JPH10228614A - スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方法及び検査装置 - Google Patents
スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方法及び検査装置Info
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- JPH10228614A JPH10228614A JP9046955A JP4695597A JPH10228614A JP H10228614 A JPH10228614 A JP H10228614A JP 9046955 A JP9046955 A JP 9046955A JP 4695597 A JP4695597 A JP 4695597A JP H10228614 A JPH10228614 A JP H10228614A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スピンバルブ磁気抵抗素子のピン止め方向が
正しいか否かを容易にかつ確実に検出することのできる
スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方
法及び検査装置を提供する。 【解決手段】 あらかじめ定めた書き込みパターンを有
する矩形波電流で書き込みを行うことによって磁気媒体
上に形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのス
ピンバルブ磁気抵抗素子により再生し、再生して得た信
号波形と上述の書き込みパターンとの関係からスピンバ
ルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を検出する。
正しいか否かを容易にかつ確実に検出することのできる
スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方
法及び検査装置を提供する。 【解決手段】 あらかじめ定めた書き込みパターンを有
する矩形波電流で書き込みを行うことによって磁気媒体
上に形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのス
ピンバルブ磁気抵抗素子により再生し、再生して得た信
号波形と上述の書き込みパターンとの関係からスピンバ
ルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スピンバルブを利
用した磁気抵抗（ＭＲ）素子を備えた磁気ヘッドの検査
方法及び検査装置に関する。
用した磁気抵抗（ＭＲ）素子を備えた磁気ヘッドの検査
方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ハードディスク装置（ＨＤＤ）の
高密度化に伴って高感度及び高出力の磁気ヘッドが要求
されており、このような要求に答えるものとして、巨大
磁気抵抗効果を呈する素子の１つであるスピンバルブを
利用したＭＲ素子を備えた磁気ヘッドが提案されている
（特公平８−２１１６６号公報、特開平６−２３６５２
７号公報）。スピンバルブは、２つの強磁性薄膜層を非
磁性薄膜層で磁気的に分離してサンドイッチ構造とし、
その一方の強磁性薄膜層に反強磁性層を積層することに
よってその界面で生じる交換バイアス磁界をこの一方の
強磁性薄膜層（ピン止めされた層）に印加するようにし
たものである。交換バイアス磁界を受けるピン止めされ
た層と受けない他方の強磁性薄膜層（フリー層）とでは
磁化反転する磁界が異なるので、非磁性薄膜層を挟むこ
れら２つの強磁性薄膜層の磁化の向きが平行、反平行と
変化し、これにより電気抵抗率が大く変化するので巨大
磁気抵抗効果が得られる。
高密度化に伴って高感度及び高出力の磁気ヘッドが要求
されており、このような要求に答えるものとして、巨大
磁気抵抗効果を呈する素子の１つであるスピンバルブを
利用したＭＲ素子を備えた磁気ヘッドが提案されている
（特公平８−２１１６６号公報、特開平６−２３６５２
７号公報）。スピンバルブは、２つの強磁性薄膜層を非
磁性薄膜層で磁気的に分離してサンドイッチ構造とし、
その一方の強磁性薄膜層に反強磁性層を積層することに
よってその界面で生じる交換バイアス磁界をこの一方の
強磁性薄膜層（ピン止めされた層）に印加するようにし
たものである。交換バイアス磁界を受けるピン止めされ
た層と受けない他方の強磁性薄膜層（フリー層）とでは
磁化反転する磁界が異なるので、非磁性薄膜層を挟むこ
れら２つの強磁性薄膜層の磁化の向きが平行、反平行と
変化し、これにより電気抵抗率が大く変化するので巨大
磁気抵抗効果が得られる。
【０００３】スピンバルブＭＲ素子の出力特性等は、非
磁性薄膜層を挟むこれら２つの強磁性薄膜層（ピン止め
された層及びフリー層）の磁化のなす角度によって定ま
る。フリー層の磁化方向は磁気媒体からの磁界の方向に
従って容易に磁化し、一方、ピン止めされた層の磁化方
向は反強磁性層との交換結合により一方向（ピン止め方
向）に制御される。しかしながら、このピン止め方向が
変化してしまうと、ピン止めされた層及びフリー層の磁
化のなす角度が変化することから出力特性等も変わって
しまう。従ってスピンバルブＭＲ素子を有する磁気ヘッ
ドにおいては、ピン止め方向が正しく制御されているこ
とが非常に重要となる。
磁性薄膜層を挟むこれら２つの強磁性薄膜層（ピン止め
された層及びフリー層）の磁化のなす角度によって定ま
る。フリー層の磁化方向は磁気媒体からの磁界の方向に
従って容易に磁化し、一方、ピン止めされた層の磁化方
向は反強磁性層との交換結合により一方向（ピン止め方
向）に制御される。しかしながら、このピン止め方向が
変化してしまうと、ピン止めされた層及びフリー層の磁
化のなす角度が変化することから出力特性等も変わって
しまう。従ってスピンバルブＭＲ素子を有する磁気ヘッ
ドにおいては、ピン止め方向が正しく制御されているこ
とが非常に重要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スピン
バルブＭＲ素子を有する磁気ヘッドにおけるピン止め方
向が正しく制御されているかどうかを、容易にかつ確実
に検出できる技術が従来全く存在せず、ＨＤＤの量産工
程において大きな問題となっていた。即ち、この種の磁
気ヘッドのウエハプロセスや加工プロセス等の製造工程
中や製造したヘッドのＨＤＤへのアセンブリング工程中
において、ヘッドの端子サイドへ何らかの理由で電荷が
飛び込むと、ピン止め方向が変化してしまってヘッドの
諸特性が変化し記録信号を正確に再生できない場合があ
る。これは、飛び込んだ電荷により発生する熱及び電流
が引き起こす磁界によってピン止め方向が変化してしま
うためと考えられる。
バルブＭＲ素子を有する磁気ヘッドにおけるピン止め方
向が正しく制御されているかどうかを、容易にかつ確実
に検出できる技術が従来全く存在せず、ＨＤＤの量産工
程において大きな問題となっていた。即ち、この種の磁
気ヘッドのウエハプロセスや加工プロセス等の製造工程
中や製造したヘッドのＨＤＤへのアセンブリング工程中
において、ヘッドの端子サイドへ何らかの理由で電荷が
飛び込むと、ピン止め方向が変化してしまってヘッドの
諸特性が変化し記録信号を正確に再生できない場合があ
る。これは、飛び込んだ電荷により発生する熱及び電流
が引き起こす磁界によってピン止め方向が変化してしま
うためと考えられる。
【０００５】従って本発明の目的は、スピンバルブＭＲ
素子のピン止め方向が正しいか否かを容易にかつ確実に
検出することのできるスピンバルブＭＲ素子を備えた磁
気ヘッドの検査方法及び検査装置を提供することにあ
る。
素子のピン止め方向が正しいか否かを容易にかつ確実に
検出することのできるスピンバルブＭＲ素子を備えた磁
気ヘッドの検査方法及び検査装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、あらか
じめ定めた書き込みパターンを有する矩形波電流で書き
込みを行うことによって磁気媒体上に形成された磁気情
報を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子に
より再生し、再生して得た信号波形と上述の書き込みパ
ターンとの関係からスピンバルブＭＲ素子のピン止め方
向を検出する磁気ヘッドの検査方法が提供される。
じめ定めた書き込みパターンを有する矩形波電流で書き
込みを行うことによって磁気媒体上に形成された磁気情
報を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子に
より再生し、再生して得た信号波形と上述の書き込みパ
ターンとの関係からスピンバルブＭＲ素子のピン止め方
向を検出する磁気ヘッドの検査方法が提供される。
【０００７】あらかじめ定めた書き込みパターンの電流
で磁気記録したものを検査すべきスピンバルブＭＲ素子
で実際に再生し、その再生波形が書き込みパターンに対
して所定の関係となっているかどうか判別することによ
り、スピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を検出してい
る。このように本発明によれば、磁気媒体から磁気ヘッ
ドで再生した信号波形のみからその磁気ヘッドのスピン
バルブＭＲ素子のピン止め方向が正しいか否かを容易に
かつ確実に検出することができる。特に本発明の検出方
法は、磁気ヘッド製造後に必ず行われる最終的な読み書
き試験工程で同時に実施できるため、新たな工程を付加
する必要がなく、その意味からも容易に実現することが
可能である。
で磁気記録したものを検査すべきスピンバルブＭＲ素子
で実際に再生し、その再生波形が書き込みパターンに対
して所定の関係となっているかどうか判別することによ
り、スピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を検出してい
る。このように本発明によれば、磁気媒体から磁気ヘッ
ドで再生した信号波形のみからその磁気ヘッドのスピン
バルブＭＲ素子のピン止め方向が正しいか否かを容易に
かつ確実に検出することができる。特に本発明の検出方
法は、磁気ヘッド製造後に必ず行われる最終的な読み書
き試験工程で同時に実施できるため、新たな工程を付加
する必要がなく、その意味からも容易に実現することが
可能である。
【０００８】矩形波電流は、正の期間及び負の期間が互
いに異なると共にそのどちらが長いかがあらかじめ定め
られた書き込みパターンを有しており、再生して得た信
号の正の期間と負の期間とを比較してスピンバルブＭＲ
素子のピン止め方向を検出することが好ましい。この方
法は、次に述べる方法のように再生信号の先頭位置の同
期をとる必要がないため、実現が非常に容易となる。
いに異なると共にそのどちらが長いかがあらかじめ定め
られた書き込みパターンを有しており、再生して得た信
号の正の期間と負の期間とを比較してスピンバルブＭＲ
素子のピン止め方向を検出することが好ましい。この方
法は、次に述べる方法のように再生信号の先頭位置の同
期をとる必要がないため、実現が非常に容易となる。
【０００９】矩形波電流は、磁気媒体の基準位置に関す
るその先頭の極性があらかじめ定められた書き込みパタ
ーンを有しており、再生して得た信号の先頭の極性から
スピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を検出することも
好ましい。
るその先頭の極性があらかじめ定められた書き込みパタ
ーンを有しており、再生して得た信号の先頭の極性から
スピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を検出することも
好ましい。
【００１０】本発明によれば、さらに、正の期間及び負
の期間が互いに異なると共にそのどちらが長いかがあら
かじめ定められた書き込みパターンを有する矩形波電流
で書き込みを行うことによって磁気媒体上に形成された
磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ
素子により再生して得た信号を受け取り、再生信号の正
の期間及び負の期間をそれぞれ算出する期間算出手段
と、期間算出手段により算出された正の期間及び負の期
間を比較してスピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を判
別する判別手段とを備えた磁気ヘッドの検査装置が提供
される。
の期間が互いに異なると共にそのどちらが長いかがあら
かじめ定められた書き込みパターンを有する矩形波電流
で書き込みを行うことによって磁気媒体上に形成された
磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ
素子により再生して得た信号を受け取り、再生信号の正
の期間及び負の期間をそれぞれ算出する期間算出手段
と、期間算出手段により算出された正の期間及び負の期
間を比較してスピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を判
別する判別手段とを備えた磁気ヘッドの検査装置が提供
される。
【００１１】期間算出手段が、再生信号のピーク時間間
隔を検出して正の期間及び負の期間を算出する期間算出
手段であることが好ましい。
隔を検出して正の期間及び負の期間を算出する期間算出
手段であることが好ましい。
【００１２】期間算出手段が、再生信号を微分する微分
手段と、微分手段の出力が正から負へゼロ点を横切る第
１の時点及び負から正へゼロ点を横切る第２の時点を検
出するゼロクロス検出手段と、ゼロクロス検出手段が検
出した第１の時点及び第２の時点間の間隔を求める手段
とを含んでいるかもしれない。
手段と、微分手段の出力が正から負へゼロ点を横切る第
１の時点及び負から正へゼロ点を横切る第２の時点を検
出するゼロクロス検出手段と、ゼロクロス検出手段が検
出した第１の時点及び第２の時点間の間隔を求める手段
とを含んでいるかもしれない。
【００１３】期間算出手段が、再生信号のレベルと２つ
のしきい値とを比較して第１の出力及び第２の出力を発
生する比較手段と、比較手段の発生した第１の出力及び
第２の出力間の間隔を求める手段とを含んでいるかもし
れない。
のしきい値とを比較して第１の出力及び第２の出力を発
生する比較手段と、比較手段の発生した第１の出力及び
第２の出力間の間隔を求める手段とを含んでいるかもし
れない。
【００１４】本発明によれば、またさらに、先頭の極性
をあらかじめ定めた書き込みパターンを有する矩形波電
流で基準位置から書き込みを行うことによって磁気媒体
上に形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのス
ピンバルブＭＲ素子により再生して得た信号を受け取
り、再生信号の先頭部を抽出する先頭部抽出手段と、先
頭部抽出手段により抽出された先頭部の極性からスピン
バルブＭＲ素子のピン止め方向を判別する判別手段とを
備えた磁気ヘッドの検査装置が提供される。
をあらかじめ定めた書き込みパターンを有する矩形波電
流で基準位置から書き込みを行うことによって磁気媒体
上に形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのス
ピンバルブＭＲ素子により再生して得た信号を受け取
り、再生信号の先頭部を抽出する先頭部抽出手段と、先
頭部抽出手段により抽出された先頭部の極性からスピン
バルブＭＲ素子のピン止め方向を判別する判別手段とを
備えた磁気ヘッドの検査装置が提供される。
【００１５】先頭部抽出手段が、磁気ヘッドが磁気媒体
上で基準位置に位置する際に出力されるインデックス信
号を用いて再生信号の先頭部を抽出する先頭部抽出手段
であることが好ましい。
上で基準位置に位置する際に出力されるインデックス信
号を用いて再生信号の先頭部を抽出する先頭部抽出手段
であることが好ましい。
【００１６】先頭部抽出手段が、再生信号のレベルと１
つのしきい値とを比較する比較手段と、比較手段の出力
とインデックス信号との論理積を求める論理積手段とを
含んでいるかもしれない。
つのしきい値とを比較する比較手段と、比較手段の出力
とインデックス信号との論理積を求める論理積手段とを
含んでいるかもしれない。
【００１７】本発明によれば、さらに、先頭の極性をあ
らかじめ定めた書き込みパターンを有する矩形波電流で
基準位置から書き込みを行うことによって磁気媒体上に
形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのスピン
バルブＭＲ素子により再生して得た信号を受け取り、再
生信号の各周期の先頭部を抽出する周期先頭部抽出手段
と、周期先頭部抽出手段により抽出された先頭部の極性
から前記スピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を判別す
る判別手段とを備えた磁気ヘッドの検査装置が提供され
る。
らかじめ定めた書き込みパターンを有する矩形波電流で
基準位置から書き込みを行うことによって磁気媒体上に
形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのスピン
バルブＭＲ素子により再生して得た信号を受け取り、再
生信号の各周期の先頭部を抽出する周期先頭部抽出手段
と、周期先頭部抽出手段により抽出された先頭部の極性
から前記スピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を判別す
る判別手段とを備えた磁気ヘッドの検査装置が提供され
る。
【００１８】周期先頭部抽出手段が、磁気ヘッドが磁気
媒体上で基準位置に位置する際に出力されるインデック
ス信号に同期した書き込み電流に対応した信号を用いて
再生信号の各周期の先頭部を抽出する周期先頭部抽出手
段であることが好ましい。
媒体上で基準位置に位置する際に出力されるインデック
ス信号に同期した書き込み電流に対応した信号を用いて
再生信号の各周期の先頭部を抽出する周期先頭部抽出手
段であることが好ましい。
【００１９】周期先頭部抽出手段が、再生信号のレベル
と１つのしきい値とを比較する比較手段と、比較手段の
出力と書き込み電流に対応した信号の各周期の先頭に同
期した信号との論理積を求める論理積手段とを含んでい
るかもしれない。
と１つのしきい値とを比較する比較手段と、比較手段の
出力と書き込み電流に対応した信号の各周期の先頭に同
期した信号との論理積を求める論理積手段とを含んでい
るかもしれない。
【００２０】
【発明の実施の形態】実施形態により本発明の説明を行
う前に、本発明の基本原理を説明する。
う前に、本発明の基本原理を説明する。
【００２１】図１は、スピンバルブ積層体の基本構造を
示す断面図であり、同図において、１０及び１２は２つ
の強磁性薄膜層であり、この強磁性薄膜層１０及び１２
は非磁性薄膜層１１で磁気的に分離してサンドイッチ構
造とされている。強磁性薄膜層１２上には反強磁性層１
３が積層されており、その界面で生じる交換バイアス磁
界がこの強磁性薄膜層１２に印加されてピン止めされ
る。強磁性薄膜層１０は交換バイアス磁界が印加されな
いフリー層である。
示す断面図であり、同図において、１０及び１２は２つ
の強磁性薄膜層であり、この強磁性薄膜層１０及び１２
は非磁性薄膜層１１で磁気的に分離してサンドイッチ構
造とされている。強磁性薄膜層１２上には反強磁性層１
３が積層されており、その界面で生じる交換バイアス磁
界がこの強磁性薄膜層１２に印加されてピン止めされ
る。強磁性薄膜層１０は交換バイアス磁界が印加されな
いフリー層である。
【００２２】図２は、このようなスピンバルブ積層体の
ピン止め方向と、再生波形との関係を説明する図であ
る。同図（Ａ）に示すように、矢印Ａの方向にバイアス
されている強磁性薄膜層（フリー層）１０は磁気媒体の
記録パターンに従って発生する磁気媒体と垂直方向の上
向き又は下向きの漏れ磁界の方向（矢印Ｂで示す）に磁
化されて読み出しが行われる。その場合、強磁性薄膜層
（ピン止めされる層）１２のピン止め方向が矢印Ｃの方
向である場合に、再生波形の極性は、順次に、正、負、
正、負となる。これに対して同図（Ｂ）に示すように、
強磁性薄膜層１２のピン止め方向が矢印Ｃ′の方向に変
化してしまうと、再生波形の極性は、同じ記録パターン
であっても、順次に、負、正、負、正となるのである。
ピン止め方向と、再生波形との関係を説明する図であ
る。同図（Ａ）に示すように、矢印Ａの方向にバイアス
されている強磁性薄膜層（フリー層）１０は磁気媒体の
記録パターンに従って発生する磁気媒体と垂直方向の上
向き又は下向きの漏れ磁界の方向（矢印Ｂで示す）に磁
化されて読み出しが行われる。その場合、強磁性薄膜層
（ピン止めされる層）１２のピン止め方向が矢印Ｃの方
向である場合に、再生波形の極性は、順次に、正、負、
正、負となる。これに対して同図（Ｂ）に示すように、
強磁性薄膜層１２のピン止め方向が矢印Ｃ′の方向に変
化してしまうと、再生波形の極性は、同じ記録パターン
であっても、順次に、負、正、負、正となるのである。
【００２３】図３は、本発明による磁気ヘッドの検査装
置の一実施形態の概略構成を示すブロック図である。同
図において、３０は磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子
を示している。スピンバルブＭＲ素子３０の出力端子に
は、ヘッドアンプ３１、微分回路３２、ゼロクロス検出
回路３３及びフリップフロップ３４が順次に直列接続さ
れている。フリップフロップ３４の出力はアンド回路３
５の一方の入力に接続されている。アンド回路３５の他
方の入力にはサンプリング時間発生器３６の出力が接続
されている。サンプリング時間発生器３６の入力には、
発振器３７が接続されている。アンド回路３５の出力に
は第１のカウンタ３８が接続されており、サンプリング
時間発生器３６の出力には第２のカウンタ３９が直接接
続されている。第１のカウンタ３８及び第２のカウンタ
３９の出力は、ＣＰＵ４０の入力に接続されている。
置の一実施形態の概略構成を示すブロック図である。同
図において、３０は磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子
を示している。スピンバルブＭＲ素子３０の出力端子に
は、ヘッドアンプ３１、微分回路３２、ゼロクロス検出
回路３３及びフリップフロップ３４が順次に直列接続さ
れている。フリップフロップ３４の出力はアンド回路３
５の一方の入力に接続されている。アンド回路３５の他
方の入力にはサンプリング時間発生器３６の出力が接続
されている。サンプリング時間発生器３６の入力には、
発振器３７が接続されている。アンド回路３５の出力に
は第１のカウンタ３８が接続されており、サンプリング
時間発生器３６の出力には第２のカウンタ３９が直接接
続されている。第１のカウンタ３８及び第２のカウンタ
３９の出力は、ＣＰＵ４０の入力に接続されている。
【００２４】スピンバルブＭＲ素子３０の検査を行う前
に、まず、所定パターンの書き込み電流によって磁気記
録が行われている図示されていないテスト用の磁気ディ
スクを用意する。本実施形態においては、図４（Ａ）に
示すように、正の期間Ｔ1 と負の期間Ｔ2 とがＴ1 ＜Ｔ
2 の所定値（Ｔ1 ／Ｔ2 が１未満の所定値）である書き
込みパターンを有する矩形波電流によって磁気記録が行
われる。従って、磁気ディスクのトラック上には、図４
（Ｂ）に示すようなパターンの磁気記録が行われてい
る。
に、まず、所定パターンの書き込み電流によって磁気記
録が行われている図示されていないテスト用の磁気ディ
スクを用意する。本実施形態においては、図４（Ａ）に
示すように、正の期間Ｔ1 と負の期間Ｔ2 とがＴ1 ＜Ｔ
2 の所定値（Ｔ1 ／Ｔ2 が１未満の所定値）である書き
込みパターンを有する矩形波電流によって磁気記録が行
われる。従って、磁気ディスクのトラック上には、図４
（Ｂ）に示すようなパターンの磁気記録が行われてい
る。
【００２５】磁気ヘッドの検査を行う場合、回転するこ
の磁気ディスクに対向するように、磁気ヘッドを取り付
け、スピンバルブＭＲ素子３０に一定のセンス電流を流
した状態でその出力電圧を取り出す。スピンバルブＭＲ
素子３０のピン止め方向が正常である場合の出力電圧波
形（再生波形）が図４（Ｃ）に示されている。
の磁気ディスクに対向するように、磁気ヘッドを取り付
け、スピンバルブＭＲ素子３０に一定のセンス電流を流
した状態でその出力電圧を取り出す。スピンバルブＭＲ
素子３０のピン止め方向が正常である場合の出力電圧波
形（再生波形）が図４（Ｃ）に示されている。
【００２６】この出力電圧は、ヘッドアンプ３１におい
て増幅された後、微分回路３２に印加されて微分され、
その微分波形がゼロクロス検出回路３３に印加される。
図４（Ｄ）はこの微分波形を示している。ゼロクロス検
出回路３３は、入力信号が正から負へゼロ点を横切ると
き、及び負から正へゼロ点を横切るときにそれぞれ別個
にパルスを出力する回路であり、例えば一般的なゼロク
ロスコンパレータと、その出力の立ち上がりで動作して
パルスを出力するワンショットマルチバイブレータと、
コンパレータの出力の立ち下がりで動作してパルスを出
力するワンショットマルチバイブレータとから構成する
ことができる。図４（Ｅ）はゼロクロス検出回路３３の
正から負へのゼロクロス検出出力波形を、図４（Ｆ）は
ゼロクロス検出回路３３の負から正へのゼロクロス検出
出力波形をそれぞれ示している。これら出力波形がフリ
ップフロップ３４のセット入力及びリセット入力にそれ
ぞれ印加されることによって、図４（Ｇ）に示すような
フリップフロップ出力が得られる。
て増幅された後、微分回路３２に印加されて微分され、
その微分波形がゼロクロス検出回路３３に印加される。
図４（Ｄ）はこの微分波形を示している。ゼロクロス検
出回路３３は、入力信号が正から負へゼロ点を横切ると
き、及び負から正へゼロ点を横切るときにそれぞれ別個
にパルスを出力する回路であり、例えば一般的なゼロク
ロスコンパレータと、その出力の立ち上がりで動作して
パルスを出力するワンショットマルチバイブレータと、
コンパレータの出力の立ち下がりで動作してパルスを出
力するワンショットマルチバイブレータとから構成する
ことができる。図４（Ｅ）はゼロクロス検出回路３３の
正から負へのゼロクロス検出出力波形を、図４（Ｆ）は
ゼロクロス検出回路３３の負から正へのゼロクロス検出
出力波形をそれぞれ示している。これら出力波形がフリ
ップフロップ３４のセット入力及びリセット入力にそれ
ぞれ印加されることによって、図４（Ｇ）に示すような
フリップフロップ出力が得られる。
【００２７】一方、発振器３７に接続されたサンプリン
グ時間発生器３６からは、図４（Ｈ）に示すごときカウ
ント用のパルスが出力され、これがアンド回路３５の他
方の入力及び第２のカウンタ３９へ印加される。アンド
回路３５の一方の入力には図４（Ｇ）に示すようなフリ
ップフロップ出力が印加されているため、このフリップ
フロップ出力がハイレベルのときのみ、カウント用のパ
ルスが第１のカウンタ３８に印加される。図４（Ｉ）は
この第１のカウンタ３８に印加されるパルスを示してい
る。
グ時間発生器３６からは、図４（Ｈ）に示すごときカウ
ント用のパルスが出力され、これがアンド回路３５の他
方の入力及び第２のカウンタ３９へ印加される。アンド
回路３５の一方の入力には図４（Ｇ）に示すようなフリ
ップフロップ出力が印加されているため、このフリップ
フロップ出力がハイレベルのときのみ、カウント用のパ
ルスが第１のカウンタ３８に印加される。図４（Ｉ）は
この第１のカウンタ３８に印加されるパルスを示してい
る。
【００２８】第１及び第２のカウンタ３８及び３９は、
書き込みパターンの１周期（Ｔ1 ＋Ｔ2 ）以上の期間、
印加されるパルスの数をカウントする。従って、第１の
カウンタ３８の出力Ｎ1 は、そのカウント期間内におい
て再生波形の正のピークから次の負のピークまでの期間
Ｔ1 に含まれるパルス数を表わすこととなり、第２のカ
ウンタ３９の出力Ｎ2 は、そのカウント期間内における
全パルス数を表わすこととなる。
書き込みパターンの１周期（Ｔ1 ＋Ｔ2 ）以上の期間、
印加されるパルスの数をカウントする。従って、第１の
カウンタ３８の出力Ｎ1 は、そのカウント期間内におい
て再生波形の正のピークから次の負のピークまでの期間
Ｔ1 に含まれるパルス数を表わすこととなり、第２のカ
ウンタ３９の出力Ｎ2 は、そのカウント期間内における
全パルス数を表わすこととなる。
【００２９】第１及び第２のカウンタ３８及び３９のカ
ウント結果Ｎ1 及びＮ2 はＣＰＵ４０へ印加され、Ｎ1
とＮ2 −Ｎ1 との比Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）が算出され
る。ここで、Ｎ1 は再生波形の正のピークから次の負の
ピークまでの期間に対応し、Ｎ2 −Ｎ1 は再生波形の負
のピークから次の正のピークまでの期間に対応すること
となる。スピンバルブＭＲ素子３０のピン止め方向が正
常である場合は、再生波形が図４（Ｃ）のごとくなるの
で、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）はＴ1 ／Ｔ2 に対応すること
となる。即ち、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）＜１となる。一
方、スピンバルブＭＲ素子３０のピン止め方向が逆方向
に変化した場合は、図２（Ｂ）で説明したように、再生
波形の正負が逆となるのでフリップフロップ３４の出力
波形は図４（Ｇ）の波形を反転したものとなり、従って
Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）はＴ2 ／Ｔ1 に対応することとな
る。即ち、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）＞１となる。ＣＰＵ４
０は、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）を算出し、その結果が１よ
り小さいか大きいかにより、スピンバルブＭＲ素子３０
のピン止め方向が正常方向であるか逆方向であるかの判
定を行いその判定結果を出力する。なお、Ｎ1 及びＮ2
−Ｎ1 を算出した後の、ピン止め方向が正常方向である
か逆方向であるかの判定方法としては、上述した方法に
限定されることなく種々の方法が考えられる。
ウント結果Ｎ1 及びＮ2 はＣＰＵ４０へ印加され、Ｎ1
とＮ2 −Ｎ1 との比Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）が算出され
る。ここで、Ｎ1 は再生波形の正のピークから次の負の
ピークまでの期間に対応し、Ｎ2 −Ｎ1 は再生波形の負
のピークから次の正のピークまでの期間に対応すること
となる。スピンバルブＭＲ素子３０のピン止め方向が正
常である場合は、再生波形が図４（Ｃ）のごとくなるの
で、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）はＴ1 ／Ｔ2 に対応すること
となる。即ち、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）＜１となる。一
方、スピンバルブＭＲ素子３０のピン止め方向が逆方向
に変化した場合は、図２（Ｂ）で説明したように、再生
波形の正負が逆となるのでフリップフロップ３４の出力
波形は図４（Ｇ）の波形を反転したものとなり、従って
Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）はＴ2 ／Ｔ1 に対応することとな
る。即ち、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）＞１となる。ＣＰＵ４
０は、Ｎ1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）を算出し、その結果が１よ
り小さいか大きいかにより、スピンバルブＭＲ素子３０
のピン止め方向が正常方向であるか逆方向であるかの判
定を行いその判定結果を出力する。なお、Ｎ1 及びＮ2
−Ｎ1 を算出した後の、ピン止め方向が正常方向である
か逆方向であるかの判定方法としては、上述した方法に
限定されることなく種々の方法が考えられる。
【００３０】このように、本実施形態によれば、スピン
バルブＭＲ素子３０からのダイナミック特性からピン止
め方向が正常方向であるか逆方向であるかの検出を容易
にかつ確実に行うことができる。
バルブＭＲ素子３０からのダイナミック特性からピン止
め方向が正常方向であるか逆方向であるかの検出を容易
にかつ確実に行うことができる。
【００３１】図５は、本発明による磁気ヘッドの検査装
置の他の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
同図において、５０は磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素
子を示している。スピンバルブＭＲ素子５０の出力端子
には、ヘッドアンプ５１が接続されており、ヘッドアン
プ５１の出力には第１及び第２のコンパレータ５２及び
５３が接続されている。第１及び第２のコンパレータ５
２及び５３の出力は、フリップフロップ５４のセット入
力及びリセット入力にそれぞれ接続されている。フリッ
プフロップ５４の出力はアンド回路５５の一方の入力に
接続されている。アンド回路５５の他方の入力にはサン
プリング時間発生器５６の出力が接続されている。サン
プリング時間発生器５６の入力には、発振器５７が接続
されている。アンド回路５５の出力には第１のカウンタ
５８が接続されており、サンプリング時間発生器５６の
出力には第２のカウンタ５９が直接接続されている。第
１のカウンタ５８及び第２のカウンタ５９の出力は、Ｃ
ＰＵ６０の入力に接続されている。
置の他の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
同図において、５０は磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素
子を示している。スピンバルブＭＲ素子５０の出力端子
には、ヘッドアンプ５１が接続されており、ヘッドアン
プ５１の出力には第１及び第２のコンパレータ５２及び
５３が接続されている。第１及び第２のコンパレータ５
２及び５３の出力は、フリップフロップ５４のセット入
力及びリセット入力にそれぞれ接続されている。フリッ
プフロップ５４の出力はアンド回路５５の一方の入力に
接続されている。アンド回路５５の他方の入力にはサン
プリング時間発生器５６の出力が接続されている。サン
プリング時間発生器５６の入力には、発振器５７が接続
されている。アンド回路５５の出力には第１のカウンタ
５８が接続されており、サンプリング時間発生器５６の
出力には第２のカウンタ５９が直接接続されている。第
１のカウンタ５８及び第２のカウンタ５９の出力は、Ｃ
ＰＵ６０の入力に接続されている。
【００３２】スピンバルブＭＲ素子５０の検査を行う前
に、用意するテスト用の磁気ディスクの記録パターン及
び磁気ヘッドの取り付け方法等については、図３の実施
形態の場合と全く同様である。スピンバルブＭＲ素子５
０に一定のセンス電流を流した状態でその出力電圧を取
り出すと、このスピンバルブＭＲ素子５０のピン止め方
向が正常である場合は、図６（Ａ）に示すごとき出力電
圧波形（再生波形）が得られる。
に、用意するテスト用の磁気ディスクの記録パターン及
び磁気ヘッドの取り付け方法等については、図３の実施
形態の場合と全く同様である。スピンバルブＭＲ素子５
０に一定のセンス電流を流した状態でその出力電圧を取
り出すと、このスピンバルブＭＲ素子５０のピン止め方
向が正常である場合は、図６（Ａ）に示すごとき出力電
圧波形（再生波形）が得られる。
【００３３】この出力電圧は、ヘッドアンプ５１におい
て増幅された後、第１及び第２のコンパレータ５２及び
５３に印加されて基準電圧と比較される。第１のコンパ
レータ５２では図６（Ａ）に示す第１の基準電圧と比較
され、第２のコンパレータ５３では図６（Ａ）に示す第
２の基準電圧と比較される。第１のコンパレータ５２に
おいては入力信号の正のピーク側をスライスするように
第１の基準電圧が設定されており、第２のコンパレータ
５３においては入力信号の負のピーク側をスライスする
ように第２の基準電圧が設定されている。図６（Ｂ）は
第１のコンパレータ５２の出力波形を、図６（Ｃ）は第
２のコンパレータ５３の出力波形をそれぞれ示してい
る。これら出力波形がフリップフロップ５４のセット入
力及びリセット入力にそれぞれ印加されることによっ
て、図６（Ｄ）に示すようなフリップフロップ出力が得
られる。
て増幅された後、第１及び第２のコンパレータ５２及び
５３に印加されて基準電圧と比較される。第１のコンパ
レータ５２では図６（Ａ）に示す第１の基準電圧と比較
され、第２のコンパレータ５３では図６（Ａ）に示す第
２の基準電圧と比較される。第１のコンパレータ５２に
おいては入力信号の正のピーク側をスライスするように
第１の基準電圧が設定されており、第２のコンパレータ
５３においては入力信号の負のピーク側をスライスする
ように第２の基準電圧が設定されている。図６（Ｂ）は
第１のコンパレータ５２の出力波形を、図６（Ｃ）は第
２のコンパレータ５３の出力波形をそれぞれ示してい
る。これら出力波形がフリップフロップ５４のセット入
力及びリセット入力にそれぞれ印加されることによっ
て、図６（Ｄ）に示すようなフリップフロップ出力が得
られる。
【００３４】アンド回路５５、サンプリング時間発生器
５６、発振器５７、第１のカウンタ５８、第２のカウン
タ５９及びＣＰＵ６０の動作は、図３の実施形態の場合
の対応する要素の動作と全く同様であるので、説明を省
略する。
５６、発振器５７、第１のカウンタ５８、第２のカウン
タ５９及びＣＰＵ６０の動作は、図３の実施形態の場合
の対応する要素の動作と全く同様であるので、説明を省
略する。
【００３５】本実施形態においても、ＣＰＵ６０は、Ｎ
1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）を算出し、その結果が１より小さい
か大きいかにより、スピンバルブＭＲ素子５０のピン止
め方向が正常方向であるか逆方向であるかの判定を行
う。従って、スピンバルブＭＲ素子５０からのダイナミ
ック特性からピン止め方向が正常方向であるか逆方向で
あるかの検出を容易にかつ確実に行うことができる。
1 ／（Ｎ2 −Ｎ1 ）を算出し、その結果が１より小さい
か大きいかにより、スピンバルブＭＲ素子５０のピン止
め方向が正常方向であるか逆方向であるかの判定を行
う。従って、スピンバルブＭＲ素子５０からのダイナミ
ック特性からピン止め方向が正常方向であるか逆方向で
あるかの検出を容易にかつ確実に行うことができる。
【００３６】図７は、本発明による磁気ヘッドの検査装
置のさらに他の実施形態の概略構成を示すブロック図で
ある。同図において、７０は磁気ヘッドのスピンバルブ
ＭＲ素子を示している。スピンバルブＭＲ素子７０の出
力端子には、ヘッドアンプ７１が接続されており、ヘッ
ドアンプ７１の出力にはコンパレータ７２が接続されて
いる。コンパレータ７２の出力は、アンド回路７３の一
方の入力に接続されている。アンド回路７３の他方の入
力にはワンショットマルチバイブレータ７４の出力が接
続されている。ワンショットマルチバイブレータ７４に
は、磁気ヘッドが磁気ディスク上の各トラックの基準位
置にあるときに出力されるインデックス信号が入力され
るように構成されている。アンド回路７３の出力はデー
タ入力がＨレベルに保持されているフリップフロップ７
５のクロック入力ＣＬに接続されており、このフリップ
フロップ７５の出力は判定回路７６に接続されている。
置のさらに他の実施形態の概略構成を示すブロック図で
ある。同図において、７０は磁気ヘッドのスピンバルブ
ＭＲ素子を示している。スピンバルブＭＲ素子７０の出
力端子には、ヘッドアンプ７１が接続されており、ヘッ
ドアンプ７１の出力にはコンパレータ７２が接続されて
いる。コンパレータ７２の出力は、アンド回路７３の一
方の入力に接続されている。アンド回路７３の他方の入
力にはワンショットマルチバイブレータ７４の出力が接
続されている。ワンショットマルチバイブレータ７４に
は、磁気ヘッドが磁気ディスク上の各トラックの基準位
置にあるときに出力されるインデックス信号が入力され
るように構成されている。アンド回路７３の出力はデー
タ入力がＨレベルに保持されているフリップフロップ７
５のクロック入力ＣＬに接続されており、このフリップ
フロップ７５の出力は判定回路７６に接続されている。
【００３７】スピンバルブＭＲ素子７０の検査を行う前
に、まず、所定パターンの書き込み電流によって磁気記
録が行われている図示されていないテスト用の磁気ディ
スクを用意する。本実施形態においては、前述した実施
形態のように正負の期間を規定しないが各トラックの基
準位置についてその書き込みパターンの先頭の極性があ
らかじめ定められている矩形波電流で磁気記録が行われ
る。以下説明を簡単にするため、基準位置からの先頭の
極性が正となっている書き込みパターンの電流で磁気デ
ィスクの各トラック上に磁気記録が行われているとす
る。
に、まず、所定パターンの書き込み電流によって磁気記
録が行われている図示されていないテスト用の磁気ディ
スクを用意する。本実施形態においては、前述した実施
形態のように正負の期間を規定しないが各トラックの基
準位置についてその書き込みパターンの先頭の極性があ
らかじめ定められている矩形波電流で磁気記録が行われ
る。以下説明を簡単にするため、基準位置からの先頭の
極性が正となっている書き込みパターンの電流で磁気デ
ィスクの各トラック上に磁気記録が行われているとす
る。
【００３８】磁気ヘッドの検査を行う場合、回転するこ
の磁気ディスクに対向するように、磁気ヘッドを取り付
け、スピンバルブＭＲ素子７０に一定のセンス電流を流
した状態でその出力電圧を取り出す。スピンバルブＭＲ
素子７０のピン止め方向が正常である場合の出力電圧波
形（再生波形）が図８（Ａ）に示されている。
の磁気ディスクに対向するように、磁気ヘッドを取り付
け、スピンバルブＭＲ素子７０に一定のセンス電流を流
した状態でその出力電圧を取り出す。スピンバルブＭＲ
素子７０のピン止め方向が正常である場合の出力電圧波
形（再生波形）が図８（Ａ）に示されている。
【００３９】この出力電圧は、ヘッドアンプ７１におい
て増幅された後、コンパレータ７２に印加されて基準電
圧と比較される。このコンパレータ７２においては、図
８（Ａ）に示すように、入力信号の正のピーク側をスラ
イスするように基準電圧が設定されている。図８（Ｂ）
はコンパレータ７２の出力波形を示している。この出力
波形はアンド回路７３の一方の入力に印加される。
て増幅された後、コンパレータ７２に印加されて基準電
圧と比較される。このコンパレータ７２においては、図
８（Ａ）に示すように、入力信号の正のピーク側をスラ
イスするように基準電圧が設定されている。図８（Ｂ）
はコンパレータ７２の出力波形を示している。この出力
波形はアンド回路７３の一方の入力に印加される。
【００４０】一方、ワンショットマルチバイブレータ７
４には、磁気ヘッドが磁気ディスク上の各トラックで書
き込み又は読み出し基準位置（各トラックで１つの基準
位置）に位置する際に出力される、図８（Ｃ）に示すよ
うな、インデックス信号が印加される。このインデック
ス信号は、磁気ディスクの特定位置に対する同期信号で
あり、スピンドルモータから磁気ディスクの１周毎に１
つ出力される。従って、ワンショットマルチバイブレー
タ７４からは、図８（Ｄ）に示すような、インデックス
信号の時定数を変化させた信号が出力され、この信号が
アンド回路７３の他方の入力に印加される。
４には、磁気ヘッドが磁気ディスク上の各トラックで書
き込み又は読み出し基準位置（各トラックで１つの基準
位置）に位置する際に出力される、図８（Ｃ）に示すよ
うな、インデックス信号が印加される。このインデック
ス信号は、磁気ディスクの特定位置に対する同期信号で
あり、スピンドルモータから磁気ディスクの１周毎に１
つ出力される。従って、ワンショットマルチバイブレー
タ７４からは、図８（Ｄ）に示すような、インデックス
信号の時定数を変化させた信号が出力され、この信号が
アンド回路７３の他方の入力に印加される。
【００４１】従って、アンド回路７３は、コンパレータ
７２の出力とインデックス信号の時定数を変化させた信
号との論理積を取ることとなり、この信号の位置にコン
パレータ出力が存在する場合には、図８（Ｅ）に示すよ
うにパルスが出力されることとなる。即ち、スピンバル
ブＭＲ素子７０のピン止め方向が正常である場合は、再
生波形が図８（Ａ）のごとくなるので、図８（Ｅ）に示
すようにパルスが出力されることとなる。このパルスが
ラッチ回路として動作するフリップフロップ７５のクロ
ック入力ＣＬに印加されるため、その出力は図８（Ｆ）
に示すように、「１」に保持された状態となり、この結
果が判定回路７６に出力されることによって、ピン止め
方向が正常であるという知見が得られる。一方、スピン
バルブＭＲ素子７０のピン止め方向が逆方向に変化した
場合は、図２（Ｂ）で説明したように、再生波形の正負
が逆となるのでコンパレータ７２の出力はインデックス
信号の時定数を変化させた信号の位置には現れず、従っ
てアンド回路７３からパルスが発生しない。その結果、
フリップフロップ７５の出力は「０」のままに保たれ、
ピン止め方向が正常と逆方向に変化していることが分か
る。
７２の出力とインデックス信号の時定数を変化させた信
号との論理積を取ることとなり、この信号の位置にコン
パレータ出力が存在する場合には、図８（Ｅ）に示すよ
うにパルスが出力されることとなる。即ち、スピンバル
ブＭＲ素子７０のピン止め方向が正常である場合は、再
生波形が図８（Ａ）のごとくなるので、図８（Ｅ）に示
すようにパルスが出力されることとなる。このパルスが
ラッチ回路として動作するフリップフロップ７５のクロ
ック入力ＣＬに印加されるため、その出力は図８（Ｆ）
に示すように、「１」に保持された状態となり、この結
果が判定回路７６に出力されることによって、ピン止め
方向が正常であるという知見が得られる。一方、スピン
バルブＭＲ素子７０のピン止め方向が逆方向に変化した
場合は、図２（Ｂ）で説明したように、再生波形の正負
が逆となるのでコンパレータ７２の出力はインデックス
信号の時定数を変化させた信号の位置には現れず、従っ
てアンド回路７３からパルスが発生しない。その結果、
フリップフロップ７５の出力は「０」のままに保たれ、
ピン止め方向が正常と逆方向に変化していることが分か
る。
【００４２】このように、本実施形態によっても、スピ
ンバルブＭＲ素子７０からのダイナミック特性からピン
止め方向が正常方向であるか逆方向であるかの検出を容
易にかつ確実に行うことができる。
ンバルブＭＲ素子７０からのダイナミック特性からピン
止め方向が正常方向であるか逆方向であるかの検出を容
易にかつ確実に行うことができる。
【００４３】図９は、本発明による磁気ヘッドの検査装
置のまたさらに他の実施形態の概略構成を示すブロック
図である。同図において、９０は検査すべき磁気ヘッド
のスピンバルブＭＲ素子を示している。スピンバルブＭ
Ｒ素子９０の出力端子には、ヘッドアンプ９１が接続さ
れており、ヘッドアンプ９１の出力にはコンパレータ９
２が接続されている。コンパレータ９２の出力は、アン
ド回路９３の一方の入力に接続されている。アンド回路
９３の他方の入力にはワンショットマルチバイブレータ
９４の出力が接続されている。ワンショットマルチバイ
ブレータ９４には、図示しない記録用インダクティブ素
子への書き込み電流に対応する波形を有する信号が入力
されるように構成されている。アンド回路９３の出力は
カウンタ９５の入力に接続されており、このカウンタ９
５の出力は判定回路９６に接続されている。
置のまたさらに他の実施形態の概略構成を示すブロック
図である。同図において、９０は検査すべき磁気ヘッド
のスピンバルブＭＲ素子を示している。スピンバルブＭ
Ｒ素子９０の出力端子には、ヘッドアンプ９１が接続さ
れており、ヘッドアンプ９１の出力にはコンパレータ９
２が接続されている。コンパレータ９２の出力は、アン
ド回路９３の一方の入力に接続されている。アンド回路
９３の他方の入力にはワンショットマルチバイブレータ
９４の出力が接続されている。ワンショットマルチバイ
ブレータ９４には、図示しない記録用インダクティブ素
子への書き込み電流に対応する波形を有する信号が入力
されるように構成されている。アンド回路９３の出力は
カウンタ９５の入力に接続されており、このカウンタ９
５の出力は判定回路９６に接続されている。
【００４４】磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子９０の
検査を行う前に、まず、所定パターンの書き込み電流に
よって磁気記録が行われている図示されていないテスト
用の磁気ディスクを用意する。本実施形態においては、
磁気ディスクの各トラックの基準位置に関して書き込み
パターンの先頭の極性があらかじめ定められられている
矩形波電流で磁気記録が行われる。以下説明を簡単にす
るため、基準位置から先頭の極性が正となっている書き
込みパターンの電流で磁気ディスクのトラック上に磁気
記録が行われているとする。
検査を行う前に、まず、所定パターンの書き込み電流に
よって磁気記録が行われている図示されていないテスト
用の磁気ディスクを用意する。本実施形態においては、
磁気ディスクの各トラックの基準位置に関して書き込み
パターンの先頭の極性があらかじめ定められられている
矩形波電流で磁気記録が行われる。以下説明を簡単にす
るため、基準位置から先頭の極性が正となっている書き
込みパターンの電流で磁気ディスクのトラック上に磁気
記録が行われているとする。
【００４５】磁気ヘッドの検査を行う場合、回転するこ
の磁気ディスクに対向するように、磁気ヘッドを取り付
け、スピンバルブＭＲ素子９０に一定のセンス電流を流
した状態でその出力電圧を取り出す。スピンバルブＭＲ
素子９０のピン止め方向が正常である場合の出力電圧波
形（再生波形）が図１０（Ａ）に示されている。
の磁気ディスクに対向するように、磁気ヘッドを取り付
け、スピンバルブＭＲ素子９０に一定のセンス電流を流
した状態でその出力電圧を取り出す。スピンバルブＭＲ
素子９０のピン止め方向が正常である場合の出力電圧波
形（再生波形）が図１０（Ａ）に示されている。
【００４６】この出力電圧は、ヘッドアンプ９１におい
て増幅された後、コンパレータ９２に印加されて基準電
圧と比較される。このコンパレータ９２においては、図
１０（Ａ）に示すように、入力信号の正のピーク側をス
ライスするように基準電圧が設定されている。図１０
（Ｂ）はコンパレータ９２の出力波形を示している。こ
の出力波形はアンド回路９３の一方の入力に印加され
る。
て増幅された後、コンパレータ９２に印加されて基準電
圧と比較される。このコンパレータ９２においては、図
１０（Ａ）に示すように、入力信号の正のピーク側をス
ライスするように基準電圧が設定されている。図１０
（Ｂ）はコンパレータ９２の出力波形を示している。こ
の出力波形はアンド回路９３の一方の入力に印加され
る。
【００４７】一方、ワンショットマルチバイブレータ９
４には、図１０（Ｃ）に示すような、書き込み電流に対
応する波形を有する書き込み電流波形信号が印加され
る。この書き込み電流波形信号は、磁気ヘッドが磁気デ
ィスク上の各トラックで書き込み又は読み出し基準位置
に位置する際に出力されるインデックス信号にその先頭
位置が同期している。従って、ワンショットマルチバイ
ブレータ９４からは、図１０（Ｄ）に示すような、書き
込み電流波形信号の時定数を変化させた信号が出力さ
れ、この信号がアンド回路９３の他方の入力に印加され
る。
４には、図１０（Ｃ）に示すような、書き込み電流に対
応する波形を有する書き込み電流波形信号が印加され
る。この書き込み電流波形信号は、磁気ヘッドが磁気デ
ィスク上の各トラックで書き込み又は読み出し基準位置
に位置する際に出力されるインデックス信号にその先頭
位置が同期している。従って、ワンショットマルチバイ
ブレータ９４からは、図１０（Ｄ）に示すような、書き
込み電流波形信号の時定数を変化させた信号が出力さ
れ、この信号がアンド回路９３の他方の入力に印加され
る。
【００４８】従って、アンド回路９３は、コンパレータ
９２の出力と書き込み電流波形信号の時定数を変化させ
た信号との論理積を取ることとなり、この信号の位置に
コンパレータ出力が存在する場合には、図１０（Ｅ）に
示すようにパルスが出力されることとなる。即ち、スピ
ンバルブＭＲ素子９０のピン止め方向が正常である場合
は、再生波形が図１０（Ａ）のごとくなるので、図１０
（Ｅ）に示すようにパルスが出力されることとなる。こ
のパルスが、入力パルス数をカウントするカウンタ９５
に印加される。カウンタ９５は、ある一定時間、印加さ
れるパルスの数を計数し、その結果を判定回路９６に出
力する。ピン止め方向が正常である場合に、カウンタ９
５の計数時間の間に得られるパルス数は既知であるか
ら、判定回路９６はカウンタ９５の計数結果からピン止
め方向が正常であるという知見が得ることができる。一
方、スピンバルブＭＲ素子９０のピン止め方向が逆方向
に変化した場合は、図２（Ｂ）で説明したように、再生
波形の正負が逆となるのでコンパレータ９２の出力は、
書き込み電流波形信号の時定数を変化させた信号の位置
には現れず、従ってアンド回路９３からパルスが発生し
ない。その結果、カウンタ９５の計数結果からピン止め
方向が正常と逆方向に変化していることが分かる。
９２の出力と書き込み電流波形信号の時定数を変化させ
た信号との論理積を取ることとなり、この信号の位置に
コンパレータ出力が存在する場合には、図１０（Ｅ）に
示すようにパルスが出力されることとなる。即ち、スピ
ンバルブＭＲ素子９０のピン止め方向が正常である場合
は、再生波形が図１０（Ａ）のごとくなるので、図１０
（Ｅ）に示すようにパルスが出力されることとなる。こ
のパルスが、入力パルス数をカウントするカウンタ９５
に印加される。カウンタ９５は、ある一定時間、印加さ
れるパルスの数を計数し、その結果を判定回路９６に出
力する。ピン止め方向が正常である場合に、カウンタ９
５の計数時間の間に得られるパルス数は既知であるか
ら、判定回路９６はカウンタ９５の計数結果からピン止
め方向が正常であるという知見が得ることができる。一
方、スピンバルブＭＲ素子９０のピン止め方向が逆方向
に変化した場合は、図２（Ｂ）で説明したように、再生
波形の正負が逆となるのでコンパレータ９２の出力は、
書き込み電流波形信号の時定数を変化させた信号の位置
には現れず、従ってアンド回路９３からパルスが発生し
ない。その結果、カウンタ９５の計数結果からピン止め
方向が正常と逆方向に変化していることが分かる。
【００４９】このように、本実施形態によっても、スピ
ンバルブＭＲ素子９０からのダイナミック特性からピン
止め方向が正常方向であるか逆方向であるかの検出を容
易にかつ確実に行うことができる。図７の実施形態では
各トラックで１つ発生するインデックス信号を用いてい
るため、１回の検出動作のみで判定を行うようにしてい
るが、本実施形態では書き込み電流の各周期毎に検出動
作を行いその結果のパルス数を計数するようにしている
ので、より確実にかつ高い信頼性でピン止め方向の判定
を行うことができる。
ンバルブＭＲ素子９０からのダイナミック特性からピン
止め方向が正常方向であるか逆方向であるかの検出を容
易にかつ確実に行うことができる。図７の実施形態では
各トラックで１つ発生するインデックス信号を用いてい
るため、１回の検出動作のみで判定を行うようにしてい
るが、本実施形態では書き込み電流の各周期毎に検出動
作を行いその結果のパルス数を計数するようにしている
ので、より確実にかつ高い信頼性でピン止め方向の判定
を行うことができる。
【００５０】なお、本実施形態において、アンド回路９
３の出力パルスをカウンタ９５に印加する代わりに、図
７に示したようなフリップフロップに印加してその出力
からピン止め方向が正常方向か又はその逆方向かを判定
してもよいことは明らかである。
３の出力パルスをカウンタ９５に印加する代わりに、図
７に示したようなフリップフロップに印加してその出力
からピン止め方向が正常方向か又はその逆方向かを判定
してもよいことは明らかである。
【００５１】以上述べた実施例は全て本発明を例示的に
示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は
他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができ
る。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等
範囲によってのみ規定されるものである。
示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は
他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができ
る。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等
範囲によってのみ規定されるものである。
【００５２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、あらかじめ定めた書き込みパターンを有する矩形波
電流で書き込みを行うことによって磁気媒体上に形成さ
れた磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブ
ＭＲ素子により再生し、再生波形が書き込みパターンに
対して所定の関係となっているかどうか判別することに
よりスピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を検出してい
るので、磁気媒体から磁気ヘッドで再生した信号波形の
みからその磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子のピン止
め方向が正しいか否かを容易にかつ確実に検出すること
ができる。特に本発明は、磁気ヘッド製造後に必ず行わ
れる最終的な読み書き試験工程で同時に実施できるた
め、新たな工程を付加する必要がなく、その意味からも
容易に実現することが可能である。
ば、あらかじめ定めた書き込みパターンを有する矩形波
電流で書き込みを行うことによって磁気媒体上に形成さ
れた磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブ
ＭＲ素子により再生し、再生波形が書き込みパターンに
対して所定の関係となっているかどうか判別することに
よりスピンバルブＭＲ素子のピン止め方向を検出してい
るので、磁気媒体から磁気ヘッドで再生した信号波形の
みからその磁気ヘッドのスピンバルブＭＲ素子のピン止
め方向が正しいか否かを容易にかつ確実に検出すること
ができる。特に本発明は、磁気ヘッド製造後に必ず行わ
れる最終的な読み書き試験工程で同時に実施できるた
め、新たな工程を付加する必要がなく、その意味からも
容易に実現することが可能である。
【図１】スピンバルブ積層体の基本構造を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】スピンバルブ積層体のピン止め方向と再生波形
との関係を説明する図である。
との関係を説明する図である。
【図３】本発明による磁気ヘッドの検査装置の一実施形
態の概略構成を示すブロック図である。
態の概略構成を示すブロック図である。
【図４】図３の実施形態における検査装置の各部波形図
である。
である。
【図５】本発明による磁気ヘッドの検査装置の他の実施
形態の概略構成を示すブロック図である。
形態の概略構成を示すブロック図である。
【図６】図５の実施形態における検査装置の各部波形図
である。
である。
【図７】本発明による磁気ヘッドの検査装置のさらに他
の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
【図８】図７の実施形態における検査装置の各部波形図
である。
である。
【図９】本発明による磁気ヘッドの検査装置のまたさら
に他の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
に他の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
【図１０】図９の検査装置の実施形態における各部波形
図である。
図である。
３０、５０、７０、９０ スピンバルブＭＲ素子 ３１、５１、７１、９１ ヘッドアンプ ３２ 微分回路 ３３ ゼロクロス検出回路 ３４、５４、７５ フリップフロップ ３５、５５、７３、９３ アンド回路 ３６、５６ サンプリング時間発生器 ３７、５７ 発振器 ３８、３９、５８、５９、９５ カウンタ ４０、６０ ＣＰＵ ５２、５３、７２、９２ コンパレータ ７４、９４ ワンショットマルチバイブレータ ７６、９６ 判定回路
Claims (13)
- 【請求項１】 あらかじめ定めた書き込みパターンを有
する矩形波電流で書き込みを行うことによって磁気媒体
上に形成された磁気情報を、検査すべき磁気ヘッドのス
ピンバルブ磁気抵抗素子により再生し、該再生して得た
信号波形と前記書き込みパターンとの関係から該スピン
バルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を検出することを特
徴とするスピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッド
の検査方法。 - 【請求項２】 前記矩形波電流は、正の期間及び負の期
間が互いに異なると共にそのどちらが長いかがあらかじ
め定められた書き込みパターンを有しており、前記再生
して得た信号の正の期間と負の期間とを比較して前記ス
ピンバルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を検出すること
を特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記矩形波電流は、磁気媒体の基準位置
に関するその先頭の極性をあらかじめ定めた書き込みパ
ターンを有しており、前記再生して得た信号の先頭の極
性から前記スピンバルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を
検出することを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】 正の期間及び負の期間が互いに異なると
共にそのどちらが長いかがあらかじめ定められた書き込
みパターンを有する矩形波電流で書き込みを行うことに
よって磁気媒体上に形成された磁気情報を、検査すべき
磁気ヘッドのスピンバルブ磁気抵抗素子により再生して
得た信号を受け取り、該再生信号の正の期間及び負の期
間をそれぞれ算出する期間算出手段と、該期間算出手段
により算出された正の期間及び負の期間を比較して前記
スピンバルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を判別する判
別手段とを備えたことを特徴とするスピンバルブ磁気抵
抗素子を備えた磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項５】 前記期間算出手段が、前記再生信号のピ
ーク時間間隔を検出して前記正の期間及び負の期間を算
出する期間算出手段であることを特徴とする請求項４に
記載の装置。 - 【請求項６】 前記期間算出手段が、前記再生信号を微
分する微分手段と、該微分手段の出力が正から負へゼロ
点を横切る第１の時点及び負から正へゼロ点を横切る第
２の時点を検出するゼロクロス検出手段と、該ゼロクロ
ス検出手段が検出した第１の時点及び第２の時点間の間
隔を求める手段とを含んでいることを特徴とする請求項
５に記載の装置。 - 【請求項７】 前記期間算出手段が、前記再生信号のレ
ベルと２つのしきい値とを比較して第１の出力及び第２
の出力を発生する比較手段と、該比較手段の発生した第
１の出力及び第２の出力間の間隔を求める手段とを含ん
でいることを特徴とする請求項５に記載の装置。 - 【請求項８】 先頭の極性をあらかじめ定めた書き込み
パターンを有する矩形波電流で基準位置から書き込みを
行うことによって磁気媒体上に形成された磁気情報を、
検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブ磁気抵抗素子によ
り再生して得た信号を受け取り、該再生信号の先頭部を
抽出する先頭部抽出手段と、該先頭部抽出手段により抽
出された先頭部の極性から前記スピンバルブ磁気抵抗素
子のピン止め方向を判別する判別手段とを備えたことを
特徴とするスピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッ
ドの検査装置。 - 【請求項９】 前記先頭部抽出手段が、磁気ヘッドが磁
気媒体上で基準位置に位置する際に出力されるインデッ
クス信号を用いて前記再生信号の先頭部を抽出する先頭
部抽出手段であることを特徴とする請求項８に記載の装
置。 - 【請求項１０】 前記先頭部抽出手段が、前記再生信号
のレベルと１つのしきい値とを比較する比較手段と、該
比較手段の出力と前記インデックス信号との論理積を求
める論理積手段とを含んでいることを特徴とする請求項
９に記載の装置。 - 【請求項１１】 先頭の極性をあらかじめ定めた書き込
みパターンを有する矩形波電流で基準位置から書き込み
を行うことによって磁気媒体上に形成された磁気情報
を、検査すべき磁気ヘッドのスピンバルブ磁気抵抗素子
により再生して得た信号を受け取り、該再生信号の各周
期の先頭部を抽出する周期先頭部抽出手段と、該周期先
頭部抽出手段により抽出された先頭部の極性から前記ス
ピンバルブ磁気抵抗素子のピン止め方向を判別する判別
手段とを備えたことを特徴とするスピンバルブ磁気抵抗
素子を備えた磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項１２】 前記周期先頭部抽出手段が、磁気ヘッ
ドが磁気媒体上で基準位置に位置する際に出力されるイ
ンデックス信号に同期した書き込み電流に対応する信号
を用いて前記再生信号の各周期の先頭部を抽出する周期
先頭部抽出手段であることを特徴とする請求項１１に記
載の装置。 - 【請求項１３】 前記周期先頭部抽出手段が、前記再生
信号のレベルと１つのしきい値とを比較する比較手段
と、該比較手段の出力と前記書き込み電流に対応する信
号の各周期の先頭に同期した信号との論理積を求める論
理積手段とを含んでいることを特徴とする請求項１２に
記載の装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04695597A JP3368788B2 (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方法及び検査装置 |
| US09/024,402 US6081114A (en) | 1997-02-17 | 1998-02-17 | Method and apparatus for testing magnetic head with magnetoresistive element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04695597A JP3368788B2 (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方法及び検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10228614A true JPH10228614A (ja) | 1998-08-25 |
| JP3368788B2 JP3368788B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=12761719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04695597A Expired - Fee Related JP3368788B2 (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | スピンバルブ磁気抵抗素子を備えた磁気ヘッドの検査方法及び検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6081114A (ja) |
| JP (1) | JP3368788B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6400519B2 (en) | 1998-09-18 | 2002-06-04 | Fujitsu Limited | Spin valve magnetoresistive effect type element assessment method and a spin valve magnetoresistive effect type element assessment device |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6680609B1 (en) | 2002-07-11 | 2004-01-20 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for determining the magnetic track width of a magnetic head |
| US6965229B2 (en) * | 2003-08-01 | 2005-11-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of detecting polarity reversal in a magnetoresistive sensor |
| US7138797B2 (en) * | 2004-09-30 | 2006-11-21 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Reverse magnetic reset to screen for weakly pinned heads |
| JP2008299979A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドの再生素子の損傷予測診断ならびに、記録データの保護動作を実施する制御回路。 |
| US7940042B2 (en) * | 2009-01-07 | 2011-05-10 | Tdk Corporation | Method and apparatus for testing magnetoresistive effect element |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59180820A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-15 | Toshiba Corp | 磁気ヘツド特性測定回路 |
| US5150050A (en) * | 1990-07-30 | 1992-09-22 | Seagate Technology, Inc. | Adaptive variable threshold qualification level circuit for signal processing in disk drives |
| US5206590A (en) * | 1990-12-11 | 1993-04-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
| US5212445A (en) * | 1991-02-13 | 1993-05-18 | Seagate Technology, Inc. | Method and apparatus for detection and identification of flaws in a magnetic medium by measuring the width of pulses stored on the medium |
| US5422571A (en) * | 1993-02-08 | 1995-06-06 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive spin valve sensor having a nonmagnetic back layer |
| US5479098A (en) * | 1993-03-15 | 1995-12-26 | Trace Mountain Products, Inc. | Loop-back circuit for testing a magnetic recording system with simultaneous read and write functions |
| US5760982A (en) * | 1996-02-02 | 1998-06-02 | Guzik Technical Enterprises, Inc. | Method and apparatus for testing magnetic heads and disks |
| US5708358A (en) * | 1996-03-21 | 1998-01-13 | Read-Rite Corporation | Spin valve magnetoresistive transducers having permanent magnets |
-
1997
- 1997-02-17 JP JP04695597A patent/JP3368788B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-02-17 US US09/024,402 patent/US6081114A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6400519B2 (en) | 1998-09-18 | 2002-06-04 | Fujitsu Limited | Spin valve magnetoresistive effect type element assessment method and a spin valve magnetoresistive effect type element assessment device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3368788B2 (ja) | 2003-01-20 |
| US6081114A (en) | 2000-06-27 |
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