JP2000222713A - 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置Info
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- G11B2005/0005—Arrangements, methods or circuits
- G11B2005/001—Controlling recording characteristics of record carriers or transducing characteristics of transducers by means not being part of their structure
- G11B2005/0013—Controlling recording characteristics of record carriers or transducing characteristics of transducers by means not being part of their structure of transducers, e.g. linearisation, equalisation
- G11B2005/0016—Controlling recording characteristics of record carriers or transducing characteristics of transducers by means not being part of their structure of transducers, e.g. linearisation, equalisation of magnetoresistive transducers
Abstract
(57)【要約】
【目的】 バイアスポイントの周辺における出力不安定
性の検査を容易にかつ確実に行うことができる複合型磁
気ヘッドの検査方法及び装置を提供する。 【構成】 複合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加する
こと無しにインダクティブ素子に電流を印可し、この電
流の印加終了後にＭＲ素子の出力特性を測定する。
性の検査を容易にかつ確実に行うことができる複合型磁
気ヘッドの検査方法及び装置を提供する。 【構成】 複合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加する
こと無しにインダクティブ素子に電流を印可し、この電
流の印加終了後にＭＲ素子の出力特性を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク等の
磁気媒体から再生を行う磁気抵抗効果（ＭＲ）素子を有
する読出しヘッド部と、磁気媒体へ記録を行うインダク
ティブ素子を有する書込みヘッド部とを備えた複合型磁
気ヘッドの検査方法及び装置に関する。
磁気媒体から再生を行う磁気抵抗効果（ＭＲ）素子を有
する読出しヘッド部と、磁気媒体へ記録を行うインダク
ティブ素子を有する書込みヘッド部とを備えた複合型磁
気ヘッドの検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク等の磁気媒体用の薄膜磁気
ヘッドとして、上述のごとき複合型磁気ヘッドは広く使
用されている。特に最近は、高記録密度への要求から、
異方性磁気抵抗効果（ＡＭＲ）を利用したＡＭＲ素子に
代わって、スピンバルブ効果等の巨大磁気抵抗効果（Ｇ
ＭＲ）を利用したＧＭＲ素子やトンネル効果を利用した
トンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子を備えた磁気ヘッ
ドが使用され始めている。
ヘッドとして、上述のごとき複合型磁気ヘッドは広く使
用されている。特に最近は、高記録密度への要求から、
異方性磁気抵抗効果（ＡＭＲ）を利用したＡＭＲ素子に
代わって、スピンバルブ効果等の巨大磁気抵抗効果（Ｇ
ＭＲ）を利用したＧＭＲ素子やトンネル効果を利用した
トンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子を備えた磁気ヘッ
ドが使用され始めている。
【０００３】ＭＲ素子を備えた磁気ヘッドにおいては、
バルクハウゼンノイズ等のノイズが発生しない良品であ
ることを製造時に確認する必要がある。このような検査
方法として、本出願人は、特開平６−１５０２６４号に
おいて、ヘッドブロック上に配列されたギャップデプス
加工後の複数のＭＲヘッドに、これらヘッドのエアベア
リング面に垂直である交番外部磁界を印加し、この外部
磁界の変化に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特性を得る
ようにしたＭＲヘッド検査方法を提案している。この方
法によると、バルクハウゼンノイズが発生するか否かを
容易に確認することができる。
バルクハウゼンノイズ等のノイズが発生しない良品であ
ることを製造時に確認する必要がある。このような検査
方法として、本出願人は、特開平６−１５０２６４号に
おいて、ヘッドブロック上に配列されたギャップデプス
加工後の複数のＭＲヘッドに、これらヘッドのエアベア
リング面に垂直である交番外部磁界を印加し、この外部
磁界の変化に対する各ＭＲヘッドの電磁変換特性を得る
ようにしたＭＲヘッド検査方法を提案している。この方
法によると、バルクハウゼンノイズが発生するか否かを
容易に確認することができる。
【０００４】また、本出願人は、特開平８−３２９４３
１号において、ヘッドブロック上に配列されたギャップ
デプス加工後の複数の磁気ヘッドに、これらヘッドのエ
アベアリング面に垂直な外部磁界を印加すると共にイン
ダクティブ素子に高周波電流を流して漏洩磁界をＭＲ素
子に印加し、外部磁界及び漏洩磁界の変化に対する各Ｍ
Ｒ素子の抵抗変化特性を測定するようにした検査方法を
も提案している。この方法によれば、確率的に発生する
バルクハウゼンノイズの捕捉確率をより高めることがで
きる。
１号において、ヘッドブロック上に配列されたギャップ
デプス加工後の複数の磁気ヘッドに、これらヘッドのエ
アベアリング面に垂直な外部磁界を印加すると共にイン
ダクティブ素子に高周波電流を流して漏洩磁界をＭＲ素
子に印加し、外部磁界及び漏洩磁界の変化に対する各Ｍ
Ｒ素子の抵抗変化特性を測定するようにした検査方法を
も提案している。この方法によれば、確率的に発生する
バルクハウゼンノイズの捕捉確率をより高めることがで
きる。
【０００５】しかし、上述した公知の検査方法は、いず
れも、ＭＲ素子におけるバルクハウゼンノイズの発生の
有無を検出するためのものであり、バルクハウゼンノイ
ズによる出力異常とは異なるＭＲ素子の出力不安定性の
検査には適用することができない。即ち、ＭＲ素子及び
インダクティブ素子を備えた複合型磁気ヘッドにおける
ＭＲ素子出力を電磁変換特性を測定する装置で繰り返し
測定する場合、何らかの理由でその出力波形が変化して
しまうことがあり、測定毎に常に同じ出力とはならない
ことから再現性が得られない場合がある。
れも、ＭＲ素子におけるバルクハウゼンノイズの発生の
有無を検出するためのものであり、バルクハウゼンノイ
ズによる出力異常とは異なるＭＲ素子の出力不安定性の
検査には適用することができない。即ち、ＭＲ素子及び
インダクティブ素子を備えた複合型磁気ヘッドにおける
ＭＲ素子出力を電磁変換特性を測定する装置で繰り返し
測定する場合、何らかの理由でその出力波形が変化して
しまうことがあり、測定毎に常に同じ出力とはならない
ことから再現性が得られない場合がある。
【０００６】このような出力不安定性は、検査の繰り返
し回数を多大にしてその確率を高める以外、従来の検査
方法では検出不可能であった。繰り返し回数を大幅に増
大することは、製造効率低下を招く点から問題である。
し回数を多大にしてその確率を高める以外、従来の検査
方法では検出不可能であった。繰り返し回数を大幅に増
大することは、製造効率低下を招く点から問題である。
【０００７】特に、ＧＭＲ素子やＴＭＲ素子を備えた複
合型磁気ヘッドは、感度が高くまた構造が複雑であるた
め、外部からの影響を受け易く、出力不安定性がより生
じ易い傾向にある。
合型磁気ヘッドは、感度が高くまた構造が複雑であるた
め、外部からの影響を受け易く、出力不安定性がより生
じ易い傾向にある。
【０００８】このような従来技術の不都合を解消すべ
く、本出願人は、外部磁界を印加した状態で、一方の極
性を有する第１の電流をインダクティブ素子に流してＭ
Ｒ素子の出力特性を測定し、さらに、他方の極性を有す
る第２の電流をインダクティブ素子に流してＭＲ素子の
出力特性を測定することにより出力不安定性を検出する
方法を提案している（特願平１０−２９４７２５号）。
く、本出願人は、外部磁界を印加した状態で、一方の極
性を有する第１の電流をインダクティブ素子に流してＭ
Ｒ素子の出力特性を測定し、さらに、他方の極性を有す
る第２の電流をインダクティブ素子に流してＭＲ素子の
出力特性を測定することにより出力不安定性を検出する
方法を提案している（特願平１０−２９４７２５号）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ＭＲ素子を備えた磁気
ヘッドにおいては、一般に、ＭＲ素子のシールド層に起
因する、バイアスポイント（電磁変換曲線の磁場がゼロ
の点）付近における出力不安定性を測定することが非常
に重要である。これは、バイアスポイントが出力信号の
中心であり、これがオフセットされたりすると、正しい
読出し信号を得ることが不可能となるためである。
ヘッドにおいては、一般に、ＭＲ素子のシールド層に起
因する、バイアスポイント（電磁変換曲線の磁場がゼロ
の点）付近における出力不安定性を測定することが非常
に重要である。これは、バイアスポイントが出力信号の
中心であり、これがオフセットされたりすると、正しい
読出し信号を得ることが不可能となるためである。
【００１０】外部磁界を印加する従来の技術でバイアス
ポイントのずれを測定することは可能であるが、磁界ゼ
ロのポイントを探す必要があり、磁場発生装置も必要と
なることから検査装置の構成が複雑となるばかりか、測
定に多大の時間がかかってしまう。
ポイントのずれを測定することは可能であるが、磁界ゼ
ロのポイントを探す必要があり、磁場発生装置も必要と
なることから検査装置の構成が複雑となるばかりか、測
定に多大の時間がかかってしまう。
【００１１】従って本発明の目的は、バイアスポイント
の付近における出力不安定性の検査を容易にかつ確実に
行うことができる複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置
を提供することにある。
の付近における出力不安定性の検査を容易にかつ確実に
行うことができる複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置
を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、複合型
磁気ヘッドに外部から磁界を印加すること無しにインダ
クティブ素子に電流を印加し、この電流の印加終了後に
ＭＲ素子の出力特性を測定する複合型磁気ヘッドの検査
方法が提供される。
磁気ヘッドに外部から磁界を印加すること無しにインダ
クティブ素子に電流を印加し、この電流の印加終了後に
ＭＲ素子の出力特性を測定する複合型磁気ヘッドの検査
方法が提供される。
【００１３】単にＭＲ素子の出力特性を測定するのでは
なく、シールド層の初期磁化状態を変えるような電流を
強制的に流すことによりＭＲ素子の出力不安定性が引き
起こされるような状態を故意に作り出し、その出力特性
の測定を行っている。特に本発明では、外部磁界が印加
されない状態でインダクティブ素子に電流を流し終えて
からＭＲ素子の出力特性が測定されるので、ＭＲ素子の
出力信号波形がそのままバイアスポイント付近の波形と
なる。このため、使用領域でのヘッドの評価が非常に簡
単となる。さらに、印加される外部磁界により出力不安
定性が一時的に抑制されて元に戻ってしまう等の悪影響
が排除されるので、読出しヘッドそのものの評価を正し
くかつ確実に行うことができる。
なく、シールド層の初期磁化状態を変えるような電流を
強制的に流すことによりＭＲ素子の出力不安定性が引き
起こされるような状態を故意に作り出し、その出力特性
の測定を行っている。特に本発明では、外部磁界が印加
されない状態でインダクティブ素子に電流を流し終えて
からＭＲ素子の出力特性が測定されるので、ＭＲ素子の
出力信号波形がそのままバイアスポイント付近の波形と
なる。このため、使用領域でのヘッドの評価が非常に簡
単となる。さらに、印加される外部磁界により出力不安
定性が一時的に抑制されて元に戻ってしまう等の悪影響
が排除されるので、読出しヘッドそのものの評価を正し
くかつ確実に行うことができる。
【００１４】インダクティブ素子へ電流の印加とその電
流の印加終了後のＭＲ素子の出力特性の測定とを複数回
繰り返して行うことが好ましい。
流の印加終了後のＭＲ素子の出力特性の測定とを複数回
繰り返して行うことが好ましい。
【００１５】この電流が所定の一方の極性を有する矩形
波電流、交番する極性を有する矩形波電流、又は高周波
の矩形波電流であることも好ましい。
波電流、交番する極性を有する矩形波電流、又は高周波
の矩形波電流であることも好ましい。
【００１６】本発明によれば、さらに、複合型磁気ヘッ
ドに外部から磁界を印加すること無しにインダクティブ
素子に電流を流す第１の電流印加手段と、ＭＲ素子にセ
ンス電流を流す第２の電流印加手段と、第１の電流印加
手段からインダクティブ素子へ上述の電流を流し、その
電流印加終了後にＭＲ素子の出力電圧を受け取りその出
力特性を測定する測定手段とを備えた複合型磁気ヘッド
の検査装置が提供される。
ドに外部から磁界を印加すること無しにインダクティブ
素子に電流を流す第１の電流印加手段と、ＭＲ素子にセ
ンス電流を流す第２の電流印加手段と、第１の電流印加
手段からインダクティブ素子へ上述の電流を流し、その
電流印加終了後にＭＲ素子の出力電圧を受け取りその出
力特性を測定する測定手段とを備えた複合型磁気ヘッド
の検査装置が提供される。
【００１７】本発明によれば、またさらに、ＭＲ素子及
びインダクティブ素子の端子に電気的に接触可能なプロ
ーブ手段と、複合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加す
ること無しに電流を前記プローブ手段を介してインダク
ティブ素子に流す第１の電流印加手段と、ＭＲ素子にプ
ローブ手段を介してセンス電流を流す第２の電流印加手
段と、第１の電流印加手段からインダクティブ素子へ上
述の電流を流し、その電流印加終了後にセンス電流を印
加した状態でＭＲ素子の出力電圧をプローブ手段を介し
て受け取りその出力特性を測定する測定手段とを備えた
複合型磁気ヘッドの検査装置が提供される。
びインダクティブ素子の端子に電気的に接触可能なプロ
ーブ手段と、複合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加す
ること無しに電流を前記プローブ手段を介してインダク
ティブ素子に流す第１の電流印加手段と、ＭＲ素子にプ
ローブ手段を介してセンス電流を流す第２の電流印加手
段と、第１の電流印加手段からインダクティブ素子へ上
述の電流を流し、その電流印加終了後にセンス電流を印
加した状態でＭＲ素子の出力電圧をプローブ手段を介し
て受け取りその出力特性を測定する測定手段とを備えた
複合型磁気ヘッドの検査装置が提供される。
【００１８】外部磁界が印加されない状態で第１の電流
印加手段からインダクティブ素子に電流を流し終えてか
らＭＲ素子の出力特性が測定されるので、ＭＲ素子の出
力信号波形がそのままバイアスポイント近傍の波形とな
る。このため、使用領域でのヘッドの評価が非常に簡単
となる。さらに、印加される外部磁界により出力不安定
性が一時的に抑制されて元に戻ってしまう等の悪影響が
排除されるので、ヘッドそのものの評価を正しくかつ確
実に行うことができる。また、外部磁界の印加手段も不
要となるので、装置構成を簡略化できる。
印加手段からインダクティブ素子に電流を流し終えてか
らＭＲ素子の出力特性が測定されるので、ＭＲ素子の出
力信号波形がそのままバイアスポイント近傍の波形とな
る。このため、使用領域でのヘッドの評価が非常に簡単
となる。さらに、印加される外部磁界により出力不安定
性が一時的に抑制されて元に戻ってしまう等の悪影響が
排除されるので、ヘッドそのものの評価を正しくかつ確
実に行うことができる。また、外部磁界の印加手段も不
要となるので、装置構成を簡略化できる。
【００１９】第１の電流印加手段及び測定手段は、イン
ダクティブ素子へ電流の印加とこの電流の印加終了後の
ＭＲ素子の出力特性測定とを複数回繰り返して行うよう
に構成されていることが好ましい。
ダクティブ素子へ電流の印加とこの電流の印加終了後の
ＭＲ素子の出力特性測定とを複数回繰り返して行うよう
に構成されていることが好ましい。
【００２０】第１の電流印加手段は、所定の一方の極性
を有する矩形波電流、交番する極性を有する矩形波電
流、又は高周波の矩形波電流を流すように構成されてい
ることも好ましい。
を有する矩形波電流、交番する極性を有する矩形波電
流、又は高周波の矩形波電流を流すように構成されてい
ることも好ましい。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態であ
るインダクティブ素子を含む書込みヘッド部とＭＲ素子
を含む読出しヘッド部とを備えた複合型磁気ヘッドの検
査装置の回路構成を概略的に示すブロック図である。
るインダクティブ素子を含む書込みヘッド部とＭＲ素子
を含む読出しヘッド部とを備えた複合型磁気ヘッドの検
査装置の回路構成を概略的に示すブロック図である。
【００２２】同図において、１０は単体に切り離される
前の状態の複数の複合型磁気ヘッドが存在しているヘッ
ドブロック（バー）である。このヘッドブロック１０
は、ウエハ上に多数の複合型磁気ヘッドを薄膜技術によ
って形成した後、このウエハをそれぞれが複数の複合型
磁気ヘッドを含むように列単位で切断し、そのエアベア
リング面（ＡＢＳ）１０ａ（図３参照）を研磨してギャ
ップデプス加工（ＭＲハイト加工）を終えたものであ
る。
前の状態の複数の複合型磁気ヘッドが存在しているヘッ
ドブロック（バー）である。このヘッドブロック１０
は、ウエハ上に多数の複合型磁気ヘッドを薄膜技術によ
って形成した後、このウエハをそれぞれが複数の複合型
磁気ヘッドを含むように列単位で切断し、そのエアベア
リング面（ＡＢＳ）１０ａ（図３参照）を研磨してギャ
ップデプス加工（ＭＲハイト加工）を終えたものであ
る。
【００２３】ヘッドブロック１０は、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテ
ーブル１１の載置台１１ａ上に一時的に固定されてい
る。
ーブル１１の載置台１１ａ上に一時的に固定されてい
る。
【００２４】第１のプローブピン１２ａは、ヘッドブロ
ック１０における各ヘッドのＭＲ素子の出力端子（３０
ａ、図３参照）に電気的に接触可能に固定位置に静止し
て設けられており、このプローブピン１２ａと各出力端
子とは、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１１及びこれを制御す
るＸ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１３によって位置合わせ
される。第１のプローブピン１２ａと各出力端子との位
置合わせは、この部分を光学系１４を介して撮像するＣ
ＣＤ撮像器１５及びこの像を表示するＴＶモニタ１６に
よって監視可能である。
ック１０における各ヘッドのＭＲ素子の出力端子（３０
ａ、図３参照）に電気的に接触可能に固定位置に静止し
て設けられており、このプローブピン１２ａと各出力端
子とは、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１１及びこれを制御す
るＸ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１３によって位置合わせ
される。第１のプローブピン１２ａと各出力端子との位
置合わせは、この部分を光学系１４を介して撮像するＣ
ＣＤ撮像器１５及びこの像を表示するＴＶモニタ１６に
よって監視可能である。
【００２５】第２のプローブピン１２ｂは、各ヘッドの
インダクティブ素子の入力端子（３０ｂ、図３参照）に
電気的に接触可能に固定位置に静止して設けられてお
り、このプローブピン１２ｂと各入力端子とも、Ｘ−Ｙ
−Ｚ−θテーブル１１及びこれを制御するＸ−Ｙ−Ｚ−
θコントローラ１３によって位置合わせされる。この位
置合わせの部分も光学系１４を介して撮像するＣＣＤ撮
像器１５及びこの像を表示するＴＶモニタ１６によって
監視可能である。実際には、第１のプローブピン１２ａ
と第２のプローブピン１２ｂとは一体化されて固定され
ており、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１１の位置合わせは１
度に行われる。
インダクティブ素子の入力端子（３０ｂ、図３参照）に
電気的に接触可能に固定位置に静止して設けられてお
り、このプローブピン１２ｂと各入力端子とも、Ｘ−Ｙ
−Ｚ−θテーブル１１及びこれを制御するＸ−Ｙ−Ｚ−
θコントローラ１３によって位置合わせされる。この位
置合わせの部分も光学系１４を介して撮像するＣＣＤ撮
像器１５及びこの像を表示するＴＶモニタ１６によって
監視可能である。実際には、第１のプローブピン１２ａ
と第２のプローブピン１２ｂとは一体化されて固定され
ており、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１１の位置合わせは１
度に行われる。
【００２６】第２のプローブピン１２ｂには、供給すべ
き電流の極性及び電流値を制御可能な電流供給回路１７
が接続されている。これによりこの電流供給回路１７か
らは、後述するごとき極性の各電流がこの第２のプロー
ブピン１２ｂを介して磁気ヘッドのインダクティブ素子
に供給される。
き電流の極性及び電流値を制御可能な電流供給回路１７
が接続されている。これによりこの電流供給回路１７か
らは、後述するごとき極性の各電流がこの第２のプロー
ブピン１２ｂを介して磁気ヘッドのインダクティブ素子
に供給される。
【００２７】第１のプローブピン１２ａには、ＭＲ素子
にセンス電流を供給するための定電流電源１８が接続さ
れている。プローブピン１２ａには、さらに、ＭＲ素子
から得られる出力電圧を表示するためのオシロスコープ
１９とこの出力電圧を受け取って解析を行う制御用コン
ピュータ２０とが接続されている。
にセンス電流を供給するための定電流電源１８が接続さ
れている。プローブピン１２ａには、さらに、ＭＲ素子
から得られる出力電圧を表示するためのオシロスコープ
１９とこの出力電圧を受け取って解析を行う制御用コン
ピュータ２０とが接続されている。
【００２８】Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１３、定電流
電源１８、及び電流供給回路１７は、コンピュータ２０
に接続されており、このコンピュータからの指示によっ
て所定の制御動作を行う。
電源１８、及び電流供給回路１７は、コンピュータ２０
に接続されており、このコンピュータからの指示によっ
て所定の制御動作を行う。
【００２９】図２は、コンピュータ２０の制御プログラ
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いて本発
明による磁気ヘッドの検査方法について説明する。
ムを表すフローチャートであり、以下同図を用いて本発
明による磁気ヘッドの検査方法について説明する。
【００３０】まずステップＳ１において、Ｘ−Ｙ−Ｚ−
θテーブル１１の載置台１１ａ上に固定されているヘッ
ドブロック１０上の検査すべき磁気ヘッドのＭＲ素子の
出力端子と第１のプローブピン１２ａとの位置合わせ、
及びその磁気ヘッドのインダクティブ素子の入力端子と
第２のプローブピン１２ｂとの位置合わせを行う。この
位置合わせには、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１３へ指
示することによってＸ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１１を移動
させる周知の位置合わせ技術を利用する。
θテーブル１１の載置台１１ａ上に固定されているヘッ
ドブロック１０上の検査すべき磁気ヘッドのＭＲ素子の
出力端子と第１のプローブピン１２ａとの位置合わせ、
及びその磁気ヘッドのインダクティブ素子の入力端子と
第２のプローブピン１２ｂとの位置合わせを行う。この
位置合わせには、Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ１３へ指
示することによってＸ−Ｙ−Ｚ−θテーブル１１を移動
させる周知の位置合わせ技術を利用する。
【００３１】次いでステップＳ２において、定電流電源
１８に指示を行って検査すべきヘッドのＭＲ素子へのセ
ンス電流の印加を開始する。ヘッドブロック１０へは、
外部磁界は全く印加されない。
１８に指示を行って検査すべきヘッドのＭＲ素子へのセ
ンス電流の印加を開始する。ヘッドブロック１０へは、
外部磁界は全く印加されない。
【００３２】図３において、３０ａはＭＲ素子の出力端
子であり、３０ｂはインダクティブ素子の入力端子であ
り、検査すべき磁気ヘッドにおけるＭＲ素子の出力端子
３０ａに第１のプローブピン１２ａが、そのインダクテ
ィブ素子の入力端子３０ｂに第２のプローブピン１２ｂ
がそれぞれ接触している状態を表している。
子であり、３０ｂはインダクティブ素子の入力端子であ
り、検査すべき磁気ヘッドにおけるＭＲ素子の出力端子
３０ａに第１のプローブピン１２ａが、そのインダクテ
ィブ素子の入力端子３０ｂに第２のプローブピン１２ｂ
がそれぞれ接触している状態を表している。
【００３３】次いでステップＳ３において、電流供給回
路１７に指示を行って検査すべきヘッドのインダクティ
ブ素子に電流を流す。本実施形態において、この電流
は、一方の極性、例えば正極性で例えば５μｓのパルス
幅を有する単一の矩形波電流である。電流値としては、
インダクティブ素子の許容電流値を上限とする所定値が
選ばれる。
路１７に指示を行って検査すべきヘッドのインダクティ
ブ素子に電流を流す。本実施形態において、この電流
は、一方の極性、例えば正極性で例えば５μｓのパルス
幅を有する単一の矩形波電流である。電流値としては、
インダクティブ素子の許容電流値を上限とする所定値が
選ばれる。
【００３４】このような矩形波電流をインダクティブ素
子に流し終えた後、次のステップＳ４では、センス電流
を印加した状態で、ＭＲ素子の出力端子からの電圧を検
出し、これをＡ／Ｄ変換してデータとして取り込む。
子に流し終えた後、次のステップＳ４では、センス電流
を印加した状態で、ＭＲ素子の出力端子からの電圧を検
出し、これをＡ／Ｄ変換してデータとして取り込む。
【００３５】次いで、ステップＳ５において、以上の測
定を所定回（例えば１００回）行ったかどうか判別し、
行っていない場合は、ステップＳ３へ戻る。
定を所定回（例えば１００回）行ったかどうか判別し、
行っていない場合は、ステップＳ３へ戻る。
【００３６】次いで、ステップＳ６において、入力デー
タの解析を行う。コンピュータ２０は、入力データから
出力電圧の標準偏差σ、最大値及び最小値等を計算す
る。
タの解析を行う。コンピュータ２０は、入力データから
出力電圧の標準偏差σ、最大値及び最小値等を計算す
る。
【００３７】以上の計算を実施した後、ステップＳ７に
おいて、得られた標準偏差σ、最大値及び最小値等から
この磁気ヘッドのバイアスポイント付近の出力不安定性
の有無による良品、不良品の判定を行う。なお、測定の
繰り返し回数をより増大すれば、出力不安定性の検出確
率をより高めることができる。
おいて、得られた標準偏差σ、最大値及び最小値等から
この磁気ヘッドのバイアスポイント付近の出力不安定性
の有無による良品、不良品の判定を行う。なお、測定の
繰り返し回数をより増大すれば、出力不安定性の検出確
率をより高めることができる。
【００３８】図４（Ａ）は、以上述べた実施形態におけ
るインダクティブ素子への電流印加方法及びＭＲ素子の
出力特性測定方法を説明している。即ち、本実施形態で
は、正の極性からゼロに立下る矩形波電流を流し終えた
後、一定時間後にＭＲ素子の出力特性を測定することを
繰り返して、ＭＲ素子のバイアスポイント付近の出力不
安定性の有無を調べている。
るインダクティブ素子への電流印加方法及びＭＲ素子の
出力特性測定方法を説明している。即ち、本実施形態で
は、正の極性からゼロに立下る矩形波電流を流し終えた
後、一定時間後にＭＲ素子の出力特性を測定することを
繰り返して、ＭＲ素子のバイアスポイント付近の出力不
安定性の有無を調べている。
【００３９】このような正の矩形波電流の代わりに、図
４（Ｂ）に示すように、一方の極性からゼロに立下る矩
形波電流を流し終えた後、一定時間後にＭＲ素子の出力
特性を測定し、次に、他方の極性からゼロに立下る矩形
波電流を流し終えた後、一定時間後にＭＲ素子の出力特
性を測定することを繰り返して、ＭＲ素子の出力不安定
性の有無を調べてもよい。シールド層の初期磁化状態を
変えるような電流を強制的に流すことによりＭＲ素子の
バイアスポイント付近の出力不安定性が引き起こされる
ような状態を故意に作り出し、その出力特性の測定を行
うわけであるが、正負のどちらの電流をインダクティブ
素子に流せばシールド層の初期磁化状態を変えられるの
かが不明であるため、両極性の電流を別個に流してそれ
ぞれ出力特性の測定を行うことにより、より確実にバイ
アスポイント付近の出力不安定性を検査することができ
る。なお、インダクティブ素子へ流す電流は、正負極性
間において、互いに異なる波形であってもよいし、互い
に異なる電流値であってもよい。インダクティブ素子へ
流す電流は、要は、ＭＲ素子のシールド層が飽和して初
期磁化状態を変えるような一定の電流値、一定の時間以
上であれば、使用可能である。
４（Ｂ）に示すように、一方の極性からゼロに立下る矩
形波電流を流し終えた後、一定時間後にＭＲ素子の出力
特性を測定し、次に、他方の極性からゼロに立下る矩形
波電流を流し終えた後、一定時間後にＭＲ素子の出力特
性を測定することを繰り返して、ＭＲ素子の出力不安定
性の有無を調べてもよい。シールド層の初期磁化状態を
変えるような電流を強制的に流すことによりＭＲ素子の
バイアスポイント付近の出力不安定性が引き起こされる
ような状態を故意に作り出し、その出力特性の測定を行
うわけであるが、正負のどちらの電流をインダクティブ
素子に流せばシールド層の初期磁化状態を変えられるの
かが不明であるため、両極性の電流を別個に流してそれ
ぞれ出力特性の測定を行うことにより、より確実にバイ
アスポイント付近の出力不安定性を検査することができ
る。なお、インダクティブ素子へ流す電流は、正負極性
間において、互いに異なる波形であってもよいし、互い
に異なる電流値であってもよい。インダクティブ素子へ
流す電流は、要は、ＭＲ素子のシールド層が飽和して初
期磁化状態を変えるような一定の電流値、一定の時間以
上であれば、使用可能である。
【００４０】また、図４（Ｃ）に示すように、負の極性
からゼロに立上る矩形波電流を流し終えた後、一定時間
後にＭＲ素子の出力特性を測定することを繰り返して、
ＭＲ素子のバイアスポイント付近の出力不安定性の有無
を調べてもよい。
からゼロに立上る矩形波電流を流し終えた後、一定時間
後にＭＲ素子の出力特性を測定することを繰り返して、
ＭＲ素子のバイアスポイント付近の出力不安定性の有無
を調べてもよい。
【００４１】さらに、図４（Ｄ）に示すように、単一の
矩形波電流を用いる代わりに所定の高周波数（この例で
は５ＭＨｚ）を有する矩形波電流を用い、その矩形波電
流を最終的にゼロとした後、一定時間後にＭＲ素子の出
力特性を測定して、ＭＲ素子のバイアスポイント付近の
出力不安定性の有無を調べてもよい。
矩形波電流を用いる代わりに所定の高周波数（この例で
は５ＭＨｚ）を有する矩形波電流を用い、その矩形波電
流を最終的にゼロとした後、一定時間後にＭＲ素子の出
力特性を測定して、ＭＲ素子のバイアスポイント付近の
出力不安定性の有無を調べてもよい。
【００４２】以上述べた図４（Ａ）〜（Ｄ）の電流を用
いた検出方法により、実際の磁気ヘッドを検査した際
の、ＭＲ素子の出力電圧波形が、図５（Ａ）〜（Ｄ）及
び図６（Ａ）〜（Ｄ）にそれぞれ示されている。即ち、
図５（Ａ）及び図６（Ａ）はインダクティブ素子へ流す
電流として正極性の矩形波電流を用いる検出方法、図５
（Ｂ）及び図６（Ｂ）はインダクティブ素子へ流す電流
として極性の交番する矩形波電流を用いる検出方法、図
５（Ｃ）及び図６（Ｃ）はインダクティブ素子へ流す電
流として負極性の矩形波電流を用いる検出方法、図５
（Ｄ）及び図６（Ｄ）はインダクティブ素子へ流す電流
として高周波の矩形波電流を用いる検出方法をそれぞれ
用いた時のＭＲ素子の出力電圧波形である。ただし、図
５（Ａ）〜（Ｄ）は、バイアスポイント付近に出力不安
定性を有する不良品の磁気ヘッドの場合、図６（Ａ）〜
（Ｄ）は、バイアスポイント付近に出力不安定性がない
良品の磁気ヘッドの場合である。バイアスポイント付近
に出力不安定性を有する不良品の磁気ヘッドでは、ＭＲ
素子の出力電圧波形を見ただけでもその波形が乱れてい
ることが明確に分かり、不良品の検出は非常に容易であ
る。
いた検出方法により、実際の磁気ヘッドを検査した際
の、ＭＲ素子の出力電圧波形が、図５（Ａ）〜（Ｄ）及
び図６（Ａ）〜（Ｄ）にそれぞれ示されている。即ち、
図５（Ａ）及び図６（Ａ）はインダクティブ素子へ流す
電流として正極性の矩形波電流を用いる検出方法、図５
（Ｂ）及び図６（Ｂ）はインダクティブ素子へ流す電流
として極性の交番する矩形波電流を用いる検出方法、図
５（Ｃ）及び図６（Ｃ）はインダクティブ素子へ流す電
流として負極性の矩形波電流を用いる検出方法、図５
（Ｄ）及び図６（Ｄ）はインダクティブ素子へ流す電流
として高周波の矩形波電流を用いる検出方法をそれぞれ
用いた時のＭＲ素子の出力電圧波形である。ただし、図
５（Ａ）〜（Ｄ）は、バイアスポイント付近に出力不安
定性を有する不良品の磁気ヘッドの場合、図６（Ａ）〜
（Ｄ）は、バイアスポイント付近に出力不安定性がない
良品の磁気ヘッドの場合である。バイアスポイント付近
に出力不安定性を有する不良品の磁気ヘッドでは、ＭＲ
素子の出力電圧波形を見ただけでもその波形が乱れてい
ることが明確に分かり、不良品の検出は非常に容易であ
る。
【００４３】以上説明したように、単にＭＲ素子の出力
特性を測定するのではなく、シールド層の初期磁化状態
を変えるような矩形波電流をインダクティブ素子に流す
ことによりＭＲ素子の出力不安定性が引き起こされるよ
うな状態を故意に作り出し、その出力特性の測定を行っ
ている。特に、外部磁界が印加されない状態でインダク
ティブ素子に電流が流されてＭＲ素子の出力特性が測定
されるので、ＭＲ素子の出力信号波形がそのままバイア
スポイント近傍の波形となる。このため、使用領域での
ヘッドの評価が非常に簡単となる。さらに、印加される
外部磁界により出力不安定性が一時的に抑制されて元に
戻ってしまう等の悪影響が排除されるので、ヘッドその
ものの評価を正しくかつ確実に行うことができる。
特性を測定するのではなく、シールド層の初期磁化状態
を変えるような矩形波電流をインダクティブ素子に流す
ことによりＭＲ素子の出力不安定性が引き起こされるよ
うな状態を故意に作り出し、その出力特性の測定を行っ
ている。特に、外部磁界が印加されない状態でインダク
ティブ素子に電流が流されてＭＲ素子の出力特性が測定
されるので、ＭＲ素子の出力信号波形がそのままバイア
スポイント近傍の波形となる。このため、使用領域での
ヘッドの評価が非常に簡単となる。さらに、印加される
外部磁界により出力不安定性が一時的に抑制されて元に
戻ってしまう等の悪影響が排除されるので、ヘッドその
ものの評価を正しくかつ確実に行うことができる。
【００４４】図７は、本発明の他の実施形態におけるコ
ンピュータの制御プログラムを表すフローチャートであ
る。上述した実施形態においては、測定開始前にＭＲ素
子へセンス電流を流し始め、各測定時もセンス電流を流
したままの状態となっているが、本発明によれば、各回
毎にセンス電流を入り切りするようにしてもよい。
ンピュータの制御プログラムを表すフローチャートであ
る。上述した実施形態においては、測定開始前にＭＲ素
子へセンス電流を流し始め、各測定時もセンス電流を流
したままの状態となっているが、本発明によれば、各回
毎にセンス電流を入り切りするようにしてもよい。
【００４５】即ち、本実施形態においては、同図のステ
ップＳ２′に示すように、測定を行う時にのみ、定電流
電源１８に指示を行って検査すべきＭＲ素子へセンス電
流を印加する。従って、センス電流の印加は、ステップ
Ｓ２′から始まり、ステップＳ３′を経てステップＳ
４′で終了することとなる。このように測定の都度、セ
ンス電流の入り切りが行われることにより、このセンス
電流の印加によるバイアスポイントの不安定性も同時に
引き出すことができる。図７のフローチャートのその他
のステップにおける動作は、前述した図２のフローチャ
ートの場合と全く同じであるため、説明を省略する。
ップＳ２′に示すように、測定を行う時にのみ、定電流
電源１８に指示を行って検査すべきＭＲ素子へセンス電
流を印加する。従って、センス電流の印加は、ステップ
Ｓ２′から始まり、ステップＳ３′を経てステップＳ
４′で終了することとなる。このように測定の都度、セ
ンス電流の入り切りが行われることにより、このセンス
電流の印加によるバイアスポイントの不安定性も同時に
引き出すことができる。図７のフローチャートのその他
のステップにおける動作は、前述した図２のフローチャ
ートの場合と全く同じであるため、説明を省略する。
【００４６】なお、以上述べた実施形態のようにインダ
クティブ素子へ電流を流した後に測定を行うのではな
く、電流を流した状態で測定を行ってもよい。
クティブ素子へ電流を流した後に測定を行うのではな
く、電流を流した状態で測定を行ってもよい。
【００４７】なお、上述した各種条件、特にインダクテ
ィブ素子へ印加する電流の種類、波形、電流値、周波
数、印加時間等は単なる一例であり、本発明を実施する
際には、この例に限定されない種々の形態をとることが
できることはもちろんである。
ィブ素子へ印加する電流の種類、波形、電流値、周波
数、印加時間等は単なる一例であり、本発明を実施する
際には、この例に限定されない種々の形態をとることが
できることはもちろんである。
【００４８】以上述べた実施形態では、磁気ヘッドを単
体として完成させる前のバー状態において検査及び測定
処理が行えるから工程数の大幅な短縮化につながり、し
かも評価、選別時間を大幅に低減させることができる。
なお、バー状態とする前のウエハ段階においても、ＭＲ
素子を含む読出しヘッド部のシールド層が形成された後
かつインダクティブ素子を含む書込みヘッド部が形成さ
れた後であれば、同様の検査及び測定処理を行うことが
できる。また、バーから切り離して磁気ヘッドを単体と
して完成させた後、又は磁気ヘッドとサスペンションと
をアセンブルした後、さらに、磁気ヘッドを磁気ディス
ク装置内に組み込んだ後に検査及び測定処理が行っても
よい。
体として完成させる前のバー状態において検査及び測定
処理が行えるから工程数の大幅な短縮化につながり、し
かも評価、選別時間を大幅に低減させることができる。
なお、バー状態とする前のウエハ段階においても、ＭＲ
素子を含む読出しヘッド部のシールド層が形成された後
かつインダクティブ素子を含む書込みヘッド部が形成さ
れた後であれば、同様の検査及び測定処理を行うことが
できる。また、バーから切り離して磁気ヘッドを単体と
して完成させた後、又は磁気ヘッドとサスペンションと
をアセンブルした後、さらに、磁気ヘッドを磁気ディス
ク装置内に組み込んだ後に検査及び測定処理が行っても
よい。
【００４９】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【００５０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、複合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加すること無
しにインダクティブ素子に電流を印加し、この電流の印
加終了後にＭＲ素子の出力特性を測定しているため、Ｍ
Ｒ素子の出力信号波形がそのままバイアスポイント近傍
の波形となる。このため、使用領域でのヘッドの評価が
非常に簡単となる。さらに、印加される外部磁界により
出力不安定性が一時的に抑制されて元に戻ってしまう等
の悪影響が排除されるので、ヘッドそのものの評価を正
しくかつ確実に行うことができる。
ば、複合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加すること無
しにインダクティブ素子に電流を印加し、この電流の印
加終了後にＭＲ素子の出力特性を測定しているため、Ｍ
Ｒ素子の出力信号波形がそのままバイアスポイント近傍
の波形となる。このため、使用領域でのヘッドの評価が
非常に簡単となる。さらに、印加される外部磁界により
出力不安定性が一時的に抑制されて元に戻ってしまう等
の悪影響が排除されるので、ヘッドそのものの評価を正
しくかつ確実に行うことができる。
【図１】本発明の一実施形態である複合型磁気ヘッドの
検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図である。
検出装置の回路構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図１の実施形態におけるコンピュータの制御プ
ログラムを表すフローチャートである。
ログラムを表すフローチャートである。
【図３】図１の実施形態において、プローブピンと磁気
ヘッドの電極との関係を示す図である。
ヘッドの電極との関係を示す図である。
【図４】インダクティブ素子への電流印加方法及びＭＲ
素子の出力特性測定方法を説明する図である。
素子の出力特性測定方法を説明する図である。
【図５】バイアスポイント付近に出力不安定性を有する
不良品の磁気ヘッドに対して種々の電流を流した場合の
ＭＲ素子の出力電圧波形を示す波形図である。
不良品の磁気ヘッドに対して種々の電流を流した場合の
ＭＲ素子の出力電圧波形を示す波形図である。
【図６】バイアスポイント付近に出力不安定性のない良
品の磁気ヘッドに対して種々の電流を流した場合のＭＲ
素子の出力電圧波形を示す波形図である。
品の磁気ヘッドに対して種々の電流を流した場合のＭＲ
素子の出力電圧波形を示す波形図である。
【図７】本発明の他の実施形態におけるコンピュータの
制御プログラムを表すフローチャートである。
制御プログラムを表すフローチャートである。
１０ ヘッドブロック １０ａ ＡＢＳ １１ Ｘ−Ｙ−Ｚ−θテーブル １１ａ 載置台 １２ａ 第１のプローブピン １２ｂ 第２のプローブピン １３ Ｘ−Ｙ−Ｚ−θコントローラ １４ 光学系 １５ ＣＣＤ撮像器 １６ ＴＶモニタ １７ 電流供給回路 １８ 定電流電源 １９ オシロスコープ ２０ 制御用コンピュータ ３０ａ 出力端子 ３０ｂ 入力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前田 寿昭 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D034 BA02 BB06 BB12 BB14
Claims (11)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果素子及びインダクティブ素
子を備えた複合型磁気ヘッドの検査方法であって、該複
合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加すること無しに前
記インダクティブ素子に電流を印加し、該電流の印加終
了後に前記磁気抵抗効果素子の出力特性を測定すること
を特徴とする複合型磁気ヘッドの検査方法。 - 【請求項２】 前記インダクティブ素子へ前記電流の印
加と該電流の印加終了後の前記測定とを複数回繰り返し
て行うことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記インダクティブ素子へ印加される前
記電流が、所定の一方の極性を有する矩形波電流である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項４】 前記インダクティブ素子へ印加される前
記電流が、交番する極性を有する矩形波電流であること
を特徴とする請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項５】 前記インダクティブ素子へ印加される前
記電流が、高周波の矩形波電流であることを特徴とする
請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項６】 磁気抵抗効果素子及びインダクティブ素
子を備えた複合型磁気ヘッドの検査装置であって、該複
合型磁気ヘッドに外部から磁界を印加すること無しに前
記インダクティブ素子に電流を流す第１の電流印加手段
と、前記磁気抵抗効果素子にセンス電流を流す第２の電
流印加手段と、前記第１の電流印加手段から前記インダ
クティブ素子へ前記電流を流し、該電流の印加終了後に
前記磁気抵抗効果素子の出力電圧を受け取りその出力特
性を測定する測定手段とを備えたことを特徴とする複合
型磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項７】 磁気抵抗効果素子及びインダクティブ素
子を備えた複合型磁気ヘッドの検査装置であって、前記
磁気抵抗効果素子及び前記インダクティブ素子の端子に
電気的に接触可能なプローブ手段と、前記複合型磁気ヘ
ッドに外部から磁界を印加すること無しに電流を前記プ
ローブ手段を介して前記インダクティブ素子に流す第１
の電流印加手段と、前記磁気抵抗効果素子に前記プロー
ブ手段を介してセンス電流を流す第２の電流印加手段
と、前記第１の電流印加手段から前記インダクティブ素
子へ前記電流を流し、該電流の印加終了後に前記センス
電流を印加した状態で前記磁気抵抗効果素子の出力電圧
を前記プローブ手段を介して受け取りその出力特性を測
定する測定手段とを備えたことを特徴とする複合型磁気
ヘッドの検査装置。 - 【請求項８】 前記第１の電流印加手段及び前記測定手
段は、前記インダクティブ素子へ前記電流の印加と該電
流の印加終了後の前記測定とを複数回繰り返して行うよ
うに構成されていることを特徴とする請求項６又は７に
記載の装置。 - 【請求項９】 前記第１の電流印加手段は、所定の一方
の極性を有する矩形波電流を流すように構成されている
ことを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載
の装置。 - 【請求項１０】 前記第１の電流印加手段は、交番する
極性を有する矩形波電流を流すように構成されているこ
とを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の
装置。 - 【請求項１１】 前記第１の電流印加手段は、高周波の
矩形波電流を流すように構成されていることを特徴とす
る請求項６から８のいずれか１項に記載の装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02013599A JP3603636B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
| SG200000087A SG83178A1 (en) | 1999-01-28 | 2000-01-07 | Method and apparatus for testing composite type magnetic head |
| US09/488,559 US6433540B1 (en) | 1999-01-28 | 2000-01-21 | Method and apparatus for testing composite type magnetic head having a magnetoresistive element and an inductive element |
| CNB001011774A CN1188838C (zh) | 1999-01-28 | 2000-01-28 | 用来试验组合型磁头的方法和设备 |
| HK00108306A HK1028922A1 (en) | 1999-01-28 | 2000-12-21 | Method and apparatus for testing composite type magnetic head. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02013599A JP3603636B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000222713A true JP2000222713A (ja) | 2000-08-11 |
| JP3603636B2 JP3603636B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=12018702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02013599A Expired - Fee Related JP3603636B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6433540B1 (ja) |
| JP (1) | JP3603636B2 (ja) |
| CN (1) | CN1188838C (ja) |
| HK (1) | HK1028922A1 (ja) |
| SG (1) | SG83178A1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US6590388B2 (en) * | 2000-08-04 | 2003-07-08 | Seagate Technology Llc | Non-destructive defective magneto-resistive head detection utilizing a micro-track |
| JP2004199796A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-15 | Shinka Jitsugyo Kk | 薄膜磁気ヘッドの特性測定用プローブピンの接続方法及び薄膜磁気ヘッドの特性測定方法 |
| US7138797B2 (en) * | 2004-09-30 | 2006-11-21 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Reverse magnetic reset to screen for weakly pinned heads |
| US7113355B2 (en) * | 2004-12-03 | 2006-09-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | System and method for detecting head instability |
| US7839605B2 (en) * | 2005-11-13 | 2010-11-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Electrical signal-processing device integrating a flux sensor with a flux generator in a magnetic circuit |
| JP2007317303A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Fujitsu Ltd | 磁気抵抗効果ヘッドの検査方法および検査装置 |
| US8120353B2 (en) * | 2008-04-28 | 2012-02-21 | International Business Machines Corporation | Methods for detecting damage to magnetoresistive sensors |
| US7940042B2 (en) * | 2009-01-07 | 2011-05-10 | Tdk Corporation | Method and apparatus for testing magnetoresistive effect element |
| US10311902B2 (en) * | 2014-09-30 | 2019-06-04 | International Business Machines Corporation | Measuring and analyzing electrical resistance in tunneling magnetoresist sensors to identify damaged sensors |
| JP7265427B2 (ja) * | 2019-06-26 | 2023-04-26 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5134366A (en) * | 1991-06-21 | 1992-07-28 | Digital Equipment Corporation | Magnetic head testing apparatus for detecting occurrences of popcorn noise amid externally generated noise |
| JP2692515B2 (ja) | 1992-11-05 | 1997-12-17 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気抵抗効果ヘッドの検査方法及び装置 |
| US5479098A (en) * | 1993-03-15 | 1995-12-26 | Trace Mountain Products, Inc. | Loop-back circuit for testing a magnetic recording system with simultaneous read and write functions |
| JP2674571B2 (ja) * | 1995-06-01 | 1997-11-12 | ティーディーケイ株式会社 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
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