JP6154605B2 - 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 - Google Patents
形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6154605B2 JP6154605B2 JP2012268985A JP2012268985A JP6154605B2 JP 6154605 B2 JP6154605 B2 JP 6154605B2 JP 2012268985 A JP2012268985 A JP 2012268985A JP 2012268985 A JP2012268985 A JP 2012268985A JP 6154605 B2 JP6154605 B2 JP 6154605B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- value
- displacement
- filter
- transfer characteristic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
まず、実施の形態1にかかる形状測定装置100について説明する。図1は、実施の形態1にかかる形状測定装置100の構成を模式的に示す斜視図である。形状測定装置100は、三次元測定機1及びコンピュータ2を有する。三次元測定機1とコンピュータ2とは、ケーブル3を介して接続される。
次に、実施の形態2にかかる形状測定装置200について説明する。形状測定装置200は、形状測定装置100の演算部212を、演算部222に置換した構成を有する。形状測定装置200のその他の構成は形状測定装置100と同様であるので、以下では演算部222について説明する。図6は、実施の形態2にかかる形状測定装置200の演算部222及びその周辺機器の制御ブロック図である。図7は、演算部222の測定値算出処理を示すフローチャートである。図8Aは、実施の形態2を適用した場合における被測定物31の測定値のシミュレーション結果を示す図である。
次に、実施の形態3にかかる形状測定装置300について説明する。形状測定装置300は、形状測定装置100の演算部212を、演算部232に置換した構成を有する。形状測定装置300のその他の構成は形状測定装置100と同様であるので、以下では演算部232について説明する。図9は、実施の形態3にかかる形状測定装置300の演算部232及びその周辺機器の制御ブロック図である。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、実施の形態2においては、記憶部211から、設計値を読み出し、実測したスライダ16の変位から減算して運動誤差を求める構成としたが、これ以外の構成を採用することも可能である。例えば、実測したスライダ16の変位の情報に基づき、最小自乗法等により被測定物の設計値の推定値を算出して、その推定値を実測したスライダ16の変位の情報から減算して推定運動誤差を求め、この推定運動誤差に第1のフィルタ2121a及び第2のフィルタ2121bを用いて推定運動誤差の補正値を求め、この補正値と設計値の推定値と先端球の変位とを加算して測定値を算出する構成としてもよい。この変形例によれば、記憶部211に設計値を保持する必要がないため、設計値そのものが不明の被測定物であってもこの発明を実施できる。
2 コンピュータ
10 除震台
11 定盤
12a ビーム支持体
12b ビーム支持体
13 ビーム
14 Y軸駆動機構
15 コラム
16 スライダ
17 プローブ
17a 先端球
17b スタイラス
18 XYZ軸駆動部
19a 先端球変位検出部
19b スケール部
19bx X軸スケール部
19by Y軸スケール部
19bz Z軸スケール部
21 コンピュータ本体
22 キーボード
23 マウス
24 CRT
25 プリンタ
31 被測定物
100、200 形状測定装置
211 記憶部
212、222 演算部
213 表示制御部
214〜216 インタフェース(I/F)
2121、2321 補正用フィルタ
2121a 第1のフィルタ
2121b、2321b 第2のフィルタ
2121c、2121e 加算器
2121d 減算器
2321c 第3のフィルタ
2321d 第4のフィルタ
Claims (10)
- 一端に取り付けられたスタイラスの先端に設けられた被測定物に接触する先端球により倣い測定を行う倣いプローブと、
前記倣いプローブを前記先端球と反対側の端部で支持する、移動自在に設けられたスライダと、
前記スライダの変位を検出するスケール部と、
前記倣いプローブの前記先端球の、前記倣いプローブ及び前記スライダの接合部に対する変位を検出する先端球変位検出部と、
前記スケール部により検出された前記スライダの変位と、前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位と、から測定値を算出する演算部と、
を備え、
前記演算部は、
前記スケール部から前記先端球までの周波数伝達特性に基づいて、前記スケール部により検出された前記スライダの変位を補正した補正値を出力する補正用フィルタと、
前記補正値と前記先端球変位検出部で検出された前記先端球の変位とを加算する第1の加算器と、を備え、
前記補正用フィルタは、
前記スケール部から前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部までの周波数伝達特性に基づいて前記スケール部により検出された前記スライダの変位を補正する第1のフィルタと、
前記第1のフィルタにより補正された値を、前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記先端球までの周波数伝達特性に基づいて補正した値を前記補正値として出力する第2のフィルタと、を備える、
形状測定装置。 - 前記第1のフィルタは、前記スケール部から前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部までの前記周波数伝達特性の推定値に基づいて前記スケール部により検出された前記スライダの変位を補正し、
前記第2のフィルタは、前記第1のフィルタにより補正された前記値を、前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記先端球までの前記周波数伝達特性の推定値に基づいて補正する、
請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記周波数伝達特性は、前記スライダの移動方向軸毎により実測され、
前記周波数伝達特性の推定値は、前記スライダの前記移動方向軸毎の周波数伝達特性の実測値に基づき伝達関数として算出される、
請求項2に記載の形状測定装置。 - 被測定物の形状を示す設計値が格納された記憶部を更に備え、
前記演算部は、
前記スケール部により検出された前記スライダの変位から前記設計値を減算した値を、前記第1のフィルタに入力される前記スライダの運動誤差として出力する減算器と、
前記第2のフィルタから出力される前記値に前記設計値を加算した値を、前記補正用フィルタから出力される前記補正値として出力する第2の加算器と、を更に備える、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 前記第2のフィルタは、
前記第1のフィルタにより補正された値を、前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記スタイラスの取付け部までの周波数伝達特性に基づいて補正した値を出力する第3のフィルタと、
前記第3のフィルタにより補正された値を、前記スタイラスの取付け部から前記先端球までの周波数伝達特性に基づいて補正した値を前記補正値として出力する第4のフィルタと、を備える、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の形状測定装置。 - 一端に取り付けられたスタイラスの先端に設けられた被測定物に接触する先端球により倣い測定を行う倣いプローブを前記先端球と反対側の端部で支持する移動自在に設けられたスライダの変位をスケール部により検出し、
前記倣いプローブの前記先端球の前記倣いプローブ及び前記スライダの接合部に対する変位を検出し、
前記スケール部から前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部までの周波数伝達特性に基づいて前記スケール部により検出された前記スライダの前記変位を補正し、
補正された前記変位を前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記先端球までの周波数伝達特性に基づいて補正した値を、補正値として出力し、
前記補正値と前記先端球の前記変位とを加算して測定値を算出する、
形状測定誤差の補正方法。 - 前記スケール部から前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部までの前記周波数伝達特性の推定値に基づいて前記スケール部により検出された前記スライダの変位を補正し、
補正された前記スライダの変位を、前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記先端球までの前記周波数伝達特性の推定値に基づいて補正する、
請求項6に記載の形状測定誤差の補正方法。 - 前記周波数伝達特性は、前記スライダの移動方向軸毎により実測され、
前記周波数伝達特性の推定値は、前記スライダの前記移動方向軸毎の周波数伝達特性の実測値に基づき伝達関数として算出される、
請求項7に記載の形状測定誤差の補正方法。 - 前記スケール部により検出された前記スライダの変位から前記設計値を減算した値を、前記スケール部から前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部までの周波数伝達特性に基づいて補正し、
補正された前記値を前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記先端球までの周波数伝達特性に基づいて補正した値と前記設計値を加算した値を、前記補正値として出力する、
請求項6乃至8のいずれか一項に記載の形状測定誤差の補正方法。 - 前記補正された前記変位を前記倣いプローブ及び前記スライダの前記接合部から前記スタイラスの取付け部までの周波数伝達特性に基づいて補正した第1の値を出力し、
前記第1の値を前記スタイラスの取付け部から前記先端球までの周波数伝達特性に基づいて補正した値を前記補正値として出力する、
請求項6乃至9のいずれか一項に記載の形状測定誤差の補正方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012268985A JP6154605B2 (ja) | 2012-09-04 | 2012-12-10 | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
US13/971,235 US9091522B2 (en) | 2012-09-04 | 2013-08-20 | Shape measuring machine and method of correcting shape measurement error |
EP13182254.6A EP2703775B1 (en) | 2012-09-04 | 2013-08-29 | Shape measuring machine and method of correcting shape measurement error |
CN201310398126.4A CN103673963A (zh) | 2012-09-04 | 2013-09-04 | 形状测量机和用于校正形状测量误差的方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012193906 | 2012-09-04 | ||
JP2012193906 | 2012-09-04 | ||
JP2012268985A JP6154605B2 (ja) | 2012-09-04 | 2012-12-10 | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014066693A JP2014066693A (ja) | 2014-04-17 |
JP6154605B2 true JP6154605B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=49035496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012268985A Active JP6154605B2 (ja) | 2012-09-04 | 2012-12-10 | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9091522B2 (ja) |
EP (1) | EP2703775B1 (ja) |
JP (1) | JP6154605B2 (ja) |
CN (1) | CN103673963A (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012205599A1 (de) * | 2012-04-04 | 2013-10-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Reduzieren von Fehlern einer Drehvorrichtung bei der Bestimmung von Koordinaten eines Werkstücks oder bei der Bearbeitung eines Werkstücks |
JP6114010B2 (ja) * | 2012-11-14 | 2017-04-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
EP2735843A1 (en) * | 2012-11-21 | 2014-05-28 | Hexagon Technology Center GmbH | Measuring machine and method for automated measurement of an object |
JP2014130091A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Canon Inc | 測定装置および測定方法 |
JP6104606B2 (ja) * | 2013-01-08 | 2017-03-29 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定装置、入力方法及びプログラム |
JP6144157B2 (ja) | 2013-08-26 | 2017-06-07 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及びv溝求心測定方法 |
JP6254451B2 (ja) | 2014-02-19 | 2017-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
JP6254456B2 (ja) * | 2014-02-21 | 2017-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機及び三次元測定機による補正行列算出方法 |
JP6448242B2 (ja) | 2014-07-18 | 2019-01-09 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 |
US9879968B2 (en) | 2014-10-23 | 2018-01-30 | Caterpillar Inc. | Component measurement system having wavelength filtering |
US9658047B2 (en) | 2014-10-23 | 2017-05-23 | Caterpillar Inc. | Component measurement system having wavelength filtering |
JP6393156B2 (ja) | 2014-11-06 | 2018-09-19 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
JP6484108B2 (ja) * | 2015-05-22 | 2019-03-13 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
US10215547B2 (en) * | 2016-06-24 | 2019-02-26 | Mitutoyo Corporation | Method for operating a coordinate measuring machine |
JP2018031754A (ja) | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定装置及び座標補正方法 |
JP6295299B2 (ja) | 2016-08-26 | 2018-03-14 | 株式会社ミツトヨ | 座標補正方法及び三次元測定装置 |
JP6341962B2 (ja) | 2016-08-26 | 2018-06-13 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定装置及び座標補正方法 |
JP6993800B2 (ja) * | 2017-07-07 | 2022-01-14 | 株式会社ミツトヨ | 門型移動装置および三次元測定機 |
JP2019066418A (ja) * | 2017-10-04 | 2019-04-25 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置および測定システム |
EP3537102B1 (de) * | 2018-03-05 | 2020-05-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren und anordnung zum erhöhen des durchsatzes bei einer ausreichenden messgenauigkeit bei der werkstückvermessung |
US11478939B2 (en) * | 2018-09-17 | 2022-10-25 | Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce | Position verification sensor with discrete output |
CN109238473B (zh) * | 2018-11-02 | 2020-08-11 | 汕头大学 | 一种红外图像阵列传感器灰尘干扰进行校准的装置与方法 |
EP3901574B1 (de) * | 2020-04-21 | 2023-05-31 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von messpunkten einer angepassten messbahn zur vermessung eines messobjekts durch eine koordinatenmesseinrichtung sowie programm |
CN114850792B (zh) * | 2022-04-28 | 2023-04-25 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 一种触针式表面轮廓仪探针系统的制备方法及调校方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2708814B1 (fr) * | 1993-07-30 | 1995-09-01 | Alcatel Mobile Comm France | Procédé de couverture des zones d'ombre d'un réseau de radiocommunications, et répéteur radio pour la mise en Óoeuvre de ce procédé. |
GB0016533D0 (en) * | 2000-07-06 | 2000-08-23 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for correction of coordinate measurement errors due to vibrations in coordinate measuring machines (cmms) |
JP4488876B2 (ja) * | 2004-12-02 | 2010-06-23 | 株式会社ミツトヨ | 制御装置 |
GB0523722D0 (en) * | 2005-11-22 | 2005-12-28 | Taylor Hobson Ltd | Trench measurement |
JP5221004B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2013-06-26 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラム |
JP2007315987A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Toshihisa Shirakawa | マイナアクチニド急激消滅簡易原子炉 |
JP5189806B2 (ja) * | 2006-09-07 | 2013-04-24 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置 |
CN201423362Y (zh) * | 2009-05-12 | 2010-03-17 | 昆山市超声仪器有限公司 | 自动跳频超声波清洗器 |
CN101702030B (zh) * | 2009-10-29 | 2012-10-24 | 中国科学院国家授时中心 | 一种站间钟差辅助的导航卫星精密定轨方法 |
JP5776080B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2015-09-09 | 株式会社ミツトヨ | 円形状特性測定方法、装置及びプログラム |
JP5821513B2 (ja) * | 2011-10-18 | 2015-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 参照値生成方法及び参照値生成装置 |
JP6052956B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2016-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 形状解析方法および形状解析プログラム |
-
2012
- 2012-12-10 JP JP2012268985A patent/JP6154605B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-20 US US13/971,235 patent/US9091522B2/en active Active
- 2013-08-29 EP EP13182254.6A patent/EP2703775B1/en active Active
- 2013-09-04 CN CN201310398126.4A patent/CN103673963A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2703775B1 (en) | 2014-09-24 |
CN103673963A (zh) | 2014-03-26 |
US9091522B2 (en) | 2015-07-28 |
EP2703775A1 (en) | 2014-03-05 |
US20140059872A1 (en) | 2014-03-06 |
JP2014066693A (ja) | 2014-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6154605B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 | |
JP5221004B2 (ja) | 測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラム | |
JP6114010B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 | |
CN105588533B (zh) | 形状测定装置以及形状测定方法 | |
JP6254451B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 | |
CN105277148B (zh) | 形状测定装置的测定误差的校正方法以及形状测定装置 | |
CN109655023B (zh) | 用于确定工具定位机器的状态的系统 | |
US7542872B2 (en) | Form measuring instrument, form measuring method and form measuring program | |
US20160298959A1 (en) | Calibration of motion systems | |
JP2009025024A (ja) | 形状測定装置および方法 | |
JP6113958B2 (ja) | 測定座標補正方法、及び三次元測定機 | |
US9733056B2 (en) | Method for compensating lobing behavior of a CMM touch probe | |
JP2003114117A (ja) | プローブの校正方法および校正プログラム | |
JP6474587B2 (ja) | 測定値補正方法、測定値補正プログラム及び測定装置 | |
JP2009288227A (ja) | 三次元測定機 | |
JP2008216122A (ja) | 表面性状測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160914 |
|
AA91 | Notification that invitation to amend document was cancelled |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971091 Effective date: 20161025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6154605 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |