JP2021110693A - 磁歪測定装置および磁歪測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記板状材料の底面が接触する基板を備え、
前記基板が磁歪特性の測定方向に振動可能であることを特徴とする。
前記制御装置は、前記測定方向において、前記基板の振動方向と前記板状材料の前記変位との方向とが揃うように前記基板の振動を制御することとしてもよい。
前記板状材料の底面を基板に接触させ、前記基板を静止させた状態で磁歪特性を測定する静止状態測定工程と、
前記板状材料の底面を前記基板に接触させ、前記基板を磁歪特性の測定方向に振動させた状態で磁歪特性を測定する振動状態測定工程と、
前記静止状態測定工程で測定された磁歪特性と、前記振動状態測定工程で測定された磁歪特性との平均を求める工程とを含むことを特徴とする。
本発明の発明者らは、磁歪測定における測定誤差を低減するために、摩擦による影響を考察した。まず、これについて説明する。
なお、図2は、磁歪測定装置10の概略図であって、サンプル8、基板18、架台20、ヨーク22、基板支持部材24、クランプ26、加振器28、反射器30、励磁コイル32、レーザー振動計40および振動センサ42の位置関係を示す図と、ブロック図とを組み合わせた図である。このため、A/D変換器44、コンピュータ46、任意波形発生器、電力増幅器50および駆動電源52は、実際の位置関係と図2に示すX、Y、Z方向とが一致していない。また、磁歪測定装置10の基本的な構成は、適宜、図1に示す従来の磁歪測定装置と同様としてもよい。
なお、サンプル8は、第1端部8aが、ヨーク22の上に直接載っている一方、第2端部8bが基板18を介してヨーク22の上に載っている。ただし、第1端部8aが、基板18や、基板18と同一素材、同一の厚さの小片等の、非導電性部材(非磁性部材)を介してヨーク22の上に載っていてもよい。また、第2端部8bが基板18を介さずにヨーク22の上に直接載っていてもよい。
なお、励磁コイル32は、サンプル8に磁歪を引き起こさせることが可能となっていればよい。具体的には、例えば、サンプル8が基板18上に配置された際に、サンプル8(および基板18)の少なくとも一部が励磁コイル32の内側に位置するようになっていることが好ましい。また、励磁コイル32は、内側に基板18が配置された筒状の部材(例えば、ベークライト等の非導電性材料(非磁性材料)によって形成された部材)に巻き回されて形成されていてもよい。
また、レーザー振動計40および振動センサ42は、サンプル8または基板18の振動を測定可能であれば、レーザー光のドップラー効果を利用して測定するものでなくてもよい。例えば、同様にレーザー光を利用した非接触の測定器として、レーザー変位計を用いてもよい。また、圧電素子、加速度センサまたはひずみゲージを利用した測定器、あるいは電極間の距離による電気容量の変化を利用した測定器等を用いてもよい。
なお、サンプル8の振動は、基本的に、励磁コイル32によって発生する交流磁界の1/2の周期(2倍の周波数)で繰り返される。
まず、コンピュータ46は、サンプル8が所定の条件で励磁されるように任意波形発生器48を設定して励磁コイル32を励磁する(ステップS1)。具体的には、コンピュータ46は、サンプル8が磁歪によってX方向において周期的に伸縮(振動)するように、励磁コイル32に交流磁界を発生させる。
まず、コンピュータ46は、サンプル8が所定の条件で励磁されるように任意波形発生器48を設定して励磁コイル32を励磁する(ステップS11)。具体的には、コンピュータ46は、サンプル8が磁歪によってX方向において周期的に伸縮(振動)するように、励磁コイル32に交流磁界を発生させる。
なお、コンピュータ46は、磁歪波形と基板振動波形との関係を調整するにあたり、加振器28に与える信号(基板18の振動態様)を修正するのではなく、励磁コイル32に与える信号(サンプル8の振動態様)を修正してもよく、加振器28に与える信号と励磁コイル32に与える信号との両方を修正してもよい。
なお、静止状態測定工程と振動状態測定工程とでは、同一条件で励磁コイル32(サンプル8)を励磁するとよい。換言すると、静止状態測定工程と振動状態測定工程とでは、図3に示すように、静止磁歪波形aと振動磁歪波形bとの周波数が一致するようにサンプル8を振動させる。さらに換言すると、静止磁歪波形aの上下のピーク位置(振動方向の切り替わるタイミング)がそれぞれ振動磁歪波形bの上下のピーク位置(振動方向の切り替わるタイミング)と一致するように、サンプル8を振動させる。さらに換言すると、静止磁歪波形aと振動磁歪波形bとの同期がとれ、静止磁歪波形aと振動磁歪波形bとを同位相とできるように、サンプル8を振動させる。
なお、平均処理は、静止状態測定工程の測定結果と振動状態測定工程の測定結果との平均を取ることにより、摩擦による測定誤差が低減された磁歪特性を求めるものであればよい。また、平均処理は、コンピュータ46で行うこととしてもよく、レーザー振動計40で行うこととしてもよく、レーザー振動計40の出力信号を取り扱い可能な別のコンピュータで行うこととしてもよい。
なお、基板支持部材24は、基板18のX方向への移動に伴い、軸を中心として周方向に回転するようになっていてもよい。
なお、ベルトの上にベルトとは別体の基板18を配置することとしてもよい。
10 磁歪測定装置
18 基板
46 コンピュータ(制御装置)
Claims (6)
- 交流磁界中に置かれ一端部が固定された板状材料の他端部の変位を測定することにより、前記板状材料の磁歪特性を測定する磁歪測定装置であって、
前記板状材料の底面が接触する基板を備え、
前記基板が磁歪特性の測定方向に振動可能であることを特徴とする磁歪測定装置。 - 前記基板の振動を制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記測定方向において、前記基板の振動方向と前記板状材料の前記変位の方向とが揃うように前記基板の振動を制御することを特徴とする請求項1に記載の磁歪測定装置。 - 前記制御装置は、前記測定方向において、前記基板の振動速度が前記板状材料の前記変位の速度よりも速くなるように前記基板の振動を制御することを特徴とする請求項2に記載の磁歪測定装置。
- 交流磁界中に置かれ一端部が固定された板状材料の他端部の変位を測定することにより、前記板状材料の磁歪特性を測定する磁歪測定方法であって、
前記板状材料の底面を基板に接触させ、前記基板を静止させた状態で磁歪特性を測定する静止状態測定工程と、
前記板状材料の底面を前記基板に接触させ、前記基板を磁歪特性の測定方向に振動させた状態で磁歪特性を測定する振動状態測定工程と、
前記静止状態測定工程で測定された磁歪特性と、前記振動状態測定工程で測定された磁歪特性との平均を求める工程とを含むことを特徴とする磁歪測定方法。 - 前記振動状態測定工程では、前記測定方向において、前記基板の振動方向と前記板状材料の前記変位の方向とが揃うように前記基板を振動させることを特徴とする請求項4に記載の磁歪測定方法。
- 前記振動状態測定工程では、前記測定方向において、前記基板の振動速度が前記板状材料の前記変位の速度よりも速くなるように前記基板を振動させることを特徴とする請求項5に記載の磁歪測定方法。
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