JP2012002726A - 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】校正用冶具100は、中心が円周上を3等分し、計測用基準球を接するように設置できる3個の基準球2を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、校正用冶具に対して第1プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、第1プローブ及び第2プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、第1測定結果及び第2測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。
【選択図】図1
Description
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
前記校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、配置された前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のシフトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフト量を算出するシフト量算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較して、前記第1プローブと前記第2プローブのチルト量を算出するチルト算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のチルトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してチルト量を算出するチルト算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。
図1は、本発明の実施形態に係る校正用冶具100の概要図であり、図1(a)は上面図、図1(b)は側面図である。校正用冶具100は、後述するプローブ90,91により測定されるものである。
図4は、実施形態にかかる形状測定装置200の概要図である。
次いで、校正用冶具100を用いた形状測定装置200の光軸O1,O2のシフト量の計測について図7から図10を用いて説明する。
次いで、校正用冶具100を用いた、形状測定装置200の光軸O1,O2のチルト量の計測について図11,12を用いて説明する。
5 台座
8 穴
11 第1基準球(基準球)
12 第2基準球
13 第3基準球
15 軸
41 被検体
42 ホルダー
43 XYステージ
44 パルス回路
45 対物レンズ
46 ビームスプリッタ
47 検出レンズ
48 分割フォトダイオード
49 コリメートレンズ
50 半導体レーザ
51 LD駆動装置
52 Zステージ
53 アンプ
61 対物レンズ
63 ビームスプリッタ
64 検出レンズ
66 アンプ
67 コリメートレンズ
68 半導体レーザ
69 LD駆動装置
80 PC
81 制御部
90 第1プローブ
91 第2プローブ
100 校正用冶具
101,102 レーザ光
O1,O2 光軸
Claims (10)
- 中心が円周上を3等分し、計測用基準球を接するように設置できる3個の基準球を備えたことを特徴とする校正用冶具。
- 前記3個の基準球は、球径が略等しいことを特徴とする請求項1に記載の校正用冶具。
- 前記3個の基準球の真球度は0.25μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の校正用冶具。
- 前記計測用基準球が設置された状態で、設置された前記計測用基準球を、観察することができる開口を有することを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の校正用冶具。
- 前記計測用基準球が設置されたことを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の校正用冶具。
- 前記計測用基準球の表面は、鏡面にて構成されていることを特徴とする請求項5に記載の校正用冶具。
- 請求項5または6に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
前記校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、配置された前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項5または6に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のシフトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフト量を算出するシフト量算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。 - 請求項5または6に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較して、前記第1プローブと前記第2プローブのチルト量を算出するチルト算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項5または6に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のチルトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してチルト量を算出するチルト算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2015040995A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-26 | コニカミノルタ株式会社 | 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 |
JPWO2016157291A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2018-01-18 | オリンパス株式会社 | 測定ヘッド及びそれを備えた偏心測定装置 |
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JPH02284216A (ja) * | 1989-03-18 | 1990-11-21 | Renishaw Plc | アナログプローブ較正方法と装置 |
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-
2010
- 2010-06-18 JP JP2010139133A patent/JP5655389B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPWO2015040995A1 (ja) * | 2013-09-18 | 2017-03-02 | コニカミノルタ株式会社 | 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 |
JPWO2016157291A1 (ja) * | 2015-03-27 | 2018-01-18 | オリンパス株式会社 | 測定ヘッド及びそれを備えた偏心測定装置 |
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