JP4714651B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4714651B2 JP4714651B2 JP2006225729A JP2006225729A JP4714651B2 JP 4714651 B2 JP4714651 B2 JP 4714651B2 JP 2006225729 A JP2006225729 A JP 2006225729A JP 2006225729 A JP2006225729 A JP 2006225729A JP 4714651 B2 JP4714651 B2 JP 4714651B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- scanning
- probe
- dissipation
- obtaining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/32—AC mode
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/04—Display or data processing devices
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
T.R.Albrecht et al., "Frequency modulation detection using high-Q cantilevers for enhanced force microscope sensitivity", J.Appl.Phys. 69, 668 (1991),(page 670)
ここにζ=ω/2Qであり、ωは共振周波数、Qはカンチレバーの共振のQ値、また、jは時刻列を表すサフィックスである。ζは定常状態へ向かう遷移過程のレート定数、あるいは遷移過程の時定数の逆数である。
本発明に係る第1実施形態の走査型プローブ顕微鏡を図1に示すブロック図を用いて説明する。試料1の表面を測定するための先端に探針を備えたカンチレバー2が試料1に対向して配置されている。カンチレバーは、カンチレバー励振器12により設定された周波数で振動させられる。そして、カンチレバー2の先端部の変位すなわち探針の振動の変位を検出する変位検出手段は、いわゆる光てこ方式と呼ばれる方法である、光源(図示せず)からのレーザ光がカンチレバー2で反射され、変位検出器10に入射し強度差などから検出されるものである。そして、原子間力や接触などの探針と試料間の相互作用によりカンチレバーの振幅が変位し、その変位を変位検出器10でその変位を検出することができるものである。変位検出器10から出力された変位信号は、移相器および増幅器から成る正帰還増幅器11を経て正帰還信号がカンチレバー励振器12に供給される。この帰還ループによりカンチレバーの振動は共振状態に保たれ、探針と試料間の相互作用の変化を共振状態(共振周波数とQ値)が追尾する。さらに、変位検出器10から出力された変位信号は周波数検出器13に供給され、カンチレバーの共振周波数が検出される。この周波数信号の設定周波数spとの差を誤差増幅器14で算出されて増幅し、試料のz変位(図1で上下方向)を担う移動手段となるピエゾ素子3に負帰還して、ピエゾ素子3を変位させることにより探針と試料間距離が制御される。
なお、逐次検出される振幅は、デジタル化されることが好ましく、このデジタル化された振幅データをコンピュータあるいはデジタルシグナルプロセッサ(DSP)に取り込み、以後の、時間差分値、時間差分値間の商、商の対数、差分時間との比などを求める一連の演算をコンピュータ内あるいはDSP内において実時間で行うのが好ましい。当然のことながら、利用できる限り長ビットデータを用い、演算は高精度で行うことが望ましいのは言うまでもない。
(第2の実施形態)
本発明に係る第2実施形態の走査型プローブ顕微鏡を図2に示すブロック図を用いて説明する。なお、第1実施形態と共通の点について説明は省略する。
(第3の実施形態)
本発明に係る第3実施形態の走査型プローブ顕微鏡を図3に示すブロック図を用いて説明する。なお、第1の実施形態や第2の実施形態と共通の点については説明は省略する。
(第4の実施形態)
本発明の第4の実施形態を、図4を用いて説明する。なお、第3の実施形態と共通の点については省略する。
2. カンチレバー
3. ピエゾ素子
10.変位検出器
11.正帰還増幅器
12.カンチレバー励振器
13.周波数検出器
20.振幅検出器
21.差分値検出器
22.割り算器
23.対数変換器
24.第二の割り算器
25.画像装置
26.デジタルアナログ変換器
27.第三の割り算器
Claims (7)
- カンチレバーの共振周波数に追随して励振を行う励振手段と、
カンチレバー先端の探針の変位を検出する変位検出手段を有する走査型プローブ顕微鏡において、
該変位検出手段の変位検出器からの信号の振幅を逐次得る振幅検出器と、
該振幅の時間差分値を得る差分値検出器と、
該時間差分値間の商の値を得る割り算器と、
該商の値の対数値を得る対数変換器と、
該対数値を差分時間で割った値を求めて散逸に関する値を得る第二の割り算器と、を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - カンチレバーの共振周波数に追随して一定の励振を行う励振手段と、
カンチレバー先端の探針の変位を検出する変位検出手段を有する走査型プローブ顕微鏡において、
該変位検出手段からの信号から振幅を逐次得る手段と、
複数の周期における該振幅を平均化して平均振幅を得る手段と、
該平均振幅の時間差分値を得る手段と、
該時間差分値間の商の値を得る手段と、
該商の値の対数値を得る手段と、
該対数値を差分時間で割った値を求めて散逸に関する値を得る第二の割り算器と、を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記第二の割り算器により求めた前記散逸に関する値を電気信号に変換する変換器と、前記変位検出器からの変位信号から前記カンチレバーの共振周波数を検出する周波数検出器と、を備え
前記変換器で得られた散逸に関する値に対応する信号と、前記周波数検出器から得られる共振周波数の値との比から散逸値を求める第三の割り算器を備えたことを特徴とする請求項1乃至2記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記探針を試料表面に平行なX、Y方向および該試料表面に垂直なZ方向に、該試料表面に対して相対的に走査する走査手段と、
該探針が該試料表面に近接又は接触した時点における計測データを取得する計測手段と、
前記X、Y方向の走査及び前記Z方向の走査を制御する制御手段とを有し、
該制御手段は、前記探針が前記X,Y方向の走査によって計測位置に達したときに、該X,Y方向の走査を停止すると共に前記試料表面に接近する前記Z方向への走査を行い、
該計測手段は、該Z方向への走査によって該探針が該試料表面に近接又は接触した時に、その時点における計測データを取得することを特徴とする、請求項1乃至3記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記散逸に関する値を用いて探針・試料間の距離を制御する手段を有することを特徴とする、請求項1乃至3記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記散逸値を用いて探針・試料間の距離を制御する手段を有することを特徴とする、請求項1乃至3記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記散逸に関する値または前記散逸値を画像化する画像装置を有することを特徴とする、請求項1乃至6記載の走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006225729A JP4714651B2 (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 走査型プローブ顕微鏡 |
US11/835,036 US7588605B2 (en) | 2006-08-22 | 2007-08-07 | Scanning type probe microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006225729A JP4714651B2 (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008051554A JP2008051554A (ja) | 2008-03-06 |
JP4714651B2 true JP4714651B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=39112482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006225729A Expired - Fee Related JP4714651B2 (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7588605B2 (ja) |
JP (1) | JP4714651B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9423693B1 (en) | 2005-05-10 | 2016-08-23 | Victor B. Kley | In-plane scanning probe microscopy tips and tools for wafers and substrates with diverse designs on one wafer or substrate |
US7571638B1 (en) * | 2005-05-10 | 2009-08-11 | Kley Victor B | Tool tips with scanning probe microscopy and/or atomic force microscopy applications |
US7784107B2 (en) * | 2006-06-02 | 2010-08-24 | Victor B. Kley | High speed measurement, analysis and imaging systems and methods for length scales from meter to sub-nanometer |
US9750568B2 (en) | 2012-03-08 | 2017-09-05 | Medtronic Ardian Luxembourg S.A.R.L. | Ovarian neuromodulation and associated systems and methods |
US9778572B1 (en) | 2013-03-15 | 2017-10-03 | Victor B. Kley | In-plane scanning probe microscopy tips and tools for wafers and substrates with diverse designs on one wafer or substrate |
EP3432007B1 (en) * | 2017-07-18 | 2020-02-26 | IMEC vzw | A device and method for two dimensional active carrier profiling of semiconductor components |
JP2019100874A (ja) * | 2017-12-04 | 2019-06-24 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000346784A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-15 | Shimadzu Corp | 粘弾性分布測定方法 |
JP2003185555A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Canon Inc | 周波数検出方法およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
JP2004294218A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Kansai Tlo Kk | 物性値の測定方法および走査形プローブ顕微鏡 |
JP4616759B2 (ja) * | 2005-03-14 | 2011-01-19 | 日本電子株式会社 | 原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いたエネルギー散逸像の形成方法 |
-
2006
- 2006-08-22 JP JP2006225729A patent/JP4714651B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-08-07 US US11/835,036 patent/US7588605B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080048114A1 (en) | 2008-02-28 |
US7588605B2 (en) | 2009-09-15 |
JP2008051554A (ja) | 2008-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4714651B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
Fleming et al. | Bridging the gap between conventional and video-speed scanning probe microscopes | |
JP5813966B2 (ja) | 変位検出機構およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
US8065908B2 (en) | Scan type probe microscope | |
JP4851375B2 (ja) | 位相フィードバックafmの制御方法及び位相フィードバックafm | |
JPWO2008087852A1 (ja) | 原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いた相互作用力測定方法 | |
JP4913242B2 (ja) | ダイナミックモードafm装置 | |
JP2002063706A (ja) | 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 | |
Fantner et al. | DMCMN: In depth characterization and control of AFM cantilevers with integrated sensing and actuation | |
JP3764917B2 (ja) | 高周波微小振動測定装置 | |
US20080091374A1 (en) | Analog High Sensitivity Continuous Phase and Amplitude Detection Device for a Harmonic Microcantilever Sensor | |
US10712363B2 (en) | Scanning probe microscope | |
JP2001108601A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP6220306B2 (ja) | カンチレバーの振動特性測定方法及び振動特性測定プログラム | |
JP6001728B2 (ja) | 変位検出機構およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5544137B2 (ja) | 触針式段差計による試料の表面形状の測定用の計測制御回路装置 | |
JP5061049B2 (ja) | 微細形状測定装置 | |
JP2016023952A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP6112944B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ検鏡法 | |
JP3274087B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5077938B2 (ja) | 原子間力顕微鏡装置 | |
Mertens et al. | Resonant cantilever response of static-to-sliding transitions in dynamic friction force microscopy | |
JP5930153B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその制御方法 | |
JP2009281904A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2006275875A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090319 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110304 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110328 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |