JP5655389B2 - 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 - Google Patents
校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5655389B2 JP5655389B2 JP2010139133A JP2010139133A JP5655389B2 JP 5655389 B2 JP5655389 B2 JP 5655389B2 JP 2010139133 A JP2010139133 A JP 2010139133A JP 2010139133 A JP2010139133 A JP 2010139133A JP 5655389 B2 JP5655389 B2 JP 5655389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- measurement
- shape
- measurement result
- calibration jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
前記台座上に仮想的な円を想定して、当該円の円周上を3等分した位置に、それぞれの中心が来るように配置されて固定された3個の基準球と、
前記3個の基準球すべてに当接して配置された計測用基準球と、
を備えたことを特徴とする校正用冶具。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
前記校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、配置された前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のシフトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフト量を算出するシフト量算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較して、前記第1プローブと前記第2プローブのチルト量を算出するチルト算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のチルトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してチルト量を算出するチルト算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。
図1は、本発明の実施形態に係る校正用冶具100の概要図であり、図1(a)は上面図、図1(b)は側面図である。校正用冶具100は、後述するプローブ90,91により測定されるものである。
図4は、実施形態にかかる形状測定装置200の概要図である。
次いで、校正用冶具100を用いた形状測定装置200の光軸O1,O2のシフト量の計測について図7から図10を用いて説明する。
次いで、校正用冶具100を用いた、形状測定装置200の光軸O1,O2のチルト量の計測について図11,12を用いて説明する。
5 台座
8 穴
11 第1基準球(基準球)
12 第2基準球
13 第3基準球
15 軸
41 被検体
42 ホルダー
43 XYステージ
44 パルス回路
45 対物レンズ
46 ビームスプリッタ
47 検出レンズ
48 分割フォトダイオード
49 コリメートレンズ
50 半導体レーザ
51 LD駆動装置
52 Zステージ
53 アンプ
61 対物レンズ
63 ビームスプリッタ
64 検出レンズ
66 アンプ
67 コリメートレンズ
68 半導体レーザ
69 LD駆動装置
80 PC
81 制御部
90 第1プローブ
91 第2プローブ
100 校正用冶具
101,102 レーザ光
O1,O2 光軸
Claims (9)
- 台座と、
前記台座上に仮想的な円を想定して、当該円の円周上を3等分した位置に、それぞれの中心が来るように配置されて固定された3個の基準球と、
前記3個の基準球すべてに当接して配置された計測用基準球と、
を備えたことを特徴とする校正用冶具。 - 前記3個の基準球は、球径が略等しいことを特徴とする請求項1に記載の校正用冶具。
- 前記3個の基準球の真球度は0.25μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の校正用冶具。
- 前記台座には、前記計測用基準球を観察することができる開口を有することを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の校正用冶具。
- 前記計測用基準球の表面は、鏡面にて構成されていることを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の校正用冶具。
- 請求項4または5に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
前記校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、配置された前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項4または5に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のシフトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより前記計測用基準球を測定して第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してシフト量を算出するシフト量算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。 - 請求項4または5に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定部と、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較して、前記第1プローブと前記第2プローブのチルト量を算出するチルト算出部と、
を備えることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項4または5に記載の校正用冶具を配置可能であり、
被測定物の形状に関する情報を取得するための第1プローブと、
校正用冶具に対して前記第1プローブと反対側に設けられ前記被測定物の形状に関する情報を取得するための第2プローブと、
を備える形状測定装置を用いて、当該形状測定装置のチルトを算出する校正方法であって、
前記第1プローブ及び前記第2プローブにより、複数の前記計測用基準球を測定して、前記計測用基準球毎に第1測定結果及び第2測定結果を求める測定ステップと、
前記計測用基準球毎の前記第1測定結果及び前記第2測定結果を比較してチルト量を算出するチルト算出ステップと、
を備えることを特徴とする校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010139133A JP5655389B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010139133A JP5655389B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012002726A JP2012002726A (ja) | 2012-01-05 |
JP5655389B2 true JP5655389B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=45534863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010139133A Expired - Fee Related JP5655389B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5655389B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6406260B2 (ja) * | 2013-09-18 | 2018-10-17 | コニカミノルタ株式会社 | 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 |
CN107429994A (zh) * | 2015-03-27 | 2017-12-01 | 奥林巴斯株式会社 | 测定头以及具备该测定头的偏心测定装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8906287D0 (en) * | 1989-03-18 | 1989-05-04 | Renishaw Plc | Probe calibration |
JPH07229811A (ja) * | 1994-02-18 | 1995-08-29 | Asahi Optical Co Ltd | 非球面レンズの偏心測定装置 |
JPH10141904A (ja) * | 1996-11-09 | 1998-05-29 | Nikon Corp | 測定子校正装置及び測定子校正方法 |
-
2010
- 2010-06-18 JP JP2010139133A patent/JP5655389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012002726A (ja) | 2012-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6324588B2 (ja) | 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 | |
JP6193218B2 (ja) | 表面を非接触にて測定するための方法および装置 | |
US20100277748A1 (en) | Method and System for Measuring Relative Positions Of A Specular Reflection Surface | |
JP5747180B2 (ja) | 形状測定方法および形状測定装置 | |
WO2007018118A1 (ja) | レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 | |
US7247827B1 (en) | System for measurement of the height, angle and their variations of the surface of an object | |
JP2016053577A (ja) | 形状測定・校正装置 | |
US10260988B2 (en) | Non-contact measurement device for radius of curvature and thickness of lens and measurement method thereof | |
US7804605B2 (en) | Optical multi-axis linear displacement measurement system and a method thereof | |
JP5655389B2 (ja) | 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 | |
Saito et al. | A single lens micro-angle sensor | |
JP2012002548A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
TWI247095B (en) | Optical revolving spindle error measurement device | |
JP7120247B2 (ja) | 表面形状測定装置、表面形状測定方法、構造物製造システム、構造物製造方法、及び表面形状測定プログラム | |
JP3702733B2 (ja) | 光学検査装置のアライメント方法およびその機構 | |
JP4922905B2 (ja) | 回転中心線の位置変動測定方法および装置 | |
JP2014202589A (ja) | 面間隔測定装置 | |
JP2020139848A (ja) | 三次元計測機の校正器具 | |
JP6980304B2 (ja) | 非接触内面形状測定装置 | |
KR101692152B1 (ko) | 비점수차를 이용한 변위 센서 및 그 변위 측정방법 | |
TWI359258B (en) | A contact measurement probe with optical sensing f | |
JPH01235807A (ja) | 深さ測定装置 | |
TWI239385B (en) | A kind of apparatus using transmission grating to measure rotation axis errors | |
JP2000275005A (ja) | 波面形状測定方法 | |
TWI220688B (en) | A device and method of reflective diffraction grating measure revolving spindle |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20130415 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130604 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20130725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140303 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141028 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141110 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5655389 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |