JP2020139848A - 三次元計測機の校正器具 - Google Patents
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Abstract
Description
また、検出器22におけるレーザ光20の形状は、レーザ変位計13の光学系の収差によって歪む。この歪みはレーザ光20の重心の算定に影響を及ぼす。レーザ光20の形状の歪みの悪化は、誤差Dyを増加させる。つまり、レーザ光20の強度の減少及び形状の歪みの悪化は、入射角θの増加に伴って増長され、これに伴い、誤差Dyは増加する。
Claims (4)
- レーザ変位計、前記レーザ変位計を移動可能に支持する3軸ステージ、及び、計測対象が設置される回転ステージを備える三次元計測機の校正器具であって、
前記回転ステージに面する第1の底面、及び、前記第1の底面に直交する中心軸の周りに設けられる複数対の第1平面であって、各対の第1平面は前記中心軸に沿って延伸すると共に第1の頂角を成し、前記中心軸を含む参照面に対して対称に傾斜する複数対の第1平面を含む第1治具と、
前記回転ステージに面する第2の底面、及び、前記第2の底面と平行な基準軸に沿って延伸すると共に第2の頂角を成す一対の第2平面を含む第2治具と
を備え、
前記第1の頂角は、前記レーザ変位計を用いて前記一対の第1平面の各延長面の交線の座標を算出する際の誤差をその最大値から減少させる角度範囲内に設定され、
前記第2の頂角は、前記レーザ変位計を用いて前記一対の第2平面の各延長面の交線の座標を算出する際の誤差をその最大値から減少させる角度範囲内に設定されている、
校正器具。 - 前記第1治具は、前記第1平面を一辺とした正八角形の断面を含む
請求項1に記載の校正器具。 - 前記一対の第2平面は、その二等分線が、前記レーザ変位計からの出射光の光軸と前記レーザ変位計への入射光の光軸との間に位置するように傾斜している
請求項1に記載の校正器具。 - 前記第1治具と前記第2治具は、前記第1の底面と前記第2の底面を1つの底面として一体化されている
請求項1に記載の校正器具。
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JP2019035980A JP2020139848A (ja) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 三次元計測機の校正器具 |
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JP2019035980A JP2020139848A (ja) | 2019-02-28 | 2019-02-28 | 三次元計測機の校正器具 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115420196A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-12-02 | 天津大学 | 一种通用型物体三维测量方法及装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009122065A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Mitsutoyo Corp | 校正用治具及び校正方法 |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009122065A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Mitsutoyo Corp | 校正用治具及び校正方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115420196B (zh) * | 2022-08-30 | 2023-11-14 | 天津大学 | 一种通用型物体三维测量方法及装置 |
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