JP2010169635A - 形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】形状測定装置100を、被測定物体15の形状を測定して検出値を出力するプローブ12と、所定の空間内でプローブ12を移動可能に保持する保持機構部(アーム部11)と、プローブ12を移動させて、プローブ12により検出された被測定物体15の検出値及びアーム部11の位置情報から測定値を算出する制御部20と、互いの距離の真値が既知の複数の基準器31と、基準器31間の距離をプローブ12で測定し、基準器31間の距離の測定値と基準器31間の距離の真値とから、この測定値が真値に一致するように補正する演算部32と、から構成する。
【選択図】図1
Description
以下、形状測定装置の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1を用いて第1の実施形態に係る形状測定装置100の構成について説明する。この形状測定装置100は、被測定物体15の形状測定を行う形状測定部17が内蔵されたプローブ12、及び、このプローブ12を所定の空間内で移動可能に保持する保持機構部(以下、「アーム部11」と呼ぶ)を有する形状測定部10と、この形状測定部10から出力された被測定物体15の検出値や、アーム部11の関節に配置されたエンコーダからの出力に基づきプローブ12の位置を算出し、その算出された位置情報から、被測定物体15の形状に関する各位置の情報(以下「測定値」と呼ぶ)を算出する制御部20と、制御部20で算出された測定値を補正する調整部30と、を有して構成される。
次に、図2を用いて第2の実施形態に係る形状測定装置200について説明する。この第2の実施形態に係る形状測定装置200の基本構成は、図1に示す第1の実施形態と同様の構成を有しており、形状測定部10と、制御部20と、測定基準点を示す基準球231を2つ保持する基準器230と、から構成される。また、形状測定部10の構成も、第1の実施形態と同様で、基台13、複数の関節部14を有する多関節構造のアーム部11、及び、取付部16によりアーム部11の先端部に着脱可能なプローブ12を有して構成される。そのため、図2には、この第2の実施形態に係る形状測定装置200のうち、基準器230のみを示す。
20 制御部 31,230 基準器 32 演算部
100,200 形状測定装置、231基準球
Claims (5)
- 被測定物体の形状を測定して検出値を出力するプローブと、
所定の空間内で前記プローブを移動可能に保持する保持機構部と、
前記プローブを移動させて、前記プローブにより検出された被測定物体の検出値及び前記保持機構部の位置情報から前記被測定物体の測定値を算出する制御部と、
距離の真値が既知の基準部と、
前記基準部の距離の真値が既知の間の距離を前記プローブで測定し、前記基準部の距離の真値が既知の間の距離の測定値と前記距離の真値とから、前記測定値が前記真値に一致するように補正する演算部と、を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 前記基準部は、前記被測定物体を取り囲むように配置された測定基準点を示す基準器を備えることを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 被測定物体の形状を測定して検出値を出力するプローブと、
所定の空間内で前記プローブを移動可能に保持する保持機構部と、
前記プローブを移動させて、前記プローブにより検出された被測定物体の検出値及び前記保持機構部の位置情報から、前記被測定物体の測定値を算出する制御部と、
測定基準点間の距離の真値が既知の基準器と、を有し、
前記制御部は、前記被測定物体を測定するときに、前記基準器の測定基準点が前記被測定物体の測定箇所を挟むように前記基準器を前記被測定物体に設置して、前記測定基準点の距離を測定し、前記基準点間の距離の測定値と前記基準点間の距離の真値とから、前記測定値を前記真値に一致させる補正値を算出し、前記補正値により前記被測定物体の測定値を補正することを特徴とする形状測定装置。 - 被測定物体の形状を測定して検出値を出力するプローブと、
所定の空間内で前記プローブを移動可能に保持する保持機構部と、
前記プローブを移動させて、前記プローブにより検出された被測定物体の検出値及び前記保持機構部の位置情報から、前記被測定物体の測定値を算出する制御部と、
2点間の距離の真値が既知の基準部と、
前記プローブの検出値及び前記保持機構部の位置情報から得られた前記距離の真値が既知の2点間の距離測定値と、当該2点間の距離の真値とに基づき、前記制御部で算出された前記被測定物体の測定値を補正する演算部と、を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 被測定物体の形状を測定して検出値を非接触で出力するプローブと、
所定の空間内で前記プローブを移動可能に保持する保持機構部と、
前記プローブを移動させて、前記プローブにより検出された被測定物体の検出値及び前記保持機構部の位置情報から、前記被測定物体の測定値を算出する制御部と、
前記被測定物体の近傍に配置され、位置が既知の基準器と、
前記制御部からの前記基準器の位置の測定値と前記基準器の既知の位置情報とから補正値を取得し、前記被測定物体の測定値を補正する演算部と、を備えたことを特徴とする形状測定装置。
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JP2009014502A JP2010169635A (ja) | 2009-01-26 | 2009-01-26 | 形状測定装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112775717A (zh) * | 2019-11-06 | 2021-05-11 | 大隈株式会社 | 机床的误差校正方法以及机床 |
JP7455488B2 (ja) | 2021-02-18 | 2024-03-26 | オークマ株式会社 | 基準器の校正値の診断方法及び診断装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000180103A (ja) * | 1998-12-17 | 2000-06-30 | Agency Of Ind Science & Technol | Cmm校正ゲージ及びcmmの校正方法 |
JP2005157784A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Tokyo Denki Univ | 小型アーティファクトを用いた運動機構の校正方法 |
JP2009008523A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Kosaka Laboratory Ltd | 多関節型座標測定装置のパラメータ校正方法 |
-
2009
- 2009-01-26 JP JP2009014502A patent/JP2010169635A/ja active Pending
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