JPH09265613A - 磁気抵抗ヘッドの測定装置 - Google Patents
磁気抵抗ヘッドの測定装置Info
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- JPH09265613A JPH09265613A JP8073435A JP7343596A JPH09265613A JP H09265613 A JPH09265613 A JP H09265613A JP 8073435 A JP8073435 A JP 8073435A JP 7343596 A JP7343596 A JP 7343596A JP H09265613 A JPH09265613 A JP H09265613A
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- G11B5/4886—Disposition of heads relative to rotating disc
Abstract
(57)【要約】
【課題】 主な課題は、磁気ディスク装置において実際
に記録再生を行なう周波数領域で、磁気抵抗ヘッドのバ
ルクハウゼンノイズを評価することである。 【解決手段】 本発明に係る測定装置は、磁気抵抗効果
素子１１を用いた磁気抵抗ヘッド１０に外部磁界を印加
する外部磁界印加部１と、磁気抵抗効果素子１１におけ
る外部磁界に対する出力特性のノイズを測定するノイズ
測定部２とを備えている。外部磁界印加部１には、外部
磁界の発生源としての誘導型磁気ヘッド２０が設けられ
ている。
に記録再生を行なう周波数領域で、磁気抵抗ヘッドのバ
ルクハウゼンノイズを評価することである。 【解決手段】 本発明に係る測定装置は、磁気抵抗効果
素子１１を用いた磁気抵抗ヘッド１０に外部磁界を印加
する外部磁界印加部１と、磁気抵抗効果素子１１におけ
る外部磁界に対する出力特性のノイズを測定するノイズ
測定部２とを備えている。外部磁界印加部１には、外部
磁界の発生源としての誘導型磁気ヘッド２０が設けられ
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果素子
を有する磁気抵抗ヘッドの出力特性を測定するための測
定装置に関する。
を有する磁気抵抗ヘッドの出力特性を測定するための測
定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気抵抗ヘッドは、パーマロイなどの強
磁性薄膜の抵抗率が外部磁界強度によって変化する磁気
抵抗効果を利用して信号の検出を行なうものであり、磁
気ディスク装置の読み取り変換器として広く用いられて
いる。誘導型磁気ヘッドと比べて磁気抵抗ヘッドは、磁
束応答型のヘッドであるため再生出力が磁気ディスクと
ヘッドとの相対速度に依存しない、高出力が得られる等
の特長がある。また、磁気抵抗ヘッドは、半導体の微細
加工技術を適用することにより高集積化及び多素子化が
容易であるので、小型化及び高密度記録化が要求される
ハード磁気ディスク装置に好適な再生ヘッドである。
磁性薄膜の抵抗率が外部磁界強度によって変化する磁気
抵抗効果を利用して信号の検出を行なうものであり、磁
気ディスク装置の読み取り変換器として広く用いられて
いる。誘導型磁気ヘッドと比べて磁気抵抗ヘッドは、磁
束応答型のヘッドであるため再生出力が磁気ディスクと
ヘッドとの相対速度に依存しない、高出力が得られる等
の特長がある。また、磁気抵抗ヘッドは、半導体の微細
加工技術を適用することにより高集積化及び多素子化が
容易であるので、小型化及び高密度記録化が要求される
ハード磁気ディスク装置に好適な再生ヘッドである。
【０００３】さらに、ヘッドのコンパクト化及び記録／
再生ヘッドトラック位置のアライメントの高精度化を目
的として、磁気抵抗ヘッドと誘導型薄膜磁気ヘッドとを
一体化した複合型磁気ヘッドが開発されている。ここ
で、誘導型薄膜磁気ヘッドとは、半導体微細加工技術を
適用して、記録ヘッドに磁気コア及びコイル捲き線等を
形成したものである。このような複合型磁気ヘッドにお
ける磁気抵抗ヘッドでは、媒体磁界に感応する磁気抵抗
効果膜を単磁区化することにより、高い再生出力を確保
している。
再生ヘッドトラック位置のアライメントの高精度化を目
的として、磁気抵抗ヘッドと誘導型薄膜磁気ヘッドとを
一体化した複合型磁気ヘッドが開発されている。ここ
で、誘導型薄膜磁気ヘッドとは、半導体微細加工技術を
適用して、記録ヘッドに磁気コア及びコイル捲き線等を
形成したものである。このような複合型磁気ヘッドにお
ける磁気抵抗ヘッドでは、媒体磁界に感応する磁気抵抗
効果膜を単磁区化することにより、高い再生出力を確保
している。
【０００４】しかし、ヘッド加工時のストレス、ひずみ
等により磁気抵抗効果膜が単磁区化されなくなることに
より、バルクハウゼンノイズと呼ばれる再生波形の変動
が発生し、これがヘッドの信頼性を損なう原因となって
いた。特に磁気抵抗ヘッドをヘッドジンバルアッセ（以
下、「ＨＧＡ」という。）する際のスライダ加工では、
磁気記録媒体と対向する面に研磨加工を行なうため、磁
気抵抗効果膜が部分的にストレスを受ける。この結果、
ＨＧＡする前のウェーハ状態にて単磁区化されておりバ
ルクハウゼンノイズが生じない場合でも、ＨＧＡ化によ
り磁気抵抗効果膜がストレスを受けて単磁区化がなされ
ずバルクハウゼンノイズが生じることがある。従って、
ＨＧＡ化した状態での磁気抵抗ヘッドのバルクハウゼン
ノイズを評価する必要があった。
等により磁気抵抗効果膜が単磁区化されなくなることに
より、バルクハウゼンノイズと呼ばれる再生波形の変動
が発生し、これがヘッドの信頼性を損なう原因となって
いた。特に磁気抵抗ヘッドをヘッドジンバルアッセ（以
下、「ＨＧＡ」という。）する際のスライダ加工では、
磁気記録媒体と対向する面に研磨加工を行なうため、磁
気抵抗効果膜が部分的にストレスを受ける。この結果、
ＨＧＡする前のウェーハ状態にて単磁区化されておりバ
ルクハウゼンノイズが生じない場合でも、ＨＧＡ化によ
り磁気抵抗効果膜がストレスを受けて単磁区化がなされ
ずバルクハウゼンノイズが生じることがある。従って、
ＨＧＡ化した状態での磁気抵抗ヘッドのバルクハウゼン
ノイズを評価する必要があった。
【０００５】従来のバルクハウゼンノイズの評価方法
は、例えば特開平６−１８７６２０号公報で述べられて
いるように、ヘルムホルツコイルなどによる外部一様磁
界を磁気抵抗ヘッドに印加し、この外部一様磁界に対す
る磁気抵抗の応答によって測定するものであった。図６
は、従来のバルクハウゼンノイズを測定する装置の一例
を示すブロック図である。発振器４２及び定電流アンプ
４１により空芯コイル６１に交流励磁電流Ｉｃを流し、
これにより発生した外部一様磁界６２を磁気抵抗ヘッド
１０の媒体対向面に垂直に印加して磁気抵抗ヘッド１０
を励磁する。このコイル電流は、抵抗６４により電圧に
変換され、オシロスコープ３１のＸ軸に入力される。な
お、外部一様磁界強度は予めガウスメータにより測定し
ておき、コイル電流に対する外部一様磁界強度の関係を
求めておく。磁気抵抗ヘッド１０内の磁気抵抗効果素子
１１には、定電流源５３よりセンス電流Ｉｓを流す。ヘ
ッド出力は、アンプ５１で増幅され、オシロスコープ３
１のＹ軸に入力される。オシロスコープ３１は、Ｘ−Ｙ
表示モードでヘッド出力の特性曲線を表示する。さら
に、可変定電流源５９より磁気抵抗ヘッド１０内のバイ
アス導体１３に直流バイアス電流Ｉｂを流すことで、ヘ
ッド出力の特性曲線を最適動作点にする。またアンプ出
力は、基本波を除去する微分・フィルタ回路５２を通過
することにより、交流励磁電流Ｉｃのノイズ信号Ｙ’と
してオシロスコープ３１のＹ軸に入力される。
は、例えば特開平６−１８７６２０号公報で述べられて
いるように、ヘルムホルツコイルなどによる外部一様磁
界を磁気抵抗ヘッドに印加し、この外部一様磁界に対す
る磁気抵抗の応答によって測定するものであった。図６
は、従来のバルクハウゼンノイズを測定する装置の一例
を示すブロック図である。発振器４２及び定電流アンプ
４１により空芯コイル６１に交流励磁電流Ｉｃを流し、
これにより発生した外部一様磁界６２を磁気抵抗ヘッド
１０の媒体対向面に垂直に印加して磁気抵抗ヘッド１０
を励磁する。このコイル電流は、抵抗６４により電圧に
変換され、オシロスコープ３１のＸ軸に入力される。な
お、外部一様磁界強度は予めガウスメータにより測定し
ておき、コイル電流に対する外部一様磁界強度の関係を
求めておく。磁気抵抗ヘッド１０内の磁気抵抗効果素子
１１には、定電流源５３よりセンス電流Ｉｓを流す。ヘ
ッド出力は、アンプ５１で増幅され、オシロスコープ３
１のＹ軸に入力される。オシロスコープ３１は、Ｘ−Ｙ
表示モードでヘッド出力の特性曲線を表示する。さら
に、可変定電流源５９より磁気抵抗ヘッド１０内のバイ
アス導体１３に直流バイアス電流Ｉｂを流すことで、ヘ
ッド出力の特性曲線を最適動作点にする。またアンプ出
力は、基本波を除去する微分・フィルタ回路５２を通過
することにより、交流励磁電流Ｉｃのノイズ信号Ｙ’と
してオシロスコープ３１のＹ軸に入力される。
【０００６】外部一様磁界６２によって励磁された磁気
抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子１１において、バル
クハウゼンノイズが生じていない場合には、外部一様磁
界６２に印加する交流励磁電流Ｉｃの変動に対応したヘ
ッド出力の変動を生じるため、交流励磁電流Ｉｃの微分
・フィルタ回路５２を通過した、オシロスコープ３１に
表示された波形のＹ軸には変化が見られない。一方、磁
気抵抗効果素子１１が単磁区化がなされておらずバルク
ハウゼンノイズを生じる場合、オシロスコープ３１の波
形にはＸ軸の変化に対してＹ軸に変化が見られ、バルク
ハウゼンノイズが測定される。
抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子１１において、バル
クハウゼンノイズが生じていない場合には、外部一様磁
界６２に印加する交流励磁電流Ｉｃの変動に対応したヘ
ッド出力の変動を生じるため、交流励磁電流Ｉｃの微分
・フィルタ回路５２を通過した、オシロスコープ３１に
表示された波形のＹ軸には変化が見られない。一方、磁
気抵抗効果素子１１が単磁区化がなされておらずバルク
ハウゼンノイズを生じる場合、オシロスコープ３１の波
形にはＸ軸の変化に対してＹ軸に変化が見られ、バルク
ハウゼンノイズが測定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この従来のバルクハウ
ゼンノイズの測定方法では、次の問題がある。
ゼンノイズの測定方法では、次の問題がある。
【０００８】第一の問題点は、磁気ディスク装置におい
て磁気抵抗ヘッドと磁気記録媒体とが実際に記録再生を
行なう周波数領域での測定ができないことである。この
ため、ディスク装置にヘッドと媒体を組み込んでからバ
ルクハウゼンノイズの検査を行なう必要があるので、量
産性の障害となっていた。その理由は、空芯コイルを使
用しているためインダクタンスが高く、磁気ディスク装
置にて使用する周波数領域の交流励磁電流を流すことが
できないためである。
て磁気抵抗ヘッドと磁気記録媒体とが実際に記録再生を
行なう周波数領域での測定ができないことである。この
ため、ディスク装置にヘッドと媒体を組み込んでからバ
ルクハウゼンノイズの検査を行なう必要があるので、量
産性の障害となっていた。その理由は、空芯コイルを使
用しているためインダクタンスが高く、磁気ディスク装
置にて使用する周波数領域の交流励磁電流を流すことが
できないためである。
【０００９】第二の問題点は、磁気記録媒体の記録トラ
ックに相当する微小領域からの磁界によるバルクハウゼ
ンノイズを測定できないことである。このため、高密度
記録の場合のバルクハウゼンノイズを測定できない。そ
の理由は、空芯コイルによる一様強度磁界であるため、
磁気抵抗効果素子に対して斜め方向成分をもつ磁界を印
加できないことにある。
ックに相当する微小領域からの磁界によるバルクハウゼ
ンノイズを測定できないことである。このため、高密度
記録の場合のバルクハウゼンノイズを測定できない。そ
の理由は、空芯コイルによる一様強度磁界であるため、
磁気抵抗効果素子に対して斜め方向成分をもつ磁界を印
加できないことにある。
【００１０】第三の問題点は、ハード磁気ディスク装置
のヘッド媒体間のスペーシングを考慮できないことであ
る。その理由は、空芯コイルから発生する一様磁界中に
磁気抵抗ヘッドを設置していることにある。
のヘッド媒体間のスペーシングを考慮できないことであ
る。その理由は、空芯コイルから発生する一様磁界中に
磁気抵抗ヘッドを設置していることにある。
【００１１】
【発明の目的】本発明の主な目的は次のとおりである。
第一の目的は、ＨＧＡ化した状態での磁気抵抗ヘッドの
バルクハウゼンノイズを評価できる測定装置を提供する
ことである。第二の目的は、磁気ディスク装置において
実際に記録再生を行なう周波数領域で、ＨＧＡ化した状
態の磁気抵抗ヘッドのバルクハウゼンノイズを評価でき
る測定装置を提供することである。第三の目的は、磁気
記録媒体の記録トラックに相当する微小領域からの磁界
によるバルクハウゼンノイズを評価できる測定装置を提
供することである。第四の目的は、ハード磁気ディスク
装置のヘッド／媒体間のスペーシングを考慮したバルク
ハウゼンノイズを評価できる測定装置を提供することで
ある。
第一の目的は、ＨＧＡ化した状態での磁気抵抗ヘッドの
バルクハウゼンノイズを評価できる測定装置を提供する
ことである。第二の目的は、磁気ディスク装置において
実際に記録再生を行なう周波数領域で、ＨＧＡ化した状
態の磁気抵抗ヘッドのバルクハウゼンノイズを評価でき
る測定装置を提供することである。第三の目的は、磁気
記録媒体の記録トラックに相当する微小領域からの磁界
によるバルクハウゼンノイズを評価できる測定装置を提
供することである。第四の目的は、ハード磁気ディスク
装置のヘッド／媒体間のスペーシングを考慮したバルク
ハウゼンノイズを評価できる測定装置を提供することで
ある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気抵抗ヘッド
の測定装置は、ＨＧＡ化した磁気抵抗ヘッドに対して誘
導型磁気ヘッドを対向させた構造となっている。より具
体的には、ヘッド／媒体にて記録再生を行なう周波数と
同等な周波数の励磁電流を、誘導型磁気ヘッドに供給す
る外部磁界印加部（図１の１）と、磁気抵抗ヘッドの磁
気抵抗の変化を検出するノイズ測定部（図１の２）とを
有する。また、磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとの
位置関係を変える機構を有することも他の特徴である。
具体的には、磁気抵抗ヘッドの磁気抵抗効果素子の真下
に誘導型磁気ヘッドのギャップ端部の位置を所定の距離
をおいて設置する手段（図２の１１、２６及び６０）を
含む。
の測定装置は、ＨＧＡ化した磁気抵抗ヘッドに対して誘
導型磁気ヘッドを対向させた構造となっている。より具
体的には、ヘッド／媒体にて記録再生を行なう周波数と
同等な周波数の励磁電流を、誘導型磁気ヘッドに供給す
る外部磁界印加部（図１の１）と、磁気抵抗ヘッドの磁
気抵抗の変化を検出するノイズ測定部（図１の２）とを
有する。また、磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとの
位置関係を変える機構を有することも他の特徴である。
具体的には、磁気抵抗ヘッドの磁気抵抗効果素子の真下
に誘導型磁気ヘッドのギャップ端部の位置を所定の距離
をおいて設置する手段（図２の１１、２６及び６０）を
含む。
【００１３】誘導型磁気ヘッドに励磁電流を供給し、こ
の励磁電流に応じて発生する磁界を磁気抵抗ヘッドの磁
気抵抗効果素子に流入させ、このときの磁気抵抗の変化
を測定する。このため、磁気抵抗ヘッドが実際の装置内
にて動作する周波数帯域のバルクハウゼンノイズを測定
できる。
の励磁電流に応じて発生する磁界を磁気抵抗ヘッドの磁
気抵抗効果素子に流入させ、このときの磁気抵抗の変化
を測定する。このため、磁気抵抗ヘッドが実際の装置内
にて動作する周波数帯域のバルクハウゼンノイズを測定
できる。
【００１４】磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドの相対
位置を変化させることができ、また磁気抵抗効果素子幅
に対して異なるコア幅の誘導型磁気ヘッドを使用できる
ため、磁気記録媒体の記録トラックに相当する微小領域
からの磁界によるバルクハウゼンノイズの測定、及び磁
気抵抗ヘッドが記録トラックからずれた場合でのバルク
ハウゼンノイズの測定が可能となる。
位置を変化させることができ、また磁気抵抗効果素子幅
に対して異なるコア幅の誘導型磁気ヘッドを使用できる
ため、磁気記録媒体の記録トラックに相当する微小領域
からの磁界によるバルクハウゼンノイズの測定、及び磁
気抵抗ヘッドが記録トラックからずれた場合でのバルク
ハウゼンノイズの測定が可能となる。
【００１５】磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとを任
意の距離を隔てて対向させるため、ハード磁気ディスク
装置でのヘッド／媒体間スペーシングを考慮したバルク
ハウゼンノイズの測定が可能となる。
意の距離を隔てて対向させるため、ハード磁気ディスク
装置でのヘッド／媒体間スペーシングを考慮したバルク
ハウゼンノイズの測定が可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る測定装置の
第一実施形態を示すブロック図である。以下、この図面
に基づき説明する。
第一実施形態を示すブロック図である。以下、この図面
に基づき説明する。
【００１７】本実施形態の測定装置は、磁気抵抗効果素
子１１を用いた磁気抵抗ヘッド１０に外部磁界を印加す
る外部磁界印加部１と、磁気抵抗効果素子１１における
外部磁界に対する出力特性のノイズを測定するノイズ測
定部２とを備えている。外部磁界印加部１には、外部磁
界の発生源としての誘導型磁気ヘッド２０が設けられて
いる。
子１１を用いた磁気抵抗ヘッド１０に外部磁界を印加す
る外部磁界印加部１と、磁気抵抗効果素子１１における
外部磁界に対する出力特性のノイズを測定するノイズ測
定部２とを備えている。外部磁界印加部１には、外部磁
界の発生源としての誘導型磁気ヘッド２０が設けられて
いる。
【００１８】誘導型磁気ヘッド２０は、軟磁性体からな
る磁気ヘッドコア２１が励磁用コイル２２によって捲装
されたものであり、定電流アンプ４１に接続され、発振
器４２により交流励磁電流Ｉｃが供給される。交流励磁
電流Ｉｃは、電流プローブ４３により検出され、振幅検
出回路４４に入力される。交流励磁電流Ｉｃの振幅値
は、Ｘ−Ｙ表示モードとしたオシロスコープ３１のＸ軸
に入力される。スライダ１２及びサスペンションにより
ＨＧＡ化された磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子
１１は、定電流源５３と接続され、定電流源５３よりセ
ンス電流Ｉｓが供給される。磁気抵抗ヘッド１０のヘッ
ド出力は、アンプ５１によって増幅される。また、アン
プ出力は、基本波成分を除去する微分・フィルタ回路５
２を通過することにより、交流励磁電流Ｉｃのノイズ信
号としてオシロスコープ３１のＹ軸に入力される。
る磁気ヘッドコア２１が励磁用コイル２２によって捲装
されたものであり、定電流アンプ４１に接続され、発振
器４２により交流励磁電流Ｉｃが供給される。交流励磁
電流Ｉｃは、電流プローブ４３により検出され、振幅検
出回路４４に入力される。交流励磁電流Ｉｃの振幅値
は、Ｘ−Ｙ表示モードとしたオシロスコープ３１のＸ軸
に入力される。スライダ１２及びサスペンションにより
ＨＧＡ化された磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子
１１は、定電流源５３と接続され、定電流源５３よりセ
ンス電流Ｉｓが供給される。磁気抵抗ヘッド１０のヘッ
ド出力は、アンプ５１によって増幅される。また、アン
プ出力は、基本波成分を除去する微分・フィルタ回路５
２を通過することにより、交流励磁電流Ｉｃのノイズ信
号としてオシロスコープ３１のＹ軸に入力される。
【００１９】次に、磁気抵抗ヘッド１０と誘導型磁気ヘ
ッド２０との詳細な配置構成について説明する。図２
は、本実施形態の測定装置における磁気抵抗ヘッド１０
と誘導型磁気ヘッド２０との配置構成例を示す斜視図で
ある。以下、この図面に基づき説明する。
ッド２０との詳細な配置構成について説明する。図２
は、本実施形態の測定装置における磁気抵抗ヘッド１０
と誘導型磁気ヘッド２０との配置構成例を示す斜視図で
ある。以下、この図面に基づき説明する。
【００２０】磁気抵抗ヘッド１０と誘導型磁気ヘッド２
０とは、各々の媒体対向面１５，２５がハード磁気ディ
スク装置におけるヘッド／媒体間スペーシングに相当す
る距離６０の間隔で対向するように配置され、両者の内
少なくとも一方のヘッドが、他方のヘッドに対する位置
関係において媒体対向面１５，２５に対して平行に変化
できる。すなわち、図２においてｘ−ｙ方向に移動でき
る機構を設けたステージ等により配置される。この際、
磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子１１の膜厚方向
と誘導型磁気ヘッド２０のギャップ長方向が同一方向に
なる（図２においてｙ軸方向）ように配置する。なお、
磁気抵抗ヘッド１０の媒体対向面１５と誘導型磁気ヘッ
ド２０の媒体対向面２５との距離６０は、非磁性かつ非
導体材料からなるスペーサを両ヘッドの媒体対向面に被
覆することによって確保してもよい。また、誘導型磁気
ヘッド２０は、ギャップ部に高飽和磁束密度磁性体を設
けたＭＩＧタイプヘッドでも、磁気コア、コイル捲き線
等で半導体微細加工技術を適用した誘導型薄膜磁気ヘッ
ドでもよい。
０とは、各々の媒体対向面１５，２５がハード磁気ディ
スク装置におけるヘッド／媒体間スペーシングに相当す
る距離６０の間隔で対向するように配置され、両者の内
少なくとも一方のヘッドが、他方のヘッドに対する位置
関係において媒体対向面１５，２５に対して平行に変化
できる。すなわち、図２においてｘ−ｙ方向に移動でき
る機構を設けたステージ等により配置される。この際、
磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子１１の膜厚方向
と誘導型磁気ヘッド２０のギャップ長方向が同一方向に
なる（図２においてｙ軸方向）ように配置する。なお、
磁気抵抗ヘッド１０の媒体対向面１５と誘導型磁気ヘッ
ド２０の媒体対向面２５との距離６０は、非磁性かつ非
導体材料からなるスペーサを両ヘッドの媒体対向面に被
覆することによって確保してもよい。また、誘導型磁気
ヘッド２０は、ギャップ部に高飽和磁束密度磁性体を設
けたＭＩＧタイプヘッドでも、磁気コア、コイル捲き線
等で半導体微細加工技術を適用した誘導型薄膜磁気ヘッ
ドでもよい。
【００２１】次に、本実施形態の測定装置の動作につい
て図１及び図２を参照して説明する。
て図１及び図２を参照して説明する。
【００２２】発振器４２から定電流アンプ４１を経由し
て誘導型ヘッド２０の励磁用コイル２２に供給される交
流励磁電流Ｉｃの周波数は、通常、ハード磁気ディスク
装置の記録再生動作に使用される周波数帯域と同等な周
波数となるように設定する。この交流励磁電流Ｉｃによ
って、誘導型磁気ヘッド２０のギャップ部には交流磁界
が発生する。図２を参照すると、この交流磁界の方向
は、ギャップ端部２６において誘導型磁気ヘッド２０の
媒体対向面２５の法線方向（図２ではＺ軸方向）とな
る。一方、磁気抵抗ヘッド１０には定電流源５３からセ
ンス電流Ｉｓが供給され、磁気抵抗効果素子１１は最適
動作状態となっている。誘導型磁気ヘッド２０のギャッ
プ端部２６を、磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子
１１の真下に設置することにより、ギャップ端部２６か
らＺ軸方向に発生する交流磁界が磁気抵抗効果素子１１
に流入する。この交流磁界の周波数に対応して磁気抵抗
効果素子１１の磁気抵抗が変化する。この磁気抵抗の変
化はアンプ５１によって増幅される。
て誘導型ヘッド２０の励磁用コイル２２に供給される交
流励磁電流Ｉｃの周波数は、通常、ハード磁気ディスク
装置の記録再生動作に使用される周波数帯域と同等な周
波数となるように設定する。この交流励磁電流Ｉｃによ
って、誘導型磁気ヘッド２０のギャップ部には交流磁界
が発生する。図２を参照すると、この交流磁界の方向
は、ギャップ端部２６において誘導型磁気ヘッド２０の
媒体対向面２５の法線方向（図２ではＺ軸方向）とな
る。一方、磁気抵抗ヘッド１０には定電流源５３からセ
ンス電流Ｉｓが供給され、磁気抵抗効果素子１１は最適
動作状態となっている。誘導型磁気ヘッド２０のギャッ
プ端部２６を、磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子
１１の真下に設置することにより、ギャップ端部２６か
らＺ軸方向に発生する交流磁界が磁気抵抗効果素子１１
に流入する。この交流磁界の周波数に対応して磁気抵抗
効果素子１１の磁気抵抗が変化する。この磁気抵抗の変
化はアンプ５１によって増幅される。
【００２３】オシロスコープ３１のＸ軸には、振幅検出
回路４４からの出力信号が入力され、Ｙ軸には、交流磁
界に応じた磁気抵抗の変化波形を微分し交流磁界の基本
波成分を除去した波形が入力される。そのため、オシロ
スコープの両面には、磁界強度に対する磁気抵抗の異常
な変化であるバルクハウゼンノイズが出現すると、パル
ス状の波形として観察される。
回路４４からの出力信号が入力され、Ｙ軸には、交流磁
界に応じた磁気抵抗の変化波形を微分し交流磁界の基本
波成分を除去した波形が入力される。そのため、オシロ
スコープの両面には、磁界強度に対する磁気抵抗の異常
な変化であるバルクハウゼンノイズが出現すると、パル
ス状の波形として観察される。
【００２４】次に本実施形態の測定装置の効果について
説明する。磁気抵抗ヘッドに誘導型磁気ヘッドからの交
流磁界を印加するため、実際の磁気抵抗ヘッドが用いら
れるハード磁気ディスク装置で使用される周波数帯域で
のバルクハウゼンノイズの検出が可能である。また、磁
気抵抗効果素子幅に対して異なるコア幅の誘導型磁気ヘ
ッドの使用が可能で、さらに両ヘッドの相対位置を変化
させることができるため、磁気記録媒体の記録トラック
に相当する微小領域からの磁界によるバルクハウゼンノ
イズの測定、及び磁気抵抗ヘッドが記録トラックからず
れた場合でのバルクハウゼンノイズの測定が可能とな
る。さらに、磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとを任
意の距離を隔てて対向させるため、ハード磁気ディスク
装置でのヘッド／媒体間スペーシングを考慮できる。
説明する。磁気抵抗ヘッドに誘導型磁気ヘッドからの交
流磁界を印加するため、実際の磁気抵抗ヘッドが用いら
れるハード磁気ディスク装置で使用される周波数帯域で
のバルクハウゼンノイズの検出が可能である。また、磁
気抵抗効果素子幅に対して異なるコア幅の誘導型磁気ヘ
ッドの使用が可能で、さらに両ヘッドの相対位置を変化
させることができるため、磁気記録媒体の記録トラック
に相当する微小領域からの磁界によるバルクハウゼンノ
イズの測定、及び磁気抵抗ヘッドが記録トラックからず
れた場合でのバルクハウゼンノイズの測定が可能とな
る。さらに、磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとを任
意の距離を隔てて対向させるため、ハード磁気ディスク
装置でのヘッド／媒体間スペーシングを考慮できる。
【００２５】図３は、本発明に係る測定装置の第二実施
形態を示すブロック図である。以下、この図面に基づき
説明する。
形態を示すブロック図である。以下、この図面に基づき
説明する。
【００２６】誘導型磁気ヘッド２０のコイル２２に供給
する定電流アンプ４１の信号源として、任意波形発生器
４５が設けられている。実際のハード磁気ディスク装置
では、磁気抵抗ヘッド１０が受ける磁界は様々の周波数
が混在したものであり、バルクハウゼンノイズの出現も
単一の周波数における測定では検出できない問題があっ
た。本実施形態の測定装置では、任意波形発生器４５を
信号源とするため、コイル２２に供給する電流波形を、
直流を含めて任意に変化させることができる。これによ
り、パルス的な磁界など様々な変動磁界を磁気抵抗ヘッ
ド２０が受けた場合のバルクハンゼンノイズを検出でき
る。本実施形態の測定装置は、第一実施形態の効果に加
えて、様々な変動磁界を受けた場合のバルクハウゼンノ
イズが検出できるという効果も有する。
する定電流アンプ４１の信号源として、任意波形発生器
４５が設けられている。実際のハード磁気ディスク装置
では、磁気抵抗ヘッド１０が受ける磁界は様々の周波数
が混在したものであり、バルクハウゼンノイズの出現も
単一の周波数における測定では検出できない問題があっ
た。本実施形態の測定装置では、任意波形発生器４５を
信号源とするため、コイル２２に供給する電流波形を、
直流を含めて任意に変化させることができる。これによ
り、パルス的な磁界など様々な変動磁界を磁気抵抗ヘッ
ド２０が受けた場合のバルクハンゼンノイズを検出でき
る。本実施形態の測定装置は、第一実施形態の効果に加
えて、様々な変動磁界を受けた場合のバルクハウゼンノ
イズが検出できるという効果も有する。
【００２７】図４は、本発明に係る測定装置の第三実施
形態を示す斜視図である。以下、この図面に基づき説明
する。
形態を示す斜視図である。以下、この図面に基づき説明
する。
【００２８】誘導型磁気ヘッド２０として、コイル２２
が軟磁性薄膜２８に捲装した単磁極ヘッドを採用し、薄
膜の膜厚方向と磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子
１１の膜厚方向が同一となるように配置している。誘導
型磁気ヘッド２０の構造としてリング型ヘッドを用いる
場合には、媒体対向面に対する法線方向成分の発生磁界
強度が少なく、ギャップ長方向成分が強いため、効率よ
く磁界が磁気抵抗効果素子に流入しない問題があった。
本実施形態の測定装置では、単磁極ヘッドからの発生磁
界は媒体対向面に対する法線方向成分が支配的であるた
め、磁気記録媒体の残留磁化からの発生磁界に近い。そ
のため、磁気抵抗効果素子１１に対して効果的に交流磁
界を流入できるので、実際のヘッド／媒体系に近い状態
でのバルクハウゼンノイズの検出が容易になる。なお、
単磁極ヘッドとして、光磁気記録に用いられる磁界変調
用ヘッドを用いることも可能である。本実施形態は、第
一及び第二実施形態の効果に加えて、実際のヘッド／媒
体系に近い状態でのバルクハウゼンノイズの検出が容易
になるという効果も有する。
が軟磁性薄膜２８に捲装した単磁極ヘッドを採用し、薄
膜の膜厚方向と磁気抵抗ヘッド１０の磁気抵抗効果素子
１１の膜厚方向が同一となるように配置している。誘導
型磁気ヘッド２０の構造としてリング型ヘッドを用いる
場合には、媒体対向面に対する法線方向成分の発生磁界
強度が少なく、ギャップ長方向成分が強いため、効率よ
く磁界が磁気抵抗効果素子に流入しない問題があった。
本実施形態の測定装置では、単磁極ヘッドからの発生磁
界は媒体対向面に対する法線方向成分が支配的であるた
め、磁気記録媒体の残留磁化からの発生磁界に近い。そ
のため、磁気抵抗効果素子１１に対して効果的に交流磁
界を流入できるので、実際のヘッド／媒体系に近い状態
でのバルクハウゼンノイズの検出が容易になる。なお、
単磁極ヘッドとして、光磁気記録に用いられる磁界変調
用ヘッドを用いることも可能である。本実施形態は、第
一及び第二実施形態の効果に加えて、実際のヘッド／媒
体系に近い状態でのバルクハウゼンノイズの検出が容易
になるという効果も有する。
【００２９】図５は、本発明に係る測定装置の第四実施
形態を示す斜視図である。以下、この図面に基づき説明
する。
形態を示す斜視図である。以下、この図面に基づき説明
する。
【００３０】誘導型磁気ヘッド２０として、ヘッドコア
２１が軟磁性帯薄膜２８と非磁性帯薄膜２７とが積層さ
れ、さらにこのヘッドコア２１が非磁性体基板２９によ
ってサンドイッチされた積層ヘッドを採用し、磁気抵抗
ヘッド１０の磁気抵抗効果素子１１の膜厚方向と誘導型
磁気ヘッド２０のギャップ長方向とが同一方向になる
（図５においてｙ軸方向）ように配置する。磁気抵抗ヘ
ッド１０と誘導型磁気ヘッド２０とは、各々の媒体対向
面１５，２５がハード磁気ディスク装置における間隔で
対向するように配置したり、両ヘッドの媒体対向面１
５，２５にヘッド／媒体間スペーシングに相当する距離
６０と同等な厚さの非磁性かつ非導体材料からなるスペ
ーサを被覆する必要があり、評価が煩雑となる問題があ
った。誘導型磁気ヘッドとして積層型ヘッドを用いた場
合、積層型ヘッドの媒体対向面２５の形成ラップの制御
によりヘッドコア部２１を非磁性体基板から任意の段差
で凹ますことができる。本実施形態では、ヘッドコア部
２１の非磁性体基板からの段差量をヘッド／媒体間スペ
ーシングに相当する距離６０に対応させることができる
ため、磁気抵抗ヘッド１０の媒体対向面１５と誘導型ヘ
ッド２０の媒体対向面２５とを接した状態にてバルクハ
ウゼンノイズの評価が可能となる。本実施形態の測定装
置は、第一及び第二実施形態の効果に加えて、磁気抵抗
ヘッドの媒体対向面と誘導型ヘッドの媒体対向面とを接
した状態にて容易にバルクハウゼンノイズを評価できる
効果も有する。
２１が軟磁性帯薄膜２８と非磁性帯薄膜２７とが積層さ
れ、さらにこのヘッドコア２１が非磁性体基板２９によ
ってサンドイッチされた積層ヘッドを採用し、磁気抵抗
ヘッド１０の磁気抵抗効果素子１１の膜厚方向と誘導型
磁気ヘッド２０のギャップ長方向とが同一方向になる
（図５においてｙ軸方向）ように配置する。磁気抵抗ヘ
ッド１０と誘導型磁気ヘッド２０とは、各々の媒体対向
面１５，２５がハード磁気ディスク装置における間隔で
対向するように配置したり、両ヘッドの媒体対向面１
５，２５にヘッド／媒体間スペーシングに相当する距離
６０と同等な厚さの非磁性かつ非導体材料からなるスペ
ーサを被覆する必要があり、評価が煩雑となる問題があ
った。誘導型磁気ヘッドとして積層型ヘッドを用いた場
合、積層型ヘッドの媒体対向面２５の形成ラップの制御
によりヘッドコア部２１を非磁性体基板から任意の段差
で凹ますことができる。本実施形態では、ヘッドコア部
２１の非磁性体基板からの段差量をヘッド／媒体間スペ
ーシングに相当する距離６０に対応させることができる
ため、磁気抵抗ヘッド１０の媒体対向面１５と誘導型ヘ
ッド２０の媒体対向面２５とを接した状態にてバルクハ
ウゼンノイズの評価が可能となる。本実施形態の測定装
置は、第一及び第二実施形態の効果に加えて、磁気抵抗
ヘッドの媒体対向面と誘導型ヘッドの媒体対向面とを接
した状態にて容易にバルクハウゼンノイズを評価できる
効果も有する。
【００３１】
【発明の効果】請求項１乃至４記載の測定装置によれ
ば、誘導磁気ヘッドを外部磁界の発生源としたので、磁
気抵抗ヘッドに印加する外部磁界の周波数を高めること
ができる。これにより、ハード磁気ディスク装置で磁気
抵抗ヘッドが動作する周波数領域において、バルクハウ
ゼンノイズを測定できる。したがって、ＨＧＡ化した状
態での磁気抵抗ヘッドのバルクハウゼンノイズを評価で
きる。
ば、誘導磁気ヘッドを外部磁界の発生源としたので、磁
気抵抗ヘッドに印加する外部磁界の周波数を高めること
ができる。これにより、ハード磁気ディスク装置で磁気
抵抗ヘッドが動作する周波数領域において、バルクハウ
ゼンノイズを測定できる。したがって、ＨＧＡ化した状
態での磁気抵抗ヘッドのバルクハウゼンノイズを評価で
きる。
【００３２】請求項２記載の測定装置によれば、誘導型
磁気ヘッドと磁気抵抗素子との相対位置を変える機構を
備えたことにより、磁気記録媒体の記録トラックに相当
する微小領域からの磁界によるバルクハウゼンノイズを
測定できる。
磁気ヘッドと磁気抵抗素子との相対位置を変える機構を
備えたことにより、磁気記録媒体の記録トラックに相当
する微小領域からの磁界によるバルクハウゼンノイズを
測定できる。
【００３３】請求項３記載の測定装置によれば、誘導型
磁気ヘッドを励磁する信号源としての任意波形発生器を
設けたので、磁気抵抗ヘッドが様々な変動磁界を受けた
場合のバルクハウゼンノイズを検出できる。
磁気ヘッドを励磁する信号源としての任意波形発生器を
設けたので、磁気抵抗ヘッドが様々な変動磁界を受けた
場合のバルクハウゼンノイズを検出できる。
【００３４】請求項４記載の測定装置によれば、誘導型
磁気ヘッドを単磁極ヘッドとしたことにより、実際のヘ
ッド／媒体系に近い状態でのバルクハウゼンノイズを検
出できる。
磁気ヘッドを単磁極ヘッドとしたことにより、実際のヘ
ッド／媒体系に近い状態でのバルクハウゼンノイズを検
出できる。
【００３５】請求項５記載の測定装置によれば、誘導型
磁気ヘッドと磁気抵抗素子との間隔を一定に保つ構造を
備えたことにより、ハード磁気ディスクのヘッド／媒体
間のスペーシングを考慮したバルクハウゼンノイズを測
定できる。
磁気ヘッドと磁気抵抗素子との間隔を一定に保つ構造を
備えたことにより、ハード磁気ディスクのヘッド／媒体
間のスペーシングを考慮したバルクハウゼンノイズを測
定できる。
【図１】本発明に係る測定装置の第一実施形態を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１の測定装置における磁気抵抗ヘッドと誘導
型磁気ヘッドとの配置構成例を示す斜視図である。
型磁気ヘッドとの配置構成例を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る測定装置の第二実施形態を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図４】本発明に係る測定装置の第三実施形態における
磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとの配置構成例を示
す斜視図である。
磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとの配置構成例を示
す斜視図である。
【図５】本発明に係る測定装置の第四実施形態における
磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとの配置構成例を示
す斜視図である。
磁気抵抗ヘッドと誘導型磁気ヘッドとの配置構成例を示
す斜視図である。
【図６】従来の技術を示すブロック図である。
１ 外部磁界印加部 ２ ノイズ測定部 １０ 磁気抵抗ヘッド １１ 磁気抵抗効果素子 １５，２５ 媒体対向面 ２０ 誘導型磁気ヘッド ４５ 任意波形発生器
Claims (5)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果素子を用いた磁気抵抗ヘッ
ドに外部磁界を印加する外部磁界印加部と、前記磁気抵
抗効果素子における前記外部磁界に対する出力特性のノ
イズを測定するノイズ測定部とを備えた磁気抵抗ヘッド
の測定装置において、 前記外部磁界印加部に、前記外部磁界の発生源としての
誘導型磁気ヘッドが設けられたことを特徴とする磁気抵
抗ヘッドの測定装置。 - 【請求項２】 前記誘導型磁気ヘッドと前記磁気抵抗素
子との相対位置を変える機構を備えた、請求項１記載の
磁気抵抗ヘッドの測定装置。 - 【請求項３】 前記外部磁界印加部に、前記誘導型磁気
ヘッドを励磁する号源としての任意波形発生器が設けら
れた、請求項１記載の磁気抵抗ヘッドの測定装置。 - 【請求項４】 前記誘導型磁気ヘッドが単磁極ヘッドで
ある、請求項１記載の磁気抵抗ヘッドの測定装置。 - 【請求項５】 前記誘導型磁気ヘッドと前記磁気抵抗素
子との間隔を一定に保つ構造を備えた、請求項１記載の
磁気抵抗ヘッドの測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8073435A JP2870474B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 磁気抵抗ヘッドの測定装置 |
| US08/823,241 US5926019A (en) | 1996-03-28 | 1997-03-24 | System for evaluating the play back of magnetoresistive heads |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8073435A JP2870474B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 磁気抵抗ヘッドの測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09265613A true JPH09265613A (ja) | 1997-10-07 |
| JP2870474B2 JP2870474B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=13518171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8073435A Expired - Fee Related JP2870474B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 磁気抵抗ヘッドの測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5926019A (ja) |
| JP (1) | JP2870474B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2009042105A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Tdk Corp | 磁気デバイス及び周波数検出器 |
| JP2009211798A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッドの検査方法 |
| JP2011028825A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-02-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッドの製造方法 |
| CN104020364A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-09-03 | 湖北文理学院 | 共模电流噪声磁场探测装置 |
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| US6397173B1 (en) | 1999-05-03 | 2002-05-28 | Astec International Llc | Application specific waveform generator |
| US6538430B2 (en) | 2001-08-23 | 2003-03-25 | International Business Machines Corporation | Screening test for transverse magnetic-field excited noise in giant magnetoresistive heads |
| JP2003077240A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-14 | Toshiba Corp | ディスク装置及び同装置におけるヘッドロード制御方法 |
| US6714006B2 (en) | 2002-08-22 | 2004-03-30 | International Business Machines Corporation | Integrated field generator for actuating magnetic heads |
| US7368905B2 (en) * | 2004-09-30 | 2008-05-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | System, method, and apparatus for use of micro coils within a single slider test nest |
| US7365531B2 (en) * | 2004-12-03 | 2008-04-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic reader recording characterization at slider or bar level |
| JPWO2007148397A1 (ja) * | 2006-06-22 | 2009-11-12 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッドの試験装置および試験方法 |
| US8653824B1 (en) | 2009-12-16 | 2014-02-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Delta temperature test method and system |
| US8860407B2 (en) | 2012-03-30 | 2014-10-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for performing on-wafer testing of heads |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3706926A (en) * | 1971-06-04 | 1972-12-19 | Ibm | Method and apparatus for testing batch fabricated magnetic heads during manufacture utilizing magnetic fields generated by other magnetic heads |
| JPH06187620A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-07-08 | Sharp Corp | 薄膜磁気ヘッドの検査方法 |
| US5517111A (en) * | 1995-03-16 | 1996-05-14 | Phase Metrics | Automatic testing system for magnetoresistive heads |
-
1996
- 1996-03-28 JP JP8073435A patent/JP2870474B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-03-24 US US08/823,241 patent/US5926019A/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2009211798A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッドの検査方法 |
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