JP7265427B2 - 磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置に関する。

磁気ヘッドに設けられた発振子の発振周波数を評価することが望まれる。

特開２００８－３０５４８６号公報

一実施形態は、発振周波数を評価できる磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置を提供する。

一実施形態によれば、磁気ヘッドの評価方法は、発振子を含む電流経路を含む磁気ヘッドに交流磁界を印加したときの前記電流経路の電気特性の測定を実施することを含む。前記評価方法は、前記電気特性に基づいて、前記発振子の発振周波数に関する周波数値の導出を実施することを含む。

図１は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置を例示する模式図である。 図２は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法を例示するフローチャート図である。 図３は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法における特性を例示するグラフ図である。 図４は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法を例示するフローチャート図である。 図５は、実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的斜視図である。 図６は、実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的斜視図である。 図７（ａ）及び図７（ｂ）は、実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的斜視図である。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置を例示する模式図である。
図１に示すように、実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置２１０は、第１導電体４３ａ、保持部４７、電流供給回路４２、及び、測定回路４１を含む。評価装置２１０は、プロセッサ４８をさらに含んでも良い。

第１導電体４３ａは、例えば、導電線である。この例では、複数の第２導電体４３ｂが設けられている。複数の第２導電体４３ｂの１つと、複数の第２導電体４３ｂの別の１つと、の間に、第１導電体４３ａがある。第１導電体４３ａ、及び、複数の第２導電体４３ｂは、電流供給回路４２に電気的に接続される。第１導電体４３ａは、例えば、シグナル線路である。複数の第２導電体４３ｂは、例えば、グラウンド線路である。この例では、シグナル線路とグラウンド線路とは、ショート終端されている。実施形態において、第１導電体４３ａが、透過した信号をモニタするために、他の測定機に接続されてもよい。

電流供給回路４２は、第１導電体４３ａに交流電流を供給可能である。電流供給回路４２は、例えば、交流電流を発生させる交流回路を含む。複数の第２導電体４３ｂは、例えば、固定電位（例えばグランド電位）に設定される。複数の第２導電体４３ｂを設けることで、第１導電体４３ａに交流電流が供給されやすくなる。

第１導電体４３ａに流れる交流電流に応じて、第１導電体４３ａから交流磁界Ｈａｃが発生する。交流磁界Ｈａｃは、例えば、高周波磁界である。高周波磁界の周波数は、例えば、１ＧＨｚ以上１００ＧＨｚ以下である。交流電流は、例えば、高周波電流である。高周波電流の周波数は、例えば、１ＧＨｚ以上１００ＧＨｚ以下である。

保持部４７は、磁気ヘッド１１０を保持する。保持部４７は、磁気ヘッド１１０の第１導電体４３ａに対する位置を制御可能である。この例では、磁気ヘッド１１０が、ヘッドスライダ１５９に固定される。ヘッドスライダ１５９は、ヘッドジンバルアセンブリ１５８に固定される。保持部４７は、ヘッドジンバルアセンブリ１５８を保持することで、磁気ヘッド１１０を保持する。

保持部４７は、例えば、ポジショナを含むステージを含んでも良い。これにより、保持部４７に保持された磁気ヘッド１１０の、第１導電体４３ａに対する位置を制御し易くできる。保持部４７は、例えば、ピエゾ素子を含むステージを含んでも良い。ピエゾ素子に供給される電気信号に応じて、ピエゾ素子に変形が生じる。これにより、保持部４７に保持された磁気ヘッド１１０の第１導電体４３ａに対する位置を制御できる。

磁気ヘッド１１０は、発振子１０を含む。磁気ヘッド１１０は、電流経路を含む。電流経路は、発振子１０を含む。電流経路及び発振子１０の例については、後述する。保持部４７は、磁気ヘッド１１０を保持することで、発振子１０を保持する。

測定回路４１は、発振子１０を含む電流経路の電気特性を測定可能である。測定回路４１は、例えば、電気回路を含む。

この例では、ヘッドジンバルアセンブリ１５８に第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２が設けられる。測定回路４１は、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２と電気的に接続される。第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２は、磁気ヘッド１１０に設けられても良い。測定回路４１は、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２を経由して、発振子１０を含む電流経路に電流を供給する。電流は、例えば、実質的に直流である。直流電流が流れたときに、発振子１０は、発振する。

測定回路４１が測定する電気特性は、発振子１０を含む電流経路に直流電流が流れたときの電流経路の電気抵抗に対応する。測定回路４１が測定する電気特性は、電流及び電圧に少なくともいずれかでも良い。例えば、測定回路４１が測定した電気特性から、電流経路の電気抵抗に対応する値が導出可能である。

後述するように、発振子１０の発振に応じて、発振子１０から交流磁界（高周波磁界）が発生する。この高周波磁界が磁気記録媒体に加わり、磁気記録媒体の磁気的な特性が変化する。磁気ヘッド１１０により、例えば、マイクロ波アシスト磁気記録が行われる。

プロセッサ４８は、発振子１０を含む電流経路の電気特性に基づいて、発振子１０の発振周波数に関する周波数値を導出する。導出された周波数値に関する信号４８ｓ（またはデータ）が、プロセッサ４８から出力されても良い。プロセッサ４８は、例えば、発振子１０の発振周波数に関する周波数の推定値を出力する。信号４８ｓ（またはデータ）は、測定回路４１により測定された電気特性の少なくとも一部を含んでも良い。後述するように、例えば、交流磁界Ｈａｃの周波数を変えて、電気特性が測定されても良い。信号４８ｓ（またはデータ）は、交流磁界Ｈａｃの周波数と、電気特性と、の関係を含んでも良い。信号４８ｓ（またはデータ）は、交流磁界Ｈａｃの周波数と、電気特性と、の関係を含むグラフなどを含んでも良い。

実施形態においては、測定回路４１により測定される電気特性に基づいて、発振子１０の発振周波数に関する値（周波数値）が測定される。これにより、発振子１０の発振周波数を高い精度で測定することができる。実施形態によれば、発振周波数を評価できる磁気ヘッドの評価装置が提供できる。

発振子１０が発振したときに、磁気抵抗効果に基づいて、発振子１０から高周波信号を得ることができる。この高周波信号は、抵抗の変化に対応する。この高周波信号を評価することで発振子１０の発振周波数を評価する参考例がある。この参考例において、高周波信号の強度は弱い。このため、この参考例の評価方法では、発振子１０の発振周波数を高い精度で安定して評価することが困難である。この参考例の評価方法は、実用的に多くの困難を伴う。

実施形態においては、第１導電体４３ａに流れる交流電流に応じて発生した交流磁界Ｈａｃが、発振子１０に印加される。発振子１０に直流電流が流れることに基づく発振と、外部から発振子１０に印加される交流磁界Ｈａｃと、が、同期する状態が得られる。または、発振子１０に直流電流が流れることに基づく発振と、交流磁界Ｈａｃと、が、非同期の状態が得られる。同期状態を利用することで、発振子１０の発振周波数を導出できる。または、同期状態と非同期状態との差を利用することで、発振子１０の発振周波数を導出できる。実施形態によれば、発振子１０の発振周波数を高い精度で安定して評価することができる。実施形態によれば、発振周波数を評価できる実用的な磁気ヘッドの評価装置が提供できる。

図１に示すように、第１導電体４３ａは、幅ｗ１を有する。幅ｗ１は、例えば、第１導電体４３ａの延びる方向に対して交差する方向（例えば、垂直な方向）に沿う、第１導電体４３ａの長さである。幅ｗ１は、例えば、第１導電体４３ａに流れる電流の方向に対して交差する方向（例えば、垂直な方向）に沿う、第１導電体４３ａの長さである。実施形態において、幅ｗ１は、例えば、５μｍ以下であることが好ましい。これにより、第１導電体４３ａから発生する交流磁界Ｈａｃの強度を十分に高くすることができる。例えば、第１導電体４３ａに印加される信号の強度が、２０ｄＢｍである場合に、１００Ｏｅ程度以上の交流磁界Ｈａｃを発生することができる。

実施形態において、第１導電体４３ａ、及び、複数の第２導電体４３ｂは、金属を含む。これらの導電体には、例えば、金属膜が用いられる。

図１に示すように、評価装置２１０は、光学顕微鏡４６を含んでも良い。光学顕微鏡４６を用いて、磁気ヘッド１１０の発振子１０の位置が第１導電体４３ａの近くに調整されても良い。光学顕微鏡４６を用いた粗いアライメントの後に、例えば、磁気ヘッド１１０に設けられる再生部を用いた細かいアライメントが行われても良い。再生部を用いた細かいアライメントの例において、例えば、保持部４７は、電流供給回路４２が第１導電体４３ａに信号を供給した際に発生する磁界を磁気ヘッド１１０の再生部を用いて検出した信号に基づいて、磁気ヘッド１１０（例えば発振子１０）の第１導電体４３ａに対する位置を制御可能でも良い。例えば、磁気ヘッド１１０は、磁気ヘッド１１０のＡＢＳ面に対して垂直な方向の磁界に対して主に感度を持つため、第１導電体４３ａの端部において強い信号が得られる。この時、電流供給回路４２から発生する信号は、直流信号でもよい。

以下、本実施形態に係る磁気ヘッドの評価装置２１０の動作のいくつかの例について説明する。評価装置２１０の動作は、評価方法の例に対応する。

（第２実施形態）
図２は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法を例示するフローチャート図である。
図２に示すように、実施形態に係る評価方法は、例えば、評価の対象の磁気ヘッド１１０を、評価装置２１０にセットすること（ステップＳ１１０）を含む。例えば、保持部４７により磁気ヘッド１１０を保持する。磁気ヘッド１１０の発振子１０が、第１導電体４３ａの近くに調整される。

実施形態に係る評価方法において、発振子１０を含む電流経路を含む磁気ヘッド１１０に交流磁界Ｈａｃを印加したときの電流経路の電気特性の測定が、実施される。測定の実施は、例えば、第１測定（ステップＳ１３２）の実施に対応する。

実施形態に係る評価方法において、測定された電気特性に基づいて、発振子１０の発振周波数に関する周波数値の導出が、実施される（ステップＳ２１０）。

例えば、電気特性の測定（例えば、第１測定のステップＳ１３２）は、交流磁界Ｈａｃの周波数を変更して電気特性を測定することを含む。交流磁界Ｈａｃの周波数は、例えば、電流供給回路４２から第１導電体４３ａに供給する交流電流の周波数を変更することで、変更できる。

例えば、交流磁界Ｈａｃの周波数の変更の範囲の最小値及び最大値の一方を周波数ｆｓ１とする。交流磁界Ｈａｃの周波数の変更の範囲の最小値及び最大値の他方を周波数ｆｓ２とする。周波数ｆｓ１及び周波数ｆｓ２が互いに入れ替えられても良い。以下では、周波数ｆｓ１が最小値であり、周波数ｆｓ２が最大値である場合として、説明する。

例えば、図２に示すように、交流磁界Ｈａｃの周波数ｆｘを周波数ｆｓ１に設定する（ステップＳ１２０）。この周波数ｆｘの交流磁界Ｈａｃを磁気ヘッド１１０（発振子１０）に印加する（ステップＳ１３１）。そして、この状態で、電流経路の電気特性の測定（第１測定）を実施する（ステップＳ１３２）。ステップＳ１３１の少なくとも一部は、ステップＳ１３２と同時に行われる。

この後、周波数ｆｘを変更する（ステップＳ１５０）。この例では、変更前の周波数ｆｘと、周波数の変化値ｆｚと、の和が、変更後の周波数ｆｘとされる。周波数の変化値ｆｚは、正でも、負でも良い。

変更後の周波数ｆｘが、周波数ｆｓ２と比較される（ステップＳ１６０）。この例では、変更後の周波数ｆｘが、周波数ｆｓ２以下の場合は、ステップＳ１３１に戻る。変更後の周波数ｆｘが、周波数ｆｓ２よりも高い場合は、ステップＳ２１０に進む。

このような手順により、周波数ｆｘが、周波数ｆｓ１と周波数ｆｓ２との間の範囲で変更される。この範囲の中で変更された複数の周波数ｆｘの交流磁界Ｈａｃが印加され（ステップＳ１３１）、このときの電気特性が測定される（ステップＳ１３２）。

周波数ｆｘの変更の最小値及び最大値は、例えば、１ＧＨｚ以上１００ＧＨｚ以下の範囲に含まれる。１つの例において、周波数ｆｓ１は、１．５ＧＨｚであり、周波数ｆｓ２は３ＧＨｚである。周波数ｆｓ１及び周波数ｆｓ２は、評価の対象とする磁気ヘッド１１０の設計に基づいて、定められて良い。

周波数ｆｘの変更の幅（周波数の変化値ｆｚ）は、目的に合わせて定められても良い。周波数の変化値ｆｚが小さいと、高い精度での評価が行われる。周波数の変化値ｆｚが大きいと、測定時間が短くなる。

図３は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法における特性を例示するグラフ図である。
図３の横軸は、電流供給回路４２から第１導電体４３ａに供給する交流電流の周波数ｆａである。周波数ｆａは、発振子１０から出射する交流磁界Ｈａｃの周波数に対応する。図３の縦軸は、測定回路４１で測定される電気特性ΔＲに対応する。電気特性ΔＲは、発振子１０を含む電流経路の電気特性に対応する。この例では、電気特性ΔＲは、交流磁界Ｈａｃを印可していないときの電流経路の電気抵抗と、交流磁界Ｈａｃを印可したときの電流経路の電気抵抗と、の差である。

この例では、周波数ｆａは、周波数ｆｓ１と周波数ｆｓ２との間で変更される。例えば、電気特性ΔＲの測定は、第１周波数ｆ１の第１交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第１値Ｒ１を導出することを含む。電気特性ΔＲの測定は、第２周波数ｆ２の第２交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第２値Ｒ２を導出することを含む。電気特性ΔＲの測定は、第３周波数ｆ３の第３交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第３値Ｒ３を導出することを含む。第２周波数ｆ２は、第１周波数ｆ１よりも高い。第３周波数ｆ３は、第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２との間である。第１値Ｒ１、第２値Ｒ２及び第３値Ｒ３は、例えば、電流経路の電気抵抗の変化量に対応する。

図３に示すように、第３値Ｒ３は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。

例えば、第１周波数ｆ１は、電気特性ΔＲの最小値及び最大値の一方が得られる周波数に対応する。第２周波数ｆ２は、電気特性ΔＲの最小値及び最大値の他方が得られる周波数に対応する。第１周波数ｆ１及び第２周波数ｆ２において、発振子１０の発振周波数は、印加される交流磁界Ｈａｃの周波数ｆａと同期している。第３周波数ｆ３において、発振子１０の発振周波数は、印加される交流磁界Ｈａｃの周波数ｆａと同期している。第３周波数ｆ３における第３値Ｒ３は、実質的に０である。このような第３周波数ｆ３が、発振子１０の発振周波数に関する周波数値に対応する。第３周波数ｆ３が、実施形態において導出される周波数値に対応する。

例えば、第１周波数ｆ１において、発振子１０の発振周波数が外部から印加される交流磁界Ｈａｃの周波数ｆａと同期することにより、発振子１０の発振の様子が変化するため、第１値Ｒ１は、０とは異なった値になる。

例えば、第２周波数ｆ２において、発振子１０の発振周波数が外部から印加される交流磁界Ｈａｃの周波数ｆａと同期することにより発振の様子が変化するため、第２値Ｒ２は、０とは異なった値になる。

上記のように、発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（この例では、第３値Ｒ３）は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。

図３に示すように、電気特性ΔＲの測定は、第４周波数ｆ４の第４交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第４値Ｒ４をさらに導出することを含んでも良い。第４周波数ｆ４は、第１周波数ｆ１よりも低い。第４値Ｒ４は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。

導出される周波数値（この例では、第３周波数ｆ３）における電気特性ΔＲの値は、第３値Ｒ３である。第３値Ｒ３は、第４値Ｒ４に近い。例えば、発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（この例では第３値）と、第４値Ｒ４と、の差の絶対値は、第１値Ｒ１の絶対値よりも小さい。発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（この例では第３値）と、第４値Ｒ４と、の差の絶対値は、第２値Ｒ２の絶対値よりも小さい。

図３に示すように、電気特性ΔＲの測定は、第５周波数ｆ５の第５交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第５値Ｒ５をさらに導出することを含んでも良い。第５周波数ｆ５は、第２周波数ｆ２よりも高い。第５値Ｒ５は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。

上記のように、導出される周波数値（この例では、第３周波数ｆ３）における電気特性ΔＲの値は、第３値Ｒ３である。第３値Ｒ３は、第５値Ｒ５に近い。例えば、発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（この例では第３値）と、第５値Ｒ５と、の差の絶対値は、第１値Ｒ１の絶対値よりも小さい。発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（この例では第３値）と、第５値Ｒ５と、の差の絶対値は、第２値Ｒ２の絶対値よりも小さい。

例えば、第１値Ｒ１は、電気特性ΔＲのボトム値及びピーク値の一方である。例えば、第２値Ｒ２は、電気特性ΔＲのボトム値及びピーク値の他方である。例えば、第１値Ｒ１及び第２値Ｒ２の少なくともいずれかは、ボトム値またはピーク値でなくても良い。

実施形態において、１つの周波数ｆｘでの電気特性ΔＲの測定を繰り返して行っても良い。例えば、電流供給回路４２から第１導電体４３ａに供給する交流電流において、周波数ｆｘの交流電流が供給される第１期間と、交流電流が供給されない第２期間と、が交互に設けられても良い。例えば、バースト発振の信号を含む交流電流が、電流供給回路４２から第１導電体４３ａに供給されても良い。バースト発振の信号を含む交流磁界Ｈａｃが、磁気ヘッド１１０に印加されても良い。以下、このような動作の例について説明する。

図４は、第２実施形態に係る磁気ヘッドの評価方法を例示するフローチャート図である。
図４に示すように、実施形態に係る評価方法は、既に説明した、ステップＳ１１０、ステップＳ１２０、ステップＳ１３１、ステップＳ１３２、ステップＳ１５０、ステップＳ１６０及びステップＳ２１０に加えて、ステップＳ１４１、ステップＳ１４２及びステップＳ１４５を含む。

以下、ステップＳ１３１、ステップＳ１３２、ステップＳ１４１、ステップＳ１４２及びステップＳ１４５の例について説明する。

図４示すように、電気特性ΔＲの測定は、周波数ｆｘの交流磁界Ｈａｃを磁気ヘッド１１０（発振子１０）に印加して（ステップＳ１３１）、磁気ヘッド１１０の電気特性ΔＲを測定する第１測定を行う（ステップＳ１３２）ことを含む。既に説明したように、ステップＳ１３１の少なくとも一部は、ステップＳ１３２と同時に行われる。

電気特性ΔＲの測定において、交流磁界Ｈａｃをオフにする（ステップＳ１４１）。または、ステップＳ１４１において、交流磁界Ｈａｃの強度を第１測定における交流磁界Ｈａｃの強度よりも低くしても良い。そして、その状態で、磁気ヘッド１１０の電気特性ΔＲを測定する第２測定を行う（ステップＳ１４２）。

このような第１測定及び第２測定の組み合わせ（ステップＳ１３０）から得られる値を電気特性ΔＲとしても良い。ステップＳ１３１及びステップＳ１３２の組み合わせと、ステップＳ１４１及びステップＳ１４２の組み合わせと、の順序は任意であり、入れ替えが可能である。

さらに、図４に示すように、第１測定及び第２測定の組み合わせの実施の回数Ｎｍが定められた値Ｎ１と比較される（ステップＳ１４５）。回数Ｎｍが値Ｎ１以下のときは、ステップＳ１３０の最初（この例では、ステップＳ１３１）に戻る。回数Ｎｍが値Ｎ１を超えたときは、ステップＳ１５０に進む。

図４に示すように、ステップＳ１４５において、第１測定及び第２測定の組み合わせの実施の期間ｔｍが定められた値ｔ１と比較されても良い。期間ｔｍが値ｔ１以下のときは、ステップＳ１３０の最初（この例では、ステップＳ１３１）に戻る。期間ｔｍが値ｔ１を超えたときは、ステップＳ１５０に進む。

このように、電気特性ΔＲの測定は、複数の測定処理の実施（ステップＳ１３０及びステップＳ１４５）を含んでも良い。複数の測定処理の１つは、上記の第１測定及び第２測定を含む。

複数の測定処理は、周期的に行われても良い。例えば、周期的に繰り返す交流電流を含むバースト信号が磁気ヘッド１１０に供給され、その周期にロックした周期的な検出が行われる。より正確な電気特性が得られる。例えば、測定中に試料（磁気ヘッド１１０）の温度が変化する場合がある。温度の変化により、導出される周波数値における誤差が大きくなる場合がある。このような場合に、周期的に繰り返す交流電流を含む信号が磁気ヘッド１１０に供給され、繰り返す交流電流の周期にロックした検出により、温度変化などの影響が抑制される。これにより、正確な電気特性が得られる。

実施形態に係る評価方法において、電気特性ΔＲの測定は、第１導電体４３ａに交流電流を供給することを含む。交流電流に基づく交流磁界Ｈａｃが磁気ヘッド１１０に印加される。電気特性ΔＲは、発振子１０を含む電流経路に直流電流が流れたときの電流経路の電気抵抗に対応する。直流電流が流れたときに、発振子１０は発振する。直流電流が流れたときの発振子１０における発振が、交流電流に基づく交流磁界Ｈａｃと同期、または非同期になることを利用して、発振子１０の発振周波数に関する周波数値が導出できる。実施形態によれば、発振周波数を適切に評価できる磁気ヘッドの評価方法が提供できる。

上記の評価方法は、実施形態に係る評価装置２１０に適用できる。例えば、電気特性ΔＲの測定は、交流磁界Ｈａｃの周波数ｆｘを変更して電気特性ΔＲを測定することを含んでも良い（図２及び図３参照）。周波数ｆｘの変更の最小値及び最大値は、例えば、１ＧＨｚ以上１００ＧＨｚ以下の範囲に含まれる。

図３に例示したように、実施形態に係る評価装置２１０において、測定回路４１による電気特性ΔＲの測定は、第１周波数ｆ１の第１交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第１値Ｒ１と、第１周波数ｆ１よりも高い第２周波数ｆ２の第２交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第２値Ｒ２と、第１周波数ｆ１と第２周波数ｆ２との間の第３周波数ｆ３の第３交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第３値Ｒ３と、を導出することを含んでも良い。第３値Ｒ３は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。

図３に例示したように、実施形態に係る評価装置２１０において、測定回路４１による電気特性ΔＲの測定は、第１周波数ｆ１よりも低い第４周波数ｆ４の第４交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第４値Ｒ４をさらに導出することを含んでも良い。第４値Ｒ４は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（例えば第３値Ｒ３）と第４値Ｒ４と、の差の絶対値は、第１値Ｒ１の絶対値よりも小さく、第２値Ｒ２の絶対値よりも小さい。

図３に例示したように、実施形態に係る評価装置２１０において、測定回路４１による電気特性ΔＲの測定は、第２周波数ｆ２よりも高い第５周波数ｆ５の第５交流磁界を磁気ヘッド１１０に印加したときの電気特性ΔＲの第５値Ｒ５をさらに導出することを含んでも良い。第５値Ｒ５は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（例えば第３値Ｒ３）と第５値Ｒ５と、の差の絶対値は、第１値Ｒ１の絶対値よりも小さく、第２値Ｒ２の絶対値よりも小さい。発振周波数に関する周波数値に対応する電気特性ΔＲの値（例えば第３値Ｒ３）は、第１値Ｒ１と第２値Ｒ２との間にある。

図４に示すように、実施形態に係る評価装置２１０において、測定回路４１による電気特性ΔＲの測定は、第１測定（ステップＳ１３２）及び第２測定（ステップＳ１４２）を含んでも良い。第１測定において、交流磁界Ｈａｃを磁気ヘッド１１０に印加して磁気ヘッド１１０の電気特性ΔＲを測定する。第２測定において、交流磁界Ｈａｃを磁気ヘッド１１０に印加しないで、または、交流磁界Ｈａｃの強度を第１測定における交流磁界Ｈａｃの強度よりも低くして磁気ヘッド１１０の電気特性ΔＲが測定される。

図４に示すように、実施形態に係る評価装置２１０において、測定回路４１による電気特性ΔＲの測定は、複数の測定処理（ステップＳ１３０）を実施することを含んでも良い。複数の測定処理の１つは、上記の第１測定及び上記の第２測定を含む。実施形態に係る評価装置２１０において、複数の測定処理は、周期的に行われても良い。温度変化などの影響が抑制され、より正確な電気特性が得られる。

図５、図６、図７（ａ）及び図７（ｂ）は、実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的斜視図である。
図５に示すように、磁気ヘッド１１０は、記録部６０及び再生部７０を含む。記録部６０は、例えば、磁極６０ｐ（例えば主磁極）、コイル６０ｃ、シールド６０ｓ及び発振子１０を含む。発振子１０は、磁極６０ｐとコイル６０ｃとの間に設けられる。発振子１０は、例えば、第１磁性層１０ａ、第２磁性層１０ｂ及び非磁性層１０ｃを含む。非磁性層１０ｃは、第１磁性層１０ａと第２磁性層１０ｂとの間に設けられる。第１磁性層１０ａは、例えば、発振層である。第２磁性層１０ｂは、例えば、スピン注入層である。

この例では、磁極６０ｐに第１端子Ｔ１が電気的に接続される。例えば、第１端子Ｔ１と磁極６０ｐとは、配線６０ｐａにより電気的に接続される。シールド６０ｓに第２端子Ｔ２が電気的に接続される。第２端子Ｔ２とシールド６０ｓとは、配線６０ｓａにより電気的に接続される。第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２を介して供給された電流（例えば、直流電流）は、磁極６０ｐ及びシールド６０ｓを通過して、発振子１０に供給される。この電流は、発振子１０を含む電流経路ｃｐを流れる。この電流により、発振子１０は、発振する。

コイル６０ｃは、磁極６０ｐの近くに設けられる。コイル６０ｃに記録電流が供給され、記録電流に応じた記録磁界が、磁気記録媒体８０の記録層８１に印加される。記録層８１は、例えば、磁気記録媒体基板８２の上に設けられる。発振子１０の発振により生じた交流磁界（高周波磁界）が記録層８１に印加され、磁気記録媒体８０（記録層８１）の磁化８３の向きが変化し易くなる。これにより、効率的な書き込みが行われる。例えば、高い記録密度が得られる。磁化８３の向きが、記録される情報に対応する。

再生部７０は、例えば、第１シールド７２ａ、第２シールド７２ｂ及び検出部７１を含む。検出部７１は、第１シールド７２ａと第２シールド７２ｂとの間に設けられる。検出部７１は、磁性層を含む。検出部７１は、例えば、磁気抵抗効果素子を含む。検出部７１の電気抵抗は、磁気記録媒体８０の記録層８１の磁化８３の向きに応じて変化する。検出部７１の電気抵抗を評価することで、記録される情報が読み出される。

図５に示すように、記録部６０及び再生部７０を含む磁気ヘッド１１０と、磁気記録媒体８０と、の少なくともいずれかが、媒体移動方向８５に沿って相対的に移動する。磁気記録媒体８０の任意の位置に所望の情報（磁化８３の向き）が記録できる。

既に説明したように、再生部７０を用いて、第１導電体４３ａと、磁気ヘッド１１０と、の間のアライメントが行われても良い。

図６に示すように、磁気ヘッド１１０は、ヘッドスライダ１５９に設けられる。ヘッドスライダ１５９は、例えばＡｌ_２Ｏ_３／ＴｉＣなどを含む。ヘッドスライダ１５９は、磁気記録媒体８０の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体８０に対して相対的に運動する。

ヘッドスライダ１５９は、例えば、空気流入側１５９Ａ及び空気流出側１５９Ｂを有する。磁気ヘッド１１０は、ヘッドスライダ１５９の空気流出側１５９Ｂの側面などに配置される。これにより、磁気ヘッド１１０は、磁気記録媒体の上を浮上または接触しながら磁気記録媒体に対して相対的に運動する。

図７（ａ）は、磁気記録装置の一部の構成を例示しており、ヘッドスタックアセンブリ１６０の斜視図である。図７（ｂ）は、ヘッドスタックアセンブリ１６０の一部となる磁気ヘッドアセンブリ（ヘッドジンバルアセンブリ：ＨＧＡ）１５８を例示する斜視図である。

図７（ａ）に示すように、ヘッドスタックアセンブリ１６０は、軸受部１５７と、ヘッドジンバルアセンブリ１５８と、支持フレーム１６１と、を含む。ヘッドジンバルアセンブリ１５８は、軸受部１５７から延びる。支持フレーム１６１は、軸受部１５７から延びる。支持フレーム１６１の延びる方向は、ヘッドジンバルアセンブリ１５８の延びる方向とは逆である。支持フレーム１６１は、例えば、モータのコイル１６２を支持する。

図７（ｂ）に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ１５８は、軸受部１５７から延びたアーム１５５と、アーム１５５から延びたサスペンション１５４と、を有している。

サスペンション１５４の先端には、ヘッドスライダ１５９が設けられる。ヘッドスライダ１５９に、実施形態に係る磁気ヘッド１１０が設けられる。

実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリ（ヘッドジンバルアセンブリ）１５８は、実施形態に係る磁気ヘッド１１０と、磁気ヘッド１１０が設けられたヘッドスライダ１５９と、サスペンション１５４と、アーム１５５と、を含む。ヘッドスライダ１５９は、サスペンション１５４の一端に設けられる。アーム１５５は、サスペンション１５４の他端と接続される。

実施形態は、例えば、以下の構成（例えば、技術案）を含む。
（構成１）
発振子を含む電流経路を含む磁気ヘッドに交流磁界を印加したときの前記電流経路の電気特性の測定を実施し、
前記電気特性に基づいて、前記発振子の発振周波数に関する周波数値の導出を実施し、磁気ヘッドの評価方法。

（構成２）
前記電気特性の前記測定は、前記交流磁界の周波数を変更して前記電気特性を測定することを含む、構成１記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成３）
前記周波数の変更の最小値及び最大値は、１ＧＨｚ以上１００ＧＨｚ以下の範囲に含まれる、構成２記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成４）
前記電気特性の前記測定は、
第１周波数の第１交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第１値と、
前記第１周波数よりも高い第２周波数の第２交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第２値と、
前記第１周波数と前記第２周波数との間の第３周波数の第３交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第３値と、
を導出することを含み、
前記第３値は、前記第１値と前記第２値との間にある、
構成１記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成５）
前記電気特性の前記測定は、前記第１周波数よりも低い第４周波数の第４交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第４値をさらに導出することを含み、
前記第４値は、前記第１値と前記第２値との間にある、構成４記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成６）
前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の値と前記第４値と、の差の絶対値は、前記第１値の絶対値よりも小さく、前記第２値の絶対値よりも小さい、構成５記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成７）
前記電気特性の前記測定は、前記第２周波数よりも高い第５周波数の第５交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第５値をさらに導出することを含み、
前記第５値は、前記第１値と前記第２値との間にある、構成６記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成８）
前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の前記値と前記第５値と、の差の絶対値は、前記第１値の絶対値よりも小さく、前記第２値の絶対値よりも小さい、構成７記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成９）
前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の値は、前記第１値と前記第２値との間にある、構成４記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１０）
前記電気特性の前記測定は、第１測定及び第２測定を含み、
前記第１測定において、前記交流磁界を前記磁気ヘッドに印加して前記磁気ヘッドの前記電気特性を測定し、
前記第２測定において、前記交流磁界を前記磁気ヘッドに印加しないで、または、前記交流磁界の強度を前記第１測定における前記交流磁界の強度よりも低くして前記磁気ヘッドの前記電気特性を測定する、構成１記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１１）
前記電気特性の前記測定は、複数の測定処理を実施することを含み、
前記複数の測定処理の１つは、前記第１測定及び前記第２測定を含む、構成１０記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１２）
前記複数の測定処理は、周期的に行われる、構成１１記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１３）
前記電気特性の前記測定は、第１導電体に交流電流を供給することを含み、
前記交流電流に基づく前記交流磁界が前記磁気ヘッドに印加される、構成１～１２のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１４）
前記電気特性は、前記電流経路に直流電流が流れたときの前記電流経路の電気抵抗に対応する、構成１～１３のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１５）
前記直流電流が流れたときに、前記発振子は発振する、構成１４記載の磁気ヘッドの評価方法。

（構成１６）
第１導電体と、
発振子を含む電流経路を含む磁気ヘッドを保持し前記磁気ヘッドの前記第１導電体に対する位置を制御可能な保持部と、
前記第１導電体に交流電流を供給可能な電流供給回路と、
前記電流経路の電気特性を測定可能な測定回路と、
を備えた磁気ヘッドの評価装置。

（構成１７）
プロセッサをさらに備え、
前記プロセッサは、前記電気特性に基づいて、前記発振子の発振周波数に関する周波数値を導出可能である、構成１６記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成１８）
前記電気特性の前記測定は、第１測定及び第２測定を含み、
前記第１測定において、前記交流磁界を前記磁気ヘッドに印加して前記磁気ヘッドの前記電気特性を測定し、
前記第２測定において、前記交流磁界を前記磁気ヘッドに印加しないで、または、前記交流磁界の強度を前記第１測定における前記交流磁界の強度よりも低くして前記磁気ヘッドの前記電気特性を測定する、構成１６または１７に記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成１９）
前記電気特性の前記測定は、複数の測定処理を実施することを含み、
前記複数の測定処理の１つは、前記第１測定及び前記第２測定を含む、構成１８記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２０）
前記複数の測定処理は、周期的に行われる、構成１９記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２１）
前記磁気ヘッドは、再生部をさらに含み、
前記保持部は、前記電流供給回路が電流を供給しているときに前記再生部から得られる信号に基づいて、前記磁気ヘッドの前記第１導電体に対する前記位置を制御可能である、構成１６～２０のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２２）
前記電気特性の測定は、前記交流磁界の周波数を変更して前記電気特性を測定することを含む、構成１６または１７に記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２３）
前記周波数の変更の最小値及び最大値は、１ＧＨｚ以上１００ＧＨｚ以下の範囲に含まれる、構成２２記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２４）
前記電気特性の前記測定は、
第１周波数の第１交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第１値と、
前記第１周波数よりも高い第２周波数の第２交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第２値と、
前記第１周波数と前記第２周波数との間の第３周波数の第３交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第３値と、
を導出することを含み、
前記第３値は、前記第１値と前記第２値との間にある、
構成１７記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２５）
前記電気特性の前記測定は、前記第１周波数よりも低い第４周波数の第４交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第４値をさらに導出することを含み、
前記第４値は、前記第１値と前記第２値との間にある、構成２４記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２６）
前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の値と前記第４値と、の差の絶対値は、前記第１値の絶対値よりも小さく、前記第２値の絶対値よりも小さい、構成２５記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２７）
前記電気特性の前記測定は、前記第２周波数よりも高い第５周波数の第５交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第５値をさらに導出することを含み、
前記第５値は、前記第１値と前記第２値との間にある、構成２６記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２８）
前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の前記値と前記第５値と、の差の絶対値は、前記第１値の絶対値よりも小さく、前記第２値の絶対値よりも小さい、構成２７記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成２９）
前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の値は、前記第１値と前記第２値との間にある、構成２４記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成３０）
前記電気特性は、前記電流経路に直流電流が流れたときの前記電流経路の電気抵抗に対応する、構成１６～２９のいずれか１つに記載の磁気ヘッドの評価装置。

（構成３１）
前記直流電流が流れたときに、前記発振子は発振する、構成２０記載の磁気ヘッドの評価装置。

実施形態によれば、発振周波数を評価できる磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置が提供できる。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気ヘッドの評価装置に含まれる導電体、保持部、電流供給回路、測定回路及びプロセッサなどの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

その他、本発明の実施の形態として上述した磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気ヘッドの評価方法及び磁気ヘッドの評価装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０…発振子、 １０ａ、１０ｂ…第１、第２磁性層、 １０ｃ…非磁性層、 ４１…測定回路、 ４２…電流供給回路、 ４３ａ…第１導電体、 ４３ｂ…第２導電体、 ４６…光学顕微鏡、 ４７…保持部、 ４８…プロセッサ、 ４８ｓ…信号、 ６０…記録部、 ６０ｃ…コイル、 ６０ｐ…磁極、 ６０ｐａ…配線、 ６０ｓ…シールド、 ６０ｓａ…配線、 ７０…再生部、 ７１…検出部、 ７２ａ、７２ｂ…第１、第２シールド、 ８０…磁気記録媒体、 ８１…記録層、 ８２…磁気記録媒体基板、 ８３…磁化、 ８５…媒体移動方向、 ΔＲ…電気特性、 １１０…磁気ヘッド、 １５４…サスペンション、 １５５…アーム、 １５７…軸受部、 １５８…ヘッドジンバルアセンブリ、 １５９…ヘッドスライダ、 １５９Ａ…空気流入側、 １５９Ｂ…空気流出側、 １６０…ヘッドスタックアセンブリ、 １６１…支持フレーム、 １６２…コイル、 ２１０…評価装置、 Ｈａｃ…交流磁界、 Ｎ１…値、 Ｎｍ…回数、 Ｒ１～Ｒ５…第１～第５値、 Ｔ１、Ｔ２…第１、第２端子、 ｃｐ…電流経路、 ｆ１～ｆ５…第１～第５周波数、 ｆａ…周波数、 ｆｓ１、ｆｓ２…周波数、 ｆｘ…周波数、 ｆｚ…変化値、 ｔ１…値、 ｔｍ…期間、 ｗ１…幅

Claims (10)

1. 発振子を含む電流経路を含む磁気ヘッドに交流磁界を印加したときの前記電流経路の電気特性の測定を実施し、
   前記電気特性に基づいて、前記発振子の発振周波数に関する周波数値の導出を実施し、磁気ヘッドの評価方法。
2. 前記電気特性の前記測定は、前記交流磁界の周波数を変更して前記電気特性を測定することを含む、請求項１記載の磁気ヘッドの評価方法。
3. 前記電気特性の前記測定は、
   第１周波数の第１交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第１値と、
   前記第１周波数よりも高い第２周波数の第２交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第２値と、
   前記第１周波数と前記第２周波数との間の第３周波数の第３交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第３値と、
   を導出することを含み、
   前記第３値は、前記第１値と前記第２値との間にある、
   請求項１記載の磁気ヘッドの評価方法。
4. 前記発振周波数に関する前記周波数値に対応する前記電気特性の値は、前記第１値と前記第２値との間にある、請求項３記載の磁気ヘッドの評価方法。
5. 前記電気特性の前記測定は、第１測定及び第２測定を含み、
   前記第１測定において、前記交流磁界を前記磁気ヘッドに印加して前記磁気ヘッドの前記電気特性を測定し、
   前記第２測定において、前記交流磁界を前記磁気ヘッドに印加しないで、または、前記交流磁界の強度を前記第１測定における前記交流磁界の強度よりも低くして前記磁気ヘッドの前記電気特性を測定する、請求項１記載の磁気ヘッドの評価方法。
6. 前記電気特性の前記測定は、複数の測定処理を実施することを含み、
   前記複数の測定処理の１つは、前記第１測定及び前記第２測定を含む、請求項５記載の磁気ヘッドの評価方法。
7. 前記複数の測定処理は、周期的に行われる、請求項６記載の磁気ヘッドの評価方法。
8. 第１導電体と、
   発振子を含む電流経路を含む磁気ヘッドを保持し前記磁気ヘッドの前記第１導電体に対する位置を制御可能な保持部と、
   前記第１導電体に交流電流を供給可能な電流供給回路と、
   前記電流経路の電気特性を測定可能な測定回路と、
   を備えた磁気ヘッドの評価装置。
9. プロセッサをさらに備え、
   前記プロセッサは、前記電気特性に基づいて、前記発振子の発振周波数に関する周波数値を導出可能である、請求項８記載の磁気ヘッドの評価装置。
10. 前記電気特性の前記測定は、
    第１周波数の第１交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第１値と、
    前記第１周波数よりも高い第２周波数の第２交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第２値と、
    前記第１周波数と前記第２周波数との間の第３周波数の第３交流磁界を前記磁気ヘッドに印加したときの前記電気特性の第３値と、
    を導出することを含み、
    前記第３値は、前記第１値と前記第２値との間にある、
    請求項９記載の磁気ヘッドの評価装置。

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