JP6406260B2 - 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置の校正方法および形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6406260B2 JP6406260B2 JP2015537609A JP2015537609A JP6406260B2 JP 6406260 B2 JP6406260 B2 JP 6406260B2 JP 2015537609 A JP2015537609 A JP 2015537609A JP 2015537609 A JP2015537609 A JP 2015537609A JP 6406260 B2 JP6406260 B2 JP 6406260B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- tilt angle
- shape measuring
- interferometers
- interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/40—Caliper-like sensors
- G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
前記ステージに載置された平行平板を前記2つの干渉計の間に配置して前記2つの干渉計の検出軸線の相対傾角を検出する工程と、
異なる径の複数の基準球を用いて、前記干渉計の検出軸線のずれ量と、前記干渉計の検出軸線に対する前記ステージ移動軸のチルト角とを含む情報を取得し、前記情報から、前記ずれ量と前記チルト角とを算出する工程と、を有することを特徴とする。
11 光源
12 フィルター
13 ビームスプリッタ
14 対物レンズ
15 ビームスプリッタ
16 ミラー
17 カメラ
18 アクチュエータ
20 ステージ
21 平行平板
31 基準球
32 基準球
33 基準球
AX1,AX2 検出軸線
Claims (5)
- 1軸方向に移動するステージに載置した被測定物の形状を測定するために、前記ステージの移動方向に沿って対向して配置された2つの干渉計を有する形状測定装置の校正方法であって、
前記ステージに載置された平行平板を前記2つの干渉計の間に配置して前記2つの干渉計の検出軸線の相対傾角を検出する工程と、
異なる径の複数の基準球を用いて、前記干渉計の検出軸線のずれ量と、前記干渉計の検出軸線に対する前記ステージ移動軸のチルト角とを含む情報を取得し、前記情報から、前記ずれ量と前記チルト角とを算出する工程と、を有することを特徴とする形状測定装置の校正方法。 - 算出された前記ずれ量と前記チルト角と検出された前記2つの干渉計の検出軸線の相対傾角とに基づいて、前記ステージと前記2つの干渉計とを位置決めする工程を有することを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置の校正方法。
- 算出された前記ずれ量と前記チルト角と検出された前記2つの干渉計の検出軸線の相対傾角とに基づいて、前記ステージと前記2つの干渉計との位置関係を補正する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置の校正方法。
- 前記複数の基準球は、互いに異なる径の3つの球であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の形状測定装置の校正方法。
- 1軸方向に移動するステージに載置した被測定物の形状を測定するために、前記ステージの移動方向に沿って対向して配置された2つの干渉計を有し、請求項1〜4のいずれかの校正方法により校正されてなることを特徴とする形状測定装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013192575 | 2013-09-18 | ||
JP2013192575 | 2013-09-18 | ||
PCT/JP2014/071709 WO2015040995A1 (ja) | 2013-09-18 | 2014-08-20 | 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015040995A1 JPWO2015040995A1 (ja) | 2017-03-02 |
JP6406260B2 true JP6406260B2 (ja) | 2018-10-17 |
Family
ID=52688651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015537609A Active JP6406260B2 (ja) | 2013-09-18 | 2014-08-20 | 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6406260B2 (ja) |
WO (1) | WO2015040995A1 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3486546B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2004-01-13 | キヤノン株式会社 | 3次元形状測定装置及び方法 |
JPH11281306A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Nikon Corp | 座標測定機の校正値検出方法及びこの校正値を用いた形状データ校正方法 |
JP3999063B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2007-10-31 | 株式会社リコー | 三次元測定機、三次元測定機の校正方法及び該方法を実行するためのプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP5655389B2 (ja) * | 2010-06-18 | 2015-01-21 | コニカミノルタ株式会社 | 校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置 |
JP2012242085A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-10 | Olympus Corp | 曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法および曲率半径測定機 |
-
2014
- 2014-08-20 JP JP2015537609A patent/JP6406260B2/ja active Active
- 2014-08-20 WO PCT/JP2014/071709 patent/WO2015040995A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015040995A1 (ja) | 2015-03-26 |
JPWO2015040995A1 (ja) | 2017-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6306724B2 (ja) | 非球面およびその他の非平坦面のトポグラフィの測定 | |
EP2183546B1 (en) | Non-contact probe | |
US10352817B2 (en) | Device and method for geometrically measuring an object | |
JP6542355B2 (ja) | レンズ及びレンズ金型の光学評価 | |
JP6193218B2 (ja) | 表面を非接触にて測定するための方法および装置 | |
JP5936357B2 (ja) | 姿勢検出器、接触プローブ、および、マルチセンシングプローブ | |
WO2007018118A1 (ja) | レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 | |
Petz et al. | Tactile–optical probes for three-dimensional microparts | |
JP2009300441A (ja) | センサの位置を決定するための方法及び装置 | |
Tutsch et al. | Optical three-dimensional metrology with structured illumination | |
US20130044332A1 (en) | Surface profile measurement apparatus and alignment method thereof and an improved sub-aperture measurement data acquisition method | |
JP5535031B2 (ja) | レーザ光の光軸方向の測定方法、長さ測定システム、および位置決め精度の検査方法 | |
JP2018522240A (ja) | アーチファクトを測定するための方法 | |
US10739125B2 (en) | Precision measurement system using interferometer and image | |
TW201009287A (en) | Optical multi-axis linear displacement measurement system and a method thereof | |
JP5543765B2 (ja) | フィゾー型干渉計、及びフィゾー型干渉計の測定方法 | |
JP6406260B2 (ja) | 形状測定装置の校正方法および形状測定装置 | |
JP7344283B2 (ja) | モーションエンコーダ | |
JP2006308452A (ja) | 3次元形状計測方法および装置 | |
JP2013160742A (ja) | 回折格子を用いた3次元干渉計参照面の校正方法、および3次元干渉計 | |
JP2006133059A (ja) | 干渉測定装置 | |
Berger et al. | Non-Contact Metrology of Aspheres and Freeforms based on a Scanning Point Interferometer | |
JP4922905B2 (ja) | 回転中心線の位置変動測定方法および装置 | |
Zhang et al. | On-machine optical probe based on discrete rotational symmetric triangulation | |
JP2007315865A (ja) | 三次元変位量測定器および測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180411 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6406260 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |