JP5600045B2 - 三次元測定機の校正方法 - Google Patents
三次元測定機の校正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5600045B2 JP5600045B2 JP2010229476A JP2010229476A JP5600045B2 JP 5600045 B2 JP5600045 B2 JP 5600045B2 JP 2010229476 A JP2010229476 A JP 2010229476A JP 2010229476 A JP2010229476 A JP 2010229476A JP 5600045 B2 JP5600045 B2 JP 5600045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- rotary table
- contact
- sphere
- coordinate system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
このような三次元測定機においては、回転テーブルを用いて測定を行なう場合、事前に回転テーブルの座標系の登録が必要である。
図16に示すように、回転テーブル50の座標系の登録には、通常、回転テーブル50の表面の外周近くの点(基準点)に固定したマスターボール9(基準球)が用いられる。マスターボール9は支持用の軸部をねじ孔に螺合させる等により回転テーブル50の表面に固定される。
図17に示すように、3つ以上の基準点(S1〜S3)が測定できれば、これらの基準点によって1つの円が特定でき、この円の中心位置を回転テーブル50の座標の原点Otと設定し、この円を含む平面に沿ってX軸(Xt)およびY軸(Yt)を設定し、原点Otを通る同平面の法線をZ軸(Zt)として設定する。
また、マスターボール表面のポイント測定には、各々プロービング誤差(プローブの測定精度による誤差)が避けられず、このようなポイント測定を多点で行うマスターボール中心位置の測定においては多点である分の誤差の累積が避けられない。その結果、前述した回転テーブル座標系の登録の手順を利用した場合、個々のポイント測定におけるプロービング誤差が僅かでも、回転テーブル座標系としての精度が不十分になるという問題がある。
プローブの先端球と同時に接触する3つの面を有する校正治具を用い、
前記回転テーブルの表面に前記校正治具を設置した後、
事前測定として、前記プローブを前記回転テーブルとは反対側から前記校正治具に近接させ、前記プローブを前記3つの面のいずれかの表面に接触させて前記校正治具におけるアプローチ位置を推定しておき、
本測定では、前記プローブを前記校正治具に近接させる際に、前記プローブを前記アプローチ位置に近接させ、前記プローブの先端球を前記3つの面のいずれかの表面に接触させ、前記表面に沿って摺動させながら前記3つの面の隙間に導入させ、前記プローブの先端球が前記3つの面の全てと同時に接触した状態での座標位置を読み取る、ことを特徴とする。
つまり、回転テーブル表面上の基準点の測定にあたり、従来はマスターボールの赤道に沿った4点のポイント測定が必要であったのに対し、本発明では校正治具と少なくとも3つの接点で接触させる1回の測定で済ますことができる。このため、従来のようなポイント測定の繰り返しによる作業効率の低下が解消でき、かつ誤差の累積による精度低下が解消できる。
本発明において、先端球と同時に接触する3つの面を有することは、基準点としてプローブで測定される点を校正治具上ないし回転テーブル表面上に決定するために必要であり、このような3つの面としては、例えば3つの球体あるいは球面、3つの円錐体あるいは円錐面、三角錐状の孔の内面などが採用できる。
本発明においては、前記回転テーブルの表面に前記校正治具を設置した後、事前測定として前記プローブを前記3つの面のいずれかの表面に接触させて前記校正治具におけるアプローチ位置を推定しておき、本測定では前記プローブを前記校正治具に近接させる際に、前記プローブを前記アプローチ位置に近接させる。
このようなアプローチ位置を事前測定しておくことで、複数の角度位置で校正治具に先端球を接触させる際に、目標位置として利用でき、作業を確実かつ効率よく行うことができる。
ここで、3つの球面は、既存のマスターボールのような球体を3つ集めてもよく、他の支持体で内向きに支持された3つの半球体であってもよい。
このような本発明では、前述したプローブの先端球との接触が球面により行われるため、プローブあるいは校正治具側の傾き等の影響を受けにくく、回転テーブル表面上の基準点の一義的な決定が確実かつ容易に行える。
このような本発明では、各球面が互いに接することで曲率中心の位置関係が一意に決定され、互いの曲率半径が同一かつ曲率中心の高さが同一であることで、校正治具における対称性が得られ、校正治具における基準点の決定が確実かつ容易に行える。
このような本発明では、互いに接する3つの球面の間に形成される隙間を通過できる球の半径R2=(2/√3−1)R1=0.1547・R1となる。従って、この半径Rより大きな半径R2を有する先端球であれば、前記隙間を通過できず、必ず3つのマスターボールに同時に接触し、基準点を確定することができる。
〔装置構成〕
図1において、本実施形態の形状測定装置は、回転テーブル50を有する三次元測定機1と、この三次元測定機1を駆動制御して必要な測定値を取り込んで形状処理に必要な演算処理を実行するコンピュータ2とから構成されている。
回転テーブル50は、定盤11内に設置された図示しない回転駆動機構で支持され、定盤11上面に垂直な軸線まわりに任意の回転角度位置へと回転可能である。回転駆動機構は、定盤11に対する回転テーブル50の回転角度を検出する機能を有する。
コンピュータ本体21は、図示しない演算処理装置および記憶装置などを備えるとともに、図示しないインターフェイスを介してプローブ17に接続されている。
コンピュータ2は、外部操作により起動され、記録されたプログラムを実行することで三次元測定機1の動作を制御し、プローブ17からの信号を処理して指定された測定結果を出力できるようになっている。
図2には、本実施形態における座標系の関係が示されている。
本実施形態においては、スケール座標系(XS,YS,ZS)、マシン座標系(XM,YM,ZM)、回転テーブル基準座標系(XT,YT,ZT)、回転テーブル回転座標系(XTθ,YTθ,ZTθ)、ワーク座標系(XW,YW,ZW)が用いられる。
マシン座標系(XM,YM,ZM)は、定盤11に設定される基準点を実測し、この基準点を原点OMとして設定される定盤11に固定された座標系であり、スケール座標系(XS,YS,ZS)を平行移動させた座標系である。
なお、定盤11上の基準点の測定は、既存の手法、例えば定盤11上に図2に示すようなマスターボール11Aを立て、その赤道4点と頂上1点のポイント測定をプローブ17で実行することが採用できる。一方、後述する本発明の校正治具60を定盤11に固定してプローブ17で測定してもよく、操作の簡略化と精度の向上が期待できる。
これらの回転テーブル基準座標系および回転テーブル回転座標系を設定するために、後述する回転テーブル基準座標系の登録が行われる。
CPW=(XW,YW,ZW) :ワーク座標系
CPTθ=(XTθ,YTθ,ZTθ) :回転テーブル回転座標系
CPT=(XT,YT,ZT) :回転テーブル基準座標系
CPM=(XM,YM,ZM) :マシン座標系
CPS=(XS,YS,ZS) :スケール座標系
CPW=[M1][CPTθ−COW]
CPTθ=[M2]CPT
CPT=[M3][CPM−COT]
CPM=CPS−COM
…(1)
…(2)
…(3)
以上の要素を用いて、各座標系における点Pの座標は相互に変換することができる。例えば、ワーク座標系における点Pの座標CPW=(XW,YW,ZW)は次のように変換することができる。
CPW=[M1]{[M2][M3][CPS−COM−COT]−COW}
本実施形態においては、回転テーブル基準座標系の登録にあたって、本発明に基づく校正治具を用いる。そして、事前測定として、回転テーブル50の3つの角度位置(0度,120度,240度、図3参照)で校正治具の概略位置を測定し、次に、本測定として、同3つの角度位置で校正治具の3球の球心測定により各位置での基準点を測定する。
図3に示すように、校正治具60は、プローブ17の先端球17Aに接触する接触部61と、この接触部61を支持する支持部62と、を有する。支持部62は、回転テーブル50上に載置される基台63と、基台63に立設された3本の支柱64とを有する。接触部61は、それぞれ支柱64に支持されかつ互いに接触する3つの球体65を有する。
図5に示すように、球体65は、互いに表面の一点で互いに接している。その結果、各球体65の間には平面略三角形状の隙間が形成され、この隙間の内接円の直径D2(半径R2)は球体65の直径D1(半径R1)の0.1547倍となる。これは、同隙間の内接円の半径R2=(2/√3−1)R1=0.1547・R1となることによる。
例えば、球体65として直径D1=20mmのマスターボールを用いるのであれば、隙間の直径D2=3.094mmとなり、先端球17Aの直径D3は3.1mm以上であれば基準点の測定に利用できる。
事前測定では、回転テーブル50の3つの角度位置(図3参照)において、それぞれ校正治具60の概略位置測定を行い、後続の本測定におけるプローブ17のアプローチ位置を設定する。
図6において、事前測定では、まず校正治具60を回転テーブル50に載置して固定し、この校正治具60の3つの球体65のうち1つを指定する(処理S11)。
例えば、校正治具60を回転テーブル50に載置する際に、球体65の1つが外周寄りにくるように配置し、この球体65を指定する。あるいは、球体65の1つが回転テーブル50の中心寄りにくるように配置し、この球体65を指定してもよく、測定操作を行うオペレータが3つのうち何れかを認識できればよい。
図7において、回転テーブル50に固定された校正治具60において、例えば図中左側の球体65が指定されているなら、オペレータはコンピュータ2からの操作により、プローブ17をこの球体65の上方から近接させ、先端球17Aをこの球体65の頂上に接触させる。この際、先端球17Aが接触する位置は、球体65の頂上付近であればよく、目視により操作でよい。
図8に示すように、校正治具60を上方から見ると、3つの球体65の中心は各々を頂点とする正三角形を描く。この正三角形の中央には3つの球体65の隙間が形成されているとともに、この正三角形の中心が校正治具60の中心であり、校正治具60の基準点となる。
ここで、指定された球体65の中心位置OB、先端球17Aの接触位置OP、校正治具60の中心位置OJとすると、例えば指定された球体65が回転テーブル50の最外側であれば、球体65の中心位置OBから回転テーブル50の中心向きに距離2D1/√3だけ変位した位置が中心位置OJとなる。従って、先のポイント測定で得られた接触位置OPから中心位置OBと中心位置OJとの変位量を計算することにより、中心位置OJの近傍の中心位置OJ’を推定することができる。
すなわち、後述する本測定では、先端球17Aを3つの球体65の隙間に導入する必要がある。先端球17Aは、この隙間に正確に導入されることが望ましいが、各球体65の表面に当接した後、同表面に沿って摺動しながら同隙間に導入されてもよい。このようなガイド機能は、球体65の表面の傾斜が垂直に近づく部分つまり球体65の中心から半径D/4より内側の領域で円滑に得られる。
従って、アプローチ位置(中心位置OJ’)は、3つの球体65の中心が形成する正三角形の内側であって、かつ各中心からD/4の円より内側の領域とすることが望ましい。
前述した処理S14で推定した中心位置OJ’は、通常の目視操作が行われていれば、同領域に確実に設定することができる。
以上により事前処理が完了となり、続いて本測定に入る。
本測定では、回転テーブル50の3つの角度位置(図3参照)において、それぞれ校正治具60の基準点測定(3球の球心測定)を行う。各角度位置においては、事前測定で登録したアプローチ位置にプローブ17を降下させることで、3つの球体65の隙間に先端球17Aを導入し、3つの角度位置における校正治具60の基準点の正確な測定を行う。
先端球17Aが球体65に接触したら、先端球17Aを球体65の表面に沿って移動させ(処理S24)、この動作を先端球17Aが基準点に接近するまで継続する(処理S25)。基準点への接近は、先端球17Aの移動方向から検出することができる。
図11に示すように、先端球17Aが球体65の高緯度部分(球体65の赤道よりも高い位置)に接触している状態では、ベクトルvAとベクトルvAPとのなす角度θは大きいが、先端球17Aの移動が継続されて球体65の赤道近くまで達すると、ベクトルvAとベクトルvAPとのなす角度θは小さくなる。
これを利用して、処理S25では、例えばvAの単位ベクトルとvAPの単位ベクトルの内積を計算し、その値がcos(1度)以上のとき、基準点に接近したと判定することができる。
基準点への到達は、プローブ17の信号から検出される押し込み量Eを監視し、この押し込み量Eの値が安定した状態をもって到達と判断することができる。なお、押し込み量Eが許容値E0を超えた場合、エラーとして処理する。
図9の処理S23までにより、プローブ17が下降して先端球17Aが球体65に接触された状態となっている。
初期化にあたっては、三次元測定機1におけるX軸,Y軸,Z軸の各現在位置を初期値として設定する。
すなわち、X軸の新チップ中心座標値Pcx_new=CMMx+Px
Y軸の新チップ中心座標値Pcy_new=CMMy+Py
Z軸の新チップ中心座標値Pcz_new=CMMz+Pz
X軸の旧チップ中心座標値Pcx_old=Pcx_new
Y軸の旧チップ中心座標値Pcy_old=Pcy_new
Z軸の旧チップ中心座標値Pcz_old=Pcz_newとする。
具体的には、三次元測定機1によりプローブ17の下降を継続させ(処理S242)、現在の先端球17Aの中心位置を各軸の新チップ中心座標値として更新し(処理S243)、基準点への接近を判定する(処理S251)。
X軸の新チップ中心座標値Pcx_new=CMMx+Px
Y軸の新チップ中心座標値Pcy_new=CMMy+Py
Z軸の新チップ中心座標値Pcz_new=CMMz+Pz
処理S251における基準点への接近の判定は、基準点に対してX,Y,Zの各軸の何れも0.003mm以内に近づいた際、つまり各軸の新旧チップ中心座標値の差である次の3式が全て満たされた際に「接近」と判定する。
|Pcx_new−Pcx_old|≦0.003mm
|Pcy_new−Pcy_old|≦0.003mm
|Pcz_new−Pcz_old|≦0.003mm
処理S244における各軸の旧チップ中心座標値は、次のように更新される。
X軸の旧チップ中心座標値Pcx_old=Pcx_new
Y軸の旧チップ中心座標値Pcy_old=Pcy_new
Z軸の旧チップ中心座標値Pcz_old=Pcz_new
具体的には、三次元測定機1によりプローブ17を微少な距離だけ下降させ(処理S261)、この後プローブ17を停止させ(処理S262)、所定時間待機して機械の静止を待ち(処理S263)、現在の先端球17Aの中心位置を各軸の新チップ中心座標値として更新し(処理S264)、この後、基準点への到達を判定する(処理S271)。
処理S261における下降の微少な距離としては、前述した押し込み量Eの許容値E0を用いて、E0/8の値などが利用できる。
処理S264における各軸の新チップ中心座標値の更新は前述した処理S243と同様である。
|Pcx_new−Pcx_old|≦0.001mm
|Pcy_new−Pcy_old|≦0.001mm
|Pcz_new−Pcz_old|≦0.001mm
この処理S271は、基準値が異なるが、前述した接近の判定の処理S251と処理内容が同じである。
処理S271において基準点への到達が判定されない場合、旧チップ中心座標値を現在の新チップ中心座標値で更新し(処理S265)、プローブ17の信号から検出される押し込み量Eの余裕を判定する(処理S272)。
処理S265における各軸の旧チップ中心座標値の更新は前述した処理S244と同様である。
処理S272において押し込み量に余裕があると判定された場合、引き続き前述した処理S261〜S265の動作および処理S271,S272の判定を繰り返す。
処理S272において押し込み量に余裕がないと判定された場合、押し込み量エラーとしてアプローチ位置の修正(処理S273)を行い、その他の基準点に達しない障害原因を除去し、図9の処理S22に戻ってアプローチから処理をやりなおす。
1つの角度位置において前述した処理S22〜処理S30が実行できたら、現在の角度位置が240度か否かを判定し(処理S31)、240度でない場合は、回転テーブル50を120回転させ(処理S32)、次の角度位置において同様の処理S22〜処理S30を繰り返す。そして、角度位置が240度の状態で処理S22〜処理S30が実行できたら、3つの角度位置の基準点の座標データが得られることになる。
以上に説明した実施形態によれば、次に示す効果がある。
前記実施形態では、回転テーブル50の各角度位置における基準点の測定にあたり、プローブ17を校正治具60に接近させることで、先端球17Aを3つの球体65の各々と接触させることができ、基準点を1回の測定で済ますことができる。従って、従来はマスターボールの赤道に沿った4箇所と頂上の1箇所の計5点のポイント測定が必要であったのに対し、本発明では処理を大幅に簡素化できる。このため、従来のようなポイント測定の繰り返しによる作業効率の低下が解消でき、かつ誤差の累積による精度低下が解消できる。
さらに、球体65として既存のマスターボールを用いるとしたため、球面精度が確保できるとともに、互いの曲率半径が同一かつ曲率中心の高さが同一であることから、各球体65の曲率中心の位置関係が簡素となり、校正治具60における対称性が得られ、校正治具60の中心位置として基準点を確実かつ容易に規定できる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
このような実施形態においても、上方からプローブ17を近接させれば、先端球17Aが半球体65Aにそれぞれ一点で接触し、前述した図1〜図11の実施形態と同様な手順で事前測定ないし本測定を実行することができる。
前記各実施形態では、3つの球体65あるいは半球体65Aを互いに接触させるとしたが、これらは接触させないように配置してもよい。互いに接触させることで各球体の中心が正三角形を描き、中心位置の割り出しが容易である。しかし、互いに接触させない場合でも、先端球17Aが3つの球体に接触することで一点に位置決めされるようにでき、この状態での先端球17Aの中心位置を実測することで三角形の中心位置ないしは校正治具60の基準位置を割り出すことができる。
さらに、校正治具60の接触部61としては、前述した各実施形態のような球面に限らず、平面あるいは円錐面などであってもよい。
このような実施形態においても、上方からプローブ17を接近させ、先端球17Aを孔67A内に導入することで、先端球17Aは孔67Aの3つの内面とそれぞれ1点で接触し、一意に決まる基準点を設定することができる。
このような実施形態においても、上方からプローブ17を接近させ、先端球17Aを3つの円錐柱66の間に導入することで、先端球17Aは3つの円錐柱66とそれぞれ1点で接触し、一意にきまる基準点を設定することができる。
このような測定角度位置は、360度の整数分の一に限らず、不均等な配置で選択してもよい。
前記実施形態のように事前測定によりアプローチ位置を登録しておくことで、本測定では自動運転が可能となり、かつ校正治具60を移動しない限り、複数回の本測定で繰り返し登録されたアプローチ位置を参照可能である。
Claims (3)
- 三次元測定機の回転テーブルの座標系を登録するために前記回転テーブルの表面の基準点の座標位置を少なくとも3つの角度位置で測定する三次元測定機の校正方法であって、
プローブの先端球と同時に接触する3つの面を有する校正治具を用い、
前記回転テーブルの表面に前記校正治具を設置した後、
事前測定として、前記プローブを前記回転テーブルとは反対側から前記校正治具に近接させ、前記プローブを前記3つの面のいずれかの表面に接触させて前記校正治具におけるアプローチ位置を推定しておき、
本測定では、前記プローブを前記校正治具に近接させる際に、前記プローブを前記アプローチ位置に近接させ、前記プローブの先端球を前記3つの面のいずれかの表面に接触させ、前記表面に沿って摺動させながら前記3つの面の隙間に導入させ、前記プローブの先端球が前記3つの面の全てと同時に接触した状態での座標位置を読み取る、ことを特徴とする三次元測定機の校正方法。 - 請求項1に記載した三次元測定機の校正方法において、
前記3つの面は3つの球面であり、前記3つの球面は、互いに接するとともに、互いの曲率半径が同一かつ曲率中心の高さが同一であることを特徴とする三次元測定機の校正方法。 - 請求項2に記載した三次元測定機の校正方法において、
前記3つの球面の曲率半径をR1として、前記プローブの先端球の半径R2は前記R1の0.1547倍よりも大きいことを特徴とする三次元測定機の校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010229476A JP5600045B2 (ja) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | 三次元測定機の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010229476A JP5600045B2 (ja) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | 三次元測定機の校正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012083192A JP2012083192A (ja) | 2012-04-26 |
JP5600045B2 true JP5600045B2 (ja) | 2014-10-01 |
Family
ID=46242218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010229476A Active JP5600045B2 (ja) | 2010-10-12 | 2010-10-12 | 三次元測定機の校正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5600045B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104596390B (zh) * | 2014-10-28 | 2017-08-25 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 利用三坐标测量机实现多工位测量元素计算的方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014201508B4 (de) | 2014-01-28 | 2018-09-06 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Normal und zugehörige Verfahren |
JP6537852B2 (ja) * | 2015-03-09 | 2019-07-03 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の軸ずれ判定方法、形状測定装置の調整方法、形状測定装置の軸ずれ判定プログラム、および、形状測定装置 |
WO2017082325A1 (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-18 | 日本精工株式会社 | ステアリング装置及びステアリング装置の組立方法 |
TWI647037B (zh) * | 2017-12-18 | 2019-01-11 | 新代科技股份有限公司 | 治具校正裝置與方法 |
JP7152086B1 (ja) * | 2021-07-30 | 2022-10-12 | 有限会社ピーシー・テクニクス | 回転軸線校正用治具、回転軸線校正方法、メンテナンス治具 |
JP7090365B1 (ja) * | 2021-07-30 | 2022-06-24 | 有限会社ピーシー・テクニクス | クランプ装置、固定治具、三次元測定機 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2940633C2 (de) * | 1979-10-06 | 1986-01-02 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verfahren zur Bestimmung der Drehachse eines Rundtisches in Mehrkoordinaten-Meßgeräten |
GB8906287D0 (en) * | 1989-03-18 | 1989-05-04 | Renishaw Plc | Probe calibration |
-
2010
- 2010-10-12 JP JP2010229476A patent/JP5600045B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104596390B (zh) * | 2014-10-28 | 2017-08-25 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 利用三坐标测量机实现多工位测量元素计算的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012083192A (ja) | 2012-04-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5600045B2 (ja) | 三次元測定機の校正方法 | |
JP6013533B2 (ja) | 表面センサオフセット | |
JP5539865B2 (ja) | 走査ヘッドの較正装置および方法 | |
JP5277033B2 (ja) | 補正ボール径算出方法および形状測定装置 | |
JP4275632B2 (ja) | パラレルメカニズム機構のキャリブレーション方法、キャリブレーションの検証方法、キャリブレーションの検証プログラム、データ採取方法及び空間位置補正における補正データ採取方法 | |
KR101200961B1 (ko) | 평행 운동학적 기계, 평행 운동학적 기계의 교정 방법, 및교정 프로그램 제품 | |
CN102483621B (zh) | 机床校准方法 | |
US9383198B2 (en) | Method and device for reducing errors in a turning device during the determination of coordinates of a workpiece or during the machining of a workpiece | |
US8504316B2 (en) | Form measuring instrument, and calibration method and calibration program therefor | |
US9733056B2 (en) | Method for compensating lobing behavior of a CMM touch probe | |
TWI473967B (zh) | Shape measuring device | |
CN109253710B (zh) | 一种revo测头a轴零位误差标定方法 | |
CN113733102B (zh) | 一种用于工业机器人的误差标定装置 | |
CN108534676B (zh) | 一种坐标测量机测量空间内空间误差的检验方法 | |
JP3880030B2 (ja) | V溝形状測定方法及び装置 | |
CN112050711A (zh) | 用于测量装置的回转测头和测量装置 | |
CN114279303B (zh) | 一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法 | |
CN114061502A (zh) | 形状测量设备的控制方法和存储介质 | |
CN109062138A (zh) | 一种基于立体标定块的五轴平台系统标定方案 | |
Gruza et al. | Determination of the influence of calibration sphere parameters on the results of articulating probe head qualification | |
CN118478253A (zh) | 一种基于测头的数控机床a轴旋转平面度自动测量方法 | |
CN116442000A (zh) | 数控机床原位检测系统测头预行程的标定装置及标定方法 | |
JP2009036543A (ja) | ボール溝測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130903 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140416 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140513 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140716 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140812 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140814 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5600045 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |