KR101501129B1 - 기판 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사 시간을 단축하고 사용자 편의성을 향상시킬 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사 장치는, 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛, 측정 유닛으로부터 전송된 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부, 및 최적화 모듈을 통해 최적화되는 측정 순서 및 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함한다. 이와 같이, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 검사 장치{SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 검사 영역들을 포함하는 기판에 대한 검사 시간을 단축시킴과 동시에 사용자 편의를 도모하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전자 부품이 실장된 인쇄회로기판의 신뢰성을 검증하기 위하여, 전자 부품의 실장 전후에 인쇄회로기판의 불량 여부를 검사하는 검사 공정이 진행된다. 예를 들어, 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장하기 전에 인쇄회로기판의 패드 영역에 대한 납 도포 상태를 검사하는 SPI 공정 및 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장한 후 전자 부품의 실장 상태를 검사하는 AOI 공정이 진행된다.
인쇄회로기판의 검사 공정은 기판으로 광을 조사하는 조명부 및 기판의 이미지를 촬영하여 이미지 데이터를 획득하는 카메라를 구비한 측정 유닛을 포함하는 기판 검사 장치를 통해 이루어진다. 최근 들어, 격자 패턴광을 조사하는 조명부를 이용하여 인쇄회로기판의 3차원 정보를 획득하고, 이를 통해 인쇄회로기판의 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 3차원 기판 검사 장치가 개발되고 있다.
한편, 카메라의 시야 범위(Field Of View : FOV)는 한정되어 있기 때문에, 대형 사이즈의 인쇄회로기판을 검사하기 위해서는 인쇄회로기판을 복수의 검사 영역으로 분할하여 검사를 진행하게 된다. 따라서, 측정 유닛을 복수의 검사 영역들로 이동시키면서 검사를 진행함으로써, 검사 시간이 증가하는 문제가 발생된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명은 인쇄회로기판의 검사 시간을 단축시키고, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사 장치는, 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 상기 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛, 상기 측정 유닛으로부터 전송된 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 상기 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부, 및 상기 최적화 모듈을 통해 최적화되는 상기 측정 순서 및 상기 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함한다.
상기 최적화 모듈은 상기 측정 유닛의 이동 시간 및 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이처 처리 시간 중 적어도 하나를 고려하여, 상기 검사 영역들에 대한 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서를 최적화시킨다.
상기 유저 인터페이스는 상기 최적화 모듈을 통해 최적화된 측정 순서에 따라 획득된 상기 검사 영역별 영상 데이터들을 상기 데이터 처리부들에서 데이터 처리하는 데이터 처리 순서를 표시하는 검사영역 시퀀스 챠트부를 포함할 수 있다.
상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 x축에 시간, y축에 상기 데이터 처리부들의 순번을 나타내며, 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 순서를 데이터 처리 시간에 대응되는 길이를 갖는 바 형태의 검사영역 블록으로 표시한다.
상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 사용자의 선택에 따라 상기 검사 유닛의 이동 시간을 나타내는 이동시간 블록을 상기 검사영역 블록의 앞단에 표시할 수 있다.
상기 유저 인터페이스는 상기 검사 영역들의 측정 순서를 블록 형태로 일렬로 정렬하여 표시하는 바 챠트부를 더 포함할 수 있다.
상기 유저 인터페이스는 상기 검사 영역들이 표시된 상기 검사 기판의 이미지를 표시하는 기판 이미지 표시부를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 이미지 표시부는 현재 검사가 진행 중이거나 또는 사용자가 직접 선택한 검사 영역을 하이라이트 처리하여 표시할 수 있다.
상기 유저 인터페이스는, 하나 이상의 최적화 알고리즘의 수행에 따른 결과 데이터들을 표시하는 알고리즘 표시부, 하드웨어의 파라미터를 표시하는 파라미터 표시부, 경로 최적화를 실행시키기 위한 최적화 실행부, 시뮬레이션을 실행시키기 위한 시뮬레이션 실행부, 및 사용자에 의해 선택된 검사 영역에 대한 상세 정보를 표시하는 검사영역 정보 표시부 중 적어도 하나를 포함하는 속성 표시부를 더 포함할 수 있다.
이와 같은 기판 검사 장치에 따르면, 측정 유닛의 이동 시간 및 검사 영역별 데이터 처리 시간 등을 고려하여 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등을 최적화시킴으로써, 검사 기판에 대한 검사 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유저 인터페이스의 표시 화면을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 검사영역 시퀀스 챠트부를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 A부분을 확대한 확대도이다.
도 5는 도 2에 도시된 바 챠트부를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 2에 도시된 기판 이미지 표시부를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 기판 이미지 표시부의 하이라이트 기능을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 2에 도시된 속성 표시부를 나타낸 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치는 측정 유닛(100), 제어부(200) 및 유저 인터페이스(300)를 포함한다.
측정 유닛(100)은 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판(110)에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 검사 영역들을 순차적으로 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득한다.
측정 유닛(100)은 예를 들어, 검사 기판(110)에 격자 패턴광을 조사하기 위한 하나 이상의 투영부(120) 및 상기 격자 패턴광에 의한 검사 기판(110)의 반사 이미지를 촬영하는 적어도 하나의 카메라(130)를 포함한다.
투영부(120)는 검사 기판(110)에 실장된 실장 부품의 실장 상태를 검사하기 위하여, 높이 정보, 비저빌러티(visibility) 정보 등의 3차원 정보를 획득하기 위한 격자 패턴광을 검사 기판(110)에 조사한다. 예를 들어, 투영부(120)는 광을 발생시키는 광원, 상기 광원으로부터의 광을 격자 패턴광으로 변환시키기 위한 격자 소자, 상기 격자 소자에 의해 변환된 격자 패턴광을 검사 기판(110)에 투영하기 위한 투영 렌즈 등을 포함할 수 있다. 상기 격자 소자는 격자 패턴광의 위상천이를 위해 페이조 엑추에이터(piezo actuator : PZT) 등의 격자이송기구를 통해 2/n 만큼씩 n-1번 이송될 수 있다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다. 한편, 격자 소자는 물리적 이송이 필요없는 액정 격자로 형성될 수 있다. 이러한 구성을 갖는 투영부(120)는 검사 정밀도를 높이기 위하여 카메라(130)를 중심으로 원주 방향을 따라 일정한 각도로 이격되도록 복수가 설치될 수 있다.
카메라(130)는 투영부(120)의 격자 패턴광의 조사를 통해 검사 기판(110)의 이미지를 촬영한다. 예를 들어, 카메라(130)는 검사 기판(110)으로부터 수직한 상부에 설치된다. 카메라(130)는 CCD 센서를 이용한 글로벌 셔터(global shutter) 방식의 카메라가 사용될 수 있다. 글로벌 셔터 방식의 카메라(130)는 시야범위 내의 이미지를 스냅샷(snap shot)으로 촬영하여 한 번에 영상 데이터를 획득한다. 이와 달리, 카메라(130)는 CMOS 센서를 이용한 롤링 셔터(rollering shutter) 방식의 카메라가 사용될 수 있다. 롤링 셔터 방식의 카메라(130)는 2차원 배열된 화소들을 라인 단위로 스캔하여 영상 데이터를 획득한다.
한편, 측정 유닛(100)은 검사 기판(110)의 평면적 이미지를 촬영하기 위한 조명부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 조명부는 검사 기판(110)의 초기 얼라인 또는 검사 영역 설정 등을 위한 조명으로, 원형의 링 형상으로 형성되어 검사 기판(110)에 하나 이상의 단색광을 제공한다. 예를 들어, 상기 조명부는 백색광을 발생시키는 형광 램프를 포함하거나, 또는 적색, 녹색 및 청색 광을 각각 발생시키는 적색 발광다이오드, 녹색 발광다이오드 및 청색 발광다이오드를 포함할 수 있다.
이와 같은 구성을 갖는 측정 유닛(100)은 투영부(120) 또는 상기 조명부를 이용하여 검사 기판(110)에 광을 조사하고, 카메라(130)를 통해 검사 기판(110)의 이미지를 촬영하여 실장 부품이 실장된 검사 기판(110)의 영상 데이터들을 획득한다.
한편, 카메라(130)는 한정된 시야 범위(FOV : Field of View)를 가지기 때문에, 대형 사이즈의 검사 기판(110)에 대해서는 카메라(130)의 시야 범위(FOV)에 대응하여 복수의 검사 영역들로 분할하여 검사를 진행하게 된다. 따라서, 측정 유닛(100)은 복수의 검사 영역들을 소정의 측정 순서에 따라 순차적으로 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하게 된다.
제어부(200)는 측정 유닛(100)으로부터 전송되는 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들(210), 및 검사 기판(110)의 검사 영역들에 대한 최적화된 측정 순서를 설정하기 위한 최적화 모듈(220)을 포함한다.
데이터 처리부들(210)은 측정 유닛(100)으로부터 전송되는 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 변환을 통해 높이 정보를 포함하는 검사 기판(110)의 3차원 정보 또는 2차원 정보를 획득하고, 획득된 3차원 정보 또는 2차원 정보를 이용하여 실장 부품의 실장 상태를 검사한다.
최적화 모듈(220)은 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판(110)에 대하여 특정 알고리즘을 이용하여 검사 영역들에 대한 측정 유닛(100)의 측정 순서를 최적화시킨다. 또한, 최적화 모듈(220)은 복수의 데이터 처리부들(210)에 대하여 특정 알고리즘을 이용하여 데이터 처리 순서를 최적화시킨다.
예를 들어, 최적화 모듈(220)은 측정 유닛(100)의 검사 영역들간의 이동 시간과 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 시간 등을 고려하여, 검사 영역들에 대한 측정 유닛(100)의 측정 순서 및/또는 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서를 최적화시킨다. 즉, 검사 영역들간의 이격 거리에 따라 측정 유닛(100)의 이동 시간이 달라지고, 각 검사 영역별로 처리해야할 데이터량이 달라 데이터 처리 시간이 상이함으로, 측정 유닛(100)의 이동 시간 및 검사 영역별 데이터 처리 시간 등을 고려하여 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서 등을 최적화시킴으로써, 검사 기판(110)에 대한 검사 시간을 단축시킬 수 있다.
유저 인터페이스(300)는 측정 유닛(100) 및 제어부(200)를 통해 검사 기판(110)을 검사하는 전 과정에 걸쳐, 사용자로부터 각종 입력 정보를 입력받고 사용자에게 각종 검사 정보를 표시하는 기능을 수행한다. 특히, 유저 인터페이스(300)는 최적화 모듈(220)을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 표시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유저 인터페이스의 표시 화면을 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유저 인터페이스(300)는 사용자의 최적화 작업 요청에 따라, 표시 화면 상에 검사영역 시퀀스 챠트부(310), 바 챠트부(320), 기판 이미지 표시부(330) 및 속성 표시부(340) 등을 표시한다. 예를 들어, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 표시 화면의 상단에 배치되고, 바 챠트부(320)는 검사영역 시퀀스 챠트부(310)의 하부에 배치되고, 기판 이미지 표시부(330) 및 속성 표시부(340)는 바 챠트부(320)의 하부에 배치된다. 한편, 검사영역 시퀀스 챠트부(310), 바 챠트부(320), 기판 이미지 표시부(330) 및 속성 표시부(340)의 배치 위치는 이에 한정되지 않고, 사용자의 편의에 의해 다양하게 변경될 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 검사영역 시퀀스 챠트부를 나타낸 도면이며, 도 4는 도 3에 도시된 A부분을 확대한 확대도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 복수의 데이터 처리부들(210)에 대한 데이터 처리 순서를 챠트로 표시한다. 즉, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 최적화 모듈(220)을 통해 최적화된 측정 순서에 따라 순차적으로 획득된 상기 검사 영역별 영상 데이터들을 데이터 처리부들(210)에서 데이터 처리하는 데이터 처리 순서를 시계열적으로 정렬하여 사용자에게 표시한다.
검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 x축에 시간, y축에 데이터 처리부들(210)의 순번을 나타내며, 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 순서를 데이터 처리 시간에 대응되는 길이를 갖는 바 형태의 검사영역 블록(312)으로 표시한다. 각각의 검사 영역에서 처리해야할 데이터량이 달라 각각의 검사 영역에 대한 데이터 처리 시간이 상이할 수 있으므로, 처리시간 블록들(312)은 검사 영역별로 데이터 처리 시간에 대응하여 서로 상이한 길이를 갖도록 표시될 수 있다.
검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 사용자의 선택에 따라, 검사 유닛(100)의 이동 시간을 나타내는 이동시간 블록(314)을 검사영역 블록(312)의 앞단에 표시할 수 있다. 검사 영역들 간의 거리가 동일하지 않을 수 있으므로, 측정 유닛(100)의 이동 시간을 검사 영역들 간의 이동 거리에 대응하여 서로 상이한 길이를 갖도록 표시될 수 있다.
또한, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 측정 유닛(100)의 그랩(grab) 시간을 나타내는 그랩시간 블록(316)을 검사영역 블록(312)과 이동시간 블록(314) 사이에 표시할 수 있다.
따라서, 각각의 검사 영역에 대한 전체 작업 시간은 측정 유닛(100)의 이동 시간, 그랩 시간 및 데이터 처리 시간을 합친 시간이 된다.
최적화 모듈(220)은 실질적으로 상기한 각 검사 영역에 대한 전체 작업 시간을 고려하여, 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서를 설정한다. 즉, 최적화 모듈(220)은 측정 유닛(100)으로부터 순차적으로 전송되는 검사영역별 영상데이터를 복수의 데이터 처리부들(210)에 순차적으로 할당함에 있어, 현재 데이터 처리를 진행하고 있지 않은 데이터 처리부(210)에 우선적으로 할당하는 방식으로 데이터 처리 순서를 설정한다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 11번째 검사 영역에 대한 영상 데이터를 할당함에 있어, 3번 및 4번 데이터 처리부는 아직 데이터 처리 작업을 수행 중이므로, 이미 데이터 처리가 끝난 5번 데이터 처리부에 할당하게 된다. 이와 같이, 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 현황을 고려하여 데이터 처리 순서를 설정함으로써, 전체적인 기판 검사 시단을 단축할 수 있다.
도 5는 도 2에 도시된 바 챠트부를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 바 챠트부(320)는 검사 기판(110)에 포함된 전체 검사 영역들에 대하여 측정 순서대로 일렬로 정렬된 둥근 모서리 형상의 검사영역 블록(322) 형태로 표시한다.
바 챠트부(320)는 복수의 검사영역 블록들(322)을 설정된 그룹별로 묶어서 표시할 수 있다. 바 챠트부(320)는 설정된 그룹이 없을 경우 전체 검사영역 블록들(322)을 1개의 그룹으로 표시할 수 있다. 또한, 바 챠트부(320)는 검사영역 블록(322)을 상태에 따라서 구분하여 표시할 수 있다. 또한, 바 챠트부(320)는 검사영역 블록(322)을 컨텍스트 메뉴 방식 또는 드래그앤드랍 방식 등을 통해 이동시키는 검사영역 이동 기능을 포함할 수 있다.
바 챠트부(320)는 현재 검사영역 블록들(322)의 정렬 순서, 그룹핑 등의 상태를 북마크 저장하기 위한 북마크 버튼(324)을 포함할 수 있다. 또한, 바 챠트부(320)는 저장된 북마크로부터 원하는 검사영역 블록들(322)의 상태를 로드하기 위한 로딩 버튼(326)을 포함할 수 있다.
도 6은 도 2에 도시된 기판 이미지 표시부를 나타낸 도면이며, 도 7은 도 6에 도시된 기판 이미지 표시부의 하이라이트 기능을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 기판 이미지 표시부(330)는 현재 검사를 진행하고 있는 검사 기판(110)에 대한 기판 이미지를 표시한다. 기판 이미지 표시부(330)에 표시되는 상기 기판 이미지는 실제 검사 기판(110)의 종횡비를 유지하면서, 기판 이미지 표시부(330) 영역의 크기에 맞춰서 표시된다.
기판 이미지 표시부(330)에는 실질적으로 검사가 진행되는 복수의 검사 영역들(332)이 같이 표시된다. 또한, 복수의 검사 영역들(332) 중에서 현재 검사가 진행 중인 검사 영역(332)은 다른 검사 영역들(332)과 구별되어 표시될 수 있다.
기판 이미지 표시부(330)는 도 7에 도시된 바와 같이, 현재 검사가 진행 중이거나 또는 사용자가 직접 선택한 검사 영역(332a)을 하이라이트 처리하여 표시할 수 있다. 예를 들어, 현재 검사가 진행 중이거나 또는 사용자가 직접 선택한 검사 영역(332a)을 제외한 나머지 기판 이미지 영역을 흐릿하게 반투명 처리하여 표시함으로써, 특정된 검사 영역(332a)만을 하이라이트 처리하여 표시할 수 있다.
이 외에도, 기판 이미지 표시부(330)는 마우스 컨트롤을 이용하여 기판 이미지와 검사 영역(332)을 확대/축소하여 표시할 수 있다. 또한, 기판 이미지 표시부(330)는 마우스 드래깅을 이용하여 기판 이미지와 검사 영역(332)을 이동하여 표시할 수 있다.
도 8은 도 2에 도시된 속성 표시부를 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 속성 표시부(340)는 알고리즘 표시부(341), 파라미터 표시부(342), 최적화 실행부(343), 시뮬레이션 실행부(344), 검사영역 정보 표시부(345) 등을 포함할 수 있다.
알고리즘 표시부(341)는 하나 이상의 최적화 알고리즘의 수행에 따른 결과 데이터들을 표시한다. 여기서, 상기 결과 데이터는 어느 하나의 최적화 알고리즘을 통해 검사 기판(110)에 대한 모든 검사 영역들을 검사하는데 걸린 총 시간을 의미한다. 알고리즘 표시부(341)는 경로 최적화 기능을 수행하기 전까지는 비활성화 표시되며, 경로 최적화 기능의 수행 후, 최적화 수행 결과 데이터가 나오는 항목에 대해서 개별적으로 활성화되어 표시된다. 알고리즘 표시부(341)는 모든 최적화 알고리즘에 대한 경로 최적화의 수행이 완료되면, 시간이 가장 작은 값을 최종 결과값(Result)으로 설정하여 표시한다.
파라미터 표시부(342)는 측정 유닛(100) 및 데이터 처리부(210) 등과 관련된 하드웨어의 파라미터를 설정 및 표시하는 영역이다. 예를 들어, 파라미터 표시부(342)는 측정 유닛(100)의 속도, 가속도 및 감속도와, 데이터 처리부(210)의 개수 등을 표시한다.
파라미터 표시부(342)는 로그인 권한에 따라 활성화 또는 비활성화되어 표시된다. 예를 들어, 파라미터 표시부(342)는 장비 제조사가 로그인한 경우 편집이 가능하도록 활성화되어 표시되고, 일반 사용자가 로그인한 경우 편집이 불가능하도록 비활성화되어 표시된다.
최적화 실행부(343)는 경로 최적화를 실행시키기 위한 경로 최적화 버튼이 형성된 영역이다. 최적화 실행부(343)에서 실제 검사시간 이용이라는 체크 박스가 체크되어 있으면, 실제 검사 시간 정보값으로 최적화를 수행한다.
최적화 실행부(343)에서 경로 최적화 실행 버튼을 클릭하면 경로 최적화가 수행되며, 알고리즘별로 진행상황을 표시하는 최적화 다이얼로그가 표시된다. 이때, 경로 최적화의 수행 상태에 따라서, 일시중지, 다시시작, 취소, 닫기 등을 할 수 있다. 경로 최적화의 수행이 완료되면, 알고리즘 표시부(341)에 결과 데이터가 업데이트되어 표시되며, 시간이 가장 작은값이 최종 결과값(Result)으로 표시된다. 결과 데이터의 업데이터 후, 사용자가 결과 데이터 중 임의의 값을 선택하면, 선택된 결과 데이터로 현재 모듈의 검사영역 정보가 업데이트되며, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)가 업데이트되어 표시된다.
시뮬레이션 실행부(344)는 경로 최적화에 대한 시뮬레이션을 수행하기 위한 시뮬레이션 실행 버튼이 형성된 영역이다. 시뮬레이션 실행부(344)에는 시뮬레이션 시간을 설정하기 위한 입력창이 형성된다.
실뮬레이션 실행부(344)에서 시뮬레이션 시간을 입력하고 시뮬레이션 실행 버튼을 클릭하면, 현재 설정되어 있는 최적화 경로에 따라 순서대로 검사 영역들에 대한 시뮬레이션을 수행한다. 시뮬레이션이 수행되면 시뮬레이션에 대한 진행상황을 표시하는 다이얼로그가 표시된다. 이때, 시뮬레이션의 수행 상태에 따라서, 일시중지, 다시시작, 취소, 닫기 등을 할 수 있다. 또한, 시뮬레이션을 수행하는 중에는, 검사영역 시퀀스 챠트부(310), 바 챠트부(320), 기판 이미지 표시부(330) 등에서 현재 시뮬레이션 작업 중인 검사 영역이 하이라이트 형태로 표시될 수 있다.
검사영역 정보 표시부(345)는 사용자에 의해 선택된 검사 영역에 대한 상세 정보를 표시한다. 예를 들어, 사용자가 검사영역 시퀀스 챠트부(310) 또는 바 챠트부(320)에서 검사 영역을 선택하면, 검사영역 정보 표시부(345)는 선택된 검사 영역에 대한 검사 영역 아이디, 검사 영역 좌표, 촬상 시간, 수행 시간, 컴포넌트 개수 등의 정보를 표시한다. 또한, 사용자가 알고리즘 표시부(341)에서 알고리즘을 선택하면, 선택된 알고리즘에 대한 상세 정보를 표시한다. 사용자에 의해 복수의 검사 영역이 선택되면, 선택된 검사 영역들에 대한 정보가 순서대로 나열되며, 세로로 스크롤될 수 있다.
이와 같이, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 측정 유닛 110 : 검사 기판
120 : 투영부 130 : 카메라
200 : 제어부 210 : 데이터 처리부
220 : 최적화 모듈 300 : 유저 인터페이스

Claims (9)

  1. 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 상기 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛;
    상기 측정 유닛으로부터 전송된 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 상기 측정 유닛의 이동 시간 및 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 시간 중 적어도 하나를 고려하여, 상기 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부; 및
    상기 최적화 모듈을 통해 최적화되는 상기 측정 순서 및 상기 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 검사영역 시퀀스 챠트부, 바 챠트부, 기판 이미지 표시부 및 속성 표시부 중 하나 이상으로 표시하는 유저 인터페이스를 포함하는 기판 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 상기 최적화 모듈을 통해 최적화된 측정 순서에 따라 획득된 상기 검사 영역별 영상 데이터들을 상기 데이터 처리부들에서 데이터 처리하는 데이터 처리 순서를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 x축에 시간, y축에 상기 데이터 처리부들의 순번을 나타내며, 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 순서를 데이터 처리 시간에 대응되는 길이를 갖는 바 형태의 처리시간 블록으로 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 사용자의 선택에 따라 상기 검사 유닛의 이동 시간을 나타내는 이동시간 블록을 상기 검사영역 블록의 앞단에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 바 챠트부는 상기 검사 기판에 포함된 전체 검사 영역들에 대하여 측정 순서대로 일렬로 정렬된 검사영역 블록 형태로 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 이미지 표시부는 상기 검사 영역들이 표시된 상기 검사 기판의 이미지를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판 이미지 표시부는 사용자의 검사 영역 선택에 따라 선택된 검사 영역을 하이라이트 처리하여 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 속성 표시부는, 하나 이상의 최적화 알고리즘의 수행에 따른 결과 데이터들을 표시하는 알고리즘 표시부, 하드웨어의 파라미터를 표시하는 파라미터 표시부, 경로 최적화를 실행시키기 위한 최적화 실행부, 시뮬레이션을 실행시키기 위한 시뮬레이션 실행부, 및 사용자에 의해 선택된 검사 영역에 대한 상세 정보를 표시하는 검사영역 정보 표시부 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10455750B2 (en) * 2015-01-20 2019-10-22 Fuji Corporation Inspection support device and inspection support method
KR101876718B1 (ko) * 2017-04-18 2018-07-13 아메스산업(주) 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치
JP2019100887A (ja) * 2017-12-04 2019-06-24 名古屋電機工業株式会社 検査順序設定装置、検査順序設定方法および検査順序設定プログラム
JP2019158500A (ja) 2018-03-12 2019-09-19 オムロン株式会社 外観検査システム、画像処理装置、撮像装置および検査方法
JP7167453B2 (ja) * 2018-03-12 2022-11-09 オムロン株式会社 外観検査システム、設定装置、画像処理装置、設定方法およびプログラム
JP7437987B2 (ja) 2020-03-23 2024-02-26 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
KR102206186B1 (ko) * 2020-09-23 2021-01-22 주식회사 신일이앤씨 계전기

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010014504A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Panasonic Corp 検査条件決定方法、検査条件決定装置、外観検査機およびプログラム

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0640324B2 (ja) * 1989-10-26 1994-05-25 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション マルチプロセッサ・システムおよびそのプロセス同期方法
JPH07128339A (ja) * 1993-10-29 1995-05-19 Shimadzu Corp 分光光度計
JP2000214098A (ja) * 1999-01-20 2000-08-04 Sony Corp 基板外観検査方法及び装置
JP4772287B2 (ja) * 2004-02-24 2011-09-14 名古屋電機工業株式会社 外観検査装置、外観検査方法および外観検査プログラム
JP3867724B2 (ja) * 2004-02-27 2007-01-10 オムロン株式会社 表面状態検査方法およびその方法を用いた表面状態検査装置ならびに基板検査装置
JP2005337957A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板検査装置
JP4460485B2 (ja) * 2005-04-27 2010-05-12 シーケーディ株式会社 順序適正化装置及び基板検査装置
JP4641889B2 (ja) * 2005-07-19 2011-03-02 シーケーディ株式会社 検査装置及び検査方法
JP2007059727A (ja) * 2005-08-25 2007-03-08 Nidec-Read Corp 基板検査装置及び基板検査方法
KR101089590B1 (ko) * 2009-05-27 2011-12-05 주식회사 고영테크놀러지 다중 영상이미지 연산방법 및 이를 수행하기 위한 3차원 영상 측정장치
DE102010029319B4 (de) * 2009-05-27 2015-07-02 Koh Young Technology Inc. Vorrichtung zur Messung einer dreidimensionalen Form und Verfahren dazu
JP5367484B2 (ja) * 2009-07-15 2013-12-11 株式会社日本マイクロニクス 検査システム
JP5582841B2 (ja) * 2010-03-29 2014-09-03 株式会社サキコーポレーション 被検査体の放射線検査装置、放射線検査方法およびプログラム

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010014504A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Panasonic Corp 検査条件決定方法、検査条件決定装置、外観検査機およびプログラム

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