JP4923441B2 - 形状測定器 - Google Patents
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Description
特許文献1では、重力方向に測定プローブを保持し、バネ等で重力を釣り合わせて接触圧を調整している。即ち、被測定物180に対して、垂直上方から接触する測定プローブ32と、測定プローブ32の重力分を調整するバネ152と、測定プローブの位置を検出する位置検出器154とを備える。
被測定物の表面に接触する測定プローブ32と、
前記測定プローブ32が取り付けられたシリンダを、軸方向であって、自重で被測定物Wから離れて後退するように水平方向に対して所定の傾斜θを持たせて支持する支持手段42と、
前記シリンダを、所定の傾斜θに沿い前記測定プローブが前記被測定物W側へ突出するように付勢する付勢手段40と、
前記測定プローブ32の進退位置を測定する位置検出器44とを備えることを技術的特徴とする。
前記主動軸34に連動され、測定プローブ32を備える従動軸36と、
前記主動軸34と従動軸36とを、前記エアシリンダ40の付勢方向の反対方向へ、自重で前記被測定物Wから離れて後退するように前記所定の傾斜θを持たせて支持するエアベアリング42と
前記従動軸の進退位置を測定するリニアスケール44と、を備えることを技術的特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係る形状測定器を搭載する超精密加工機の構成を示している。
超精密加工機10は、ワークWを固定するワーク固定台12と、工具16を保持する砥石軸14と、砥石軸14をX方向へ送るサーボモータ22と、Y軸方向へ送るサーボモータ24と、Z軸方向へ送るサーボモータ26とを備える。ワークWの形状を測定プローブ32により測定する形状測定器30が、砥石軸14と併設されている。
形状測定器30は、エアシリンダ40により付勢される主動シリンダ34と、該主動シリンダ34にブラケット38により連結された従動シリンダ36とを備える。従動シリンダ36には、測定プローブ32が取り付けられている。主動シリンダ34及び従動シリンダ36は、エアベアリング42により傾斜状態で支持されている。即ち、エアベアリング42で、主動シリンダ34及び従動シリンダ36の自重で後退する(図中左方向に向かう)ように微少な傾斜を持たせて支持している。従動シリンダ36には位置検出器としてリニアスケール44が設けられている。形状測定器30は、従動シリンダ36のストロークが10mmに設定され、後述するように測定圧を、数10mgf〜数100mgfの範囲で調整可能に構成されている。なお、この実施形態では、主動シリンダ34と従動シリンダ36とを設けることで、円柱状のシリンダの回り止めがなされる。
形状測定器30には、空気圧を発生する空圧機器50と、形状測定器30のエアシリンダ40への供給気圧を調整するシリンダ給気圧制御機器52とが接続されている。空圧機器50からの気圧は、エアベアリング42へ直接供給されるように構成されている。リニアスケール44からの出力は、位置検出部54へ入力され、検出された位置は、演算部56側へ出力される。
本実施形態の形状測定器30では、エアベアリング42で、測定プローブ32を備える従動シリンダ36及び主動シリンダ34の自重mで後退するように傾斜θを持たせて支持する。エアシリンダ40の摩擦力は非常に小さい。ここで、従動シリンダ36及び主動シリンダ34の後退する力は、エアベアリングでの傾斜θによって生じ、自重mに比べて遙かに小さいmgsigθとなる。一方、エアシリンダ40で、測定プローブ32をワークW側へ突出させるように押出力Fcで付勢する。このため、ワークWへの測定プローブ32の接触力Fは、エアベアリング42で傾斜を持たせて支持された従動シリンダ36及び主動シリンダ34の自重mによる後退力(測定子自重傾斜成分)mgsigθと、エアシリンダ40の押出力Fcとの差分(F=Fc−mgsigθ)になるので、接触力Fを非常に小さく調整することが可能である。このため、アルミニューム製品、樹脂製品等の甦生変形し易い被測定物の表面を変形させることなく測定できる。なお、傾斜θは図4中では理解のために大きく傾けてあるが、実際には肉眼では水平と区別できない程微少角度である。
30 形状測定器
32 測定プローブ
34 主動シリンダ
36 従動シリンダ
40 エアシリンダ
42 エアベアリング
W ワーク(被測定物)
Claims (4)
- 被測定物の表面に接触する測定プローブと、
前記測定プローブが取り付けられたシリンダを、軸方向であって、自重で前記被測定物から離れて後退するように水平方向に対して所定の傾斜を持たせて支持する支持手段と、
前記シリンダを、前記所定の傾斜に沿い前記測定プローブが前記被測定物側へ突出するように付勢する付勢手段と、
前記測定プローブの進退位置を測定する位置検出器とを備えることを特徴とする形状測定器。 - 前記付勢手段は、供給される空気圧により前記測定プローブを前記被測定物側へ付勢することで突出させるエアシリンダであって、
前記空気圧を発生する空圧機器と、
前記エアシリンダに対して前記空圧機器からの空気圧を供給する際にその供給気圧を調整する給気圧制御機器と、
を備えることを特徴とする請求項1の形状測定器。 - 前記位置検出器は、リニアスケールからなることを特徴とする請求項1又は請求項2の形状測定器。
- エアシリンダにより水平方向に対して所定の傾斜に沿い被測定物側へ付勢される主動軸と、
前記主動軸に連動され、測定プローブを備える従動軸と、
前記主動軸と従動軸とを、前記エアシリンダの付勢方向の反対方向へ、自重で前記被測定物から離れて後退するように前記所定の傾斜を持たせて支持するエアベアリングと
前記従動軸の進退位置を測定するリニアスケールと、を備えることを特徴とする形状測定器。
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