JP4622683B2 - 加工機 - Google Patents
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Description
前記形状測定器が、
前記測定子を自重で後退するように水平面に対して傾斜角度を持たせて支持するエアベアリングと、
前記測定子を前記被加工物側へ付勢し、被加工物に倣って該測定子を接触させるエアシリンダとを有し、前記測定子を前記被加工物側へ付勢する力は該エアシリンダのエアー圧と、前記傾斜角度を持たされた測定子の自重による後退力との差分より成り、
形状測定前に、前記測定子を被加工物の表面に接触させて、前記サーボモータ22、24、26のロック状態における振動成分を測定する周波数解析手段62と、
形状測定前に前記周波数解析手段により測定された振動成分を除去するためのノッチフィルタ66を設定するフィルタ設定手段62と、
形状測定時に前記位置検出器の出力から、前記ノッチフィルタ66により前記サーボモータのロック状態における振動成分を除去する振動成分除去手段66とを備え、
前記形状測定器が加工軸と併設され、
前記形状測定器の測定子が、加工軸を移動させるサーボモータにより被加工物に倣って移動され、
前記測定子を移動させるサーボモータ以外のサーボモータはロック状態で被加工物の形状測定を行うことを技術的特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係る形状測定器を搭載する超精密加工機の構成を示している。
超精密加工機10は、ワークWを固定するワーク固定台12と、工具16を保持する砥石軸14と、砥石軸14をX方向へ送るサーボモータ22と、Y軸方向へ送るサーボモータ24と、Z軸方向へ送るサーボモータ26とを備える。ワークWの形状を測定プローブ32により測定する形状測定器30が、砥石軸14と併設されている。
形状測定器30は、エアシリンダ40により付勢される主動シリンダ34と、該主動シリンダ34にブラケット38により連結された従動シリンダ36とを備える。従動シリンダ36には、測定プローブ32が取り付けられている。主動シリンダ34及び従動シリンダ36は、エアベアリング42により傾斜状態で支持されている。即ち、エアベアリング42で、主動シリンダ34及び従動シリンダ36の自重で後退する(図中左方向に向かう)よう肉眼では識別できない程に微少な傾斜を持たせて支持している。従動シリンダ36には位置検出器としてリニアスケール44が設けられている。形状測定器30は、従動シリンダ36のストロークが10mmに設定され、後述するように測定圧を、数10mgf〜数100mgfの範囲で調整可能に構成されている。なお、この実施形態では、主動シリンダ34と従動シリンダ36とを設けることで、円柱状のシリンダの回り止めがなされる。
本実施形態の形状測定器30では、エアベアリング42で、測定プローブ32を備える従動シリンダ36及び主動シリンダ34の自重で後退するように傾斜θを持たせて支持する。エアシリンダ40の摩擦力は非常に小さい。ここで、従動シリンダ36及び主動シリンダ34の後退する力は、エアベアリングでの傾斜θによって生じ、自重mに比べて遙かに小さいmgsigθとなる。一方、エアシリンダ40で、測定プローブ32をワークW側へ突出させるように押出力Fcで付勢する。このため、ワークWへの測定プローブ32の接触力Fは、エアベアリング42で傾斜θを持たせて支持された従動シリンダ36及び主動シリンダ34の自重mによる後退力(測定子自重傾斜成分)mgsigθと、エアシリンダ40の押出力Fcとの差分(F=Fc−mgsigθ)になるので、接触力Fを非常に小さくするように、数10mgfまで調整することが可能である。このため、アルミニューム製品、樹脂製品等の甦生変形し易い被測定物の表面を変形させることなく測定できる。
図5は、形状測定器による形状測定処理を示すフローチャートである。
図1に示す工具16により加工の完了したワークWをワーク固定台12上の固定したままの状態で、加工機10を停止、即ち、各サーボモータ22、24、26をサーボロック状態にする(S12)。この状態で、形状測定器30により測定プローブ32をワークWに押し付け、ワークW上に重畳する機械振動成分をリニアスケール44から測定する(S14)。測定したリニアスケール44からの信号LS(振動成分を図6(A)中に示す)を、例えば120Hzで高速フーリエ解析し、振動(主としてサーボモータのサーボロックにより生じる振動)の周波数成分を解析する(S16)。そして周波数成分解析の結果から、ピーク周波数を探し、機械振動周波数として記憶すると共に、該機械振動周波数を除去するノッチフィルタ66を生成する(S18)。ノッチフィルタ66の特性は、図6(B)に示すように上記機械振動周波数成分を減衰させる。以上の処理により形状測定の前準備が完了する。なお、機械振動成分はサーボモータのサーボロック位置により異なるため、サーボロック位置によってノッチフィルタ66の特性は変わってくる。
30 形状測定器
32 測定プローブ
34 主動シリンダ
36 従動シリンダ
40 エアシリンダ
42 エアベアリング
44 リニアスケール
60 周波数解析手段
66 ノッチフィルタ
72 形状誤差算出手段
76 NC作成手段
W ワーク(被測定物)
Claims (2)
- 被加工物の表面に低接触力で接触する測定子と、前記測定子の位置を測定する位置検出器とを備える形状測定器を搭載し、複数のサーボモータを有する加工機において、
前記形状測定器が、
前記測定子を自重で後退するように水平面に対して傾斜角度を持たせて支持するエアベアリングと、
前記測定子を前記被加工物側へ付勢し、被加工物に倣って該測定子を接触させるエアシリンダとを有し、前記測定子を前記被加工物側へ付勢する力は該エアシリンダのエアー圧と、前記傾斜角度を持たされた測定子の自重による後退力との差分より成り、
形状測定前に、前記測定子を被加工物の表面に接触させて、前記サーボモータのロック状態における振動成分を測定する周波数解析手段と、
形状測定前に前記周波数解析手段により測定された振動成分を除去するためのノッチフィルタを設定するフィルタ設定手段と、
形状測定時に前記位置検出器の出力から、前記ノッチフィルタにより前記サーボモータのロック状態における振動成分を除去する振動成分除去手段とを備え、
前記形状測定器が加工軸と併設され、
前記形状測定器の測定子が、加工軸を移動させるサーボモータにより被加工物に倣って移動され、
前記測定子を移動させるサーボモータ以外のサーボモータはロック状態で被加工物の形状測定を行うことを特徴とする加工機。 - 前記振動成分除去手段により振動成分の除去された位置検出器の出力と設計形状値とを比較して形状誤差を求める形状誤差解析手段と、
求めた形状誤差から加工データを補正する加工データ補正手段とを有する請求項1の加工機。
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