KR20020010135A - 검사용 마스터 블록 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 적어도 상면과 4개의 측면이 석영 유리 또는 단결정 석영의 직사각형판으로 형성되어 있는 중공 직방체상의 블록 본체와,상기 블록 본체의 상면과 측면에 형성된 다수의 설치 구멍에 각각 끼워 고정되고, 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준 측정면을 가지는 다수의 기준 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록.
- 측면이 석영 유리 또는 단결정 석영의 원통관으로 구성되어 있음과 동시에, 적어도 상면이 석영 유리 또는 단결정 석영의 원판으로 구성되어 있는 중공 원통상의 블록 본체와,상기 블록 본체의 상면과 측면에 형성된 다수의 설치 구멍에 각각 끼워져 고정되고, 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준 측정면을 가지는 다수의 기준 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록.
- 적어도 상면과 측면을 가지고, 석영 유리 또는 단결정 석영의 단일 덩어리로부터 깍아내 제작된 블록 본체와,상기 블록 본체의 상면과 측면에 형성된 다수의 설치 구멍에 각각 끼워 고정되고, 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준 측정면을 가지는 다수의 기준 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 표면을 기준 측정면으로 한 세라믹 볼과 상기 세라믹 볼을 지지하여 블록 본체의 설치 구멍에 끼워 고정되는 부시로 구성된 기준 부재가 이용되는 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록.
- 석영 유리 또는 단결정 석영으로 이루어지는 직사각형판의 소정 위치에 설치 구멍을 가공하는 제1 공정과,상기 공정에서 설치된 구멍을 가공한 직사각형판이 4개의 측면의 적어도 1면과 상면에 배치되도록 다수의 석영 유리 또는 단결정 석영의 직사각형판 끼리 접합하여 중공 직방체상의 블록 본체의 적어도 상면과 4개의 측면을 형성하는 제2 공정과,제2 공정 후, 각각의 설치 구멍에 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준부재를 끼워 고정하는 제3 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록의 제조방법.
- 석영 유리 또는 단결정 석영의 원판과 석영 유리 또는 단결정 석영의 원통관의 각각의 소정 위치에 설치 구멍을 가공하는 제1 공정과,적어도 상기 공정에서 설치 구멍을 가공한 원판을 상기 원통관 상면에 접합하여 중공 원통상의 블록 본체를 형성하는 제2 공정과,제2 공정 후, 각각의 설치 구멍에 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준부재를 끼워 고정하는 제3 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록의 제조방법.
- 석영 유리 또는 단결정 석영의 단일 덩어리로부터 적어도 상면과 측면을 가지는 블록 본체를 깍아내는 제1 공정과,제1 공정에서 형성한 블록 본체의 상면과 측면의 각각의 소정 위치에 설치 구멍을 가공하는 제2 공정과,제2 공정 후, 각각의 설치 구멍에 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준부재를 끼워 고정하는 제3 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록의 제조방법.
- 제5항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 제3 공정후에 각각의 기준부재에 측정기의 프로브 선단을 접촉시키는 기준 측정면을 마무리 가공하는 것을 특징으로 하는 검사용 마스터 블록의 제조방법.
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