JPH02284216A - アナログプローブ較正方法と装置 - Google Patents

アナログプローブ較正方法と装置

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Publication number
JPH02284216A
JPH02284216A JP2067395A JP6739590A JPH02284216A JP H02284216 A JPH02284216 A JP H02284216A JP 2067395 A JP2067395 A JP 2067395A JP 6739590 A JP6739590 A JP 6739590A JP H02284216 A JPH02284216 A JP H02284216A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coordinate system
head
probe
stylus
measuring
Prior art date
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Pending
Application number
JP2067395A
Other languages
English (en)
Inventor
David G Powley
デイビツト　グラハム　パウリィ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renishaw PLC
Original Assignee
Renishaw PLC
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH02284216A publication Critical patent/JPH02284216A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/30—Bars, blocks, or strips in which the distance between a pair of faces is fixed, although it may be preadjustable, e.g. end measure, feeler strip

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明はアナログプローブ較正方法と装置に関する。
［従来の技術１ 座標入力装置上で用いられる典型的なアナログ接触プロ
ーブは、スタイラスを有し、プローブが取り付けられた
装置のヘッドに対して３次元に移動する。トランスジュ
ーサはプローブ座標系を規定する３つの座標軸に沿って
プローブに対するスタイラスの変位を測定する。プロー
ブが取り付けられた装置が動作され、スタイラスが表面
と接触した場合、プローブ座標系内の表面の位置がトラ
ンスジューサを用いて測定される。典型的な装置は３つ
のトランスジューサを有し、装置座標系を規定する。ト
ランスジューサは装置のベツドに対するヘッドの３つの
座標軸に対する変位を測定する。装置座標系内の表面の
位置は、プローブ座標系のスタイラスの位置と、装置座
標系内のヘッドの位置とを合計することにより決定され
る。
【発明が解決しようとする課題ｌ しかし、正確に測定するには、プローブ座標系のスタイ
ラスの位置と、装置座標系内のヘッドの位置とを合計す
る際、装置座標系内のプローブ座標系の座標軸の正確な
方向を知ることが必要である。
本発明の目的は、装置座標系に対するプローブ座標系の
向きを決定するため、アナログプローブを較正するため
のデータを得る方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段１ 本発明の第１の態様は、アナログプローブを較正するた
めのデータを得るために座標入力装置を動作させる方法
と、ヘッドと、装置座標系内で前記ヘッドの位置を測定
する手段と、前記ヘッドに接続され、かつ、ヘッドに対
して移動するスタイラスを保持し、かつ、プローブ座標
系内でスタイラスの位置を測定する手段を有するアナロ
グプローブとを具備した装置が提供されており、装置座
標系内でスタイラスの測定チップの位置を固定するステ
ップと、その位置に前記測定チップを固定し、前記ヘッ
ドを多数の測定位置に移動させるステップと、前記それ
ぞれの測定位置で、装置座標系内のヘッドの座標位置と
、プローブ座標系内のスタイラスの座標位置を測定する
ステップとを具備したことを特徴とする。
本発明の第２の態様は、アナログプローブを較正するた
めのデータを得るために座標入力装置を動作させる方法
と、ヘッドと、装置座標系内で前記ヘッドの位置を測定
する手段と、前記ヘッドに接続され、かつ、ヘッドに対
して移動するスタイラスを保持し、かつ、プローブ座標
系内でスタイラスの位置を測定する手段を有するアナロ
グプローブとを具備した装置が提供されており、装置座
標系内の多数の測定位置の座標位置を測定するステップ
と、前記それぞれの測定位置にスタイラスの測定チップ
を位置させる間、装置座標系内の固定した位置に前記ヘ
ッドを保持するステップと、測定チップのそれぞれの位
置で、プローブ座標系内の測定チップの座標位置を測定
するステップと、 を具備したことを特徴とする。
本発明の第３の態様は、ベツドと、該ベツドに対して移
動させるために保持されたヘッドと、該ヘッドに接続さ
れ、かつ、前記ヘッドに対して許容範囲内を移動するた
めのスタイラスを保持し、かつ、プローブ座標系でのス
クイラスの位置を測定するための手段を有するアナログ
プローブと、１つの球体に対して少な（とも３つの測定
位置からなり、単一平面でのスタイラスの移動許容範囲
内になるようにそれぞれの測定位置が互いにある距離内
にある較正ブロックとを具備したことを特徴とする。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
アナログプローブ１０はスタイラス１２を保持し、座標
入力装置のヘッド１４に対して３次元に移動する。スタ
イラス１２は半球の測定チップを有し、この半球の測定
チップが測定動作中に表面と接触する。典型的なアナロ
グプローブは、同時係属中の出願であるＰＣＴ／ＧＢ８
９１０１１９７に開示されており、直交するように設け
た３つの直線ベアリングによりスタイラスを保持してい
る。それぞれのベアリングの変位は、図示しないトラン
スジューサにより測定されている。ベアリングの長平方
向は、プローブ座標系ＰＣ３の３つの座標軸の方向を規
定する。スタイラスは常に戻しばねにより静止位置に付
勢されている。トランスジューサはこの静止位置に零点
調整されている。プローブ座標系ＰＣ３の原点０′はス
タイラスの相対的な位置と、トランスジューサからの零
出力が出力された時のプローブの相対的な位置により規
定されている。演算が容易な方法によりスタイラスの位
置を測定するためのプローブ座標系が設定される。例え
ば、プローブ座標系ＰＣ３の原点Ｏ′は、ヘッド１４に
対して静的に規定することができる。すなわち、トラン
スジューサは概念的にはヘッド１４に対してスタイラス
１２の位置を測定することになる。一方、プローブ座標
系ＰＣ３の原点Ｏ′はスタイラス１２に対して静的に規
定することができる。すなわち、トランスジューサは概
念的にはスタイラス１２に対するヘト１４の位置を測定
することになる。これらは全く同一である。ヘッド１４
とスタイラス１２の相対的な位置を測定することは、暗
に一方が他方を基準にしたことになる。
３つの直線ベアリングが完全に直交しており、プローブ
座標系ＰＣ３の３つの軸が完全に直交しているとか理想
的である。しかし、実際には、このような場合は少なく
、直角度誤差があるものである。通常は、上述したよう
なアナログプローブを製造する者は、アナログプローブ
の直角度誤差に関する情報を得ているものである。一方
、プローブ座標軸の直角度は、プローブが使用される装
置上にマツピングされる誤差である。
座標人力装置のヘッド１４は、装置のベツド１８に対し
て３次元に移動するように保持されている。
ヘッド１４の変位は装置座標系ＭＣ３において、３つの
トランスジューサ（これは典型的なスケールと読み取り
ヘッドである）により測定されている。
装置座標系ｂ＋ｃｓの原点０の位置は任意であるが、通
常は、ベツド１８に設けられたデータ用球体の幾何学的
な中心である。異なる位置に原点を有する新しい装置座
標系は、例えば、トランスジューサの出力を零にリセッ
トすることにより、容易に設定することができる０表面
の位置測定は、装置を動作させ、スタイラス１２の測定
チップ１６を当該表面に接触させ、スタイラス１２が静
止位置から偏るまで駆動することにより行っている。装
置座標系ＭＣＳ内の表面の位置は、装置座標系ＭＣ３内
のヘッド１４の座標位置と、プローブ座標系ＰＣ８内の
スタイラス１２の座標位置を合計することにより決定さ
れる。しかし、プローブ座標系ＰＣ３の座標軸が必ずし
も装置座標系ＭＣ３の座標軸と平行でない場合は、この
合計値により測定値に誤差が生じることになる。測定は
ミクロン単位の精度で行われることが多いので、このよ
うな問題を避けるために、プローブ座標系の座標軸を装
置座標系の座標軸に正確に一致させることは極端に困難
である。
さらに、上述したように、プローブ軸の直角度は充分で
ないので、プローブ軸の直角度がエラーマツプされてい
ない場合でも１両者を正確に一致させることは困難であ
る。
このような問題点を解決し、装置座標系ＭＣＳ上でプロ
ーブ座標軸の方向を決定するには、装置座標系ＭＣ３の
座標軸ｘ、　ｙ、　ｚの単位ベクトルＩ　、Ｊ　、Ｋに
よってプローブ座標系ＰＣ３の座標軸Ｘ、　Ｙ、　Ｚの
単位ベクトルｉ　、ｊ　、ｋを表さなければならない。
第２図を参照して説明すると、プローブ座標系ＰＣ８の
スタイラスの位置は、プローブのトランスジューサによ
り測定されるように、位置ベクトルＯｎにより規定され
る。ただし、 （Ｊｎ＝Ｌｉ＋ｇａＪ＋ｈ１１ｋ ｆ、、、ｇ、、、ｈ、はプローブ座標系ｐｃｓで、プロ
ーブトランスジューサにより測定された場合のスタイラ
ス位置のＸ、Ｙ、Ｚ座標である。
装置座標系ＭＣ３上のプローブ座標系ＰＣ３の原点０′
の位置は、位置ベクトルＶＴにより規定される。この位
置ベクトルｖＴによりプローブ座標系ＰＣ３の原点Ｏ′
は装置座標系ＭＣ３の原点０に変換される。ただし、 Ｖｒ　＝　Ｆｄ＋ＧｔＪ＋ＨｒＫ Ｆア、　ＧＴ、　Ｈｔは装置座標系ＭＣＳでの原点の位
置のｘ、　ｙ、　ｚ座標である。
装置座標系ＭＣＳのスタイラス１２の位置は位置ベクト
ルｖｆｉで与えられる。ただし、 Ｖｎ＝Ｆｎ　Ｉ＋Ｇｌ、Ｊ＋Ｈｎ　Ｋ ＦＴ、　Ｇア、Ｈｔは装置座標系ＭＣ３のスタイラス１
２のｘ、ｙ、ｚ座標である。このように、装置座標系Ｍ
ＣＳの任意の位置は、プローブ座標系の位置ベクトルＵ
、、と並進ベクトル７丁によって表すことができる。
Ｖｎ”　　ＬＩｎ＋　　ＶＴ これらのベクトルをそれぞれ要素で表すと、Ｆｎ　Ｉ＋
Ｇｎ　Ｊ＋ＨＪ＝（ｆ＋＋　ｔ＋ｇｎ　ｊ＋ｈｎｋ）＋
（ＦＴ　Ｉ＋ＧＴＪ＋ＨＴＫ）後述するが、プローブ座
標系ＰＣ３を装置座標系ＭＣ３に静止させている間に、
Ｆｌ、、Ｇ、１．ＨｌｌとｆＩ１９ｇｎ、ｈｌｌの対応
する値を測定することは可能である（従ってベクトルＶ
アは摂動されない）。
上記の式は６つの未知数、すなわちり、Ｊ＋　ｋ＋Ｆｔ
、　Ｇｙ、　Ｈｔがあるが、これらは３×３マトリック
ス式で表わすことができる６つの連立方程式を用いて消
去することができる。
すなわち、 ＾＋　Ｘ　Ｐ　＝Ｂ＋　Ｘ　Ｍ　−Ｔ　Ｘ　Ｍ・・・（
１） すなわち、 ＾ｓ　Ｘ　Ｐ　＝　Ｂ　＠　Ｘ　Ｍ　−Ｔ　Ｘ　Ｍ式（
２）を書き直すと、 Ｔ　＝［ＢｉＸＭ　］　　　［Ａ２ＸＰ　］　ＸＭ−’
式（１）に代入すると、 ・・・（２） Ａ　　ｘＰ　　＝ｅｌｘＭ　　−Ｂ２ＸＭ　　＋Ａ２Ｘ
ＰＰ　　　［Ａ　＋　−Ａｚ］　　＝　ｈ！　　　［Ｂ
　＋　　　Ｂｘコよって、 Ｍ　＝Ｐ　ＸＲ ここで、Ｒはプローブ座標系ＰＣ３を回転して装置座標
系ＭＣ３にする回転マトリックスである。
Ｒ＝　［Ａ＋　　Ａ−］　　［Ｂ、Ｂｉ］　−’つぎに
、上述した較正に使用されるデータを発生するための測
定動作を第１図を参照して説明する。
装置のヘッド１４は駆動され、スタイラス１２の測定チ
ップ１６を測定ブロック２２上の動的位置２０に係合さ
せる。動的位置２０は典型的には球体２４が測定ブロッ
ク２２の表面に嵌め込まれ、かつ、正三角形の頂点に配
置されている。測定ブロック２２は複数の面（それぞれ
動的位置を保持する）を有するのが好ましい。複数の面
は装置座標系ＭＣ３上で異なる方向を向いている。この
ため測定チップ１６はスタイラス１２が延びている方向
とは無関係に動的位置と係合することができる。
動的位置で測定チップ１６が係合すると、装置座標系Ｍ
Ｃ３内のスタイラス１２の位置が固定される。
装置座標系ＭＣ３内でスタイラス１２の測定チップ１６
が固定されると、ヘッド１４は装置座標系ＭＣ３内の６
つの異なる位置に移動される。これらの位置のそれぞれ
では、装置座標系ＭＣ３内のヘッド１４の位置が測定さ
れ、プローブ座標系ＰＣ３内のスタイラス１２の位置が
測定される。上述したように、測定中は、プローブ座標
系ＰＣ３を装置座標系ＭＣ８内に固定するのが望ましい
。というのは、こうすることにより、並進ベクトル■工
は摂動しないからである。したがって、本実施例では、
プローブ座標系ＰＣ３の原点０°は、スタイラス１２に
対して静的に規定される。プローブのトランスジューサ
は、概念的には、スタイラス１２に対するヘッド１４の
位置を測定する。上述したように、このことは逆の状態
でも全（同一である。すなわち、プローブ座標系ＰＣ８
の原点はヘッド１４に対して静的に規定され、トランス
ジューサは概念的にヘッド１４に対するスタイラス１２
の位置を測定する。
上述したデータ収集動作により［Ｆ、、　Ｇ、、　Ｈ１
］〜［Ｆ６．　Ｇ６．　Ｈａ］の６組の装置座標が得ら
れ、それぞれの座標は装置座標系内のヘッドの位置を与
える。［ｆ＋１ｇ＋、　ｈ＋］〜［ｆｓ２ｇａ、　ｈｓ
］の６組のプローブ座標は、それぞれプローブ座標系内
のヘッドの位置を与える。
プローブ座標系の座標軸と装置座標系の座１票軸とが極
端に不一致ではなく、ヘッドを任意の位置に駆動するサ
ーボシステムは充分に正確な場合は、上述した式（１）
　、　　（２）から並進ベクトル７丁を効果的に消去す
ることが可能である。これはヘッド１４（スタイラスの
測定チップ１６の位置を装置座標系に静的に固定して）
をプローブトランスジューサの出力が零になる位置に駆
動することにより行なわれる。すなわち、スタイラスが
プローブ座標系の原点（すなわち、この特別な場合、ヘ
ッドがプローブ座標系の原点にある。というのは、プロ
ーブ座標系ＰＣ３の原点０°がスタイラスに対して静的
に規定されているからである。）。
ヘッド１４がこの位置にあると、原点がプローブ座標系
ＰＣ３の原点と正確に一致する新しい装置座標系を設定
することができる。従って、式（１）。
（２）から並進ベクトル■アを消去することができる）
。一方、新たな装置座標系を避けるには、装置座標系内
のプローブ座標系の原点０°の位置を単に式（１）に代
入すれば良い。装置座標系内のプローブ座標系の原点０
°の位置を測定して、（式（１）　、　（２）を解くに
充分なデータを収集するために、）ヘッドを駆動しなけ
ればならない位置の数をスタイラスの測定チップに対し
て３つの異なる位置の数に減少する。原点０′を測定す
るためにヘッドが駆動される位置は含まない。
必要な較正データを得る別の方法（より好ましくないが
）を実施するため、座標入力装置がスタイラス１２の測
定チップ１６のための測定位置を有し、座標人力装置の
ベツドの上に較正ブロックを有する。このようなブロッ
クを第３図に示す。この測定位置４０は６つの球体から
なり、６つの球体は６角形を形作るようにぎっしりと詰
め込まれ、較正ブロック４４の表面に埋め込まれている
。このような測定位置ポイントは近接する６つの動的測
定位置り、−Ｌ、を有する。測定位置し１〜Ｌ６は任意
の平面内で、全て、スタイラス１２の測定チップ１６が
、プローブを移動させることなく各測定位置に係合する
ことができるように互いに近接していなければならない
。測定位置が球体を用いて作成されるのは本質的ではな
い。３つの平面が互いに１点に集まる例であれば充分で
ある。測定位置の他の例としては多数の円錐形の凹部で
あっても良い。
この第２の方法により較正データを得るため、まず、装
置座標系内の測定位置し１〜Ｌ６の位置が、例えば、す
でに較正されたプローブを用いて測定される。ついで、
装置のヘッド１４を駆動し、スタイラス１２の測定チッ
プ１６を、測定位置ポイント４０で与えられる６つの動
的測定位置の１つに係合させる。ついで、装置座標系内
のヘッド１４の位置が固定される。そして、スタイラス
１２の測定チップ１６が動的測定位置し１〜Ｌ６に順に
移動される。したがって、装置座標系で測定された場合
、空間に６つのポイント（［Ｆ、、　ａ＋、　Ｈ，］〜
［Ｆｓ、　Ｇａ、　）！ａ］で与えられる）の位置を得
ることになる。また、プローブ座標系で測定された場合
、同様に６つのポイント（［ｆ＋、　ｇ＋＋　ｈ＋］〜
［ｆｓ９ｇｓ、　ｈｓ］で与えられる）の位置を得るこ
とになる。本実施例ではヘッド１４が装置座標系内で静
的であるので、プローブ座標形の原点０°はヘッド１４
に対して静的に規定され、したがって、トランスジュー
サは概念的にヘッド１４に対するスタイラスの位置を測
定することになる０本実施例では、スタイラスが移動し
なければならない測定位置の数を並進ベクトルｖＴを測
定することにより、３つに減らすことができる。これは
ブローブトランスジェーサが零になる位置まで、ヘッド
１４を駆動することにより行なわれる。例えば、スタイ
ラス１２がプローブ座標系の原点に位置する場合、測定
チップ１６は動的測定位置し、〜Ｌ６内の最初の動的測
定位置と係合する。
ついで、ヘッド１４は残る３つを測定する間、この位置
に位置することになる。
［Ｆ、、、　ｇ、、、　ｈｎ］と［Ｆ、、　Ｇ、、、　
Ｈ，、］の測定値はコンピュータに人力される。そして
、コンピュータは回転マトリックスＲを決定し、それを
ストアする。ついで、プローブ座標系ＰＣ３のスタイラ
ス１２の座標位置は、コンピュータに（必要な場合は、
アナログ−ディジタル変換器により量子化した後）入力
される。そして、コンビ二一夕は装置座標系の座標位置
を出力する。
上述したように、プローブ座標系の座標軸は、プローブ
の物理的構造により規定される。（製造上誤差があるた
め）プローブ座標系の座標軸は、正確に直交しているこ
とはない。しかし、この場合、並進ベクトルｖＴがプロ
ーブ座標系の゛原点を測定することにより式から消去さ
れる。そして、必要な測定点（ヘッド１４の位置かある
いは測定チップ１６のいずれか）の数はわずか２つであ
り、並進ベクトルＶアを消去するのに必要な測定を含ま
ない。これはプローブ座標系の座標軸が完全に直交して
いる場合は、プローブ座標系の単位ベクトルの間に次の
関係を有するからである。
Ｘｊ−ｋ ［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、上記のように構
成したので、プローブ座標系の座標軸の正確な方向を知
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明を実施する際に用いるアナログプローブ
を示す図、 第２図はアナログプローブを取り付けた座標入力装置を
説明するための説明図、 第３図は本発明第３実施例に係る較正ブロックを示す平
面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）アナログプローブを較正するためのデータを得るた
    めに、座標入力装置を動作させる方法と、 ヘッドと、装置座標系内で前記ヘッドの位置を測定する
    手段と、前記ヘッドに接続され、かつ、ヘッドに対して
    移動するスタイラスを保持し、かつ、プローブ座標系内
    でスタイラスの位置を測定する手段を有するアナログプ
    ローブとを備えた装置において、 装置座標系内でスタイラスの測定チップの位置を固定す
    るステップと、 前記測定チップの位置を固定し、前記ヘッドを多数の測
    定位置に移動させるステップと、 前記それぞれの測定位置で、装置座標系内のヘッドの座
    標位置と、プローブ座標系内のスタイラスの座標位置を
    測定するステップと を具備したことを特徴とする方法。 ２）請求項１において、スタイラスの測定チップの位置
    を装置座標系内に固定し、スタイラスがプローブ座標系
    では原点に位置する前記装置座標系内の測定位置に前記
    ヘッドを移動させるステップと、 装置座標系内のヘッドの座標位置を測定するステップと
    、 前記装置座標系をその原点として有する新しい装置座標
    系を設定するステップと を具備したことを特徴とする方法。 ３）請求項１において、スタイラスの測定チップの位置
    を装置座標系内に固定し、スタイラスがプローブ座標系
    では原点に位置する前記装置座標系内の測定位置に前記
    ヘッドを移動させるステップと、 装置座標系内のヘッドの座標位置を測定するステップと プローブ座標系の原点を装置座標系の原点に変換するた
    めの並進ベクトルＶ＿Ｔを決定するステップと を具備したことを特徴とする方法。 ４）請求項２において、プローブ座標系の座標軸は直交
    しており、ヘッドを移動させる測定位置の数が３つであ
    ることを特徴とする方法。 ５）請求項２において、プローブ座標系の座標軸は直交
    しておらず、ヘッドを移動させる測定位置の数が４つで
    あることを特徴とする方法。 ６）請求項３において、プローブ座標系の座標軸は直交
    しており、ヘッドを移動させる測定位置の数は３つであ
    ることを特徴とする方法。 ７）請求項３において、プローブ座標系の座標軸は直交
    しておらず、ヘッドを移動させる測定位置の数が４つで
    あることを特徴とする方法。 ８）請求項１において、プローブ座標系の座標軸は直交
    しておらず、ヘッドを移動させる測定位置の数が６つで
    あることを特徴とする方法。 ９）アナログプローブを較正するためのデータを得るた
    めに、座標入力装置を動作させる方法と、 ヘッドと、装置座標系内で前記ヘッドの位置を測定する
    手段と、前記ヘッドに接続され、かつ、ヘッドに対して
    移動するスタイラスを保持し、かつ、プローブ座標系内
    でスタイラスの位置を測定する手段を有するアナログプ
    ローブと具備した装置において、 装置座標系内の多数の測定位置の座標位置を測定するス
    テップと、 前記それぞれの測定位置にスタイラスの測定チップを位
    置させるステップと、 前記それぞれの測定位置にスタイラスの測定チップを位
    置させている間、装置座標系内の固定した位置に前記ヘ
    ッドを保持するステップと、測定チップのそれぞれの位
    置で、プローブ座標系内の測定チップの座標位置を測定
    するステップと を具備したことを特徴とする方法。 １０）請求項９において、スタイラスの測定チップを第
    １の測定位置に位置させ、スタイラスがプローブ座標系
    では原点に位置する装置座標系内の測定位置に前記装置
    の前記ヘッドを移動させるステップと、 装置座標系の前記測定位置でのヘッドの座標位置を測定
    するステップと、 前記装置座標系を原点として有する新しい装置座標系を
    設定するステップと を具備したことを特徴とする方法。 １１）請求項９において、スタイラスがプローブ座標系
    では原点に位置する装置座標系内の測定位置に前記装置
    の前記ヘッドを移動させるステップと、 装置座標系の前記測定位置でのヘッドの座標位置を測定
    するステップと、 プローブ座標系の原点を装置座標系の原点に並進させる
    ための並進ベクトルを決定するステップと を具備したことを特徴とする方法。 １２）請求項１０において、プローブ座標系の座標軸は
    直交しており、ヘッドを移動させる測定位置の数が３つ
    であることを特徴とする方法。 １３）請求項１０において、プローブ座標系の座標軸が
    直交しておらず、ヘッドを移動させる測定位置の数が４
    つであることを特徴とする方法。 １４）請求項１１において、プローブ座標系の座標軸は
    直交しており、ヘッドを移動させる測定位置の数が３つ
    であることを特徴とする方法。 １５）請求項１１において、プローブ座標系の座標軸が
    直交しておらず、ヘッドを移動させる測定位置の数が４
    つであることを特徴とする方法。 １６）請求項９において、プローブ座標系の座標軸が直
    交しておらず、ヘッドを移動させる測定位置の数が６つ
    であることを特徴とする方法。 １７）ベッドと、 該ベッドに対して移動させるために保持されたヘッドと
    、 該ヘッドに接続され、かつ、前記ヘッドに対して許容範
    囲内を移動するためのスタイラスを保持し、かつ、プロ
    ーブ座標系でのスタイラスの位置を測定するための手段
    を有するアナログプローブと、 １つの球体に対して少なくとも３つの測定位置からなり
    、単一平面でのスタイラスの移動許容範囲になるように
    それぞれの測定位置が互いにある距離内にある較正ブロ
    ックと を具備したことを特徴とする装置。 １８）請求項１７において、それぞれの測定位置は３つ
    の互いに集中した面からなることを特徴とする装置。 １９）請求項１７において、それぞれの測定位置は円錐
    形の凹部からなることを特徴とする装 置。
JP2067395A 1989-03-18 1990-03-19 アナログプローブ較正方法と装置 Pending JPH02284216A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US8906287.1 1989-03-18
GB898906287A GB8906287D0 (en) 1989-03-18 1989-03-18 Probe calibration

Publications (1)

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JPH02284216A true JPH02284216A (ja) 1990-11-21

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ID=10653614

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