JPH10124828A - 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 - Google Patents
磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置Info
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- JPH10124828A JPH10124828A JP27914896A JP27914896A JPH10124828A JP H10124828 A JPH10124828 A JP H10124828A JP 27914896 A JP27914896 A JP 27914896A JP 27914896 A JP27914896 A JP 27914896A JP H10124828 A JPH10124828 A JP H10124828A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】微少な、例えば数％の微少出力変動レベルのバ
ルクハウゼンノイズの検出は可能であったが、例えば３
０〜５０％の大出力変動のバルクハウゼンノイズの検出
が再現性よく検出できないという問題があった。 【解決手段】センス電流によってバイアス磁界を発生さ
せる磁気抵抗ヘッド（以下ＭＲヘッドと称する）であっ
て、ストレスとしての外部磁場を該ＭＲヘッドとは別の
外部磁場発生手段により、スライダ−浮上面側からＭＲ
ストライプの磁化困難軸方向（以下この方向をＰ方向と
する）へ、パルス磁場として印加し、その後該ＭＲヘッ
ドの出力電圧波形を検査することにより達成することが
できる。
ルクハウゼンノイズの検出は可能であったが、例えば３
０〜５０％の大出力変動のバルクハウゼンノイズの検出
が再現性よく検出できないという問題があった。 【解決手段】センス電流によってバイアス磁界を発生さ
せる磁気抵抗ヘッド（以下ＭＲヘッドと称する）であっ
て、ストレスとしての外部磁場を該ＭＲヘッドとは別の
外部磁場発生手段により、スライダ−浮上面側からＭＲ
ストライプの磁化困難軸方向（以下この方向をＰ方向と
する）へ、パルス磁場として印加し、その後該ＭＲヘッ
ドの出力電圧波形を検査することにより達成することが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
などの磁気媒体から再生を行なう磁気抵抗ヘッド（Ｍａ
ｇｎｅｔ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ，以下ＭＲヘ
ッドと称する）の検査方法及び検査装置に関する。
などの磁気媒体から再生を行なう磁気抵抗ヘッド（Ｍａ
ｇｎｅｔ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｈｅａｄ，以下ＭＲヘ
ッドと称する）の検査方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置等の薄膜磁気ヘ
ッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッドが実用
化されている。
ッドとして、磁気抵抗効果を利用したＭＲヘッドが実用
化されている。
【０００３】ＭＲヘッドは、パ−マロイ等の強磁性体薄
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズ、出力変動、出
力上下非対称変動等が潜在する不良品が生成されてしま
う。このような不良を潜在的に持ったヘッドでは正常な
再生動作ができない。このため、ＭＲヘッド製造時の検
査においては、バルクハウゼンノイズ、出力変動等発生
しない良品であることを確認する必要がある。バルクハ
ウゼンノイズ、出力変動等は、発生したりしなかったり
ランダムに発生する為その検出及び定量化が非常に困難
である。従来この種のバルクハウゼンノイズの検出方法
として、特開平６−８４１４７号公報に記載の如く、セ
ンス電流を徐々に変化させながらＭＲヘッドの出力電
圧、半値幅、アシンメトリ等を測定し、バルクハウゼン
ノイズが生じ易いセンス電流領域をすべてカバ−し、バ
ルクハウゼンノイズ検出を行なう方法が開示されてい
る。又、特開平６−８４１４８号公報においては、セン
ス電流の極性を交番させてバイアス磁界の極性を正負交
互に変化させ、前公知例と同様な項目を測定し、ノイズ
検出を行なう方法が開示されている。
膜の磁気抵抗効果を利用したものであるため、磁気媒体
との相対速度に依存することなく大きな再生出力を得る
ことができるが、バルクハウゼンノイズ、出力変動、出
力上下非対称変動等が潜在する不良品が生成されてしま
う。このような不良を潜在的に持ったヘッドでは正常な
再生動作ができない。このため、ＭＲヘッド製造時の検
査においては、バルクハウゼンノイズ、出力変動等発生
しない良品であることを確認する必要がある。バルクハ
ウゼンノイズ、出力変動等は、発生したりしなかったり
ランダムに発生する為その検出及び定量化が非常に困難
である。従来この種のバルクハウゼンノイズの検出方法
として、特開平６−８４１４７号公報に記載の如く、セ
ンス電流を徐々に変化させながらＭＲヘッドの出力電
圧、半値幅、アシンメトリ等を測定し、バルクハウゼン
ノイズが生じ易いセンス電流領域をすべてカバ−し、バ
ルクハウゼンノイズ検出を行なう方法が開示されてい
る。又、特開平６−８４１４８号公報においては、セン
ス電流の極性を交番させてバイアス磁界の極性を正負交
互に変化させ、前公知例と同様な項目を測定し、ノイズ
検出を行なう方法が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の技
術の方法では、微少な、例えば数％の微少出力変動レベ
ルのバルクハウゼンノイズの検出は可能であったが、例
えば３０〜５０％の大出力変動のバルクハウゼンノイズ
の検出が再現性よく検出できないことが判明した。事
実、数千から数十万回の書き込み読みだしテスト、すな
わち、実使用に近いテストでは、前記の大出力変動等が
発生することが判った。したがって、誘導型記録ヘッド
に通電し、その磁界をＭＲヘッドに印加し、大出力変動
やバルクハウゼンノイズを検出するためには、実機（装
置）のヒ−トランテスト（連続書き込み、読みだしテス
ト）程度のテスト回数と時間を要し、ＭＲヘッドの検査
方法としては実用的ではない。微少なバルクハウゼンノ
イズ及び出力変動は、前記従来の技術によれば、ＭＲス
トライプの強磁性薄膜内の磁壁が磁性体内の欠陥や不純
物等にひっかかりながら移動又はひっかかったままの状
態になっているためと説明されている。
術の方法では、微少な、例えば数％の微少出力変動レベ
ルのバルクハウゼンノイズの検出は可能であったが、例
えば３０〜５０％の大出力変動のバルクハウゼンノイズ
の検出が再現性よく検出できないことが判明した。事
実、数千から数十万回の書き込み読みだしテスト、すな
わち、実使用に近いテストでは、前記の大出力変動等が
発生することが判った。したがって、誘導型記録ヘッド
に通電し、その磁界をＭＲヘッドに印加し、大出力変動
やバルクハウゼンノイズを検出するためには、実機（装
置）のヒ−トランテスト（連続書き込み、読みだしテス
ト）程度のテスト回数と時間を要し、ＭＲヘッドの検査
方法としては実用的ではない。微少なバルクハウゼンノ
イズ及び出力変動は、前記従来の技術によれば、ＭＲス
トライプの強磁性薄膜内の磁壁が磁性体内の欠陥や不純
物等にひっかかりながら移動又はひっかかったままの状
態になっているためと説明されている。
【０００５】しかし、ＭＲヘッドが受ける磁気的外乱は
他に種々ある。例えば、磁気抵抗薄膜を囲み積層された
磁気シ−ルド膜、磁気抵抗薄膜にバイアス磁界を印加さ
せるためのソフトバイアス膜（又はバイアス用強磁性薄
膜）、さらに書き込み用磁気ヘッドの磁性膜等の中のい
ずれか１枚の膜の非可逆的磁化特性あるいは、膜面にお
ける部分的な非可逆的磁化特性によりＭＲヘッドのＭＲ
ストライプの受ける磁化が変化する。その結果前述の大
バルクハウゼン、又は大出力変動が発生すると考えられ
る。
他に種々ある。例えば、磁気抵抗薄膜を囲み積層された
磁気シ−ルド膜、磁気抵抗薄膜にバイアス磁界を印加さ
せるためのソフトバイアス膜（又はバイアス用強磁性薄
膜）、さらに書き込み用磁気ヘッドの磁性膜等の中のい
ずれか１枚の膜の非可逆的磁化特性あるいは、膜面にお
ける部分的な非可逆的磁化特性によりＭＲヘッドのＭＲ
ストライプの受ける磁化が変化する。その結果前述の大
バルクハウゼン、又は大出力変動が発生すると考えられ
る。
【０００６】本発明の目的は、大バルクハウゼンノイズ
又は、大出力変動を再現性良くかつ短時間に検出可能な
検査方法及び、検査装置を提供することにある。
又は、大出力変動を再現性良くかつ短時間に検出可能な
検査方法及び、検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述のセンス電流の変化
及びセンス電流の極性変化及び誘導型記録ヘッドへの通
電（書き込み）のみでは、ＭＲヘッドのＭＲストライプ
の部分的変化を加速するにすぎず、前述の磁性膜全てに
おいての非可逆的磁化特性の加速評価を行なっていな
い。また、前述の誘導型記録ヘッドは、磁性薄膜で磁気
回路が構成されている為磁気飽和が生じやすく、実験結
果では最大４０〜５０ガウスしか磁界がＭＲヘッド内部
に印加されない。又磁界はＭＲストライプの浮上面側数
μｍ付近にのみ印加され、ＭＲストライプ全面及び他の
構成磁性膜全面に磁界が印加されるに至らない。本発明
は、磁性膜全てにおいて加速を行ない、ＭＲストライプ
が受ける磁化変化を検知できる方法として、ＭＲヘッド
全面に磁界が印加出来、その強さが５０ガウス以上２０
０ガウスの磁界が発生可能な外部磁場発生器を備え、検
査すべきＭＲヘッドへストレスとしての外部磁場を印加
したのちに、該ＭＲヘッドから出力電圧波形を受け取
り、受け取った出力電圧波形に基いて必要な項目の測定
結果を得るようにしたＭＲヘッドの検査方法及び装置が
提供される。また検査すべきＭＲヘッドへ、ストレスと
しての外部磁場を印加しているので、バルクハウゼンノ
イズ、出力変動等のノイズを潜在的に有しているＭＲヘ
ッドの場合、数回の同一検査でノイズ発生が観測される
ので極めて容易に短時間に検査可能である。
及びセンス電流の極性変化及び誘導型記録ヘッドへの通
電（書き込み）のみでは、ＭＲヘッドのＭＲストライプ
の部分的変化を加速するにすぎず、前述の磁性膜全てに
おいての非可逆的磁化特性の加速評価を行なっていな
い。また、前述の誘導型記録ヘッドは、磁性薄膜で磁気
回路が構成されている為磁気飽和が生じやすく、実験結
果では最大４０〜５０ガウスしか磁界がＭＲヘッド内部
に印加されない。又磁界はＭＲストライプの浮上面側数
μｍ付近にのみ印加され、ＭＲストライプ全面及び他の
構成磁性膜全面に磁界が印加されるに至らない。本発明
は、磁性膜全てにおいて加速を行ない、ＭＲストライプ
が受ける磁化変化を検知できる方法として、ＭＲヘッド
全面に磁界が印加出来、その強さが５０ガウス以上２０
０ガウスの磁界が発生可能な外部磁場発生器を備え、検
査すべきＭＲヘッドへストレスとしての外部磁場を印加
したのちに、該ＭＲヘッドから出力電圧波形を受け取
り、受け取った出力電圧波形に基いて必要な項目の測定
結果を得るようにしたＭＲヘッドの検査方法及び装置が
提供される。また検査すべきＭＲヘッドへ、ストレスと
しての外部磁場を印加しているので、バルクハウゼンノ
イズ、出力変動等のノイズを潜在的に有しているＭＲヘ
ッドの場合、数回の同一検査でノイズ発生が観測される
ので極めて容易に短時間に検査可能である。
【０００８】さらに本発明によれば、ＭＲヘッドのバイ
アス磁界を発生させるためのセンス電流供給手段、ＭＲ
ヘッドから出力電圧を得るための増幅手段、出力電圧か
ら所望の測定結果を得る測定手段、ストレスとしてＭＲ
ヘッドに外部磁場を印加する手段、外部磁場を制御する
手段、さらには、他の検査手段として、通常の読みだ
し、書き込みのための媒体を含む読みだし、書き込み手
段を備えており、前述の外部磁場印加によるＭＲヘッド
の特性測定を行なえる構成を有する検査装置が提供され
る。
アス磁界を発生させるためのセンス電流供給手段、ＭＲ
ヘッドから出力電圧を得るための増幅手段、出力電圧か
ら所望の測定結果を得る測定手段、ストレスとしてＭＲ
ヘッドに外部磁場を印加する手段、外部磁場を制御する
手段、さらには、他の検査手段として、通常の読みだ
し、書き込みのための媒体を含む読みだし、書き込み手
段を備えており、前述の外部磁場印加によるＭＲヘッド
の特性測定を行なえる構成を有する検査装置が提供され
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の上記動作を実行す
るための一実施例であるＭＲヘッド検査装置の概略を示
すブロック図である。
るための一実施例であるＭＲヘッド検査装置の概略を示
すブロック図である。
【００１０】１は検査すべきＭＲヘッド、２はセンス電
流供給源、３は出力電圧増幅器、４は磁場発生用コイル
ユニット（以下コイルユニットと称する）、５はコイル
用電流増幅器、６は任意波形発生器、７はデジタルオシ
ロスコ−プ、８はコンピュ−タ−ユニット、９はコイル
ユニットから発生した磁場である。
流供給源、３は出力電圧増幅器、４は磁場発生用コイル
ユニット（以下コイルユニットと称する）、５はコイル
用電流増幅器、６は任意波形発生器、７はデジタルオシ
ロスコ−プ、８はコンピュ−タ−ユニット、９はコイル
ユニットから発生した磁場である。
【００１１】以下各部の動作を図１に従って説明する。
本実施例は、磁気記録媒体を使用しないで、ＭＲヘッド
の特性を評価する方法を述べる。任意波形発生器６より
より発生された電圧はコイル用電流増幅器５により増幅
され、さらにコイルユニット４に印加され、コイルユニ
ット４で磁場９が発生される。発生した磁場９の強度、
周波数、極性、回数の設定は任意波形発生器６に接続さ
れているコンピュ−タ−ユニット８により設定可能であ
るよう構成されている。ＭＲヘッド１をコイルユニット
４へ装着することによりＭＲヘッド１へ必要な磁場９を
印加することができる。たとえばＭＲヘッドの標準特性
（記録媒体を使用した書き込み、読みだし特性に相当す
る特性）を測定する場合、ＭＲヘッド１へ磁界強度±２
０〜±５０ガウス、周波数５０Ｈｚ又は６０Ｈｚの磁場
９を印加しさらにセンス電流供給源２でＭＲヘッド１へ
必要なセンス電流、例えば数ｍＡ〜数十ｍＡを供給する
ことによりＭＲヘッド１は印加磁場９に対応した出力電
圧を発生することになる。この出力電圧を出力電圧増幅
器３にて増幅したのち、これをデジタルオシロスコ−プ
７に取り込み信号処理を行ないコンピュ−タ８によりデ
−タ集計しＭＲヘッド１の標準特性の評価を行なうこと
ができる。一方ＭＲヘッド１へ、ストレスとしての外部
磁場を印加する場合は、ＭＲヘッド１へ前記磁場より強
く、例えば磁界強度±５０〜±２００ガウスの直流又は
任意波形の磁場９がコイルユニット４により印加され
る。
本実施例は、磁気記録媒体を使用しないで、ＭＲヘッド
の特性を評価する方法を述べる。任意波形発生器６より
より発生された電圧はコイル用電流増幅器５により増幅
され、さらにコイルユニット４に印加され、コイルユニ
ット４で磁場９が発生される。発生した磁場９の強度、
周波数、極性、回数の設定は任意波形発生器６に接続さ
れているコンピュ−タ−ユニット８により設定可能であ
るよう構成されている。ＭＲヘッド１をコイルユニット
４へ装着することによりＭＲヘッド１へ必要な磁場９を
印加することができる。たとえばＭＲヘッドの標準特性
（記録媒体を使用した書き込み、読みだし特性に相当す
る特性）を測定する場合、ＭＲヘッド１へ磁界強度±２
０〜±５０ガウス、周波数５０Ｈｚ又は６０Ｈｚの磁場
９を印加しさらにセンス電流供給源２でＭＲヘッド１へ
必要なセンス電流、例えば数ｍＡ〜数十ｍＡを供給する
ことによりＭＲヘッド１は印加磁場９に対応した出力電
圧を発生することになる。この出力電圧を出力電圧増幅
器３にて増幅したのち、これをデジタルオシロスコ−プ
７に取り込み信号処理を行ないコンピュ−タ８によりデ
−タ集計しＭＲヘッド１の標準特性の評価を行なうこと
ができる。一方ＭＲヘッド１へ、ストレスとしての外部
磁場を印加する場合は、ＭＲヘッド１へ前記磁場より強
く、例えば磁界強度±５０〜±２００ガウスの直流又は
任意波形の磁場９がコイルユニット４により印加され
る。
【００１２】図２は、コンピュ−タ８の制御プログラム
を表すフロ−チャ−トであり、以下同図を用いてＭＲヘ
ッド１の検査方法について説明する。
を表すフロ−チャ−トであり、以下同図を用いてＭＲヘ
ッド１の検査方法について説明する。
【００１３】まずステップＳ１において、ＭＲヘッド１
に印加するセンス電流の大きさ、及び極性とＭＲヘッド
標準特性評価用磁場、及びストレスとしての外部磁場の
強度、極性及び試験の繰返し評価回数ｎが初期設定され
る。ステップＳ２において、ＭＲヘッド１へステップＳ
１で設定したストレスとしての外部磁場が印加される。
もしＭＲヘッド１がノイズ成分を潜在しているヘッドで
あればこの状態で、ノイズ成分が非常に出現しやすい状
態となっている。次のステップＳ３に移る前にストレス
としての外部磁場印加を終了させる。そこでステップＳ
３でＭＲヘッド１へＳ１で設定したセンス電流を供給
し、ＭＲヘッド標準特性評価用磁場においてヘッドの特
性調査を行なう。ここで再度ステップＳ２へ戻り前述の
動作を行い、ステップＳ２とステップＳ３をｎ回繰り返
すことにより不良ヘッドの検出率が上がることになる。
最終的にこれらのデ−タをコンピュ−タ８により集計し
表示することでＭＲヘッドの検査は終了する。
に印加するセンス電流の大きさ、及び極性とＭＲヘッド
標準特性評価用磁場、及びストレスとしての外部磁場の
強度、極性及び試験の繰返し評価回数ｎが初期設定され
る。ステップＳ２において、ＭＲヘッド１へステップＳ
１で設定したストレスとしての外部磁場が印加される。
もしＭＲヘッド１がノイズ成分を潜在しているヘッドで
あればこの状態で、ノイズ成分が非常に出現しやすい状
態となっている。次のステップＳ３に移る前にストレス
としての外部磁場印加を終了させる。そこでステップＳ
３でＭＲヘッド１へＳ１で設定したセンス電流を供給
し、ＭＲヘッド標準特性評価用磁場においてヘッドの特
性調査を行なう。ここで再度ステップＳ２へ戻り前述の
動作を行い、ステップＳ２とステップＳ３をｎ回繰り返
すことにより不良ヘッドの検出率が上がることになる。
最終的にこれらのデ−タをコンピュ−タ８により集計し
表示することでＭＲヘッドの検査は終了する。
【００１４】次に前述の外部磁場の印加方向の詳細を図
５にて説明する。磁気抵抗素子であるＭＲストライプ１
０１は媒体対向面１０５を有し、磁化容易軸１０３の如
く着磁成膜され、磁化容易軸１０３とほぼ直角に磁化困
難軸１０４が生じている。ＭＲヘッドの前記標準特性は
外部磁場を磁化困難軸１０４方向に交流的に、例えば磁
界強度±２０〜±５０ガウス、周波数５０Ｈｚを印加し
ながらセンス電流１０２のバイアス電流によるＭＲスト
ライプの磁気抵抗変化を前述の出力電圧増幅器で増幅し
測定される。
５にて説明する。磁気抵抗素子であるＭＲストライプ１
０１は媒体対向面１０５を有し、磁化容易軸１０３の如
く着磁成膜され、磁化容易軸１０３とほぼ直角に磁化困
難軸１０４が生じている。ＭＲヘッドの前記標準特性は
外部磁場を磁化困難軸１０４方向に交流的に、例えば磁
界強度±２０〜±５０ガウス、周波数５０Ｈｚを印加し
ながらセンス電流１０２のバイアス電流によるＭＲスト
ライプの磁気抵抗変化を前述の出力電圧増幅器で増幅し
測定される。
【００１５】ストレスとしての外部磁場は、磁化困難軸
１０４方向（Ｐ方向）、あるいはその逆方向（Ｎ方向）
に直流パルスとして５０〜２００ガウスが印加される。
その方向はセンス電流の方向及び、ＭＲストライプと隣
接配置されたバイアス磁化膜（又はソフト膜とよばれて
いる）の配置により定まり、検査すべきＭＲヘッドによ
り選択される。また他の方法としてＭＲストライプ１０
１の両サイド１０６、１０７には通常、磁区制御膜が配
置されており、本制御膜の適正化テストのためにストレ
スとしての外部磁場をＭＲストライプ１０１の磁化容易
磁区１０３方向（以下Ｒ方向と称する）及びその反対方
向（以下Ｌ方向と称する）に前述と同様に印加される。
その方向は、前述の理由と同様な原因で選択される。
１０４方向（Ｐ方向）、あるいはその逆方向（Ｎ方向）
に直流パルスとして５０〜２００ガウスが印加される。
その方向はセンス電流の方向及び、ＭＲストライプと隣
接配置されたバイアス磁化膜（又はソフト膜とよばれて
いる）の配置により定まり、検査すべきＭＲヘッドによ
り選択される。また他の方法としてＭＲストライプ１０
１の両サイド１０６、１０７には通常、磁区制御膜が配
置されており、本制御膜の適正化テストのためにストレ
スとしての外部磁場をＭＲストライプ１０１の磁化容易
磁区１０３方向（以下Ｒ方向と称する）及びその反対方
向（以下Ｌ方向と称する）に前述と同様に印加される。
その方向は、前述の理由と同様な原因で選択される。
【００１６】一方、ＭＲヘッドは大口径（例えば５〜６
インチ）のウエハ上に形成される、よって中心付近と外
周付近とではＭＲストライプの磁化方向が不均一になり
やすい。又、前述の磁区制御膜も不均一になりやすい。
これら不均一性をテストする方法として、前述の磁化容
易軸１０３や磁化困難軸１０４の方向とは異なる、ＭＲ
ストライプに対して斜めの方向（以下この方向をθ方向
と称する）にストレスとしての外部磁場を印加し、ＭＲ
ヘッドの特性を測定する方法が提供される。
インチ）のウエハ上に形成される、よって中心付近と外
周付近とではＭＲストライプの磁化方向が不均一になり
やすい。又、前述の磁区制御膜も不均一になりやすい。
これら不均一性をテストする方法として、前述の磁化容
易軸１０３や磁化困難軸１０４の方向とは異なる、ＭＲ
ストライプに対して斜めの方向（以下この方向をθ方向
と称する）にストレスとしての外部磁場を印加し、ＭＲ
ヘッドの特性を測定する方法が提供される。
【００１７】前述のＰ、Ｎ、Ｒ、Ｌ、θ方向をストレス
としての外部磁場方向としてＭＲヘッド１へ印加し図２
のフロ−チャ−トに従いｎ回測定する方法として、第一
はストレスとしての外部磁場を同一方向、同一強度で繰
返し印加する方法、第二はＰ方向とＮ方向または、Ｒ方
向とＬ方向、あるいは±θ方向のようにステップＳ３に
おけるＭＲヘッド１の標準特性を測定するたびに、スト
レスとしての外部磁場の極性を交互に変化させる方法が
提供される。さらには第三として前述の磁区のひっかか
りの程度により磁性膜の磁壁エネルギ−等は異なると考
えられるため、ストレスとしての外部磁場を徐々に強め
又は徐々に弱めることにより、検査すべきＭＲヘッド１
の性質に応じた検査を行なうことが出来ることを本発明
は提供する。さらに第４としてストレスとしての外部磁
場印加時にＭＲストライプへセンス電流をＯＮ（通電状
態）としておくかＯＦＦ（非通電状態）としておく方法
である。このことは、ＭＲヘッドにおいて重要な問題で
ある。何故ならＭＲストライプにセンス電流を通電する
ことにより各磁性膜、特にＭＲストライプ、ソフトバイ
アス膜は電磁気学的に定まる方向にバイアスされ磁化さ
れるからである。このような状態でストレスとしての外
部磁場を印加するということは、ＭＲストライプ又はソ
フトバイアス膜の全体的あるいは部分的な磁化反転を促
し、ストレスとしての外部磁場がなくなった時点で良好
なＭＲヘッドは理想的な磁化状態に戻るが、前述のよう
なノイズを内在した変動しやすいＭＲヘッドは理想的な
磁化状態には戻らないと考えられる。実験によると、検
査すべきＭＲヘッドにより前述の条件は選択される必要
があることが判った。
としての外部磁場方向としてＭＲヘッド１へ印加し図２
のフロ−チャ−トに従いｎ回測定する方法として、第一
はストレスとしての外部磁場を同一方向、同一強度で繰
返し印加する方法、第二はＰ方向とＮ方向または、Ｒ方
向とＬ方向、あるいは±θ方向のようにステップＳ３に
おけるＭＲヘッド１の標準特性を測定するたびに、スト
レスとしての外部磁場の極性を交互に変化させる方法が
提供される。さらには第三として前述の磁区のひっかか
りの程度により磁性膜の磁壁エネルギ−等は異なると考
えられるため、ストレスとしての外部磁場を徐々に強め
又は徐々に弱めることにより、検査すべきＭＲヘッド１
の性質に応じた検査を行なうことが出来ることを本発明
は提供する。さらに第４としてストレスとしての外部磁
場印加時にＭＲストライプへセンス電流をＯＮ（通電状
態）としておくかＯＦＦ（非通電状態）としておく方法
である。このことは、ＭＲヘッドにおいて重要な問題で
ある。何故ならＭＲストライプにセンス電流を通電する
ことにより各磁性膜、特にＭＲストライプ、ソフトバイ
アス膜は電磁気学的に定まる方向にバイアスされ磁化さ
れるからである。このような状態でストレスとしての外
部磁場を印加するということは、ＭＲストライプ又はソ
フトバイアス膜の全体的あるいは部分的な磁化反転を促
し、ストレスとしての外部磁場がなくなった時点で良好
なＭＲヘッドは理想的な磁化状態に戻るが、前述のよう
なノイズを内在した変動しやすいＭＲヘッドは理想的な
磁化状態には戻らないと考えられる。実験によると、検
査すべきＭＲヘッドにより前述の条件は選択される必要
があることが判った。
【００１８】図３は本発明を実際に実験した結果を示し
た図である。条件は、センス電流＝１１ｍＡ、ストレス
としての外部磁場はＮ方向、磁界強度＝１００ガウスで
一定とした。又ストレスとしての外部磁場印加時はセン
ス電流をＯＦＦとし、ＭＲヘッド標準特性測定の外部磁
界強度＝±３０ガウス、周波数＝５０Ｈｚとした。図３
の横軸は繰返し測定回数であり縦軸はＭＲヘッドの出力
電圧を表している。図３．ａは良品ヘッドで図３．ｂ及
びｃはバルクハウゼンノイズや出力変動などのノイズ成
分を内在しているヘッドを調査した結果である。良品ヘ
ッドａはストレスとしての外部磁場を印加しているのに
かかわらずヘッドの出力電圧は安定している、これに対
して不良ヘッドｂ．ｃについて同一調査を行なうと大き
く出力変動が発生しているのが判る。これは不良ＭＲヘ
ッドへストレスとしての外部磁場を印加することによっ
てＭＲヘッド内の種々の磁性膜の残留磁区に影響を与
え、内在していたノイズ発生原因が出現しやすい状態と
なったからである。ここで不良ＭＲヘッドｂ．ｃについ
てストレスとしての外部磁場印加を行なわずＭＲヘッド
の標準特性を調査した場合は、出力変動が発生すること
もあるが出力変動が発生する頻度はストレス磁場印加時
と比較すると大きく低下する。
た図である。条件は、センス電流＝１１ｍＡ、ストレス
としての外部磁場はＮ方向、磁界強度＝１００ガウスで
一定とした。又ストレスとしての外部磁場印加時はセン
ス電流をＯＦＦとし、ＭＲヘッド標準特性測定の外部磁
界強度＝±３０ガウス、周波数＝５０Ｈｚとした。図３
の横軸は繰返し測定回数であり縦軸はＭＲヘッドの出力
電圧を表している。図３．ａは良品ヘッドで図３．ｂ及
びｃはバルクハウゼンノイズや出力変動などのノイズ成
分を内在しているヘッドを調査した結果である。良品ヘ
ッドａはストレスとしての外部磁場を印加しているのに
かかわらずヘッドの出力電圧は安定している、これに対
して不良ヘッドｂ．ｃについて同一調査を行なうと大き
く出力変動が発生しているのが判る。これは不良ＭＲヘ
ッドへストレスとしての外部磁場を印加することによっ
てＭＲヘッド内の種々の磁性膜の残留磁区に影響を与
え、内在していたノイズ発生原因が出現しやすい状態と
なったからである。ここで不良ＭＲヘッドｂ．ｃについ
てストレスとしての外部磁場印加を行なわずＭＲヘッド
の標準特性を調査した場合は、出力変動が発生すること
もあるが出力変動が発生する頻度はストレス磁場印加時
と比較すると大きく低下する。
【００１９】さらに他の実験結果によると、ヘッドのノ
イズ内在状態の違いにより、出力変動が発生しやすいス
トレスとしての外部磁場印加方法があることが判った。
そのため実際にＭＲヘッドの不良摘出を行なう際には、
いくつかのストレス磁場印加方法を組み合わせた検査方
法で、より確実に不良ヘッドの摘出が可能となる。
イズ内在状態の違いにより、出力変動が発生しやすいス
トレスとしての外部磁場印加方法があることが判った。
そのため実際にＭＲヘッドの不良摘出を行なう際には、
いくつかのストレス磁場印加方法を組み合わせた検査方
法で、より確実に不良ヘッドの摘出が可能となる。
【００２０】図４に本発明による他の実施例を示す。Ｍ
Ｒヘッド１を磁気記録媒体３０１上に浮上させ、磁気記
録媒体３０１及びＭＲヘッド１を挾み込むように磁場発
生用コイルユニット４を設ける。本図以外の部位動作は
前の実施例図１、図２、図５と同じである。ただし、前
述のＭＲヘッドの標準特性測定時の外部磁場印加は行な
わず、磁気記録媒体との書き込み、読みだしにより標準
特性測定を行なうことは本図に示す通りである。
Ｒヘッド１を磁気記録媒体３０１上に浮上させ、磁気記
録媒体３０１及びＭＲヘッド１を挾み込むように磁場発
生用コイルユニット４を設ける。本図以外の部位動作は
前の実施例図１、図２、図５と同じである。ただし、前
述のＭＲヘッドの標準特性測定時の外部磁場印加は行な
わず、磁気記録媒体との書き込み、読みだしにより標準
特性測定を行なうことは本図に示す通りである。
【００２１】
【発明の効果】以上実施例に述べたように本発明に依れ
ば、ＭＲヘッドの標準特性測定を行う前にＭＲヘッドへ
ストレスとしての外部磁場を印加することによって、Ｍ
Ｒヘッドに潜在しているバルクハウゼンノイズや出力変
動などのノイズを再現性良くかつ短時間に検査可能とな
る。
ば、ＭＲヘッドの標準特性測定を行う前にＭＲヘッドへ
ストレスとしての外部磁場を印加することによって、Ｍ
Ｒヘッドに潜在しているバルクハウゼンノイズや出力変
動などのノイズを再現性良くかつ短時間に検査可能とな
る。
【図１】本発明の一実施例であるＭＲヘッド検査装置の
概略を表すブロック図である。
概略を表すブロック図である。
【図２】本発明の制御プログラムを表すフロ−チャ−ト
である。
である。
【図３】本発明を実際に実験した結果を表す図である。
【図４】本発明のほかの実施例を表す図である。
【図５】外部磁場の方向を表す図である。
１…ＭＲヘッド、２…センス電流供給源、３…出力電圧
増幅機、４…磁場発生用コイルユニット、５…コイル用
電流増幅機、６…任意波形発生器、７…デジタルオシロ
スコ−プ、８…コンピュ−タ、１０１…ＭＲストライ
プ、１０２…センス電流、１０３…磁化容易軸、１０４
…磁化困難軸、１０５…媒体対向面、１０６…ＭＲスト
ライプの両サイド、１０７…ＭＲストライプの両サイド
増幅機、４…磁場発生用コイルユニット、５…コイル用
電流増幅機、６…任意波形発生器、７…デジタルオシロ
スコ−プ、８…コンピュ−タ、１０１…ＭＲストライ
プ、１０２…センス電流、１０３…磁化容易軸、１０４
…磁化困難軸、１０５…媒体対向面、１０６…ＭＲスト
ライプの両サイド、１０７…ＭＲストライプの両サイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福元 剛之 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内
Claims (10)
- 【請求項１】センス電流によってバイアス磁界を発生さ
せる磁気抵抗ヘッド（以下ＭＲヘッドと称する）におい
て、ストレスとしての外部磁場を該ＭＲヘッドとは別の
外部磁場発生手段により、スライダ−浮上面側からＭＲ
ストライプの磁化困難軸方向（以下この方向をＰ方向と
する）へ、パルス磁場として印加し、その後該ＭＲヘッ
ドの出力電圧波形を検査することを特徴とするＭＲヘッ
ドの検査方法。 - 【請求項２】請求項１のＭＲヘッドにおいて、前記Ｐ方
向と逆方向（以下この方向をＮ方向とする）へ、ストレ
スとしての外部磁場を該ＭＲヘッドとは別の外部磁場発
生手段により印加して、その後該ＭＲヘッドの出力電圧
波形を検査することを特徴とするＭＲヘッドの検査方
法。 - 【請求項３】請求項１または２のストレスとしての外部
磁場の強さが５０〜２００ガウスであることを特徴とす
るＭＲヘッドの検査方法。 - 【請求項４】請求項１の検査と請求項２の検査を交互に
行なうことを特徴とするＭＲヘッドの検査方法。 - 【請求項５】請求項１乃至４において、ストレスとして
の外部磁場の強さを徐々に強めながらＭＲヘッドの出力
電圧波形を検査することを特徴とする検査方法。 - 【請求項６】請求項１乃至４において、ストレスとして
の外部磁場の強さを徐々に弱めながらＭＲヘッドの出力
電圧波形を検査することを特徴とする検査方法。 - 【請求項７】請求項１乃至６において、ストレスとして
の外部磁場印加時に、ＭＲヘッドのセンス電流をＯＮ又
はＯＦＦの状態で行なうことを特徴とする検査方法。 - 【請求項８】請求項１乃至６において、ストレスとして
の外部磁場方向をＭＲストライプの磁化容易軸方向に印
加し、ＭＲヘッドの出力電圧波形を検査することを特徴
とする検査方法。 - 【請求項９】請求項１乃至６において、ストレスとして
の外部磁場方向をＭＲストライプの磁化困難軸方向と磁
化容易軸方向に対して斜めの方向に印加しＭＲヘッドの
出力電圧波形を検査することを特徴とする検査方法。 - 【請求項１０】ＭＲヘッドのバイアス磁界を発生させる
センス電流源及び、ＭＲヘッドの出力電圧を増幅する手
段及び、外部磁場発生と設定が行うことができるコイル
及び磁気回路よりなる少なくとも請求項１〜９の内１項
目以上の検査を可能とすることを特徴とするＭＲヘッド
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27914896A JPH10124828A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27914896A JPH10124828A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10124828A true JPH10124828A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17607122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27914896A Pending JPH10124828A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 磁気抵抗ヘッドの検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10124828A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7138797B2 (en) | 2004-09-30 | 2006-11-21 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Reverse magnetic reset to screen for weakly pinned heads |
| JP2007305291A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-22 | Kla-Tencor Technologies Corp | 垂直磁気媒体計測の方法とシステム |
| US7355393B2 (en) | 2005-07-15 | 2008-04-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Magnetic head slider testing apparatus and magnetic head slider testing method |
| US7414394B2 (en) | 2006-05-25 | 2008-08-19 | Fujitsu Limited | Method of quality-testing a shield film of a magnetoresistive effect head |
| WO2008139543A1 (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-20 | Fujitsu Limited | 磁気抵抗効果型再生ヘッドの評価方法 |
| JP2011146618A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Tohoku Tokushuko Kk | 磁気抵抗評価装置 |
| US7987583B2 (en) | 2007-03-22 | 2011-08-02 | Hitachi High-Technologies Corporation | Magnetic head slider testing apparatus and magnetic head slider testing method |
| JP2011222067A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッドスライダ検査装置 |
-
1996
- 1996-10-22 JP JP27914896A patent/JPH10124828A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7987583B2 (en) | 2007-03-22 | 2011-08-02 | Hitachi High-Technologies Corporation | Magnetic head slider testing apparatus and magnetic head slider testing method |
| US8327525B2 (en) | 2007-03-22 | 2012-12-11 | Hitachi High-Technologies Corporation | Magnetic head slider testing method |
| WO2008139543A1 (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-20 | Fujitsu Limited | 磁気抵抗効果型再生ヘッドの評価方法 |
| JP2011146618A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Tohoku Tokushuko Kk | 磁気抵抗評価装置 |
| JP2011222067A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッドスライダ検査装置 |
| US8553512B2 (en) | 2010-04-06 | 2013-10-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider inspection device |
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