JP2783084B2 - 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置Info
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- JP2783084B2 JP2783084B2 JP4255452A JP25545292A JP2783084B2 JP 2783084 B2 JP2783084 B2 JP 2783084B2 JP 4255452 A JP4255452 A JP 4255452A JP 25545292 A JP25545292 A JP 25545292A JP 2783084 B2 JP2783084 B2 JP 2783084B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
媒体から再生を行う磁気抵抗ヘッド（Ｍａｇｎｅｔｏ
Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ、以下ＭＲヘッドと称す
る）の検査方法及び装置に関する。
媒体から再生を行う磁気抵抗ヘッド（Ｍａｇｎｅｔｏ
Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ、以下ＭＲヘッドと称す
る）の検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク等の磁気媒体用の薄
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッ
ドが実用化され始めている。
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッ
ドが実用化され始めている。
【０００３】ＭＲヘッドは、パーマロイ等の強磁性体薄
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良
品が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイ
ズは、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっ
かかりながら移動することに起因するものであり、この
ようなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再
生動作が期待できない。このため、ＭＲヘッド製造時の
検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発
生しない良品であることを確認する必要がある。
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズを発生する不良
品が生成されてしまう恐れがある。バルクハウゼンノイ
ズは、主として磁壁が磁性体内の欠陥や夾雑物等にひっ
かかりながら移動することに起因するものであり、この
ようなノイズを生じるヘッドでは一部の領域で正常な再
生動作が期待できない。このため、ＭＲヘッド製造時の
検査においては、バルクハウゼンノイズ等のノイズを発
生しない良品であることを確認する必要がある。
【０００４】しかしながら、バルクハウゼンノイズは、
出たり出なかったりランダムに発生するものであり定量
化することができないので、これを検出することは非常
に困難である。ヘッド用の薄膜材料自体からバルクハウ
ゼンノイズが出るかどうか検査する方法としては、非磁
性基板上の磁性薄膜にリング型ヘッドのギャップ部を接
触させた状態で外部からこの磁性薄膜に直流又は交流の
磁界を印加し、リング型ヘッドから出るノイズ状信号に
基づいてその薄膜の特性評価を行う方法が公知である
（特開昭６０−６９８１０号公報）。しかしながらこの
方法は、ＭＲヘッドを形成する前の薄膜材料の状態で行
うものであるため、実際に完成したヘッドに本当にバル
クハウゼンノイズが発生するかどうかという相関関係が
不明であるから、正確な評価方法として採用できない。
しかもこの公知方法によると、リング型ヘッドや外部か
ら磁界を印加する手段を用意しなければならないため、
検査装置が複雑となってしまう。
出たり出なかったりランダムに発生するものであり定量
化することができないので、これを検出することは非常
に困難である。ヘッド用の薄膜材料自体からバルクハウ
ゼンノイズが出るかどうか検査する方法としては、非磁
性基板上の磁性薄膜にリング型ヘッドのギャップ部を接
触させた状態で外部からこの磁性薄膜に直流又は交流の
磁界を印加し、リング型ヘッドから出るノイズ状信号に
基づいてその薄膜の特性評価を行う方法が公知である
（特開昭６０−６９８１０号公報）。しかしながらこの
方法は、ＭＲヘッドを形成する前の薄膜材料の状態で行
うものであるため、実際に完成したヘッドに本当にバル
クハウゼンノイズが発生するかどうかという相関関係が
不明であるから、正確な評価方法として採用できない。
しかもこの公知方法によると、リング型ヘッドや外部か
ら磁界を印加する手段を用意しなければならないため、
検査装置が複雑となってしまう。
【０００５】このため、完成したＭＲヘッド自体につい
てバルクハウゼンノイズが発生するかどうか検査できる
ことがどうしても必要となる。従来のこの種のノイズ検
出方法としては、完成したＭＲヘッドに一定の極性のセ
ンス電流を流した状態でその出力電圧を何度も検出する
ことによりピークシフト量やアシンメトリ等の測定項目
について膨大な量のデータを得、その分布を取ってバル
クハウゼンノイズが発生しているかどうか評価すること
が行われていた。
てバルクハウゼンノイズが発生するかどうか検査できる
ことがどうしても必要となる。従来のこの種のノイズ検
出方法としては、完成したＭＲヘッドに一定の極性のセ
ンス電流を流した状態でその出力電圧を何度も検出する
ことによりピークシフト量やアシンメトリ等の測定項目
について膨大な量のデータを得、その分布を取ってバル
クハウゼンノイズが発生しているかどうか評価すること
が行われていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な検査方法によると、膨大な量のデータを必要とするの
で、１つのＭＲヘッドの検査に１〜数分程度要すること
となり、効率の良い検査を行うことができなかった。
な検査方法によると、膨大な量のデータを必要とするの
で、１つのＭＲヘッドの検査に１〜数分程度要すること
となり、効率の良い検査を行うことができなかった。
【０００７】従って本発明は、検査処理が簡単であり、
しかも検査時間を大幅に低減させることができるＭＲヘ
ッドの検査方法及び装置を提供するものである。
しかも検査時間を大幅に低減させることができるＭＲヘ
ッドの検査方法及び装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、センス
電流によってバイアス磁界を発生するごときＭＲヘッド
にセンス電流を流した状態でこのＭＲヘッドから出力電
圧を受け取り、受け取った出力電圧に基づいて所望の項
目の測定結果を得ることによりＭＲヘッドの検査を行う
場合に、バイアス磁界の極性を正負に交互に変化させる
ようにセンス電流の極性を交番させてＭＲヘッドから出
力電圧を得るようにしたＭＲヘッドの検査方法が提供さ
れる。さらに、本発明によれば、センス電流によってバ
イアス磁界を発生するごときＭＲヘッドにセンス電流を
流すためのセンス電流供給手段と、このＭＲヘッドから
の出力電圧に基づいて所望の項目の測定結果を得る測定
手段とを備えており、上述のセンス電流供給手段がバイ
アス磁界の極性を正負に交互に変化させるようにセンス
電流の極性を交番させるように構成されているＭＲヘッ
ドの検査装置が提供される。
電流によってバイアス磁界を発生するごときＭＲヘッド
にセンス電流を流した状態でこのＭＲヘッドから出力電
圧を受け取り、受け取った出力電圧に基づいて所望の項
目の測定結果を得ることによりＭＲヘッドの検査を行う
場合に、バイアス磁界の極性を正負に交互に変化させる
ようにセンス電流の極性を交番させてＭＲヘッドから出
力電圧を得るようにしたＭＲヘッドの検査方法が提供さ
れる。さらに、本発明によれば、センス電流によってバ
イアス磁界を発生するごときＭＲヘッドにセンス電流を
流すためのセンス電流供給手段と、このＭＲヘッドから
の出力電圧に基づいて所望の項目の測定結果を得る測定
手段とを備えており、上述のセンス電流供給手段がバイ
アス磁界の極性を正負に交互に変化させるようにセンス
電流の極性を交番させるように構成されているＭＲヘッ
ドの検査装置が提供される。
【０００９】
【作用】ＭＲヘッドに供給されるセンス電流の極性を交
番させてバイアス磁界の極性を正負に交互に変化させ、
その都度このＭＲヘッドのＴＡＡ（トラックアベレージ
アンプリチュード、出力）、ＰＷ50（半値幅）、アシン
メトリ等の所望の項目の測定結果を得ているので、バル
クハウゼンノイズが生じ易い領域をより広くカバーする
こととなり、ノイズ発生を容易に検出することが可能と
なる。
番させてバイアス磁界の極性を正負に交互に変化させ、
その都度このＭＲヘッドのＴＡＡ（トラックアベレージ
アンプリチュード、出力）、ＰＷ50（半値幅）、アシン
メトリ等の所望の項目の測定結果を得ているので、バル
クハウゼンノイズが生じ易い領域をより広くカバーする
こととなり、ノイズ発生を容易に検出することが可能と
なる。
【００１０】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【００１１】図２は、本発明の一実施例であるＭＲヘッ
ド用検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図であ
る。
ド用検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図であ
る。
【００１２】同図において、２０は検査すべきＭＲヘッ
ドを示しており、このＭＲヘッド２０は、軟磁性膜等に
よるバイアス導体中をセンス電流が流れることによって
バイアス磁界を発生するように構成されたものである。
ＭＲヘッド２０の２つの電極には通常のヘッドリード／
ライトＩＣ２１が接続されている。ヘッドリード／ライ
トＩＣ２１は、極性が交番可能なセンス電流を供給する
ために設けられており、例えばシリコンシステムズ社
（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｎｃ．）製のＳ
ＳＩ２０２０Ｒが本実施例では用いられている。
ドを示しており、このＭＲヘッド２０は、軟磁性膜等に
よるバイアス導体中をセンス電流が流れることによって
バイアス磁界を発生するように構成されたものである。
ＭＲヘッド２０の２つの電極には通常のヘッドリード／
ライトＩＣ２１が接続されている。ヘッドリード／ライ
トＩＣ２１は、極性が交番可能なセンス電流を供給する
ために設けられており、例えばシリコンシステムズ社
（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｎｃ．）製のＳ
ＳＩ２０２０Ｒが本実施例では用いられている。
【００１３】ヘッドリード／ライトＩＣ２１のチップセ
レクト端子ＣＳ（反転）及びリード／ライト選択端子Ｒ
／Ｗ（Ｗは反転）は接地されており、このため、このＩ
Ｃ２１は書き込み電流を供給するモード、即ち、センス
電流を供給するモードに選択されている。また、ヘッド
セレクト端子ＨＳ０、ＨＳ１は接地されており、従って
Ｈ０Ｘ、Ｈ０Ｙ端子をＭＲヘッド２０の２つの電極に接
続することにより、センス電流が供給可能となってい
る。
レクト端子ＣＳ（反転）及びリード／ライト選択端子Ｒ
／Ｗ（Ｗは反転）は接地されており、このため、このＩ
Ｃ２１は書き込み電流を供給するモード、即ち、センス
電流を供給するモードに選択されている。また、ヘッド
セレクト端子ＨＳ０、ＨＳ１は接地されており、従って
Ｈ０Ｘ、Ｈ０Ｙ端子をＭＲヘッド２０の２つの電極に接
続することにより、センス電流が供給可能となってい
る。
【００１４】ＭＲヘッド２０の２つの電極には、ＡＣカ
プラ２２並びにヘッドアンプ２３及び２４を介して測定
ユニット２５がさらに接続されている。測定ユニット２
５は、磁気ヘッドの単体レベルにおける電磁気変換特性
及びエラー特性を評価可能な装置であり、本実施例では
例えばグジック（ＧＵＺＩＫ）社製のリード・ライトア
ナライザーＲＷＡ−３０１が用いられている。
プラ２２並びにヘッドアンプ２３及び２４を介して測定
ユニット２５がさらに接続されている。測定ユニット２
５は、磁気ヘッドの単体レベルにおける電磁気変換特性
及びエラー特性を評価可能な装置であり、本実施例では
例えばグジック（ＧＵＺＩＫ）社製のリード・ライトア
ナライザーＲＷＡ−３０１が用いられている。
【００１５】測定ユニット２５は、磁気ヘッドのＴＡＡ
（トラックアベレージアンプリチュード、出力）、ＰＷ
50（半値幅）、アシンメトリ（＝｜Ｔ1 −Ｔ2 ｜、ただ
しＴ1 は出力電圧の正のピークから次の負のピークまで
の半周期、Ｔ2 はその負のピークから次の正のピークま
での半周期）、アンプリチュードアシンメトリ（＝（Ｖ
1 −Ｖ2 ）／（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）、ただしＶ1 は出力電圧の
正のピーク値、Ｖ2 はその負のピーク値）、分解能等の
所望の項目を測定でき、その結果を表示することも可能
である。
（トラックアベレージアンプリチュード、出力）、ＰＷ
50（半値幅）、アシンメトリ（＝｜Ｔ1 −Ｔ2 ｜、ただ
しＴ1 は出力電圧の正のピークから次の負のピークまで
の半周期、Ｔ2 はその負のピークから次の正のピークま
での半周期）、アンプリチュードアシンメトリ（＝（Ｖ
1 −Ｖ2 ）／（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）、ただしＶ1 は出力電圧の
正のピーク値、Ｖ2 はその負のピーク値）、分解能等の
所望の項目を測定でき、その結果を表示することも可能
である。
【００１６】測定ユニット２５の測定結果である種々の
デジタルデータは、この測定ユニットに接続されたコン
ピュータ２６へ送られる。このコンピュータ２６は、上
述したリード・ライトアナライザーＲＷＡ−３０１の一
部を用いてもよいし、これとは全く別個に設けたもので
あってもよい。
デジタルデータは、この測定ユニットに接続されたコン
ピュータ２６へ送られる。このコンピュータ２６は、上
述したリード・ライトアナライザーＲＷＡ−３０１の一
部を用いてもよいし、これとは全く別個に設けたもので
あってもよい。
【００１７】コンピュータ２６の所定ビットの出力端子
が、Ｄ／Ａ変換器２７を介してヘッドリード／ライトＩ
Ｃ２１の書き込み電流調整端子ＷＣに接続されている。
この書き込み電流調整端子ＷＣは、書き込み電流の調整
を行うために設けられている端子である。さらに、コン
ピュータ２６の１ビットの出力端子がＩＣ２１の書き込
み電流（センス電流）の極性を変えるためのライトデー
タ入力端子ＷＤＩに接続されている。
が、Ｄ／Ａ変換器２７を介してヘッドリード／ライトＩ
Ｃ２１の書き込み電流調整端子ＷＣに接続されている。
この書き込み電流調整端子ＷＣは、書き込み電流の調整
を行うために設けられている端子である。さらに、コン
ピュータ２６の１ビットの出力端子がＩＣ２１の書き込
み電流（センス電流）の極性を変えるためのライトデー
タ入力端子ＷＤＩに接続されている。
【００１８】図１は、コンピュータ２６の制御プログラ
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いてＭＲ
ヘッド２０の検査方法について説明する。
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いてＭＲ
ヘッド２０の検査方法について説明する。
【００１９】まずステップＳ１において、ＭＲヘッド２
０に印加されるセンス電流に対応するデータＩS がＩS
←１０ｍＡと一定値に初期設定される。このセンス電流
データＩS は、所定のタイミング毎にＤ／Ａ変換器２７
へ出力され直流電圧に変換されてＩＣ２１の書き込み電
流調整端子ＷＣへ印加される。その結果、ＭＲヘッド２
０に印加されるセンス電流は、センス電流データＩS に
対応した一定値となる。ステップＳ１では、さらに、測
定の繰り返し回数ＣＮＴがＣＮＴ←０に初期化され、こ
の繰り返し回数ＣＮＴの最大値ＣＮＴMAX が所定値、例
えばＣＮＴMAX←２５程度に初期設定される。
０に印加されるセンス電流に対応するデータＩS がＩS
←１０ｍＡと一定値に初期設定される。このセンス電流
データＩS は、所定のタイミング毎にＤ／Ａ変換器２７
へ出力され直流電圧に変換されてＩＣ２１の書き込み電
流調整端子ＷＣへ印加される。その結果、ＭＲヘッド２
０に印加されるセンス電流は、センス電流データＩS に
対応した一定値となる。ステップＳ１では、さらに、測
定の繰り返し回数ＣＮＴがＣＮＴ←０に初期化され、こ
の繰り返し回数ＣＮＴの最大値ＣＮＴMAX が所定値、例
えばＣＮＴMAX←２５程度に初期設定される。
【００２０】ステップＳ２においては、現在の繰り返し
回数ＣＮＴがその最大値ＣＮＴMAX以下であるかどうか
判別され、ＣＮＴ≦ＣＮＴMAX の場合のみステップＳ３
へ進む。
回数ＣＮＴがその最大値ＣＮＴMAX以下であるかどうか
判別され、ＣＮＴ≦ＣＮＴMAX の場合のみステップＳ３
へ進む。
【００２１】ステップＳ３では、ＩＣ２１のライトデー
タ入力端子ＷＤＩへ送る１ビットのライトデータを
「１」に設定し、これによってセンス電流の方向（極
性）をある方向に設定する。次いで、ステップＳ４にお
いて、そのセンス電流極性における試験項目、例えばＴ
ＡＡの測定が行われる。
タ入力端子ＷＤＩへ送る１ビットのライトデータを
「１」に設定し、これによってセンス電流の方向（極
性）をある方向に設定する。次いで、ステップＳ４にお
いて、そのセンス電流極性における試験項目、例えばＴ
ＡＡの測定が行われる。
【００２２】次のステップＳ５では、ライトデータ入力
端子ＷＤＩへ送るライトデータを「０」に設定し、これ
によってセンス電流の極性を逆方向に設定する。次い
で、ステップＳ６において、そのセンス電流極性におけ
るＴＡＡの測定が行われる。
端子ＷＤＩへ送るライトデータを「０」に設定し、これ
によってセンス電流の極性を逆方向に設定する。次い
で、ステップＳ６において、そのセンス電流極性におけ
るＴＡＡの測定が行われる。
【００２３】次のステップＳ７では、繰り返し回数ＣＮ
ＴがＣＮＴ←ＣＮＴ＋１と歩進される。
ＴがＣＮＴ←ＣＮＴ＋１と歩進される。
【００２４】ステップＳ２において、ＣＮＴがＣＮＴ
MAX を越えたと判別すると、プログラムはステップＳ８
へ進み、測定結果データを集計してバルクハウゼンノイ
ズが発生したかどうか等の判定が行われてこのＭＲヘッ
ドに関する検査が終了する。
MAX を越えたと判別すると、プログラムはステップＳ８
へ進み、測定結果データを集計してバルクハウゼンノイ
ズが発生したかどうか等の判定が行われてこのＭＲヘッ
ドに関する検査が終了する。
【００２５】図３はＭＲヘッド２０の磁気特性を表して
おり、同図において、ΔＨはセンス電流によって形成さ
れたバイアス磁界、３０及び３１はこの磁界ΔＨにより
正方向及び負方向にそれぞれバイアスされたＭＲヘッド
２０の動作点を示している。センス電流の極性を本実施
例のごとく交番させることにより、バイアス磁界ΔＨの
極性も変化するので互いに異なる動作点３０及び３１で
の出力が交互に得られることとなる。また、このように
センス電流の極性を交番させると、ＭＲヘッド２０の磁
気特性自体も多少変化するので、その意味でも異なる点
での出力電圧を得ることができる。
おり、同図において、ΔＨはセンス電流によって形成さ
れたバイアス磁界、３０及び３１はこの磁界ΔＨにより
正方向及び負方向にそれぞれバイアスされたＭＲヘッド
２０の動作点を示している。センス電流の極性を本実施
例のごとく交番させることにより、バイアス磁界ΔＨの
極性も変化するので互いに異なる動作点３０及び３１で
の出力が交互に得られることとなる。また、このように
センス電流の極性を交番させると、ＭＲヘッド２０の磁
気特性自体も多少変化するので、その意味でも異なる点
での出力電圧を得ることができる。
【００２６】図４は本実施例のごとく測定したＭＲヘッ
ド２０におけるセンス電流極性に対するＴＡＡ特性の一
部を表す図である。
ド２０におけるセンス電流極性に対するＴＡＡ特性の一
部を表す図である。
【００２７】同図の破線４０に示すように、ＭＲヘッド
２０が良品である場合は、センス電流の極性が交番して
磁気バイアスが交番してもＴＡＡは一定である。しかし
ながら、ＭＲヘッド２０がバルクハウゼンノイズを発生
する不良品である場合は、同図の実線４１に示すよう
に、センス電流の極性交番に応じてバルクハウゼンノイ
ズ発生によりＴＡＡが乱れてしまうので、良品、不良品
の判別が容易に行えることとなる。
２０が良品である場合は、センス電流の極性が交番して
磁気バイアスが交番してもＴＡＡは一定である。しかし
ながら、ＭＲヘッド２０がバルクハウゼンノイズを発生
する不良品である場合は、同図の実線４１に示すよう
に、センス電流の極性交番に応じてバルクハウゼンノイ
ズ発生によりＴＡＡが乱れてしまうので、良品、不良品
の判別が容易に行えることとなる。
【００２８】本実施例のごとくセンス電流の極性を変化
させ磁気バイアスの極性を変化させてＴＡＡを測定すれ
ば、バルクハウゼンノイズの発生を簡単にかつ短時間に
確実に検知でき、しかもライトデータを交番させる手段
を新たに設けるだけでよいため検査装置の構成は複雑と
ならない。
させ磁気バイアスの極性を変化させてＴＡＡを測定すれ
ば、バルクハウゼンノイズの発生を簡単にかつ短時間に
確実に検知でき、しかもライトデータを交番させる手段
を新たに設けるだけでよいため検査装置の構成は複雑と
ならない。
【００２９】ＴＡＡの他に、ＰＷ50、アンプリチュード
アシンメトリ、さらに他の項目について同様にセンス電
流の極性を変えて測定してもよいことは明らかである。
また、上述の実施例ではセンス電流の値を１０ｍＡ一定
に保っているが、センス電流値を増減変化させてその都
度測定してもよいことは明らかである。
アシンメトリ、さらに他の項目について同様にセンス電
流の極性を変えて測定してもよいことは明らかである。
また、上述の実施例ではセンス電流の値を１０ｍＡ一定
に保っているが、センス電流値を増減変化させてその都
度測定してもよいことは明らかである。
【００３０】また、上述の実施例においては、ヘッドリ
ード／ライトＩＣ２１とコンピュータ２６の一部とが本
発明のセンス電流供給手段に対応しているが、これとは
異なる構成であってもセンス電流供給手段を実現可能で
ある。また、本発明の測定手段が測定ユニット２５とコ
ンピュータ２６の一部とで実施されているが、これとは
異なる構成であってもよいことも明らかである。
ード／ライトＩＣ２１とコンピュータ２６の一部とが本
発明のセンス電流供給手段に対応しているが、これとは
異なる構成であってもセンス電流供給手段を実現可能で
ある。また、本発明の測定手段が測定ユニット２５とコ
ンピュータ２６の一部とで実施されているが、これとは
異なる構成であってもよいことも明らかである。
【００３１】以上の説明は、バルクハウゼンノイズ発生
を検査する点について述べているが、本発明の検査方法
及び装置がバルクハウゼンノイズとは異なるノイズにつ
いても同様に検出できることはいうまでもない。
を検査する点について述べているが、本発明の検査方法
及び装置がバルクハウゼンノイズとは異なるノイズにつ
いても同様に検出できることはいうまでもない。
【００３２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、バイアス磁界の極性を正負に交互に変化させるよう
にセンス電流の極性を交番させてＭＲヘッドから出力電
圧を得、その出力電圧に基づいて所望の項目の測定結果
を得るようにしているので、バルクハウゼンノイズ等を
高精度かつ短時間に検出できる。即ち、検査処理が簡単
であり、しかも検査時間を大幅に低減させることができ
る。また、そのための検査装置の構成が複雑とはならな
い。
ば、バイアス磁界の極性を正負に交互に変化させるよう
にセンス電流の極性を交番させてＭＲヘッドから出力電
圧を得、その出力電圧に基づいて所望の項目の測定結果
を得るようにしているので、バルクハウゼンノイズ等を
高精度かつ短時間に検出できる。即ち、検査処理が簡単
であり、しかも検査時間を大幅に低減させることができ
る。また、そのための検査装置の構成が複雑とはならな
い。
【図１】図２の実施例におけるコンピュータのセンス電
流可変制御プログラムを表すフローチャートである。
流可変制御プログラムを表すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施例におけるＭＲヘッド用検査装
置の回路構成を概略的に示すブロック図である
置の回路構成を概略的に示すブロック図である
【図３】図２の実施例におけるＭＲヘッドの磁気特性を
説明する図である。
説明する図である。
【図４】図２の実施例のごとく測定したＭＲヘッドにお
けるセンス電流極性に対するＴＡＡ特性の一部を表す図
である。
けるセンス電流極性に対するＴＡＡ特性の一部を表す図
である。
２０ ＭＲヘッド ２１ ヘッドリード／ライトＩＣ ２２ ＡＣカプラ ２３、２４ ヘッドアンプ ２５ 測定ユニット ２６ コンピュータ ２７ Ｄ／Ａ変換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福田 一正 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 岩井 譲 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−105211（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−125904（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−90226（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−136020（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−171618（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/455 G11B 5/39
Claims (2)
- 【請求項１】 センス電流によってバイアス磁界を発生
する磁気抵抗ヘッドにセンス電流を流した状態で出力電
圧を受け取り、該受け取った出力電圧に基づいて所望の
項目の測定結果を得ることにより該磁気抵抗ヘッドの検
査を行う方法であって、前記バイアス磁界の極性を正負
に交互に変化させるように前記センス電流の極性を交番
させて前記磁気抵抗ヘッドから出力電圧を得るようにし
たことを特徴とする磁気抵抗ヘッドの検査方法。 - 【請求項２】 センス電流によってバイアス磁界を発生
する磁気抵抗ヘッドにセンス電流を流すためのセンス電
流供給手段と、該磁気抵抗ヘッドから得られる出力電圧
に基づいて所望の項目の測定結果を得る測定手段とを備
えた検査装置であって、前記センス電流供給手段が前記
バイアス磁界の極性を正負に交互に変化させるように前
記センス電流の極性を交番させるように構成されている
ことを特徴とする磁気抵抗ヘッドの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4255452A JP2783084B2 (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4255452A JP2783084B2 (ja) | 1992-09-01 | 1992-09-01 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684148A JPH0684148A (ja) | 1994-03-25 |
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