JP3462180B2 - 検査用マスタブロック及びその製造方法 - Google Patents
検査用マスタブロック及びその製造方法Info
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- JP3462180B2 JP3462180B2 JP2001028999A JP2001028999A JP3462180B2 JP 3462180 B2 JP3462180 B2 JP 3462180B2 JP 2001028999 A JP2001028999 A JP 2001028999A JP 2001028999 A JP2001028999 A JP 2001028999A JP 3462180 B2 JP3462180 B2 JP 3462180B2
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- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、３次元測定機等の
測定機の精度検査や校正を行うために用いられる、検査
用マスタブロックに関する。
測定機の精度検査や校正を行うために用いられる、検査
用マスタブロックに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、自動車用のエンジンや変速機のケ
ース類のような機械部品類の寸法測定には、測定テーブ
ル（ベッド）上にセッティングした被測定物に対してプ
ローブ（測定子）の先端を接触させて測定を行うように
した、３次元測定機等の測定機が広く用いられている。
この種の測定機は、測定精度を維持するために、高精度
に仕上げられた測定マスタを用いて、定期的に精度の検
査や測定誤差の校正が行われている。
ース類のような機械部品類の寸法測定には、測定テーブ
ル（ベッド）上にセッティングした被測定物に対してプ
ローブ（測定子）の先端を接触させて測定を行うように
した、３次元測定機等の測定機が広く用いられている。
この種の測定機は、測定精度を維持するために、高精度
に仕上げられた測定マスタを用いて、定期的に精度の検
査や測定誤差の校正が行われている。
【０００３】測定マスタは、測定機のプローブが接触す
る基準測定面を備えており、測定機による前記基準測定
面の実測データを基準値と比較することにより、測定機
の精度を検査したり校正を行うことに用いられている。
る基準測定面を備えており、測定機による前記基準測定
面の実測データを基準値と比較することにより、測定機
の精度を検査したり校正を行うことに用いられている。
【０００４】従来提案されているこの種の測定マスタと
しては、例えば、特開平１１−４４５２７号公報中に記
載されている測定マスタがあり、これは、鋳鉄製の外形
が立方体をなす中空の箱体の上面と側面の一方、および
前面の各４隅にそれぞれ基準孔部材が取り付けられてい
る。
しては、例えば、特開平１１−４４５２７号公報中に記
載されている測定マスタがあり、これは、鋳鉄製の外形
が立方体をなす中空の箱体の上面と側面の一方、および
前面の各４隅にそれぞれ基準孔部材が取り付けられてい
る。
【０００５】これらの基準孔部材は、一端にフランジを
備えた円筒形をなし、前記フランジによって箱体にボル
ト止めされており、また、円筒部の内面が精密に仕上げ
られた円孔をなし、測定のための基準孔とされている。
備えた円筒形をなし、前記フランジによって箱体にボル
ト止めされており、また、円筒部の内面が精密に仕上げ
られた円孔をなし、測定のための基準孔とされている。
【０００６】また、特開平４−１６０３０１号公報に記
載されているマスター測定装置においては、低膨張材か
らなる立方体形状あるいは直方体形状の中空の支持ブロ
ックの外側に、線膨張係数が略０値のガラス材料から形
成された棒体を井桁状に組んで固定し、これらの棒体の
両端面を基準測定面としており、また、支持ブロックの
頂面に少なくとも３つの座標基準設定用のガラス材料等
で形成されたボールが取り付けられている。
載されているマスター測定装置においては、低膨張材か
らなる立方体形状あるいは直方体形状の中空の支持ブロ
ックの外側に、線膨張係数が略０値のガラス材料から形
成された棒体を井桁状に組んで固定し、これらの棒体の
両端面を基準測定面としており、また、支持ブロックの
頂面に少なくとも３つの座標基準設定用のガラス材料等
で形成されたボールが取り付けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前述した特開平１１−
４４５２７号公報中に記載されている測定マスタは、基
準孔部材が鋳鉄製の中空の箱体に取り付けられているた
め、鋳鉄製の箱体部分が周囲の温度変化によって膨脹あ
るいは収縮すると、基準孔部材間の相互の間隔や角度が
微妙に変化して検査精度に影響を及ぼす恐れがあった。
４４５２７号公報中に記載されている測定マスタは、基
準孔部材が鋳鉄製の中空の箱体に取り付けられているた
め、鋳鉄製の箱体部分が周囲の温度変化によって膨脹あ
るいは収縮すると、基準孔部材間の相互の間隔や角度が
微妙に変化して検査精度に影響を及ぼす恐れがあった。
【０００８】また、特開平４−１６０３０１号公報に記
載されているマスター測定装置においては、両端面を基
準測定面とした棒体や座標基準設定用のボールに線膨張
係数が略０値のガラス材料を使用することにより、周囲
の温度変化による棒体やボール自体の膨脹収縮を極力抑
えて検査精度の向上を図っている。
載されているマスター測定装置においては、両端面を基
準測定面とした棒体や座標基準設定用のボールに線膨張
係数が略０値のガラス材料を使用することにより、周囲
の温度変化による棒体やボール自体の膨脹収縮を極力抑
えて検査精度の向上を図っている。
【０００９】しかしながら、これらの棒体やボールが鋳
鉄製の箱体に支持されているため、箱体の温度変化によ
る各部寸法の変化や形状の狂いが検査精度に影響を与え
る恐れがあり、また、構造が複雑で製造コストが高くな
る問題があった。
鉄製の箱体に支持されているため、箱体の温度変化によ
る各部寸法の変化や形状の狂いが検査精度に影響を与え
る恐れがあり、また、構造が複雑で製造コストが高くな
る問題があった。
【００１０】そこで、本発明は、前述したような従来技
術の問題を解決し、周囲の温度変化による影響を極力除
去して高い検査精度を得ることができる検査用マスタブ
ロック及びその製造方法を提供することを目的とする。
術の問題を解決し、周囲の温度変化による影響を極力除
去して高い検査精度を得ることができる検査用マスタブ
ロック及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の検査用マスタブロックの第１のものは、少
なくとも上面と４つの側面が石英ガラスまたは単結晶石
英の矩形板で構成されている中空直方体状のブロック本
体と、前記ブロック本体の上面と側面に形成された複数
の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機のプローブ先
端を接触させる基準測定面を有する複数の基準部材とを
備えている。なお、本明細書中に記載している「矩形」
という用語は「正方形」を含み、また「直方体」という
用語は「立方体」を含むものとする。
め、本発明の検査用マスタブロックの第１のものは、少
なくとも上面と４つの側面が石英ガラスまたは単結晶石
英の矩形板で構成されている中空直方体状のブロック本
体と、前記ブロック本体の上面と側面に形成された複数
の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機のプローブ先
端を接触させる基準測定面を有する複数の基準部材とを
備えている。なお、本明細書中に記載している「矩形」
という用語は「正方形」を含み、また「直方体」という
用語は「立方体」を含むものとする。
【００１２】また、本発明の検査用マスタブロックの第
２のものは、側面が石英ガラスまたは単結晶石英の円筒
管で構成されているとともに、少なくとも上面が石英ガ
ラスまたは単結晶石英の円板で構成されている中空円筒
状のブロック本体と、前記ブロック本体の上面と側面に
形成された複数の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定
機のプローブ先端を接触させる基準測定面を有する複数
の基準部材とを備えている。
２のものは、側面が石英ガラスまたは単結晶石英の円筒
管で構成されているとともに、少なくとも上面が石英ガ
ラスまたは単結晶石英の円板で構成されている中空円筒
状のブロック本体と、前記ブロック本体の上面と側面に
形成された複数の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定
機のプローブ先端を接触させる基準測定面を有する複数
の基準部材とを備えている。
【００１３】また、本発明の検査用マスタブロックの第
３のものは、少なくとも上面と側面を有し、石英ガラス
または単結晶石英の単一の塊から削り出して製作された
ブロック本体と、前記ブロック本体の上面と側面に形成
された複数の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機の
プローブ先端を接触させる基準測定面を有する複数の基
準部材とを備えている。
３のものは、少なくとも上面と側面を有し、石英ガラス
または単結晶石英の単一の塊から削り出して製作された
ブロック本体と、前記ブロック本体の上面と側面に形成
された複数の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機の
プローブ先端を接触させる基準測定面を有する複数の基
準部材とを備えている。
【００１４】前記検査用マスタブロックの第１乃至第３
のものにおいては、表面を基準測定面としたセラミック
ボールと前記セラミックボールを保持してブロック本体
の取付孔に嵌挿固定されるブッシュから構成された基準
部材を用いることができる。
のものにおいては、表面を基準測定面としたセラミック
ボールと前記セラミックボールを保持してブロック本体
の取付孔に嵌挿固定されるブッシュから構成された基準
部材を用いることができる。
【００１５】また、本発明の検査用マスタブロックの製
造方法の第１のものは、石英ガラスまたは単結晶石英か
らなる矩形板の所定位置に取付孔を加工する第１の工程
と、前記工程で取付孔を加工した矩形板が、４つの側面
の少なくとも一面と上面に配置されるように、複数の石
英ガラスまたは単結晶石英の矩形板どうしを接合して中
空直方体状のブロック本体の少なくとも上面と４つの側
面とを形成する第２の工程と、第２の工程の後、それぞ
れの取付孔に測定機のプローブ先端を接触させる基準部
材を嵌挿固定する第３の工程からなる。
造方法の第１のものは、石英ガラスまたは単結晶石英か
らなる矩形板の所定位置に取付孔を加工する第１の工程
と、前記工程で取付孔を加工した矩形板が、４つの側面
の少なくとも一面と上面に配置されるように、複数の石
英ガラスまたは単結晶石英の矩形板どうしを接合して中
空直方体状のブロック本体の少なくとも上面と４つの側
面とを形成する第２の工程と、第２の工程の後、それぞ
れの取付孔に測定機のプローブ先端を接触させる基準部
材を嵌挿固定する第３の工程からなる。
【００１６】また、本発明の検査用マスタブロックの製
造方法の第２のものは、石英ガラスまたは単結晶石英の
円板と石英ガラスまたは単結晶石英の円筒管のそれぞれ
の所定位置に取付孔を加工する第１の工程と、少なくと
も前記工程で取付孔を加工した円板を、前記円筒管上面
に接合して中空円筒状のブロック本体を形成する第２の
工程と、第２の工程の後、それぞれの取付孔に測定機の
プローブ先端を接触させる基準部材を嵌挿固定する第３
の工程からなる。
造方法の第２のものは、石英ガラスまたは単結晶石英の
円板と石英ガラスまたは単結晶石英の円筒管のそれぞれ
の所定位置に取付孔を加工する第１の工程と、少なくと
も前記工程で取付孔を加工した円板を、前記円筒管上面
に接合して中空円筒状のブロック本体を形成する第２の
工程と、第２の工程の後、それぞれの取付孔に測定機の
プローブ先端を接触させる基準部材を嵌挿固定する第３
の工程からなる。
【００１７】さらに、本発明の検査用マスタブロックの
製造方法の第３のものは、石英ガラスまたは単結晶石英
の単一の塊から少なくとも上面と側面を有するブロック
本体を削り出す第１の工程と、第１の工程で形成したブ
ロック本体の上面と側面のそれぞれの所定位置に取付孔
を加工する第２の工程と、第２の工程の後、それぞれの
取付孔に測定機のプローブ先端を接触させる基準部材を
嵌挿固定する第３の工程からなる。
製造方法の第３のものは、石英ガラスまたは単結晶石英
の単一の塊から少なくとも上面と側面を有するブロック
本体を削り出す第１の工程と、第１の工程で形成したブ
ロック本体の上面と側面のそれぞれの所定位置に取付孔
を加工する第２の工程と、第２の工程の後、それぞれの
取付孔に測定機のプローブ先端を接触させる基準部材を
嵌挿固定する第３の工程からなる。
【００１８】前記検査用マスタブロックの製造方法の第
１乃至第３のものにおいては、第３の工程後にそれぞれ
の基準部材に測定機のプローブ先端を接触させる基準測
定面を仕上げ加工することができる。
１乃至第３のものにおいては、第３の工程後にそれぞれ
の基準部材に測定機のプローブ先端を接触させる基準測
定面を仕上げ加工することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の検査用マスタブロック
（以下、単にマスタブロックという。）は、石英ガラス
または単結晶石英製のブロック本体に、不変鋼のような
熱膨張係数の小さい材料で形成された複数の基準部材を
取り付けて、これらの基準部材に測定機のプローブを接
触させる基準測定面を形成している。
（以下、単にマスタブロックという。）は、石英ガラス
または単結晶石英製のブロック本体に、不変鋼のような
熱膨張係数の小さい材料で形成された複数の基準部材を
取り付けて、これらの基準部材に測定機のプローブを接
触させる基準測定面を形成している。
【００２０】ブロック本体は、少なくとも上面と４つの
側面に石英ガラスまたは単結晶石英製の矩形板を用い、
これらの板を接合して中空直方体状に形成したり、ある
いは側面と少なくとも上面にそれぞれ石英ガラスまたは
単結晶石英製の円筒管と円板を用い、これらの円筒管と
円板を接合して中空円筒状に形成することができる。な
お、矩形板どうしや、円板と円筒管どうしの接合には、
市販の瞬間接着剤が好適である。
側面に石英ガラスまたは単結晶石英製の矩形板を用い、
これらの板を接合して中空直方体状に形成したり、ある
いは側面と少なくとも上面にそれぞれ石英ガラスまたは
単結晶石英製の円筒管と円板を用い、これらの円筒管と
円板を接合して中空円筒状に形成することができる。な
お、矩形板どうしや、円板と円筒管どうしの接合には、
市販の瞬間接着剤が好適である。
【００２１】また、それぞれの基準部材は、ブロック本
体を組み立てる前にあらかじめジグボーラ等の加工機に
よって矩形板や円板、円筒管の所定位置に加工された取
付孔に嵌挿固定される。
体を組み立てる前にあらかじめジグボーラ等の加工機に
よって矩形板や円板、円筒管の所定位置に加工された取
付孔に嵌挿固定される。
【００２２】また、ブロック本体は、石英ガラスや単結
晶石英の単一の塊からダイヤモンド工具等を用いて直方
体状や円筒状に削り出して製作することもできる。ブロ
ック本体の外形が削り出された後、ブロック本体の上面
と側面には、基準部材を嵌挿固定するための取付孔がジ
グボーラ等の加工機によって形成される。なお、単一の
材料から削り出されるブロック本体は、その重量を軽減
するために、底面が開口された空洞部を有する中空状に
することが望ましい。
晶石英の単一の塊からダイヤモンド工具等を用いて直方
体状や円筒状に削り出して製作することもできる。ブロ
ック本体の外形が削り出された後、ブロック本体の上面
と側面には、基準部材を嵌挿固定するための取付孔がジ
グボーラ等の加工機によって形成される。なお、単一の
材料から削り出されるブロック本体は、その重量を軽減
するために、底面が開口された空洞部を有する中空状に
することが望ましい。
【００２３】一方、基準部材は、ブロック本体に対して
ねじ等の固定手段によって固定することができるが、こ
の際、基準部材の固定位置がずれないように、取付孔周
縁部と基準部材間に接着剤を塗布して取付孔に対して基
準部材を接着しておくことが望ましい。また、基準部材
はねじ等の固定手段を用いずに、接着剤のみでブロック
本体の取付孔に固定するようにしてもよい。
ねじ等の固定手段によって固定することができるが、こ
の際、基準部材の固定位置がずれないように、取付孔周
縁部と基準部材間に接着剤を塗布して取付孔に対して基
準部材を接着しておくことが望ましい。また、基準部材
はねじ等の固定手段を用いずに、接着剤のみでブロック
本体の取付孔に固定するようにしてもよい。
【００２４】また、基準部材はブロック本体に固定した
後に基準測定面を仕上げ加工することで、基準測定面の
取付角度や取付位置の精度を高めることができる。な
お、基準部材は、高精度に仕上げられたセラミックボー
ルの表面を基準測定面として構成してもよい。
後に基準測定面を仕上げ加工することで、基準測定面の
取付角度や取付位置の精度を高めることができる。な
お、基準部材は、高精度に仕上げられたセラミックボー
ルの表面を基準測定面として構成してもよい。
【００２５】石英ガラスや単結晶石英素材は、熱膨張係
数が非常に小さいため、ブロック本体に取り付けられた
それぞれの基準部材の基準測定面間の間隔や各基準測定
面の向きは、周囲の温度変化の影響をほとんど受けるこ
となく、高い精度が維持される。
数が非常に小さいため、ブロック本体に取り付けられた
それぞれの基準部材の基準測定面間の間隔や各基準測定
面の向きは、周囲の温度変化の影響をほとんど受けるこ
となく、高い精度が維持される。
【００２６】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明のマスタブロックの第１実施例を
示すもので、この実施例におけるマスタブロック１は、
３次元測定機２の測定テーブル３上に載置される治具パ
レット４に固定されて、その精度の検査や校正に用いら
れるものである。
する。図１は、本発明のマスタブロックの第１実施例を
示すもので、この実施例におけるマスタブロック１は、
３次元測定機２の測定テーブル３上に載置される治具パ
レット４に固定されて、その精度の検査や校正に用いら
れるものである。
【００２７】３次元測定機２は、測定テーブル３の両側
に同図に示すＸ方向にスライド自在に支持された門型の
可動フレーム５と、前記可動フレーム５にスライド自在
に支持されて前記Ｘ方向と直角なＹ方向にスライド自在
なヘッド部６と、前記ヘッド部６に対し、上下方向すな
わち同図Ｚ方向に上下動自在に支持された昇降軸７とを
有し、昇降軸７の下端に固定されたプローブ８を３次元
方向に移動位置決めできるようになっている。
に同図に示すＸ方向にスライド自在に支持された門型の
可動フレーム５と、前記可動フレーム５にスライド自在
に支持されて前記Ｘ方向と直角なＹ方向にスライド自在
なヘッド部６と、前記ヘッド部６に対し、上下方向すな
わち同図Ｚ方向に上下動自在に支持された昇降軸７とを
有し、昇降軸７の下端に固定されたプローブ８を３次元
方向に移動位置決めできるようになっている。
【００２８】前記プローブ８の先端部は、人造ルビーや
セラミックス等の硬質で耐摩耗性のある素材で高精度の
球状に形成されており、通常の測定作業においては３次
元測定機２は測定テーブル３上に載せられたエンジンブ
ロック等のワークの仕上げ面にプローブ８の先端部を接
触させて、前記プローブ８の基準位置からの変位を測定
し、ワークが規定通りの寸法に仕上げられているかどう
かを検査する。
セラミックス等の硬質で耐摩耗性のある素材で高精度の
球状に形成されており、通常の測定作業においては３次
元測定機２は測定テーブル３上に載せられたエンジンブ
ロック等のワークの仕上げ面にプローブ８の先端部を接
触させて、前記プローブ８の基準位置からの変位を測定
し、ワークが規定通りの寸法に仕上げられているかどう
かを検査する。
【００２９】一方、３次元測定機２自体の精度検査を行
う場合には、ワークの代わりにマスタブロック１に設け
られた不変鋼製の基準部材９の基準測定面に、プローブ
８先端を接触させて、例えば、マスタブロック１に設け
られた２つの基準部材９の基準測定面間の距離を実測し
て基準値と比較し、実測値と基準値との誤差を調べ、ま
た、前記実測誤差に基づいて３次元測定機の校正を行
う。
う場合には、ワークの代わりにマスタブロック１に設け
られた不変鋼製の基準部材９の基準測定面に、プローブ
８先端を接触させて、例えば、マスタブロック１に設け
られた２つの基準部材９の基準測定面間の距離を実測し
て基準値と比較し、実測値と基準値との誤差を調べ、ま
た、前記実測誤差に基づいて３次元測定機の校正を行
う。
【００３０】図２に示すように、マスタブロック１は略
立方体状のブロック本体１Ａと、その上面及び側面にそ
れぞれ取り付けられた基準部材９から構成されている。
前記ブロック本体１Ａは、それぞれ略正方形に形成され
た石英ガラス製の上板１０、側板１１、及び、底板１２
を接着剤（市販の瞬間接着剤等）で張り合わせることに
よって構成されている。
立方体状のブロック本体１Ａと、その上面及び側面にそ
れぞれ取り付けられた基準部材９から構成されている。
前記ブロック本体１Ａは、それぞれ略正方形に形成され
た石英ガラス製の上板１０、側板１１、及び、底板１２
を接着剤（市販の瞬間接着剤等）で張り合わせることに
よって構成されている。
【００３１】図３は、マスタブロック１の分解斜視図で
あって、上板１０と４つの側板１１には、それぞれの四
隅近傍に基準部材９を取り付けるための取付孔１３が板
厚方向に貫通して形成されている。
あって、上板１０と４つの側板１１には、それぞれの四
隅近傍に基準部材９を取り付けるための取付孔１３が板
厚方向に貫通して形成されている。
【００３２】また、上板１０には３箇所、側板１１には
２箇所、それぞれマスタブロック１の内部と外部との間
で空気を流通させるための通気孔１４が形成されてい
る。なお、これらの通気孔１４は、温度変化によってブ
ロック本体１Ａ内部と外部の気圧差を生じてブロック本
体１Ａに歪みを生じることを防ぐためのもので、底板１
２に空気の流通する開口部等が形成されていれば設けな
くてもよい。
２箇所、それぞれマスタブロック１の内部と外部との間
で空気を流通させるための通気孔１４が形成されてい
る。なお、これらの通気孔１４は、温度変化によってブ
ロック本体１Ａ内部と外部の気圧差を生じてブロック本
体１Ａに歪みを生じることを防ぐためのもので、底板１
２に空気の流通する開口部等が形成されていれば設けな
くてもよい。
【００３３】一方、底板１２の中央部分には、円形の透
孔１５が形成されていて、前記透孔１５には、円形の固
定プラグ１６の小径部１６Ａが嵌合するようになってい
る。前記固定プラグ１６には、２本のボルト１７が螺合
する一対のねじ孔１８が形成されている。
孔１５が形成されていて、前記透孔１５には、円形の固
定プラグ１６の小径部１６Ａが嵌合するようになってい
る。前記固定プラグ１６には、２本のボルト１７が螺合
する一対のねじ孔１８が形成されている。
【００３４】これらのボルト１７は、治具パレット４
（図１参照）側に設けられている固定板１９の一対のボ
ルト挿通孔２０にそれぞれ下方から挿通し、固定プラグ
１６のねじ孔１８に螺合することで、マスタブロック１
を固定板１９に固定する。なお、固定プラグ１６は不変
鋼等の温度の変化で膨脹収縮や歪みを生じ難い材料で製
作することが望ましい。
（図１参照）側に設けられている固定板１９の一対のボ
ルト挿通孔２０にそれぞれ下方から挿通し、固定プラグ
１６のねじ孔１８に螺合することで、マスタブロック１
を固定板１９に固定する。なお、固定プラグ１６は不変
鋼等の温度の変化で膨脹収縮や歪みを生じ難い材料で製
作することが望ましい。
【００３５】また、それぞれの基準部材９は、図４に示
すように、上板１０あるいは側板１１に形成された取付
孔１３に適合する外径を有する円筒部９Ａと、取付孔１
３より径の大きいフランジ部９Ｂとを有し、円筒部９Ａ
側の端面中心部にはボルト２１が螺合されるねじ孔が９
Ｃが形成されている。
すように、上板１０あるいは側板１１に形成された取付
孔１３に適合する外径を有する円筒部９Ａと、取付孔１
３より径の大きいフランジ部９Ｂとを有し、円筒部９Ａ
側の端面中心部にはボルト２１が螺合されるねじ孔が９
Ｃが形成されている。
【００３６】基準部材９の円筒部９Ａは、上板１０ある
いは側板１１の外側から取付孔１３にフランジ部９Ｂが
取付孔１３の周縁部に当接するまで差し込むと、上板１
０あるいは側板１１の裏側に一部が突出する長さに形成
されている。
いは側板１１の外側から取付孔１３にフランジ部９Ｂが
取付孔１３の周縁部に当接するまで差し込むと、上板１
０あるいは側板１１の裏側に一部が突出する長さに形成
されている。
【００３７】この突出部分には、弾力性のあるウレタン
製のカラー２２が装着されている。前記カラー２２は、
軸方向に圧縮力を受けていないときの軸方向長が円筒部
９Ａの突出部分の長さよりやや長めに形成されており、
前記ボルト２１によって円筒部９Ａの端面に座金２３が
固定されると、上板１０あるいは側板１１と、座金２３
との間にカラー２２が弾性圧縮されて挟み込まれ、基準
部材９が上板１０あるいは側板１１に固定される構造に
なっている。
製のカラー２２が装着されている。前記カラー２２は、
軸方向に圧縮力を受けていないときの軸方向長が円筒部
９Ａの突出部分の長さよりやや長めに形成されており、
前記ボルト２１によって円筒部９Ａの端面に座金２３が
固定されると、上板１０あるいは側板１１と、座金２３
との間にカラー２２が弾性圧縮されて挟み込まれ、基準
部材９が上板１０あるいは側板１１に固定される構造に
なっている。
【００３８】なお、上板１０あるいは側板１１に基準部
材９をボルト２１で固定する際、両者の接触部分間には
接着剤（市販の瞬間接着剤等）が塗布され、上板１０あ
るいは側板１１に対する基準部材９の固定位置のずれが
防止されている。
材９をボルト２１で固定する際、両者の接触部分間には
接着剤（市販の瞬間接着剤等）が塗布され、上板１０あ
るいは側板１１に対する基準部材９の固定位置のずれが
防止されている。
【００３９】また、基準部材９のフランジ部９Ｂの端面
Ｓ１と前記端面Ｓ１中央部に形成された円形凹部内周面
Ｓ２は、プローブ８（図１参照）先端が接触する基準測
定面として高精度に仕上加工されている。
Ｓ１と前記端面Ｓ１中央部に形成された円形凹部内周面
Ｓ２は、プローブ８（図１参照）先端が接触する基準測
定面として高精度に仕上加工されている。
【００４０】次に、前述したように構成されているマス
タブロック１の製造工程を説明すると、先ず、図３に示
すような６枚の石英ガラスまたは単結晶石英を材料とし
た略正方形状の上板１０、側板１１、底板１２を製作
し、このうち、上板１０と４つの側板１１には、ジグボ
ーラ等の加工機によって、基準部材９の取付孔１３と通
気孔１４を加工する。また、底板１２には、その中央部
に円形の透孔１５を同様にジグボーラ等で加工する。
タブロック１の製造工程を説明すると、先ず、図３に示
すような６枚の石英ガラスまたは単結晶石英を材料とし
た略正方形状の上板１０、側板１１、底板１２を製作
し、このうち、上板１０と４つの側板１１には、ジグボ
ーラ等の加工機によって、基準部材９の取付孔１３と通
気孔１４を加工する。また、底板１２には、その中央部
に円形の透孔１５を同様にジグボーラ等で加工する。
【００４１】次いで、４枚の側板１１は、それぞれ一方
の端面と、前記端面と反対側の端面に隣接する裏面縁部
とを接着部分として、それぞれ端面と裏面縁部どうし、
接着剤で接着して角筒状に組み立てる。また、これら４
枚の側板１１の上下の端面に上板１０と底板１２を接着
剤で接着し、ブロック本体１Ａ（図２参照）を組み立て
る。
の端面と、前記端面と反対側の端面に隣接する裏面縁部
とを接着部分として、それぞれ端面と裏面縁部どうし、
接着剤で接着して角筒状に組み立てる。また、これら４
枚の側板１１の上下の端面に上板１０と底板１２を接着
剤で接着し、ブロック本体１Ａ（図２参照）を組み立て
る。
【００４２】その後、それぞれの取付孔１３に基準部材
９の円筒部９Ａをブロック本体１Ａの外側から挿入して
接着剤によって固定する。また、これらの基準部材９に
は、図４に示すようにカラー２２と座金２３を装着して
ボルト２１で板１０、１１に締結する。こうして、基準
部材９を接着剤とボルト２１の両方でブロック本体１Ａ
に強固に固定する。
９の円筒部９Ａをブロック本体１Ａの外側から挿入して
接着剤によって固定する。また、これらの基準部材９に
は、図４に示すようにカラー２２と座金２３を装着して
ボルト２１で板１０、１１に締結する。こうして、基準
部材９を接着剤とボルト２１の両方でブロック本体１Ａ
に強固に固定する。
【００４３】なお、基準部材９へ、カラー２２、座金２
３、及びボルト２１を装着する作業は、底板１２に形成
されている透孔１５からブロック本体１Ａ内に手やボッ
クススパナ等の締結工具を差し込んで行うことができ
る。また、固定プラグ１６は、ブロック本体１Ａの組み
立てが完了する前にあらかじめブロック本体１Ａ内に入
れておく必要がある。
３、及びボルト２１を装着する作業は、底板１２に形成
されている透孔１５からブロック本体１Ａ内に手やボッ
クススパナ等の締結工具を差し込んで行うことができ
る。また、固定プラグ１６は、ブロック本体１Ａの組み
立てが完了する前にあらかじめブロック本体１Ａ内に入
れておく必要がある。
【００４４】このようにしてブロック本体１Ａに基準部
材９を固定した後、底板１２の透孔１５に固定プラグ１
６の小径部１６Ａを嵌合させて図３に示すボルト１７に
より図示しない加工機の治具台に固定する。
材９を固定した後、底板１２の透孔１５に固定プラグ１
６の小径部１６Ａを嵌合させて図３に示すボルト１７に
より図示しない加工機の治具台に固定する。
【００４５】この時点までは、図４に示す基準部材９の
フランジ部９Ｂの端面Ｓ１と前記端面Ｓ１に形成された
円形凹部内周面Ｓ２は未加工のままであり、前記加工機
によって前記端面Ｓ１と凹部内周面Ｓ２を精密に加工
し、隣り合う基準部材９の凹部内周面Ｓ２間の間隔を正
確に基準値に仕上げるとともに、ブロック本体１Ａの互
いに直角な面に固定されている基準部材９どうしの端面
Ｓ１間の角度が正確に９０度をなすように仕上げ、マス
タブロック１の製造工程を完了する。
フランジ部９Ｂの端面Ｓ１と前記端面Ｓ１に形成された
円形凹部内周面Ｓ２は未加工のままであり、前記加工機
によって前記端面Ｓ１と凹部内周面Ｓ２を精密に加工
し、隣り合う基準部材９の凹部内周面Ｓ２間の間隔を正
確に基準値に仕上げるとともに、ブロック本体１Ａの互
いに直角な面に固定されている基準部材９どうしの端面
Ｓ１間の角度が正確に９０度をなすように仕上げ、マス
タブロック１の製造工程を完了する。
【００４６】次に、図５は、本発明の検査用マスタブロ
ックの第２実施例を示す斜視図、図６はその分解斜視図
であって、本実施例のマスタブロック３１は、円筒状の
側面を形成する石英ガラスまたは単結晶石英製の円筒管
３２と、前記円筒管３２の外径に略等しい直径を有する
上板３３、及び、円筒管３２より大きい直径を有する底
板３４から構成されるブロック本体３１Ａを備えてい
る。
ックの第２実施例を示す斜視図、図６はその分解斜視図
であって、本実施例のマスタブロック３１は、円筒状の
側面を形成する石英ガラスまたは単結晶石英製の円筒管
３２と、前記円筒管３２の外径に略等しい直径を有する
上板３３、及び、円筒管３２より大きい直径を有する底
板３４から構成されるブロック本体３１Ａを備えてい
る。
【００４７】図５に示すように、ブロック本体３１Ａの
上面と側面にはそれぞれ不変鋼製の基準部材３５、３６
が設けられており、基準部材３５は、上板３３の外周近
傍に円周方向に等間隔に４箇所取り付けられ、また、基
準部材３６は、それぞれの基準部材３５に対応する円筒
管３２の周方向４箇所でそれぞれ上下方向２箇所の合計
８箇所に取り付けられている。
上面と側面にはそれぞれ不変鋼製の基準部材３５、３６
が設けられており、基準部材３５は、上板３３の外周近
傍に円周方向に等間隔に４箇所取り付けられ、また、基
準部材３６は、それぞれの基準部材３５に対応する円筒
管３２の周方向４箇所でそれぞれ上下方向２箇所の合計
８箇所に取り付けられている。
【００４８】図６に示すように、上板３３には基準部材
３５が取り付けられる４つの取付孔３７が円周方向に等
間隔に貫通形成されているとともに、これらの取付孔３
７中心を通る円周上で、各取付孔３７に対して上板３３
の中心角で４５度ずつ位相がずれた位置に、それぞれね
じ挿通孔３８が貫通形成されている。
３５が取り付けられる４つの取付孔３７が円周方向に等
間隔に貫通形成されているとともに、これらの取付孔３
７中心を通る円周上で、各取付孔３７に対して上板３３
の中心角で４５度ずつ位相がずれた位置に、それぞれね
じ挿通孔３８が貫通形成されている。
【００４９】一方、底板３４の中央部には、透孔３９が
形成されており、また、前記透孔３９の周囲には、上板
３３に形成された各取付孔３７の直下に対応する位置に
ねじ挿通孔４０が形成されている。
形成されており、また、前記透孔３９の周囲には、上板
３３に形成された各取付孔３７の直下に対応する位置に
ねじ挿通孔４０が形成されている。
【００５０】図７に示すように、上板３３と底板３４
は、円筒管３２内を貫通する不変鋼で形成された４本の
連結棒４１の両端によって連結されている。すなわち、
連結棒４１は、上下対称な形状をしており、上下の両端
にねじ部４１Ａが形成されている。
は、円筒管３２内を貫通する不変鋼で形成された４本の
連結棒４１の両端によって連結されている。すなわち、
連結棒４１は、上下対称な形状をしており、上下の両端
にねじ部４１Ａが形成されている。
【００５１】これらのねじ部４１Ａは、上板３３と底板
３４の対向位置にそれぞれ形成されているねじ挿通孔３
８、４０に挿入され、上板３３の上方に突出した部分と
底板３４の下方に突出した部分にウレタン製の弾性を有
するカラー４２が装着されるとともに、ナット４３が螺
合固定され、円筒管３２を間に挟んで上板３３と底板３
４が一体に連結される構造になっている。
３４の対向位置にそれぞれ形成されているねじ挿通孔３
８、４０に挿入され、上板３３の上方に突出した部分と
底板３４の下方に突出した部分にウレタン製の弾性を有
するカラー４２が装着されるとともに、ナット４３が螺
合固定され、円筒管３２を間に挟んで上板３３と底板３
４が一体に連結される構造になっている。
【００５２】なお、連結棒４１の両端のねじ部４１を除
いた部分は、長さが円筒管３２の軸方向長に略等しく、
また外径は上板３３及び底板３４にそれぞれ形成されて
いるねじ挿通孔３８、４０より大きく形成されている。
いた部分は、長さが円筒管３２の軸方向長に略等しく、
また外径は上板３３及び底板３４にそれぞれ形成されて
いるねじ挿通孔３８、４０より大きく形成されている。
【００５３】また、それぞれの連結棒４１には、長手方
向に離間した２箇所において、前記長手方向に直交する
方向にねじ孔４１Ｂが形成され、これらのねじ孔４１Ｂ
には、位置合わせボルト４４が螺合されている。
向に離間した２箇所において、前記長手方向に直交する
方向にねじ孔４１Ｂが形成され、これらのねじ孔４１Ｂ
には、位置合わせボルト４４が螺合されている。
【００５４】これらの位置合わせボルト４４は、円筒管
３２内でその半径方向外側に向けられていて、それぞれ
の先端を円筒管３２の内周面に当接することで、円筒管
３２の中心が上板３３と底板３４の中心と一致するよう
に位置決めされるようになっている。
３２内でその半径方向外側に向けられていて、それぞれ
の先端を円筒管３２の内周面に当接することで、円筒管
３２の中心が上板３３と底板３４の中心と一致するよう
に位置決めされるようになっている。
【００５５】また、それぞれの位置合わせボルト４４に
はロックナット４５が螺合しており、これらのロックナ
ット４５によって、連結棒４１に対して位置を調整され
た位置合わせボルト４４の螺合位置が固定される。
はロックナット４５が螺合しており、これらのロックナ
ット４５によって、連結棒４１に対して位置を調整され
た位置合わせボルト４４の螺合位置が固定される。
【００５６】次に、図８は、基準部材３５の上板３３に
対する取付構造を示す部分断面図であって、基準部材３
５は上板３３に形成された取付孔３７に挿通されるねじ
部３５Ａと上板３３の表面に露出している取付孔３７の
径よりも大きな外径を有するフランジ部３５Ｂから構成
されている。
対する取付構造を示す部分断面図であって、基準部材３
５は上板３３に形成された取付孔３７に挿通されるねじ
部３５Ａと上板３３の表面に露出している取付孔３７の
径よりも大きな外径を有するフランジ部３５Ｂから構成
されている。
【００５７】基準部材３５にはその軸方向全長に亘って
中心部に貫通孔が形成されており、フランジ部３５Ｂの
端面Ｓ’１と前記貫通孔内周面Ｓ’２は、前述した第１
実施例における基準部材９と同様に、プローブ８（図１
参照）先端が接触する基準測定面として高精度に仕上加
工されている。
中心部に貫通孔が形成されており、フランジ部３５Ｂの
端面Ｓ’１と前記貫通孔内周面Ｓ’２は、前述した第１
実施例における基準部材９と同様に、プローブ８（図１
参照）先端が接触する基準測定面として高精度に仕上加
工されている。
【００５８】また、ねじ部３５Ａは、フランジ部３５Ｂ
が上板３３の表面に当たるまで取付孔３７に挿入した位
置で上板３３の裏面に突出する長さを有していて、この
突出部分には、弾力性のあるウレタン製のカラー４６と
座金４７が装着され、さらにナット４８が螺合されるこ
とによって、基準部材３５が上板３３に固定される。
が上板３３の表面に当たるまで取付孔３７に挿入した位
置で上板３３の裏面に突出する長さを有していて、この
突出部分には、弾力性のあるウレタン製のカラー４６と
座金４７が装着され、さらにナット４８が螺合されるこ
とによって、基準部材３５が上板３３に固定される。
【００５９】なお、本実施例における基準部材３５にお
いても、前述した第１実施例の基準部材９と同様に、上
板３３と基準部材３５の接触部分間は接着剤で接着さ
れ、上板３３に対する基準部材３５の固定位置のずれが
防止されている。
いても、前述した第１実施例の基準部材９と同様に、上
板３３と基準部材３５の接触部分間は接着剤で接着さ
れ、上板３３に対する基準部材３５の固定位置のずれが
防止されている。
【００６０】次に、図９は、基準部材３６の円筒管３２
に対する取付構造を示す部分断面図であって、基準部材
３６の形状は、前述した基準部材３５と同様であり、ね
じ部３６Ａとフランジ部３６Ｂから構成され、軸方向全
長に亘って中心部に貫通孔が形成されていて、フランジ
部３６Ｂの端面Ｓ”１と前記貫通孔内周面Ｓ”２は、基
準測定面として高精度に仕上げられている。
に対する取付構造を示す部分断面図であって、基準部材
３６の形状は、前述した基準部材３５と同様であり、ね
じ部３６Ａとフランジ部３６Ｂから構成され、軸方向全
長に亘って中心部に貫通孔が形成されていて、フランジ
部３６Ｂの端面Ｓ”１と前記貫通孔内周面Ｓ”２は、基
準測定面として高精度に仕上げられている。
【００６１】基準部材３６は、円筒管３２を半径方向に
貫通して形成されている取付孔４９にねじ部３６Ａが挿
入され、円筒管３２の内側からナット５０を螺合させて
固定されるが、円筒管３２の内外周面の曲がりに対応さ
せるため、円筒管３２の外側と内側には、ねじ部３６Ａ
が貫通する孔が中心部にそれぞれ形成された、外カラー
５１と内カラー５２が配置されている。
貫通して形成されている取付孔４９にねじ部３６Ａが挿
入され、円筒管３２の内側からナット５０を螺合させて
固定されるが、円筒管３２の内外周面の曲がりに対応さ
せるため、円筒管３２の外側と内側には、ねじ部３６Ａ
が貫通する孔が中心部にそれぞれ形成された、外カラー
５１と内カラー５２が配置されている。
【００６２】外カラー５１と内カラー５２は、ねじ部３
６Ａに螺合されたナット５０の締め付けで円筒管３２内
部に曲げ応力を発生させないように、それぞれ、円筒管
３２の内外周面に当接する面が、これらの内外周面の曲
率半径に適合する凹曲面と凸曲面によって形成されてい
る。
６Ａに螺合されたナット５０の締め付けで円筒管３２内
部に曲げ応力を発生させないように、それぞれ、円筒管
３２の内外周面に当接する面が、これらの内外周面の曲
率半径に適合する凹曲面と凸曲面によって形成されてい
る。
【００６３】これらの外カラー５１と内カラー５２は不
変鋼で製作されており、外カラー５１と基準部材３６の
フランジ部３６Ｂとの間、並びに、外カラー５１と円筒
管３２との間は接着剤で接着されている。
変鋼で製作されており、外カラー５１と基準部材３６の
フランジ部３６Ｂとの間、並びに、外カラー５１と円筒
管３２との間は接着剤で接着されている。
【００６４】次に、前述したように構成されているマス
タブロック３１の製造工程を説明すると、先ず、図６に
示すような石英ガラスまたは単結晶石英を材料とした円
筒管３２、上板３３、底板３４を製作する。
タブロック３１の製造工程を説明すると、先ず、図６に
示すような石英ガラスまたは単結晶石英を材料とした円
筒管３２、上板３３、底板３４を製作する。
【００６５】ここで、円筒管３２の取付孔４９、上板３
３の取付孔３７ならびにねじ挿通孔３８、及び、底板の
透孔３９ならびにねじ挿通孔４０は、ジグボーラ等の加
工機により加工する。なお、上板３３のねじ挿通孔３８
と底板３４のねじ挿通孔４０は、加工位置のずれを防ぐ
ために、上板と底板３４とを同心状に重ねて加工するこ
とが望ましい。
３の取付孔３７ならびにねじ挿通孔３８、及び、底板の
透孔３９ならびにねじ挿通孔４０は、ジグボーラ等の加
工機により加工する。なお、上板３３のねじ挿通孔３８
と底板３４のねじ挿通孔４０は、加工位置のずれを防ぐ
ために、上板と底板３４とを同心状に重ねて加工するこ
とが望ましい。
【００６６】次に、あらかじめ製作しておいた連結棒４
１を４本、位置合わせボルト４４とロックナット４５を
それぞれ装着した状態で、円筒管３２内に入れて、それ
ぞれの両端のねじ部４１Ａを上板３３のねじ挿通孔３８
と底板のねじ挿通孔４０に挿入し、それぞれに座金４２
を嵌めてナット４３で緩く仮止めする。
１を４本、位置合わせボルト４４とロックナット４５を
それぞれ装着した状態で、円筒管３２内に入れて、それ
ぞれの両端のねじ部４１Ａを上板３３のねじ挿通孔３８
と底板のねじ挿通孔４０に挿入し、それぞれに座金４２
を嵌めてナット４３で緩く仮止めする。
【００６７】次いで位置合わせボルト４４の先端を円筒
管３２の内周面に当接させて円筒管３２、上板３３、底
板３４が同心になるように正確に位置決め調整し、調整
位置で各位置合わせボルト４４が回転しないようにロッ
クナット４５で固定する。
管３２の内周面に当接させて円筒管３２、上板３３、底
板３４が同心になるように正確に位置決め調整し、調整
位置で各位置合わせボルト４４が回転しないようにロッ
クナット４５で固定する。
【００６８】次いで、それぞれのナット４３を締め付け
て、円筒管３２、上板３３、底板３４を一体に連結して
ブロック本体３１Ａの組み立てを完了する。なお、円筒
管３２の上下の端面と上板３３及び底板３４との間に
は、接着剤を塗布して互いに接着させておくことが望ま
しい。
て、円筒管３２、上板３３、底板３４を一体に連結して
ブロック本体３１Ａの組み立てを完了する。なお、円筒
管３２の上下の端面と上板３３及び底板３４との間に
は、接着剤を塗布して互いに接着させておくことが望ま
しい。
【００６９】ブロック本体３１Ａの組立てが完了した
ら、上板３３の取付孔３７と円筒管３２の取付孔４９に
それぞれ、基準部材３５、３６を装着するが、この際、
上板３３の取付孔３７には、基準部材３５のねじ部３５
Ａを外側から挿入し、フランジ部３５Ｂと上板３３の取
付孔３７周縁部との間は接着剤で接着する。また、上板
３３の内側からねじ部３５Ａに図８に示すようにカラー
４６と座金４７を装着し、ナット４８を螺合固定する。
ら、上板３３の取付孔３７と円筒管３２の取付孔４９に
それぞれ、基準部材３５、３６を装着するが、この際、
上板３３の取付孔３７には、基準部材３５のねじ部３５
Ａを外側から挿入し、フランジ部３５Ｂと上板３３の取
付孔３７周縁部との間は接着剤で接着する。また、上板
３３の内側からねじ部３５Ａに図８に示すようにカラー
４６と座金４７を装着し、ナット４８を螺合固定する。
【００７０】図９に示すように、円筒管３２の取付孔４
９には、外カラー５１を装着した基準部材３６のねじ部
３６Ａを外側から挿入し、外カラー５１の外面と内面
は、フランジ部３６Ｂと円筒管３２の外周面にそれぞれ
接着剤で接着する。また、円筒管３２の内側へ突出した
ねじ部３６Ａには、内カラー５２を装着し、ナット５０
を螺合固定する。
９には、外カラー５１を装着した基準部材３６のねじ部
３６Ａを外側から挿入し、外カラー５１の外面と内面
は、フランジ部３６Ｂと円筒管３２の外周面にそれぞれ
接着剤で接着する。また、円筒管３２の内側へ突出した
ねじ部３６Ａには、内カラー５２を装着し、ナット５０
を螺合固定する。
【００７１】なお、カラー４６、座金４７、内カラー５
２、ナット４８、５０をブロック本体３１Ａ内で基準部
材３５、３６に装着する作業は、前述した第１実施例の
ものの底板１２に形成されている透孔１５と同様に、底
板３４に形成されている透孔３９からブロック本体３１
Ａ内に手やボックススパナ等の締結工具を差し込んで行
うことができる。
２、ナット４８、５０をブロック本体３１Ａ内で基準部
材３５、３６に装着する作業は、前述した第１実施例の
ものの底板１２に形成されている透孔１５と同様に、底
板３４に形成されている透孔３９からブロック本体３１
Ａ内に手やボックススパナ等の締結工具を差し込んで行
うことができる。
【００７２】また、前記透孔３９は、周囲の温度変化に
よって、ブロック本体３１Ａの内側と外側の間に気圧差
が生じてブロック本体３１Ａが変形することを防止する
ための通気孔を兼ねている。
よって、ブロック本体３１Ａの内側と外側の間に気圧差
が生じてブロック本体３１Ａが変形することを防止する
ための通気孔を兼ねている。
【００７３】こうして、ブロック本体３１Ａに基準部材
３５、３６の取り付けが完了したら、図示していない加
工機の治具台の固定部材にブロック本体３１Ａの底板３
４の円筒管３２外側に鍔状に突出している部分を固定
し、まだ仕上げられていない基準部材３５のフランジ部
３５Ａの端面Ｓ’１と貫通孔内周面Ｓ’２、及び、基準
部材３６のフランジ部３６Ａの端面Ｓ”１と貫通孔内周
面Ｓ”２を精密に加工して、マスタブロック３１の製造
工程を完了する。
３５、３６の取り付けが完了したら、図示していない加
工機の治具台の固定部材にブロック本体３１Ａの底板３
４の円筒管３２外側に鍔状に突出している部分を固定
し、まだ仕上げられていない基準部材３５のフランジ部
３５Ａの端面Ｓ’１と貫通孔内周面Ｓ’２、及び、基準
部材３６のフランジ部３６Ａの端面Ｓ”１と貫通孔内周
面Ｓ”２を精密に加工して、マスタブロック３１の製造
工程を完了する。
【００７４】なお、本実施例においては、基準部材３５
の端面Ｓ’１と基準部材３６の端面Ｓ”１は、互いに正
確に直角をなすように仕上げられ、また、基準部材３５
の貫通孔内周面Ｓ’２と基準部材３６の貫通孔内周面
Ｓ”のそれぞれの中心位置は、ブロック本体３１Ａの中
心に対して、中心角９０度毎に配置されるように仕上げ
られる。
の端面Ｓ’１と基準部材３６の端面Ｓ”１は、互いに正
確に直角をなすように仕上げられ、また、基準部材３５
の貫通孔内周面Ｓ’２と基準部材３６の貫通孔内周面
Ｓ”のそれぞれの中心位置は、ブロック本体３１Ａの中
心に対して、中心角９０度毎に配置されるように仕上げ
られる。
【００７５】次に、図１０は、基準部材の別の例を示す
ものであって、同図に示す基準部材５３は、ねじ部５３
Ａとフランジ部５３Ｂとを有する中空のブッシュ５３Ｃ
と、セラミックボール５３Ｄから構成されている。
ものであって、同図に示す基準部材５３は、ねじ部５３
Ａとフランジ部５３Ｂとを有する中空のブッシュ５３Ｃ
と、セラミックボール５３Ｄから構成されている。
【００７６】前記セラミックボール５３Ｄは表面が基準
測定面として、所定の直径に精密に仕上げられており、
ブッシュ５３Ｃのセラミックボール５３Ｄに適合する球
面の一部で形成されている固定座面ａに接着剤によって
固定されている。
測定面として、所定の直径に精密に仕上げられており、
ブッシュ５３Ｃのセラミックボール５３Ｄに適合する球
面の一部で形成されている固定座面ａに接着剤によって
固定されている。
【００７７】前記基準部材５３は、前述した各実施例の
マスタブロック１、３１と同様に、ブロック本体を構成
する石英ガラスまたは単結晶石英の板５４の取付孔５５
に、外側からねじ部５３Ａが挿入されて、前記ねじ部５
３Ａに板５４の裏側から弾力性のあるウレタン製のカラ
ー５６が装着され、ナット５７が螺合固定される。
マスタブロック１、３１と同様に、ブロック本体を構成
する石英ガラスまたは単結晶石英の板５４の取付孔５５
に、外側からねじ部５３Ａが挿入されて、前記ねじ部５
３Ａに板５４の裏側から弾力性のあるウレタン製のカラ
ー５６が装着され、ナット５７が螺合固定される。
【００７８】なお、前述した各実施例のマスタブロック
１、３１においては、ブロック本体１Ａ、３１Ａが石英
ガラスまたは単結晶石英からなる底板１２、３４を備え
ているが、これらの底板１２、３４を省略して、側板１
１や円筒管３２等底板以外の部分が直接治具台等に固定
される構造としてもよい。
１、３１においては、ブロック本体１Ａ、３１Ａが石英
ガラスまたは単結晶石英からなる底板１２、３４を備え
ているが、これらの底板１２、３４を省略して、側板１
１や円筒管３２等底板以外の部分が直接治具台等に固定
される構造としてもよい。
【００７９】次に、図１１は、本発明の検査用マスタブ
ロックの第３実施例を示す斜視図、図１２はその分解斜
視図、図１３は平面図であって、本実施例のマスタブロ
ック６１は、石英ガラスまたは単結晶石英の単一の塊か
ら削り出して製作されたブロック本体６１Ａを備えてい
る。
ロックの第３実施例を示す斜視図、図１２はその分解斜
視図、図１３は平面図であって、本実施例のマスタブロ
ック６１は、石英ガラスまたは単結晶石英の単一の塊か
ら削り出して製作されたブロック本体６１Ａを備えてい
る。
【００８０】ブロック本体６１Ａは、平坦な上面６２を
有するとともに、円柱状の外周面６３の上端から下端近
傍位置まで、周方向の４箇所に平面６４を有しており、
また、その内部には、重量を軽減するために、図１４に
示すように下方が開放された空間が形成されている。
有するとともに、円柱状の外周面６３の上端から下端近
傍位置まで、周方向の４箇所に平面６４を有しており、
また、その内部には、重量を軽減するために、図１４に
示すように下方が開放された空間が形成されている。
【００８１】ブロック本体６１Ａには、上面６２に４箇
所、４つの平面６４に上下に２箇所ずつ、取付孔６５が
形成されていて、これらの取付孔６５には基準部材６６
が固定されている。
所、４つの平面６４に上下に２箇所ずつ、取付孔６５が
形成されていて、これらの取付孔６５には基準部材６６
が固定されている。
【００８２】これらの基準部材６６は、円筒部６６Ａと
フランジ部６６Ｂを有しており、前述した各実施例に使
用しているものと同様なものであるが、この実施例の基
準部材６６は、取付孔６５に円筒部６６Ａが嵌挿された
状態で、接着剤のみによって固定されている。
フランジ部６６Ｂを有しており、前述した各実施例に使
用しているものと同様なものであるが、この実施例の基
準部材６６は、取付孔６５に円筒部６６Ａが嵌挿された
状態で、接着剤のみによって固定されている。
【００８３】また、図１５はブロック本体６１Ａを下方
から見た図であって、同図に示すように、ブロック本体
６１Ａの下端面６７には、ブロック本体６１Ａを３次元
測定機の測定テーブル上に安定して載置するための、底
面が平坦な脚部６８が周方向に均等な間隔で３箇所に突
出形成されている。
から見た図であって、同図に示すように、ブロック本体
６１Ａの下端面６７には、ブロック本体６１Ａを３次元
測定機の測定テーブル上に安定して載置するための、底
面が平坦な脚部６８が周方向に均等な間隔で３箇所に突
出形成されている。
【００８４】また、図１６に示すように、前記下端面６
７には、ブロック本体６１Ａの一つの直径方向に対向す
る２箇所に、浅い切欠部６９が形成されていて、これら
の切欠部６９には、それぞれ、３次元測定機の測定テー
ブル側に突出している位置決めピンが嵌入するための位
置決め穴７０が形成されている。
７には、ブロック本体６１Ａの一つの直径方向に対向す
る２箇所に、浅い切欠部６９が形成されていて、これら
の切欠部６９には、それぞれ、３次元測定機の測定テー
ブル側に突出している位置決めピンが嵌入するための位
置決め穴７０が形成されている。
【００８５】また、本実施例のマスタブロック６１にお
いては、ブロック本体６１Ａの円柱状の外周面６３を部
分的に削り落として形成されている４箇所の平面６４の
うちの対向する２つのものの下方には、これらの平面６
４とそれぞれ平行して一対の保持溝７１が形成されてい
る。
いては、ブロック本体６１Ａの円柱状の外周面６３を部
分的に削り落として形成されている４箇所の平面６４の
うちの対向する２つのものの下方には、これらの平面６
４とそれぞれ平行して一対の保持溝７１が形成されてい
る。
【００８６】これらの一対の保持溝７１は、３次元測定
機の測定テーブル上の測定位置に、マスタブロック６１
を移動させてセッティングするためのセッティング装置
に取り付けられている支持フォークを差し込むためのも
のであり、マスタブロック６１は、３次元測定機の精度
検査を行う際に、セッティング装置の支持フォークで持
ち上げられて、退避位置から測定テーブル上の測定位置
まで移動され、ここで測定テーブル上に降ろされる。
機の測定テーブル上の測定位置に、マスタブロック６１
を移動させてセッティングするためのセッティング装置
に取り付けられている支持フォークを差し込むためのも
のであり、マスタブロック６１は、３次元測定機の精度
検査を行う際に、セッティング装置の支持フォークで持
ち上げられて、退避位置から測定テーブル上の測定位置
まで移動され、ここで測定テーブル上に降ろされる。
【００８７】この際、マスタブロック６１は、ブロック
本体６１Ａに形成されている一対の位置決め穴７０に測
定テーブル側から突出している位置決めピンが嵌入する
ことにより測定テーブルに対して位置決めされた状態
で、下端面６７に形成された３つの脚部６８によって測
定テーブル上の定位置に支持される。
本体６１Ａに形成されている一対の位置決め穴７０に測
定テーブル側から突出している位置決めピンが嵌入する
ことにより測定テーブルに対して位置決めされた状態
で、下端面６７に形成された３つの脚部６８によって測
定テーブル上の定位置に支持される。
【００８８】なお、このようなセッティング装置は、既
に本発明者が提案し、特願２０００−０１７５８３とし
て出願されているものを用いることができる。また、本
実施例のマスタブロック６１は、基準部材６６に代えて
前述した図１０に示すような、セラミックボールを有す
るものを用いることも可能である。
に本発明者が提案し、特願２０００−０１７５８３とし
て出願されているものを用いることができる。また、本
実施例のマスタブロック６１は、基準部材６６に代えて
前述した図１０に示すような、セラミックボールを有す
るものを用いることも可能である。
【００８９】次に、前述したマスタブロック６１の製造
工程を説明すると、先ず、石英ガラスや単結晶石英の単
一の塊からダイヤモンド工具等を使用した加工機によっ
てブロック本体６１Ａの外形を削り出す。この際、ブロ
ック本体６１Ａを軽量化するために、底面が開口された
空洞部も形成する。
工程を説明すると、先ず、石英ガラスや単結晶石英の単
一の塊からダイヤモンド工具等を使用した加工機によっ
てブロック本体６１Ａの外形を削り出す。この際、ブロ
ック本体６１Ａを軽量化するために、底面が開口された
空洞部も形成する。
【００９０】次いで、ブロック本体６Ａに形成された上
面６２と側面６４に、それぞれ基準部材６６を取り付け
るための取付孔６５をジグボーラ等の加工機によって形
成する。
面６２と側面６４に、それぞれ基準部材６６を取り付け
るための取付孔６５をジグボーラ等の加工機によって形
成する。
【００９１】取付孔６５を加工した後、基準部材６６の
円筒部６６Ａを取付孔６５にフランジ部６６Ｂが当接す
るまで挿入する。この際、取付孔６５の内周面と基準部
材６６の円筒部６６Ａ間と、ブロック本体６１の上面６
２や側面６４と基準部材６６のフランジ部６６Ｂ間の何
れか、或いは、両方に接着剤を使用して基準部材６６を
ブロック本体６１Ａに接着固定する。
円筒部６６Ａを取付孔６５にフランジ部６６Ｂが当接す
るまで挿入する。この際、取付孔６５の内周面と基準部
材６６の円筒部６６Ａ間と、ブロック本体６１の上面６
２や側面６４と基準部材６６のフランジ部６６Ｂ間の何
れか、或いは、両方に接着剤を使用して基準部材６６を
ブロック本体６１Ａに接着固定する。
【００９２】こうして、ブロック本体６１Ａに基準部材
６６を接着固定した後、基準部材６６の測定面を加工機
によって所定の精度に仕上げ加工してマスタブロック６
１を完成させる。
６６を接着固定した後、基準部材６６の測定面を加工機
によって所定の精度に仕上げ加工してマスタブロック６
１を完成させる。
【００９３】
【発明の効果】以上に説明したように、請求項１記載の
発明によれば、石英ガラスまたは単結晶石英の矩形板で
中空直方体状のブロック本体を構成し、その上面と側面
に形成した取付孔に測定機のプローブ先端を接触させる
基準測定面を有する複数の基準部材を嵌挿固定している
ため、周囲の温度変化によるブロック本体の膨脹・収縮
が殆どなく、これらの基準部材の基準測定面間の間隔や
角度を高い精度で一定に維持することができ、検査精度
を向上させることができる。
発明によれば、石英ガラスまたは単結晶石英の矩形板で
中空直方体状のブロック本体を構成し、その上面と側面
に形成した取付孔に測定機のプローブ先端を接触させる
基準測定面を有する複数の基準部材を嵌挿固定している
ため、周囲の温度変化によるブロック本体の膨脹・収縮
が殆どなく、これらの基準部材の基準測定面間の間隔や
角度を高い精度で一定に維持することができ、検査精度
を向上させることができる。
【００９４】また、請求項２記載の発明によれば、請求
項１記載の発明と同様に、周囲の温度変化によるブロッ
ク本体の膨脹・収縮が殆ど無く、複数の基準部材の基準
測定面間の間隔や角度を高い精度で一定に維持すること
ができ、検査精度を向上させることができるとともに、
ブロック本体の側面部分に石英ガラスまたは単結晶石英
の円筒管を使用したことにより、組立てがより容易にな
り、製造コストも低減することができる。
項１記載の発明と同様に、周囲の温度変化によるブロッ
ク本体の膨脹・収縮が殆ど無く、複数の基準部材の基準
測定面間の間隔や角度を高い精度で一定に維持すること
ができ、検査精度を向上させることができるとともに、
ブロック本体の側面部分に石英ガラスまたは単結晶石英
の円筒管を使用したことにより、組立てがより容易にな
り、製造コストも低減することができる。
【００９５】また、請求項３記載の発明によれば、基準
部材が固定されるブロック本体を石英ガラスまたは単結
晶石英の単体の塊から削り出して製作しているため、ブ
ロック本体が高い剛性を有し、且つ、温度変化による膨
張・収縮が殆ど無いので、複数の基準部材の基準測定面
間の間隔や角度をより高精度に保つことができる。
部材が固定されるブロック本体を石英ガラスまたは単結
晶石英の単体の塊から削り出して製作しているため、ブ
ロック本体が高い剛性を有し、且つ、温度変化による膨
張・収縮が殆ど無いので、複数の基準部材の基準測定面
間の間隔や角度をより高精度に保つことができる。
【００９６】また、請求項４記載の発明によれば、請求
項１乃至３に記載された発明の効果に加え、表面を基準
測定面としたセラミックボールとブロック本体の取付孔
に嵌挿固定されるブッシュから基準部材を構成している
ため、基準測定面の摩耗が低減され、長期に亘って高い
精度を維持することができる。
項１乃至３に記載された発明の効果に加え、表面を基準
測定面としたセラミックボールとブロック本体の取付孔
に嵌挿固定されるブッシュから基準部材を構成している
ため、基準測定面の摩耗が低減され、長期に亘って高い
精度を維持することができる。
【００９７】また、請求項５記載の発明によれば、石英
ガラスまたは単結晶石英からなる矩形板どうしを接合し
て中空立方体状のブロック本体の少なくとも上面と４つ
の側面を形成しているため、石英ガラスや単結晶石英の
ように高価な材料を用いても比較的安価に製作できると
ともに、ブロック本体の重量を軽くすることができ、且
つ、組み立てが容易で製造コストを安くできる。
ガラスまたは単結晶石英からなる矩形板どうしを接合し
て中空立方体状のブロック本体の少なくとも上面と４つ
の側面を形成しているため、石英ガラスや単結晶石英の
ように高価な材料を用いても比較的安価に製作できると
ともに、ブロック本体の重量を軽くすることができ、且
つ、組み立てが容易で製造コストを安くできる。
【００９８】さらに、請求項６記載の発明によれば、石
英の円筒管の使用により、請求項５記載の発明の製造方
法よりさらに、ブロック本体の組み立てが容易となり製
造コストをより安くできる。
英の円筒管の使用により、請求項５記載の発明の製造方
法よりさらに、ブロック本体の組み立てが容易となり製
造コストをより安くできる。
【００９９】また、請求項７記載の発明によれば、石英
ガラスまたは単結晶石英の単一の塊から削り出して形成
した後、基準部材の取付孔を加工しているため、あらか
じめ取付孔を形成した複数の部分どうしを接合して組み
立てたブロック本体と比較して、取付孔の位置や向きの
精度をより高めることができる。
ガラスまたは単結晶石英の単一の塊から削り出して形成
した後、基準部材の取付孔を加工しているため、あらか
じめ取付孔を形成した複数の部分どうしを接合して組み
立てたブロック本体と比較して、取付孔の位置や向きの
精度をより高めることができる。
【０１００】さらに、請求項８記載の発明によれば、ブ
ロック本体に形成された取付孔の加工精度に影響される
ことなく、基準部材の基準測定面を高い精度で加工する
ことができる。
ロック本体に形成された取付孔の加工精度に影響される
ことなく、基準部材の基準測定面を高い精度で加工する
ことができる。
【０１０１】この場合、石英ガラスまたは単結晶石英の
単一の塊から削り出してブロック本体を形成していると
きには、基準部材が固定されるブロック本体の剛性が高
いため、基準測定面の仕上げ加工をより高い精度で行う
ことができる。
単一の塊から削り出してブロック本体を形成していると
きには、基準部材が固定されるブロック本体の剛性が高
いため、基準測定面の仕上げ加工をより高い精度で行う
ことができる。
【図１】 本発明の第１実施例における検査用マスタブ
ロックを３次元測定機にセッティングした状態を示す斜
視図である。
ロックを３次元測定機にセッティングした状態を示す斜
視図である。
【図２】 本発明の検査用マスタブロックにおける第１
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
【図３】 本発明の検査用マスタブロックにおける第１
実施例を示す分解斜視図である。
実施例を示す分解斜視図である。
【図４】 基準部材の上板への取付構造を示す部分断面
図である。
図である。
【図５】 本発明の検査用マスタブロックにおける第２
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
【図６】 本発明の検査用マスタブロックにおける第２
実施例を示す分解斜視図である。
実施例を示す分解斜視図である。
【図７】 図５のＡ−Ａ線位置における縦断面図であ
る。
る。
【図８】 基準部材の上板への取付構造を示す部分断面
図である。
図である。
【図９】 基準部材の円筒管への取付構造を示す部分断
面図である。
面図である。
【図１０】 基準部材の別の態様を示す部分断面図であ
る。
る。
【図１１】 本発明の検査用マスタブロックにおける第
３実施例を示す斜視図である。
３実施例を示す斜視図である。
【図１２】 本発明の検査用マスタブロックにおける第
３実施例を示す分解斜視図である。
３実施例を示す分解斜視図である。
【図１３】 本発明の検査用マスタブロックにおける第
３実施例を示す平面図である。
３実施例を示す平面図である。
【図１４】 図１３のＢ−Ｂ線位置における縦断面図で
ある。
ある。
【図１５】 本発明の検査用マスタブロックにおける第
３実施例を示す下面図である。
３実施例を示す下面図である。
【図１６】 図１５のＣ−Ｃ線位置における部分断面図
である。
である。
１ マスタブロック、 １Ａ ブロック本体、 ２
３次元測定機、３ 測定テーブル、 ４ 治具パレ
ット、 ５ 可動フレーム、６ ヘッド部、 ７
昇降軸、 ８ プローブ、 ９ 基準部材、９Ａ
円筒部、 ９Ｂ フランジ部、 ９Ｃ ねじ
孔、 １０ 上板、１１ 側板、 １２ 底板、
１３ 取付孔、 １４ 通気孔、１５ 透孔、
１６ 固定プラグ、 １６Ａ 小径部、１７
ボルト、 １８ ねじ孔、 １９ 固定板、 ２０
ボルト、２１ ボルト、 ２２ カラー、 ２
３ 座金、３１ マスタブロック、 ３１Ａ ブ
ロック本体、 ３２ 円筒管、３３ 上板、 ３４
底板、 ３５ 基準部材、 ３５Ａ ねじ部、
３５Ｂ フランジ部、 ３６ 基準部材、 ３６Ａ
ねじ部、３６Ｂ フランジ部、 ３７ 取付
孔、 ３８ ねじ挿通孔、３９ 透孔、 ４０
ねじ挿通孔、 ４１ 連結棒、４１Ａ ねじ部、
４１Ｂ ねじ孔、 ４２ カラー、４３ ナッ
ト、 ４４ 位置合わせボルト、 ４５ ロックナ
ット、４６ カラー、 ４７ 座金、 ４８ ナ
ット、 ４９ 取付孔、５０ ナット、 ５１
外カラー、 ５２ 内カラー、５３ 基準部材、
５３Ａ ねじ部、 ５３Ｂ フランジ部、５３Ｃ
ブッシュ、 ５３Ｄ セラミックボール、 ５４
板、５５ 取付孔、 ５６ カラー、 ５７
ナット、６１ マスタブロック、 ６１Ａ ブロッ
ク本体、 ６２ 上面、６３、６４ 側面、 ６５
取付孔、 ６６ 基準部材、６６Ａ 円筒部、
６６Ｂ フランジ部、 ６７ 底面、６８ 脚
部、 ６９ 切欠部、７０ 位置決め穴、 ７１
保持溝。
３次元測定機、３ 測定テーブル、 ４ 治具パレ
ット、 ５ 可動フレーム、６ ヘッド部、 ７
昇降軸、 ８ プローブ、 ９ 基準部材、９Ａ
円筒部、 ９Ｂ フランジ部、 ９Ｃ ねじ
孔、 １０ 上板、１１ 側板、 １２ 底板、
１３ 取付孔、 １４ 通気孔、１５ 透孔、
１６ 固定プラグ、 １６Ａ 小径部、１７
ボルト、 １８ ねじ孔、 １９ 固定板、 ２０
ボルト、２１ ボルト、 ２２ カラー、 ２
３ 座金、３１ マスタブロック、 ３１Ａ ブ
ロック本体、 ３２ 円筒管、３３ 上板、 ３４
底板、 ３５ 基準部材、 ３５Ａ ねじ部、
３５Ｂ フランジ部、 ３６ 基準部材、 ３６Ａ
ねじ部、３６Ｂ フランジ部、 ３７ 取付
孔、 ３８ ねじ挿通孔、３９ 透孔、 ４０
ねじ挿通孔、 ４１ 連結棒、４１Ａ ねじ部、
４１Ｂ ねじ孔、 ４２ カラー、４３ ナッ
ト、 ４４ 位置合わせボルト、 ４５ ロックナ
ット、４６ カラー、 ４７ 座金、 ４８ ナ
ット、 ４９ 取付孔、５０ ナット、 ５１
外カラー、 ５２ 内カラー、５３ 基準部材、
５３Ａ ねじ部、 ５３Ｂ フランジ部、５３Ｃ
ブッシュ、 ５３Ｄ セラミックボール、 ５４
板、５５ 取付孔、 ５６ カラー、 ５７
ナット、６１ マスタブロック、 ６１Ａ ブロッ
ク本体、 ６２ 上面、６３、６４ 側面、 ６５
取付孔、 ６６ 基準部材、６６Ａ 円筒部、
６６Ｂ フランジ部、 ６７ 底面、６８ 脚
部、 ６９ 切欠部、７０ 位置決め穴、 ７１
保持溝。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 21/00
G01B 1/00 101
G01B 5/00
G01B 21/20 101
Claims (8)
- 【請求項１】 少なくとも上面と４つの側面が石英ガラ
スまたは単結晶石英の矩形板で構成されている中空直方
体状のブロック本体と、 前記ブロック本体の上面と側面に形成された複数の取付
孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機のプローブ先端を接
触させる基準測定面を有する複数の基準部材とを備えた
ことを特徴とする検査用マスタブロック。 - 【請求項２】 側面が石英ガラスまたは単結晶石英の円
筒管で構成されているとともに、少なくとも上面が石英
ガラスまたは単結晶石英の円板で構成されている中空円
筒状のブロック本体と、 前記ブロック本体の上面と側面に形成された複数の取付
孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機のプローブ先端を接
触させる基準測定面を有する複数の基準部材とを備えた
ことを特徴とする検査用マスタブロック。 - 【請求項３】 少なくとも上面と側面とを有し、石英ガ
ラスまたは単結晶石英の単一の塊から削り出して製作さ
れたブロック本体と、 前記ブロック本体の上面と側面に形成された複数の取付
孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機のプローブ先端を接
触させる基準測定面を有する複数の基準部材とを備えた
ことを特徴とする検査用マスタブロック。 - 【請求項４】 表面を基準測定面としたセラミックボー
ルと前記セラミックボールを保持してブロック本体の取
付孔に嵌挿固定されるブッシュから構成された基準部材
が用いられていることを特徴とする請求項１乃至３の何
れかに記載の検査用マスタブロック。 - 【請求項５】 石英ガラスまたは単結晶石英からなる矩
形板の所定位置に取付孔を加工する第１の工程と、 前記工程で取付孔を加工した矩形板が、４つの側面の少
なくとも一面と上面に配置されるように、複数の石英ガ
ラスまたは単結晶石英の矩形板どうしを接合して中空直
方体状のブロック本体の少なくとも上面と４つの側面と
を形成する第２の工程と、 第２の工程の後、それぞれの取付孔に測定機のプローブ
先端を接触させる基準部材を嵌挿固定する第３の工程か
らなることを特徴とする検査用マスタブロックの製造方
法。 - 【請求項６】 石英ガラスまたは単結晶石英の円板と石
英ガラスまたは単結晶石英の円筒管のそれぞれの所定位
置に取付孔を加工する第１の工程と、 少なくとも前記工程で取付孔を加工した円板を、前記円
筒管上面に接合して中空円筒状のブロック本体を形成す
る第２の工程と、 第２の工程の後、それぞれの取付孔に測定機のプローブ
先端を接触させる基準部材を嵌挿固定する第３の工程か
らなることを特徴とする検査用マスタブロックの製造方
法。 - 【請求項７】 石英ガラスまたは単結晶石英の単一の塊
から少なくとも上面と側面を有するブロック本体を削り
出す第１の工程と、 第１の工程で形成したブロック本体の上面と側面のそれ
ぞれの所定位置に取付孔を加工する第２の工程と、 第２の工程の後、それぞれの取付孔に測定機のプローブ
先端を接触させる基準部材を嵌挿固定する第３の工程か
らなることを特徴とする検査用マスタブロックの製造方
法。 - 【請求項８】 第３の工程後にそれぞれの基準部材に測
定機のプローブ先端を接触させる基準測定面を仕上げ加
工することを特徴とする請求項５乃至７の何れかに記載
の検査用マスタブロックの製造方法。
Priority Applications (11)
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|---|---|---|---|
| JP2001028999A JP3462180B2 (ja) | 2000-02-22 | 2001-02-06 | 検査用マスタブロック及びその製造方法 |
| DE60126032T DE60126032T2 (de) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Inspektionseichblock und dessen produktion |
| KR10-2001-7013478A KR100491268B1 (ko) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | 검사용 마스터 블록 및 그 제조방법 |
| AU32265/01A AU761188B2 (en) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Testing master block and its manufacturing method |
| CA002369888A CA2369888C (en) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Testing master block and its manufacturing method |
| CA002583935A CA2583935C (en) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Testing master block and its manufacturing method |
| PCT/JP2001/000965 WO2001063205A1 (fr) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Bloc principal de controle et procede de production dudit bloc |
| US09/959,364 US6782730B2 (en) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Inspection master block and method of producing the same |
| EP01904383A EP1189020B1 (en) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | Inspection master block and method of producing the same |
| CNB018001122A CN1209600C (zh) | 2000-02-22 | 2001-02-13 | 检查用模座及其制造方法 |
| TW090103540A TW522219B (en) | 2000-02-22 | 2001-03-28 | Inspection master block and method of producing the same |
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|---|---|---|---|
| JP2000044187 | 2000-02-22 | ||
| JP2000-44187 | 2000-02-22 | ||
| JP2001028999A JP3462180B2 (ja) | 2000-02-22 | 2001-02-06 | 検査用マスタブロック及びその製造方法 |
Publications (2)
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