KR101876718B1 - 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스테이지보다 상부로 돌출되는 롤러를 구비하므로, 스테이지로 인입되는 기판이 롤러를 따라 스테이지의 안쪽으로 용이하게 이동되고, 이에 따라 작업자가 기판을 일일이 스테이지의 안쪽으로 밀어 넣지 않아도 되어, 작업이 신속하게 진행되고, 검사의 효율성이 증대되는 효과가 있다. 또한, 스테이지에 안착된 기판이 투명판에 접촉되면, 기판이 롤러에 하방 압력을 가하게 되어, 롤러는 스테이지 내부로 삽입되고, 기판은 투명판의 설정된 위치에 정확하게 위치되므로, 검사의 정확성 및 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

Description

롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE WITH ROLLER MEMBER}
본 발명은 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판이 스테이지의 정확한 위치에 구비되도록 하여 검사의 신뢰성이 향상되도록 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board)은 휴대폰, 컴퓨터 등의 IT 제품을 구성하는 필수요소로서, PCB 제조라인의 생산성은 제품의 경쟁력과 직결되는 핵심요소이다. 이러한 인쇄회로기판은 다양한 전기적 장치를 매우 협소한 장소에 고밀도로 집적시켜야 하기 때문에 최근 들어 미세한 구조를 가진 회로가 개발되고 있다.
이러한 인쇄회로기판은 표면 실장 공정 후, 인쇄회로기판의 실장 상태가 적절하게 되었는지 여부를 검사하기 위하여 비전검사를 하게 된다. 이러한 비전검사방법은 육안 검사 방법과, 머신 검사 방법 등이 있다. 육안 검사 방법은 검사자의 숙련도와 컨디션, 작업 환경 등에 따라 불량 또는 양품의 기준이 변동 될 수 있는 요소가 상존하며, 시간이 오래 걸리고, 작업의 단순성에 의한 집중력 저하，눈의 피로 가증 등으로 인하여 품질 및 성능의 하락과 같은 문제점을 발생시킨다. 머신 검사 방법은 램프 등을 이용하여 광이 조사되는 조명부와, 상기 조명부의 상부에 설치되어 기판에 실장된 각종 부품의 영상정보를 촬영하기 위한 카메라부를 포함하는 머신검사장치 이용한다. 즉, 검사 스테이지에 기판이 위치되면, 조명부가 패턴 조명을 기판의 표면으로 조사하고, 측정 대상의 표면에서 반사 또는 확산되어 나오는 광을 카메라부가 수광하여 측정 대상의 표면에 대한 2차원 또는 3차원의 형상을 측정한 후, 이를 기준값과 비교함으로써, 기판의 불량 또는 양품 여부를 검사하게 된다.
그러나 이러한 종래 머신 검사 방법은 검사 스테이지의 정확한 위치에 인쇄회로기판을 위치시킬 수 없어, 검사의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다.
국내공개특허공보 제10-2017-0012329호
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판이 스테이지의 정확한 위치에 구비되도록 하여 검사의 신뢰성이 향상되도록 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공하도록 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 베이스; 상기 베이스의 상부에 상하 이동되도록 위치되며, 그 테두리를 따라 제 1 측부, 제 2 측부, 제 3 측부 및 제 4 측부가 구비되되, 상기 제 4 측부에 오목부가 형성되는 스테이지; 상기 스테이지를 상하 이동시키는 상하이동부; 상기 스테이지의 상부에 이격 위치되는 투명판; 일측은 상기 투명판에 연결되고 타측은 상기 제 1 측부를 지나 상기 베이스에 연결되는 제 1 가이드프레임과, 일측은 상기 투명판에 연결되고 타측은 상기 제 2 측부를 지나 상기 베이스에 연결되는 제 2 가이드프레임과, 일측은 상기 투명판에 연결되고 타측은 상기 제 3 측부를 지나 상기 베이스에 연결되는 제 3 가이드프레임을 갖는 프레임부재; 및 상기 오목부에 위치되되 탄성에 의하여 상기 오목부의 상부로 돌출되거나 또는 상기 오목부로 수용되는 롤러지지부와, 상기 롤러지지부의 상부에 회전되도록 장착되는 롤러를 갖는 롤러부재를 포함하고, 상기 스테이지가 상기 투명판의 하측으로 이격된 상태에서, 상기 스테이지와 동일한 크기로 형성되는 기판이 상기 제 4 측부와 상기 투명판 사이를 통하여 상기 스테이지로 인입되면, 상기 기판의 저면은 상기 스테이지보다 상부로 돌출된 상기 롤러와 맞닿은 상태로 상기 제 2 가이드프레임 방향으로 이동되고, 상기 제 2 가이드프레임과 마주보는 상기 기판의 측부는 상기 스테이지의 상면을 따라 슬라이딩되면서 상기 제 2 가이드프레임에 맞닿도록 이동되고, 상기 기판이 상기 스테이지로 인입된 상태에서, 상기 스테이지가 상기 투명판 방향으로 이동되면, 상기 기판이 상기 투명판에 밀착 위치되고, 상기 롤러는 기판에 의한 하방 압력에 의하여 상기 오목부로 수용되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공한다.
또한, 상기 오목부의 하부에 오목하게 보조수용부를 갖는 수용가이드부가 더 구비되고, 상기 롤러부재는, 일측은 상기 보조수용부의 저면에 지지되고 타측은 상기 롤러지지부와 연결되며 탄성을 갖는 탄성부를 더 포함하고, 상기 롤러에 하방 압력이 가해지면, 상기 탄성부가 탄성 변형되면서 상기 롤러지지부와 상기 롤러를 상기 보조수용부와 상기 오목부로 이동시키는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공한다.
또한, 상기 탄성부는, 상기 보조수용부의 저면에서 지지된 상태로 그 상부로 돌출되는 제 1 돌출부와, 상기 제 1 돌출부의 길이방향을 따라 슬라이딩되면서 상하 이동되는 제 2 돌출부와, 상기 제 1 돌출부와 상기 제 2 돌출부에 일체로 삽입되는 코일스프링과, 상기 제 2 돌출부의 상단부에 형성되되 상기 제 2 돌출부보다 큰 면적을 갖는 차단부를 포함하고, 상기 롤러지지부는, 상기 차단부에 돌출 형성되는 축지지부와, 상기 축지지부의 상단에 수직 방향으로 연장되는 회전축을 포함하며, 상기 롤러는 상기 회전축에 회전되도록 삽입되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공한다.
또한, 상기 투명판의 상기 제 4 측부와 마주보는 위치에는 상기 제 2 측부 방향으로 텐션을 갖는 텐션부가 더 구비되고, 상기 스테이지가 상기 투명판 방향으로 이동되어 상기 스테이지에 안착된 상기 기판이 상기 투명판으로 이동될 때, 상기 기판은 상기 텐션부를 따라 슬라이딩되면서 상기 제 2 측부 방향으로 안내되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공한다.
또한, 상기 투명판의 테두리를 감싸도록 형성되는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 텐션부는, 상기 지지프레임에 장착되는 장착부와, 상기 장착부에서 상기 제 4 측부 방향으로 절곡 형성되는 절곡부를 포함하고, 상기 절곡부는 상기 제 2 측부 방향으로 텐션을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공한다.
또한, 상기 투명판 방향으로 광을 조사하도록 상기 투명판의 상부에 위치되는 조명부와, 상기 투명판 방향으로 이동된 상기 기판을 촬영하는 촬영부를 갖는 검사수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 제공한다.
본 발명은 스테이지보다 상부로 돌출되는 롤러를 구비하므로, 스테이지로 인입되는 기판이 롤러를 따라 스테이지의 안쪽으로 용이하게 이동되고, 이에 따라 작업자가 기판을 일일이 스테이지의 안쪽으로 밀어 넣지 않아도 되어, 작업이 신속하게 진행되고, 검사의 효율성이 증대되는 효과가 있다.
또한, 스테이지에 안착된 기판이 투명판에 접촉되면, 기판이 롤러에 하방 압력을 가하게 되어, 롤러는 스테이지 내부로 삽입되고, 기판은 투명판의 설정된 위치에 정확하게 위치되므로, 검사의 정확성 및 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
또한, 기판이 상부로 이동될 때, 텐션부가 기판부를 스테이지의 안쪽으로 밀어 넣도록 구성되어, 기판은 제 2 가이드프레임과 밀착되며, 이에 따라 검사의 정확성 및 신뢰성이 더욱 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 검사수단을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 세부 구조를 설명하기 위하여 도시한 정면도이다.
도 3은 도 2의 A-A' 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 설명하기 위하여 도시한 측면도이다.
도 5는 도 2의 B-B' 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 스테이지가 상부로 이동되어 기판이 텐션부와 맞닿은 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 스테이지가 상부로 이동되어 기판이 투명판과 맞닿은 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 검사수단을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치(10)의 검사수단(100)은 후술하는 검사가이드부재(200)의 상부에 이격되도록 위치되는 것으로, 조명부(110) 및 촬영부(120)를 포함한다. 조명부(110)는 검사가이드부재(200)의 투명판(210) 방향으로 경사지도록 광을 조사하는 것으로, 한 쌍으로 구성될 수 있으며, 예를 들면, LED, 형광등 등으로 구성된다. 촬영부(120)는 한 쌍의 조명부(110) 사이에 배치되며 투명판(210)에 밀착 위치된 검사대상물, 즉, 기판(B)을 촬영하는 카메라 등으로 구성된다. 여기서 기판(B)은 그 표면에 회로 패턴이 형성되고, 그 위에 반도체 칩 등이 실장되는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB) 등으로 구성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 세부 구조를 설명하기 위하여 도시한 정면도이고, 도 3은 도 2의 A-A' 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치(10)는 검사수단(100), 베이스(300), 스테이지(400), 상하이동부(500), 검사가이드부재(200), 프레임부재(600), 롤러부재(700) 및 텐션부(800)를 포함하며, 수용가이드부(450)를 더 포함할 수 있다. 검사수단(100)은 도 1에서 설명하였으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
베이스(300)는 판형으로 평평하게 형성되는 것으로, 지면(미도시)에 지지되도록 위치되거나, 상기 지면에서 그 상부로 이격되도록 위치될 수 있다. 베이스(300)가 상기 지면에서 그 상부로 이격되도록 위치되는 경우, 베이스(300)와 상기 지면 사이에는 지지판(310)이 더 구비될 수 있다.
스테이지(400)는 후술하는 상하이동부(500)에 연결되어 베이스(300)의 상부에서 상하 이동되도록 구성된다. 스테이지(400)는 예를 들면 직사각형으로 형성되어, 그 테두리를 따라 제 1 측부(410), 제 2 측부(420), 제 3 측부(430) 및 제 4 측부(440)가 차례로 위치된다. 그리고 제 4 측부(440)에 제 2 측부(420) 방향으로 오목부(442)가 오목하게 형성되되, 상기 오목부(442)의 상부와 하부는 개방된다. 이러한 스테이지(400)는 그 상부에 기판(B)이 안착된다. 여기서 기판(B)의 단면적은 스테이지(400)의 단면적과 동일하도록 구성될 수 있다. 수용가이드부(450)는 오목부(442)의 하부에 위치되며, 오목부(442)와 연통되도록 오목하게 보조수용부(452)가 형성된다.
상하이동부(500)는 지지판(310)에 지지된 상태로 베이스(300)를 관통하여 스테이지(400)의 하부 중앙과 연결된다. 상하이동부(500)는 예를 들면 유압실린더 등으로 구성되어, 유압 등을 이용하여 스테이지(400)를 상하 이동시킨다. 그리고 상하이동부(500)는 유압실린더 이외에 다양한 이동수단을 이용하여 스테이지(400)를 상하 이동시킬 수도 있음은 물론이다.
검사가이드부재(200)는 스테이지(400)와 이격된 상태로 스테이지(400)와 검사수단(100) 사이에 위치되는 것으로, 스테이지(400)의 상부로 이격 위치되는 투명판(210) 및 투명판(210)의 테두리를 따라 형성되는 지지프레임(220)을 포함한다. 투명판(210)은 투명 유리 등으로 형성되어, 투명판(210)의 하면에 위치되는 기판(B)을 투명판(210)의 상부에 위치되는 촬영부(120)가 용이하게 촬영할 수 있도록 구성된다. 지지프레임(220)은 투명판(210)의 창틀 기능을 하는 것으로, 금속, 플라스틱 등 견고한 재질로 형성될 수 있다. 그리고 지지프레임(220)은 지지봉(미도시)과 연결된 상태로 베이스(300) 또는 지지판(310)에 지지되도록 구성될 수 있다. 즉, 감사가이드부재와 베이스(300)는 고정되어 있고, 스테이지(400)가 상하이동부(500)에 의하여 검사가이드부재(200)와 가까워지는 방향으로 상승 또는 베이스(300)와 가까워지는 방향으로 하강된다.
프레임부재(600)는 검사가이드부재(200)와 베이스(300)를 상호 연결하는 제 1 가이드프레임(610), 제 2 가이드프레임(620) 및 제 3 가이드프레임(630)을 포함한다. 이때, 제 1, 2, 3 가이드프레임(610, 620, 630)은 각각 스테이지(400)의 제 1, 2, 3 측부(410, 420, 430)와 밀착되도록 구성된다. 즉, 제 1 가이드프레임(610)은 길이방향을 따라 길게 형성되어 그 일측은 투명판(210) 하면의 제 1 측부(410)와 마주보는 위치에 연결되고 그 타측은 스테이지(400)의 제 1 측부(410)를 지나 베이스(300)에 연결된다. 제 2 가이드프레임(620)은 길이방향을 따라 길게 형성되어 그 일측은 투명판(210) 하면의 제 2 측부(420)와 마주보는 위치에 연결되고 그 타측은 스테이지(400)의 제 2 측부(420)를 지나 베이스(300)에 연결된다. 제 3 가이드프레임(630)은 길이방향을 따라 길게 형성되어 그 일측은 투명판(210) 하면의 제 3 측부(430)와 마주보는 위치에 연결되고 그 타측은 스테이지(400)의 제 3 측부(430)를 지나 베이스(300)에 연결된다. 제 1, 2, 3 가이드프레임(610, 620, 630)은 각각 하나 또는 복수 개로 구성될 수 있다. 이처럼 스테이지(400)의 제 1, 2, 3 측부(410, 420, 430)가 제 1, 2, 3 가이드프레임(610, 620, 630)에 밀착되므로, 스테이지(400)가 상하 이동될 때, 제 1, 2, 3 측부(410, 420, 430)는 제 1, 2, 3 가이드프레임(610, 620, 630)의 길이방향을 따라 슬라이딩되면서 상하 이동된다. 그 결과, 스테이지(400)의 상부에 안착된 기판(B) 또한 제 1, 2, 3 가이드프레임(610, 620, 630)에 가이드되면서 상하 이동된다.
롤러부재(700)는 보조수용부(452)의 저면에 지지되며 탄성을 갖는 탄성부(710), 오목부(442)에 위치되되 탄성부(710)의 탄성에 의하여 상기 오목부(442)의 상부로 돌출되거나 또는 상기 오목부(442)로 수용되는 롤러지지부(720) 및 상기 롤러지지부(720)의 상부에 회전되도록 장착되는 롤러(730)를 포함한다. 그리고 롤러(730)에 하방 압력이 가해지면, 탄성부(710)가 탄성 변형되면서 롤러지지부(720)와 롤러(730)를 보조수용부(452)와 오목부(442)로 이동시킨다.
텐션부(800)는 기판(B)이 제 2 가이드프레임(620)에 밀착되도록 안내하는 것으로, 도 4에서 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치를 설명하기 위하여 도시한 측면도이고, 도 5는 도 2의 B-B' 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 롤러부재(700)는 탄성부(710), 롤러지지부(720) 및 롤러(730)를 포함한다. 탄성부(710)는 탄성을 갖는 것으로, 예를 들면, 보조수용부(452)의 저면에서 지지된 상태로 그 상부로 돌출되는 제 1 돌출부(712)와, 제 1 돌출부(712)의 길이방향을 따라 슬라이딩되면서 상하 이동되는 제 2 돌출부(714)와, 제 1 돌출부(712)와 제 2 돌출부(714)에 일체로 삽입되는 코일스프링(716)과, 제 2 돌출부(714)의 상단부에 형성되되 제 2 돌출부(714)보다 큰 면적을 갖는 차단부(718)를 포함한다. 롤러지지부(720)는 차단부(718)에 돌출 형성되는 축지지부(722)와, 축지지부(722)의 상단에 수직 방향으로 연장되는 회전축(724)을 포함한다. 롤러(730)는 회전축(724)에 회전되도록 삽입된다.
그리고 스테이지(400)가 투명판(210)의 하측으로 이격된 상태에서, 스테이지(400)와 동일한 크기로 형성되는 기판(B)이 제 4 측부(440)와 투명판(210) 사이를 통하여 스테이지(400)로 인입되면, 기판(B)의 저면은 스테이지(400)보다 상부로 돌출된 롤러(730)와 맞닿은 상태로 제 2 가이드프레임(620) 방향으로 이동된다. 그리고 제 2 가이드프레임(620)과 마주보는 기판(B)의 측부는 스테이지(400)의 상면을 따라 슬라이딩되면서 제 2 가이드프레임(620)에 맞닿도록 이동된다. 즉, 롤러(730)는 스테이지(400)보다 상부로 돌출되도록 위치되어 있으므로, 스테이지(400)로 인입된 기판(B)은 스테이지(400)에 비스듬하게 인입된다. 이때, 기판(B)과 맞닿은 롤러(730)는 회전되도록 구성되어, 기판(B)은 롤러(730)를 따라 스테이지(400)의 제 2 측부(420) 방향으로 용이하게 이동된다. 이에 따라 작업자가 기판(B)을 일일이 스테이지(400)의 안쪽 즉, 제 2 측부(420) 방향으로 밀어 넣지 않아도 되어, 작업이 신속하게 진행되고, 따라서 검사의 효율성이 증대되는 효과가 있다.
텐션부(800)는 지지프레임(220)의 제 4 측부(440)와 마주보는 위치에 장착되는 장착부(810)와, 장착부(810)에서 제 4 측부(440) 방향으로 절곡 형성되는 절곡부(820)를 포함한다. 여기서 절곡부(820)는 판스프링과 같이 제 2 측부(420) 방향으로 텐션을 갖도록 형성된다. 이러한 텐션부(800)는 스테이지(400)의 길이에 따라 한 개로 구성되거나 또는 복수 개가 제 4 측부(440)의 길이방향을 따라 일정 간격으로 이격되도록 구성될 수 있다. 텐션부(800)의 기능은 도 6에서 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 스테이지가 상부로 이동되어 기판이 텐션부와 맞닿은 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치의 스테이지가 상부로 이동되어 기판이 투명판과 맞닿은 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
먼저, 도 6을 참조하면, 스테이지(400)에 안착된 기판(B)이 스테이지(400)를 따라 투명판(210) 방향으로 이동되는 과정에서, 기판(B)이 텐션부(800)와 맞닿도록 위치되면, 텐션부(800)는 제 2 측부(420) 방향으로 탄성을 갖도록 구성되므로, 기판(B) 또한 텐션부(800)를 따라 제 2 측부(420) 방향으로 안내되어, 기판(B)은 제 2 측부(420)와 접촉된 제 2 가이드프레임(620)과 밀착된다. 즉, 기판(B)은 상부로 이동되는 과정에서 스테이지(400)의 바깥쪽으로 약간 이동된 상태로 위치될 수 있다. 이때, 텐션부(800)가 기판(B)부를 스테이지(400)의 안쪽으로 밀어 넣어 기판(B)부가 제 2 가이드프레임(620)과 긴밀하게 밀착되도록 하는 것이다. 이처럼 기판(B)은 텐션부(800)에 의하여 제 2 가이드프레임(620)과 밀착되므로, 검사의 정확성 및 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
이어서, 도 7을 참조하면, 스테이지(400)가 투명판(210) 방향으로 계속해서 상승되면 기판(B)이 투명판(210)과 맞닿게 된다. 이때, 스테이지(400)보다 상부로 돌출된 롤러(730)는 기판(B)에 의한 하방 압력을 받게 되고, 상기 하방 압력은 탄성부(710)를 하부로 탄성 변형시켜, 롤러지지부(720)와 롤러(730)가 보조수용부(452)와 오목부(442)로 이동되도록 한다. 그 결과, 기판(B)의 하면은 스테이지(400)의 상면과 밀착되고 기판(B)의 상면은 투명판(210)의 하면과 밀착된다. 또한, 기판(B)의 테두리는 제 1 가이드프레임(610), 제 2 가이드프레임(620), 제 3 가이드프레임(630) 및 텐션부(800)에 가이드되어, 기판(B)은 스테이지(400)의 설정된 위치에 정확하게 위치되고, 이에 따라 검사의 정확성 및 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
10: 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치
100: 검사수단 110: 조명부
120: 촬영부 200: 검사가이드부재
210: 투명판 220: 지지프레임
300: 베이스 310: 지지판
400: 스테이지 410: 제 1 측부
420: 제 2 측부 430: 제 3 측부
440: 제 4 측부 442: 오목부
450: 수용가이드부 452: 보조수용부
500: 상하이동부 600: 프레임부재
610: 제 1 가이드프레임 620: 제 2 가이드프레임
630: 제 3 가이드프레임 700: 롤러부재
710: 탄성부 712: 제 1 돌출부
714: 제 2 돌출부 716: 코일스프링
718: 차단부 720: 롤러지지부
722: 축지지부 724: 회전축
730: 롤러 800: 텐션부
810: 장착부 820: 절곡부

Claims (6)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 상하 이동되도록 위치되며, 그 테두리를 따라 제 1 측부, 제 2 측부, 제 3 측부 및 제 4 측부가 구비되되, 상기 제 4 측부에 오목부가 형성되는 스테이지;
    상기 스테이지를 상하 이동시키는 상하이동부;
    상기 스테이지의 상부에 이격 위치되는 투명판;
    일측은 상기 투명판에 연결되고 타측은 상기 제 1 측부를 지나 상기 베이스에 연결되는 제 1 가이드프레임과, 일측은 상기 투명판에 연결되고 타측은 상기 제 2 측부를 지나 상기 베이스에 연결되는 제 2 가이드프레임과, 일측은 상기 투명판에 연결되고 타측은 상기 제 3 측부를 지나 상기 베이스에 연결되는 제 3 가이드프레임을 갖는 프레임부재; 및
    상기 오목부에 위치되되 탄성에 의하여 상기 오목부의 상부로 돌출되거나 또는 상기 오목부로 수용되는 롤러지지부와, 상기 롤러지지부의 상부에 회전되도록 장착되는 롤러를 갖는 롤러부재를 포함하고,
    상기 스테이지가 상기 투명판의 하측으로 이격된 상태에서, 상기 스테이지와 동일한 크기로 형성되는 기판이 상기 제 4 측부와 상기 투명판 사이를 통하여 상기 스테이지로 인입되면, 상기 기판의 저면은 상기 스테이지보다 상부로 돌출된 상기 롤러와 맞닿은 상태로 상기 제 2 가이드프레임 방향으로 이동되고, 상기 제 2 가이드프레임과 마주보는 상기 기판의 측부는 상기 스테이지의 상면을 따라 슬라이딩되면서 상기 제 2 가이드프레임에 맞닿도록 이동되고,
    상기 기판이 상기 스테이지로 인입된 상태에서, 상기 스테이지가 상기 투명판 방향으로 이동되면, 상기 기판이 상기 투명판에 밀착 위치되고, 상기 롤러는 기판에 의한 하방 압력에 의하여 상기 오목부로 수용되고,
    상기 오목부의 하부에 오목하게 보조수용부를 갖는 수용가이드부가 더 구비되고,
    상기 롤러부재는, 일측은 상기 보조수용부의 저면에 지지되고 타측은 상기 롤러지지부와 연결되며 탄성을 갖는 탄성부를 더 포함하고,
    상기 롤러에 하방 압력이 가해지면, 상기 탄성부가 탄성 변형되면서 상기 롤러지지부와 상기 롤러를 상기 보조수용부와 상기 오목부로 이동시키는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부는, 상기 보조수용부의 저면에서 지지된 상태로 그 상부로 돌출되는 제 1 돌출부와, 상기 제 1 돌출부의 길이방향을 따라 슬라이딩되면서 상하 이동되는 제 2 돌출부와, 상기 제 1 돌출부와 상기 제 2 돌출부에 일체로 삽입되는 코일스프링과, 상기 제 2 돌출부의 상단부에 형성되되 상기 제 2 돌출부보다 큰 면적을 갖는 차단부를 포함하고,
    상기 롤러지지부는, 상기 차단부에 돌출 형성되는 축지지부와, 상기 축지지부의 상단에 수직 방향으로 연장되는 회전축을 포함하며,
    상기 롤러는 상기 회전축에 회전되도록 삽입되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명판의 상기 제 4 측부와 마주보는 위치에는 상기 제 2 측부 방향으로 텐션을 갖는 텐션부가 더 구비되고,
    상기 스테이지가 상기 투명판 방향으로 이동되어 상기 스테이지에 안착된 상기 기판이 상기 투명판으로 이동될 때, 상기 기판은 상기 텐션부를 따라 슬라이딩되면서 상기 제 2 측부 방향으로 안내되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 투명판의 테두리를 감싸도록 형성되는 지지프레임을 더 포함하고,
    상기 텐션부는, 상기 지지프레임에 장착되는 장착부와, 상기 장착부에서 상기 제 4 측부 방향으로 절곡 형성되는 절곡부를 포함하고, 상기 절곡부는 상기 제 2 측부 방향으로 텐션을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명판 방향으로 광을 조사하도록 상기 투명판의 상부에 위치되는 조명부와, 상기 투명판 방향으로 이동된 상기 기판을 촬영하는 촬영부를 갖는 검사수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤러부재가 구비되는 기판 검사 장치.
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