、即ちバル
クハウゼンノイズの発生しない最低の閾値を求め、その
値に閾値を決定する（ステップＳ６２）。その後、外部
磁界の印加を終了する（ステップＳ６３）。
の実施形態と同様の測定を行ってそのときの閾値電圧を
越えるノイズ信号が全く生じない最低の閾値、即ちバル
クハウゼンノイズの発生しない最低の閾値を求め、その
値に閾値を決定する（ステップＳ６２）。その後、外部
磁界の印加を終了する（ステップＳ６３）。
【００４８】この変更態様におけるその他の構成、動作
及び作用効果は、図１の実施形態の場合と全く同様であ
る。
及び作用効果は、図１の実施形態の場合と全く同様であ
る。
【００４９】図７は、本発明の一実施形態であるＭＲ素
子を有する磁気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に
示すブロック図及び信号波形図である。
子を有する磁気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に
示すブロック図及び信号波形図である。
【００５０】同図において、７０は検査されるべきＭＲ
素子７０ａとインダクティブ素子７０ｂとを有する磁気
ヘッド、７１はこの磁気ヘッド７０に電気的に接続され
たヘッドアンプであるリード／ライトＩＣ、７２は入力
端子がリード／ライトＩＣ７１の読出し信号出力端子に
接続されたピーク保持回路、７３はピーク保持回路７２
の出力端子に入力端子が接続されたＡ／Ｄコンバータ、
７５はＡ／Ｄコンバータ７３のデジタル出力端子及びリ
ード／ライトＩＣ７１のセンス電流制御端子に接続され
たデジタルコンピュータをそれぞれ示している。
素子７０ａとインダクティブ素子７０ｂとを有する磁気
ヘッド、７１はこの磁気ヘッド７０に電気的に接続され
たヘッドアンプであるリード／ライトＩＣ、７２は入力
端子がリード／ライトＩＣ７１の読出し信号出力端子に
接続されたピーク保持回路、７３はピーク保持回路７２
の出力端子に入力端子が接続されたＡ／Ｄコンバータ、
７５はＡ／Ｄコンバータ７３のデジタル出力端子及びリ
ード／ライトＩＣ７１のセンス電流制御端子に接続され
たデジタルコンピュータをそれぞれ示している。
【００５１】以下本実施形態の動作を説明する。
【００５２】まず、検査すべき磁気ヘッドのＭＲ素子７
０ａとインダクティブ素子７０ｂとをこの検査装置のリ
ード／ライトＩＣ７１に接続する。本実施形態において
は、磁気ヘッドに外部から磁界が全く印加されない状態
で検査が行われる。
０ａとインダクティブ素子７０ｂとをこの検査装置のリ
ード／ライトＩＣ７１に接続する。本実施形態において
は、磁気ヘッドに外部から磁界が全く印加されない状態
で検査が行われる。
【００５３】検査すべき磁気ヘッド７０は、ウエハ上に
多数配列された磁気ヘッドの１つ、ヘッドブロック（バ
ー）上に多数配列された磁気ヘッドの１つ、又はバーか
ら個々に分離されたスライダ上の磁気ヘッドである。な
お、本発明の検査のみを実施する場合には、ＭＲ素子７
０ａのみを接続すればよいことは明らかである。
多数配列された磁気ヘッドの１つ、ヘッドブロック（バ
ー）上に多数配列された磁気ヘッドの１つ、又はバーか
ら個々に分離されたスライダ上の磁気ヘッドである。な
お、本発明の検査のみを実施する場合には、ＭＲ素子７
０ａのみを接続すればよいことは明らかである。
【００５４】ピーク保持回路７２は、リード／ライトＩ
Ｃ７１からのノイズ信号の各ピーク値を検出し、そのピ
ーク値からのエンベロープ信号を出力する。このエンベ
ロープ信号はＡ／Ｄコンバータ７３によってデジタル信
号に変換され、コンピュータ７５に入力される。
Ｃ７１からのノイズ信号の各ピーク値を検出し、そのピ
ーク値からのエンベロープ信号を出力する。このエンベ
ロープ信号はＡ／Ｄコンバータ７３によってデジタル信
号に変換され、コンピュータ７５に入力される。
【００５５】図８は、本実施形態におけるコンピュータ
７５の処理内容の一部を示すフローチャートである。
７５の処理内容の一部を示すフローチャートである。
【００５６】同図に示すように、コンピュータ７５は、
検査開始の指示に応答してまずセンス電流Ｉｓをスィー
プ開始値Ｉｓｓｔａｒｔに設定するようなセンス電流制
御信号をリード／ライトＩＣ７１に送る（ステップＳ８
１）。
検査開始の指示に応答してまずセンス電流Ｉｓをスィー
プ開始値Ｉｓｓｔａｒｔに設定するようなセンス電流制
御信号をリード／ライトＩＣ７１に送る（ステップＳ８
１）。
【００５７】次いで、そのときのセンス電流Ｉｓで、ノ
イズ信号を所定時間測定し、平均ノイズ電圧を求める
（ステップＳ８２）。
イズ信号を所定時間測定し、平均ノイズ電圧を求める
（ステップＳ８２）。
【００５８】所定時間が経過して平均ノイズ電圧を求め
た後、Ｉｓ＝Ｉｓ＋Ｉｓｓｔｅｐの処理を行ってセンス
電流Ｉｓをわずかに増大させるようなセンス電流制御信
号をリード／ライトＩＣ１１に送る（ステップＳ８
３）。
た後、Ｉｓ＝Ｉｓ＋Ｉｓｓｔｅｐの処理を行ってセンス
電流Ｉｓをわずかに増大させるようなセンス電流制御信
号をリード／ライトＩＣ１１に送る（ステップＳ８
３）。
【００５９】次いで、増大させたセンス電流Ｉｓがその
スィープ終了値Ｉｓｓｔｏｐを越えたかどうかチェック
し（ステップＳ８４）、越えていない場合はステップＳ
８２に戻ってステップＳ８２〜Ｓ８４の処理を繰り返
す。
スィープ終了値Ｉｓｓｔｏｐを越えたかどうかチェック
し（ステップＳ８４）、越えていない場合はステップＳ
８２に戻ってステップＳ８２〜Ｓ８４の処理を繰り返
す。
【００６０】センス電流Ｉｓがそのスィープ終了値Ｉｓ
ｓｔｏｐを越えた場合は、センス電流と求めた平均ノイ
ズ電圧との関係を１次式で近似し、測定したノイズ信号
と近似した１次式による近似値との相関係数を求める
（ステップＳ８５）。
ｓｔｏｐを越えた場合は、センス電流と求めた平均ノイ
ズ電圧との関係を１次式で近似し、測定したノイズ信号
と近似した１次式による近似値との相関係数を求める
（ステップＳ８５）。
【００６１】次いで、求めた相関係数と１次近似式の係
数とが許容範囲内であるかどうか判別する（ステップＳ
８６）。
数とが許容範囲内であるかどうか判別する（ステップＳ
８６）。
【００６２】許容範囲内にある場合は、その磁気ヘッド
はバルクハウゼンノイズが発生しない良品であると判断
し（ステップＳ８７）、この検査を終了する。
はバルクハウゼンノイズが発生しない良品であると判断
し（ステップＳ８７）、この検査を終了する。
【００６３】許容範囲を越えている場合は、その磁気ヘ
ッドはバルクハウゼンノイズが発生する不良品であると
判断する（ステップＳ８８）。多くの場合、このような
不良品の磁気ヘッドは破棄される。
ッドはバルクハウゼンノイズが発生する不良品であると
判断する（ステップＳ８８）。多くの場合、このような
不良品の磁気ヘッドは破棄される。
【００６４】本実施形態のように、ノイズ信号のセンス
電流依存性を直線との相関係数を求め、その係数が許容
範囲を越えた場合にバルクハウゼンノイズの発生してい
る判断すれば、ＭＲ素子に外部磁界を全く印加すること
なくかつＨＧＡに組み上げる前にＭＲ素子の良否を判断
することができる。外部磁界が全く印加されないので、
ＭＲ素子の磁気シールドが磁化変化を起すことがなく、
従ってＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生するか否
かを正しく判断することができる。しかも、本実施形態
では、検査される磁気ヘッドが、ＨＧＡとして組み立て
る前の段階である、ウエハ上、バー上又は個々のスライ
ダ上の磁気ヘッドであるため、このようにその磁気ヘッ
ドが不良品であると判断されて破棄された場合にも、損
失は小さく、製造コストの増大を最小限に防ぐことがで
きる。
電流依存性を直線との相関係数を求め、その係数が許容
範囲を越えた場合にバルクハウゼンノイズの発生してい
る判断すれば、ＭＲ素子に外部磁界を全く印加すること
なくかつＨＧＡに組み上げる前にＭＲ素子の良否を判断
することができる。外部磁界が全く印加されないので、
ＭＲ素子の磁気シールドが磁化変化を起すことがなく、
従ってＭＲ素子がバルクハウゼンノイズを発生するか否
かを正しく判断することができる。しかも、本実施形態
では、検査される磁気ヘッドが、ＨＧＡとして組み立て
る前の段階である、ウエハ上、バー上又は個々のスライ
ダ上の磁気ヘッドであるため、このようにその磁気ヘッ
ドが不良品であると判断されて破棄された場合にも、損
失は小さく、製造コストの増大を最小限に防ぐことがで
きる。
【００６５】本実施形態におけるその他の構成、動作及
び作用効果は、図１の実施形態の場合と全く同様であ
る。
び作用効果は、図１の実施形態の場合と全く同様であ
る。
【００６６】なお、上述した実施形態では、磁気ヘッド
に全く磁界を印加しない状態で検査を行っているが、Ｍ
Ｒ素子の磁気シールドの磁化が変化しないような弱い一
定の磁界を印加した状態で検査を行っても同様の効果を
得ることが可能である。
に全く磁界を印加しない状態で検査を行っているが、Ｍ
Ｒ素子の磁気シールドの磁化が変化しないような弱い一
定の磁界を印加した状態で検査を行っても同様の効果を
得ることが可能である。
【００６７】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【００６８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明では、
無磁場状態又はこれに近い状態で、センス電流の変化し
た種々の値に対してＭＲ素子から出力されるノイズ信号
を測定することによってこのＭＲ素子の良否を判断して
いる。このように、センス電流をスィープするのみだけ
でＭＲ素子から出力されるノイズ信号を検出してバルク
ハウゼンノイズの有無を判断しているので、ＭＲ素子の
磁気シールドが磁化変化を起すことがないから、ＭＲ素
子がバルクハウゼンノイズを発生するか否かを正しく判
断することができる。さらに、検査すべき磁気ヘッドが
回転する磁気ディスクから実際に磁気情報を読み出す必
要もないので、ＨＧＡとして組み立てる前の段階である
ウエハ上又はバー上の、場合によってバーから個々に切
出されたスライダ上の磁気ヘッドに対して検査を行うこ
とができる。その結果、バルクハウゼンノイズの発生が
確認されてその磁気ヘッドが不良品であると判断され破
棄された場合にも、損失は小さく、製造コストの増大を
最小限に防ぐことができる。
無磁場状態又はこれに近い状態で、センス電流の変化し
た種々の値に対してＭＲ素子から出力されるノイズ信号
を測定することによってこのＭＲ素子の良否を判断して
いる。このように、センス電流をスィープするのみだけ
でＭＲ素子から出力されるノイズ信号を検出してバルク
ハウゼンノイズの有無を判断しているので、ＭＲ素子の
磁気シールドが磁化変化を起すことがないから、ＭＲ素
子がバルクハウゼンノイズを発生するか否かを正しく判
断することができる。さらに、検査すべき磁気ヘッドが
回転する磁気ディスクから実際に磁気情報を読み出す必
要もないので、ＨＧＡとして組み立てる前の段階である
ウエハ上又はバー上の、場合によってバーから個々に切
出されたスライダ上の磁気ヘッドに対して検査を行うこ
とができる。その結果、バルクハウゼンノイズの発生が
確認されてその磁気ヘッドが不良品であると判断され破
棄された場合にも、損失は小さく、製造コストの増大を
最小限に防ぐことができる。
【図１】本発明の一実施形態であるＭＲ素子を有する磁
気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に示すブロック
図である。
気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に示すブロック
図である。
【図２】図１の実施形態におけるにおけるコンピュータ
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
【図３】図１の実施形態におけるにおけるコンピュータ
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
【図４】図１の実施形態におけるにおけるコンピュータ
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
【図５】バルクハウゼンノイズが発生する磁気ヘッド及
び発生しない磁気ヘッドについて、センス電流に対する
ＭＲ素子のノイズ信号電圧特性を表す図である。
び発生しない磁気ヘッドについて、センス電流に対する
ＭＲ素子のノイズ信号電圧特性を表す図である。
【図６】図４のコンピュータの処理内容の変更態様を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図７】本発明の他の実施形態であるＭＲ素子を有する
磁気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に示すブロッ
ク図及び信号波形図である。
磁気ヘッドの検査装置の回路構成を概略的に示すブロッ
ク図及び信号波形図である。
【図８】図７の実施形態におけるにおけるコンピュータ
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
の処理内容の一部を示すフローチャートである。
１０、７０ 磁気ヘッド １０ａ、７０ａ ＭＲ素子 １０ｂ、７０ｂ インダクティブ素子 １１、７１ リード／ライトＩＣ １２ 比較器 １３ Ｄ／Ａコンバータ １４ カウンタ １５、７５ デジタルコンピュータ ７２ ピーク保持回路 ７３ Ａ／Ｄコンバータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅原 剛 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D034 BA02 BB14 CA04 DA04 5D091 DD03 FF04 HH20
Claims (18)
- 【請求項１】 検査すべき磁気ヘッドに磁界を印加しな
い状態又は弱い一定の磁界を印加した状態で、該磁気ヘ
ッドの磁気抵抗効果素子にセンス電流を流すと共に該セ
ンス電流を変化させ、該センス電流の種々の値に対して
該磁気抵抗効果素子から出力されるノイズ信号を測定す
ることによって該磁気抵抗効果素子の良否を判断するこ
とを特徴とする磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの
検査方法。 - 【請求項２】 前記検査すべき磁気ヘッドが、ヘッドブ
ロック上又はウエハ上に配列された複数の磁気ヘッドの
１つであることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記測定したノイズ信号を閾値と比較す
ることによって該磁気抵抗効果素子の良否を判断するこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項４】 前記センス電流を開始値から終了値まで
変化させる間に前記測定したノイズ信号が閾値を越える
回数を計数し、該計数値が許容値を越えた場合に該磁気
抵抗効果素子が不良品であると判断することを特徴とす
る請求項３に記載の方法。 - 【請求項５】 前記閾値が、前記磁気抵抗効果素子のヘ
ッド抵抗ノイズと、あらかじめ測定した回路ノイズとに
基づいて定められることを特徴とする請求項３又は４に
記載の方法。 - 【請求項６】 前記ヘッド抵抗ノイズが、前記磁気抵抗
効果素子の抵抗値を測定し、該測定した抵抗値とセンス
電流値とから該磁気抵抗効果素子の温度を算出し、該算
出した温度と前記測定した抵抗値とから算出されること
を特徴とする請求項５に記載の方法。 - 【請求項７】 前記閾値が、前記磁気抵抗効果素子に外
部から縦バイアス磁界を印加し、閾値を変化させること
によりバルクハウゼンノイズの発生しない最低閾値を求
めてその値に定められることを特徴とする請求項３又は
４に記載の方法。 - 【請求項８】 前記測定したノイズ信号の前記変化する
センス電流依存性を検出することによって該磁気抵抗効
果素子の良否を判断することを特徴とする請求項１又は
２に記載の方法。 - 【請求項９】 前記測定したノイズ信号と前記センス電
流との関係を１次式で近似しておき、該測定したノイズ
信号と該１次式による近似値との相関係数を求め、該求
めた相関係数と前記１次式の係数とによって該磁気抵抗
効果素子の良否を判断することを特徴とする請求項８に
記載の方法。 - 【請求項１０】 検査すべき磁気ヘッドに磁界を印加し
ない状態又は弱い一定の磁界を印加した状態で、該各磁
気ヘッドの磁気抵抗効果素子にセンス電流を流すと共に
該センス電流を変化させる手段と、該センス電流の種々
の値に対して該磁気抵抗効果素子から出力されるノイズ
信号を測定する測定手段と、該測定手段の測定結果に応
じて該磁気抵抗効果素子の良否を判断する判定手段とを
備えたことを特徴とする磁気抵抗効果素子を有する磁気
ヘッドの検査装置。 - 【請求項１１】 前記検査すべき磁気ヘッドが、ヘッド
ブロック上又はウエハ上に配列された複数の磁気ヘッド
の１つであることを特徴とする請求項１０に記載の装
置。 - 【請求項１２】 前記判定手段が、前記測定したノイズ
信号を閾値と比較することによって該磁気抵抗効果素子
の良否を判断する手段であることを特徴とする請求項１
０又は１１に記載の装置。 - 【請求項１３】 前記判断する手段が、前記センス電流
を開始値から終了値まで変化させる間に、測定したノイ
ズ信号が閾値を越える回数を計数する手段と、該計数値
が許容値を越えた場合に該磁気抵抗効果素子が不良品で
あると判断する手段とを含んでいることを特徴とする請
求項１２に記載の装置。 - 【請求項１４】 前記磁気抵抗効果素子のヘッド抵抗ノ
イズと、あらかじめ測定した回路ノイズとに基づいて前
記閾値を定める閾値設定手段をさらに備えたことを特徴
とする請求項１２又は１３に記載の装置。 - 【請求項１５】 前記閾値設定手段が、前記磁気抵抗効
果素子の抵抗値を測定する手段と、該測定した抵抗値と
センス電流値とから該磁気抵抗効果素子の温度を算出す
る手段と、該算出した温度と前記測定した抵抗値とから
前記ヘッド抵抗ノイズを算出する手段とを含むことを特
徴とする請求項１４に記載の装置。 - 【請求項１６】 前記磁気抵抗効果素子に外部から縦バ
イアス磁界を印加する手段と、閾値を変化させることに
よりバルクハウゼンノイズの発生しない最低閾値を求め
て該求めた最低閾値に前記閾値を定める閾値設定手段を
さらに備えたことを特徴とする請求項１２又は１３に記
載の装置。 - 【請求項１７】 前記判定手段が、前記測定したノイズ
信号の前記変化するセンス電流依存性を検出することに
よって該磁気抵抗効果素子の良否を判断する手段である
ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の装置。 - 【請求項１８】 前記判断する手段が、前記測定したノ
イズ信号と前記センス電流との関係を１次式で近似して
おく手段と、該測定したノイズ信号と該１次式による近
似値との相関係数を求める手段と、該求めた相関係数と
前記１次式の係数とによって該磁気抵抗効果素子の良否
を判断する手段とを備えたことを特徴とする請求項１７
に記載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000328489A JP3835155B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000328489A JP3835155B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002133621A true JP2002133621A (ja) | 2002-05-10 |
| JP3835155B2 JP3835155B2 (ja) | 2006-10-18 |
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ID=18805334
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000328489A Expired - Fee Related JP3835155B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3835155B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| WO2007145335A1 (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-21 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 磁気ヘッド、固体素子メモリ及び磁気センサ |
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| US7986481B2 (en) | 2006-08-24 | 2011-07-26 | Tdk Corporation | Magnetic reproducing method for suppressing low temperature noise |
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-
2000
- 2000-10-27 JP JP2000328489A patent/JP3835155B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| JP2007335759A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Osaka Univ | 磁気ヘッド |
| US7872471B2 (en) | 2006-08-24 | 2011-01-18 | Tdk Corporation | Testing method of head element and magnetic recording and reproducing apparatus capable of head evaluating |
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