JP5367484B2 - 検査システム - Google Patents

Description

本発明は、液晶パネル等の検査対象板の検査において問題が発生した場合に迅速な対応が可能な検査システムに関するものである。

検査装置において、問題が発生したときに視覚的処理によってその問題を発見しようとする改良は、これまでさまざまなものがなされている。たとえば、特許文献１のような例がある。

液晶表示パネルにマトリクス状に配置された絵素電極に接続されたスイッチング素子に入力する検査用ソース信号として矩形波状に変動する信号または定電圧信号を入力するとともに、検査用ゲート信号としてパルス信号または定電圧信号を入力して液晶表示パネルに画像を表示させ、表示不良の有無に基づいて表示不良の原因を判別するものである。

特開２００７−３１６１１２号公報

ところが、従来の検査装置では、検査中に何らかの問題が発生して検査装置が停止してしまった場合でも、現場の作業者が問題の原因やその問題の重要度を容易に把握することができるようにはなっておらず、復旧するまでには時間を要していた。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、問題発生原因を容易に把握して迅速に対応できる検査システムを提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係る検査システムは、被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムにおいて、前記検査装置は、少なくとも全体的な動作状況、検査の進行状況が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えたことを特徴とする。

現場の作業者でも、容易に問題を把握して、迅速な対応をとることができる。

本発明の実施形態に係る検査システムを示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係る検査装置を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置及び搬送装置の制御を示すタイミングチャートである。 本発明の実施形態に係るモニタの表示画面を示す正面図である。 本発明の実施形態に係るモニタのハンドシェイク図表示部を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る検査装置の制御部での処理を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る検査装置の制御部の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る検査装置のコメントテーブルの一例を示す模式図である。

以下、本発明の実施形態に係る検査システムについて、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態の検査システムは、少なくとも検査装置と搬送装置とを隣接して備え、これらが連携して被検査物を検査する装置である。この検査システムでは、検査装置と搬送装置とが同期して、搬送装置で搬送されている被検査物を検査装置で随時取り込んで検査し、検査終了後の被検査物を搬送装置に戻して、搬送装置を搬送されている複数の被検査物を検査する。この検査システムの構成には種々の態様がある。例えば、搬送装置に複数の検査装置を設置して、これら搬送装置と複数の検査装置とを互いに連携し同期させて制御したり、検査装置と搬送装置以外に他の処理装置等を設置して、これら３つ以上の装置を互いに連携し同期させて制御したりする場合がある。また、被検査物も、検査をする必要がある種々のものが対象になる。ここでは、検査装置と搬送装置を備えた検査システムにおいて、被検査物として液晶パネルを検査する場合を例に説明する。

検査システム１は、図１に示すように主に、検査装置１０と、搬送装置２０とから構成されている。

搬送装置２０は、被検査物であるパネル２３を搬送するための装置である。搬送装置２０は、パネル２３を搬送ラインに沿って搬送するコンベア２１と、パネル２３を搬送装置２０と検査装置１０との間で移送するロボットアーム１４とから構成されている。

コンベア２１は、多数配設されたローラー２４を備えて構成されている。ローラー２４は、駆動装置(図示せず)に連結されて、回転駆動される。駆動装置は、制御部２２に接続され、この制御部２２でローラー２４の回転が制御されて、ローラー２４に載置されたパネル２３が搬送される。

ロボットアーム１４は、パネル２３を検査装置１０と搬送装置２０との間で移送するための装置である。ロボットアーム１４は、パネル２３を支持して検査装置１０と搬送装置２０との間で移動するパネル保持部１５を備えて構成されている。パネル保持部１５は、パネル２３を吸着して支持するようになっている。これにより、ロボットアーム１４は、そのパネル保持部１５で、搬送装置２０のローラー２４上のパネル２３を吸着して支持して検査装置１０へ移送すると共に、検査装置１０で検査終了後のパネル２３を吸着して支持して搬送装置２０へ移送するようになっている。

検査装置１０は、パネル２３を検査するための装置である。検査装置１０は図１，２に示すように主に、検査状況等が表示されるモニタ１７と、パネル２３の受け渡しをするローダ部１８と、パネル２３を検査する検査部１９とから構成されている。

ローダ部１８は、セットステージ１１を備えて構成されている。このセットステージ１１は、ロボットアーム１４のパネル保持部１５で支持されたパネル２３を受け取り、検査部１９へ送ると共に、検査が終了した検査部１９からのパネル２３を受け取り、ロボットアーム１４のパネル保持部１５へ渡すための装置である。セットステージ１１は、パネル２３を支持してＸＹＺθ方向に移動する機構を備えてパネル２３の位置調整を行うようになっている。セットステージ１１は、パネル２３の位置を調整して、検査部１９へ搬送したり、パネル２３をロボットアーム１４のパネル保持部１５へ受け渡したりする。セットステージ１１は制御部１２で制御されている。

検査部１９は、パネル２３を直接検査するための装置である。検査部１９は、プローブユニット１６を備え、このプローブユニット１６の各プローブ(図示せず)がパネル２３の各電極に直接接触して検査を行うようになっている。検査部１９には、パネル２３をＸＹＺθ方向に正確に位置決め調整して、パネル２３の各電極とプローブユニット１６の各プローブとを整合させるＸＹＺθステージ(図示せず)が設けられている。このＸＹＺθステージは、制御部１２で制御されている。

制御部１２は、検査装置１０の全体を制御するための装置である。制御部１２には、図３に示すタイミングチャートの処理機能と、図６に示すフローチャートの処理機能が格納されている。さらに、制御部１２と制御部２２とは、ケーブル１３で互いに接続されている。ケーブル１３は、RS232CやTCP/IPによる有線ケーブルで構成されている。なお、無線LAN等を介して接続しても良い。制御部１２と制御部２２の同期のために、ケーブル１３を介してI/O信号等が送受信される。

ここで、制御部１２の具体的構成を図７に基づいて説明する。制御部１２は主に、通信制御部３６と、信号入出力部３７と、通信信号表示部３８と、通信条件表示部３９と、通信条件判定部４０と、処理進行位置記憶部４１とから構成されている。

通信制御部３６は、搬送装置２０と検査装置１０との同期をとりながら全体を制御する装置である。この通信制御部３６が、信号入出力部３７等と連携して、図３の検査装置側のタイミングチャートの処理機能と、図６のフローチャートの処理機能を実現するようになっている。

信号入出力部３７は、搬送装置２０側の制御部２２の信号入出力部４２とケーブル１３で接続されて、検査装置１０と搬送装置２０との間で信号のやり取りが行われる。さらに、信号入出力部３７は、監視室（例えば、同じ工場内の離れた場所に設置された監視室）と有線又は無線で接続され、問題発生時にモニタ１７のハンドシェイク図表示部２６の表示内容や、図３のタイミングチャートそのものが、監視室からの操作で監視端末に送信されるようになっている。

通信信号表示部３８は、モニタ１７のハンドシェイク図表示部２６にハンドシェイク図を表示させる画像処理部である。図３のタイミングチャートを基に、後述するハンドシェイク図表示部２６のブロック３４とリレーションシップライン３５とを構築して表示させる。

ハンドシェイク図表示部２６は、検査装置１０の制御部１２及び搬送装置２０の制御部２２で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムでわかりやすく表示するための領域である。このハンドシェイク図表示部２６は、操作状況等表示部２５の右隣に形成されている。図３に示すタイミングチャートそのものは、専門技術者以外には分かりづらいものであるため、ハンドシェイク図を用いて表示する。ここでは、ハンドシェイク図表示部２６は、図５に示すように、ブロック３４と、リレーションシップライン３５とから構成されている。ブロック３４は、図３のタイミングチャートに示された各動作と１対１に対応しており、各動作内容が記載されている。各ブロック３４は、検査装置１０及び搬送装置２０の各装置毎に二列に分けて、時系列に並べられている。なお、３以上の装置をタイミングチャートで制御する場合は、三列以上となる。

そして、各ブロック３４の動作がON状態であるときは点灯し、OFF状態であるときは消灯するようになっている。これにより、現場の作業者以外の者にも、動作の進行状況が分かりやすくなっている。

さらに、問題が発生して検査システム１の処理動作の停止等が生じた場合には、表示を固定してその問題が起きた箇所のブロック３４が点灯したままになるように設定され、迅速な対応ができるようになっている。即ち、問題箇所のブロック３４を点灯したままにして問題の発生を可視化することで、作業者が問題を容易に把握でき、点灯したブロック３４を確認することで、問題箇所の特定などの、問題の対処を迅速に行えるようになっている。

リレーションシップライン３５は、各ブロック３４の動作が互いに関連するもの同士を結んだ線である。動作が前後して密接な関係にある各ブロック３４が、リレーションシップライン３５で互いに結ばれる。これにより、点灯しているブロック３４の動作の次にくる動作がどのブロック３４かが容易に分り、現場の作業者以外の者でも目で追いやすいようになっている。なお、図５に示すハンドシェイク図表示部２６は、図３のタイミングチャートの時間軸３１時点の動作条件を表示した画面である。各ブロック３４のうち点灯しているものを３４Ａで、消灯しているものを３４Ｂで表し、タイミングチャートの各動作のON／OFF状態と各ブロック３４の点灯・消灯が一致している。

図７の通信条件表示部３９は、後述するモニタ１７の動作コメント表示部２７に通信条件としての動作コメントを表示させる画像処理部である。例えば、図３のタイミングチャートの時間軸３１での動作コメント（点灯しているブロック３４の動作状況を示すコメント）を表示させる。

動作コメント表示部２７は、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示するための表示領域である。動作コメント表示部２７は、図４に示すように、操作状況等表示部２５及びハンドシェイク図表示部２６の下側に形成されている。動作コメント表示部２７は、現場の作業者にもわかりやすいように、文章で簡潔に表示されるようになっている。動作コメント表示部２７は、動作の切り替えによるブロック３４の点灯位置の変化毎に、その動作を簡潔に説明する内容の文章を処理進行位置記憶部４１から読み出して表示すると共に、問題が発生した場合に、その問題内容を説明する文章を処理進行位置記憶部４１から読み出して表示するようになっている。なお、動作コメント表示部２７の表示方法としては、種々の態様が考えられる。例えば、図３のタイミングチャートでは、時間軸３１での動作条件から次の時間軸の動作条件に変わるまでの時間は極めて短時間であるが、各動作条件を表す文章を、それに対応する時間軸に合わせて連続的に表示させ、問題発生により動作条件の表示が変化しなくなった時点で、文章が動作コメント表示部２７に固定されて、問題発生時の動作条件を表示させるようにしても良い。また、コメントの内容を階層的にしても良い。即ち、問題発生時の動作状況を示す内容から、問題箇所はどこか、具体的にどのような状況か等を示すコメントを、作業者の操作に応じて表示させるようにしても良い。また、これらのコメントを順番に表示させるようにしても良い。

図７の通信条件判定部４０は、点灯しているブロック３４の動作状況が正常か否かを判定する処理部である。この通信条件判定部４０は具体的には、通信制御部３６から読み出したＩ／Ｏ信号と、時刻ごとに読み出したタイミングチャートのＯＮ／ＯＦＦ状態を比較して、正誤の判定を行う。

通信条件判定部４０で正常と判定された場合、通信制御部３６は、正常時の処理を行い、異常と判定された場合、異常時の処理を行う。具体的には、正常と判定された場合、タイミングチャートの各時間軸に対応したコメントが処理の進行に合わせて連続的に表示される。なお、正常時の点灯ブロック３４の動作状況を積極的に動作コメント表示部２７に表示させてもよい。また、異常と判定された場合、その後インクリメントされないために、タイミングチャートのうち異常と判定された時間軸に対応したコメントが、コメント表示部２７に表示され、実質的にコメントが固定された状態になる。また、通信制御部３６は、異常時の具体的な状態を簡潔に表現した文言を動作コメント表示部２７に表示させてもよい。さらに、コメントの内容は、単一でも、階層的であっても良い。また、オペレータ等が個別に設定することにより、警報信号を発するようにしても良い。即ち、異常と判定された場合、監視室へ警報信号を送信するようにしてもよい。

ここで、コメントの内容を階層的に表示する場合の例を説明する。図８はコメントテーブルの一例である。この例では、二段階に分けて、コメントが記憶されている。このテーブルは、図３のタイミングチャートの時間軸２９，３０，３１，３２でのコメント内容の例である。このテーブルの左側は、一層目のコメントであって、簡易化したメッセージで、装置の事を知らないオペレータでも、どちらの装置が動作しているか又は信号待ちをしているか等が簡単に把握できる程度の表現になっている。そして、テーブルの右側は、二層目のコメントであって、装置の事をある程度又は良く知るオペレータが、より正確に状況を把握できる程度の表現になっている。

具体的には、時間軸２９での一層目のコメントは、「検査装置側の動作です」である。二層目のコメントは、「装置側「パネル要求信号」ONの為の条件待ちです」である。時間軸３０での一層目のコメントは、「搬送装置側の動作です」である。二層目のコメントは、「コンベアの「パネル情報」セット待ちです」である。時間軸３１での一層目のコメントは、「搬送装置側の動作です」である。二層目のコメントは、「コンベアの「パネル送り中」信号の「ON」を待っています」である。時間軸３２での一層目のコメントは、「搬送装置側の動作です」である。二層目のコメントは、「コンベアの「CVアームProber内在」信号の「ON」を待っています」である。

一層目のコメントを表示するか、二層目のコメントを表示するかの切り替えスイッチ(図示せず)は、検査装置１０に設けられている。オペレータは、自己の知識に応じて切り替えスイッチを操作して、一層目のコメントを表示させるか二層目のコメントを表示させるかを選択する。また、監視室の端末から遠隔操作で、表示を切り替えるようにしても良い。監視室で監視する管理者が、各装置に配属されるオペレータの知識を把握している場合は、管理者が各装置での表示コメントの階層を選択しても良い。全装置に配属される全てのオペレータの知識を把握して、各オペレータの知識に応じて表示を切り替えることで、全体として、問題発生時の対応を迅速に行うことができる。即ち、知識のないオペレータに二層目のコメントを表示させても、とまどうだけであり、知識のあるオペレータに一層目のコメントを表示させても、すぐに二層目のコメントを表示させだけである。このため、最初から最適な内容のコメントを表示させることで、問題発生時の迅速な対応が可能になる。なお、三階層以上のコメントを表示するようにしても良いことは言うまでもない。

図７の処理進行位置記憶部４１にはタイミングチャートの進行位置が記憶されている。通信条件判定部４０は、インクリメントされた後の次の位置を確認するため、処理進行位置記憶部４１に記憶されている進行位置を常に呼び出している。なお、問題発生時のログ等は通常のＰＣと同様にメモリに記憶されるが、処理進行位置記憶部４１に記憶させても良い。即ち、処理進行位置記憶部４１に、動作コメント表示部２７に表示させる文言を記憶させてもよい。この場合、通常動作時、異常時等に応じて想定される状況を簡潔に表現する文言を記憶させる。

さらに、処理進行位置記憶部４１は、図３のタイミングチャートの処理状態を記憶する。この処理進行位置記憶部４１は、問題が発生したとき、そのときの処理状態を確認してその原因を突き止めるために、タイミングチャートの処理状態を記憶する。即ち、問題が発生した時点の、図３のタイミングチャートの全ての処理状態又は図５のハンドシェイク図表示部２６の画面を記憶する。この記憶の態様としては、種々のものが考えられる。例えば、図３のタイミングチャート等のデータであって、問題発生時のものを保存する態様や、問題発生時点から過去へ一定時間分のものを保存する態様が考えられる。また、ハンドシェイク図表示部２６の場合はその画面をキャプチャーして保存する態様や、問題発生時点から過去へ一定時間分のハンドシェイク図表示部２６の画面をキャプチャーして保存する態様も考えられる。

処理進行位置記憶部４１は、先入れ先出し方式で記憶して、現時点から過去へ一定時間分の、図３のタイミングチャート等の全ての処理状態を常に記憶するようにする。処理進行位置記憶部４１は、制御部１２又は制御部２２の制御によって、故障等の問題発生によって検査システム１が停止したとき、そのデータを保持するようになっている。さらに、制御部１２又は制御部２２は、監視室からの遠隔操作によって、離れた場所から処理進行位置記憶部４１のデータを読み出せる機能が格納されている。また、ハンドシェイク図表示部２６の画面のキャプチャーは、問題発生時に、現場の作業員が操作ボタンを押して行うようにしてもよい。

モニタ１７は、検査システム１の全体的な動作状況や検査の進行状況等を表示するための装置である。モニタ１７は、検査部１９の近傍の、作業者が見やすい位置に設置されている。モニタ１７の画面は、主に３つの表示部に分割されている。即ち、モニタ１７は、図４に示すように主に、操作状況等表示部２５と、ハンドシェイク図表示部２６と、動作コメント表示部２７とに分割されている。モニタ１７の分割態様としては、種々のものが考えられるが、本発明では、図４に示す比率で３分割されている。この分割の比率は、表示するデータ量に応じて適宜設定される。

操作状況等表示部２５は、検査システム１の操作、設定の際の画面や、全体的な動作状況、検査の進行状況の映像等が表示される領域である。操作状況等表示部２５は、映像や文字等の情報が適宜表示される。操作状況等表示部２５は、モニタ１７の画面のうち最も大きな領域を占めるもので、モニタ１７の画面の左側に形成されている。

なお、図４に示すモニタ画面の表示態様は一例であり、他の表示態様でも良い。例えば、操作状況等表示部２５を無くして、ハンドシェイク図表示部２６と動作コメント表示部２７だけにしたり、各表示部を入れ替えたり、複数の画面に分けたりしても良い。１つの装置に複数のモニタを備えている場合は、各モニタに、ハンドシェイク図表示部２６及び動作コメント表示部２７をそれぞれ個別に表示させてもよい。

以上のように構成された検査システム１の動作は次のようになっている。

まず、検査システム１の全体的な動作は、制御部１２，２２によって次のように制御される。パネル２３はコンベア２１上をローラー２４により搬送されている。検査装置１０がパネル２３を検査する場合は、コンベア２１でパネル２３がロボットアーム１４のパネル保持部１５の直下に移動され、パネル保持部１５によりそのパネル２３が吸着されて検査装置１０内に搬送されて取り込まれる。検査装置１０内に取り込まれたパネル２３は、ローダ部１８内のセットステージ１１に載置される。セットステージ１１では、パネル２３の位置が調整されて、検査部１９へ搬送される。検査部１９では、パネル２３はＸＹＺθステージに載置され、このＸＹＺθステージで、パネル２３の電極とプローブユニット１６の各プローブとが互いに整合されて接触され、点灯検査試験が行われる。

この一連の動作において、制御部１２では、図６のフローチャートの処理が実行される。ここではまず、検査装置１０と、周辺の装置である搬送装置２０との間でお互いの同期を取るため、これら検査装置１０と搬送装置２０との間でI/O信号がやり取りされる。具体的には、検査装置１０の制御部１２の信号入出力部３７と、搬送装置２０の制御部２２の信号入出力部４２とで、現在の動作処理状況の入出力信号のやり取りが行われる。そして、これらの信号入出力データが読み出される（ステップＳ１）。

次いで、図３のタイミングチャートにおける処理進行位置のデータが読み出される（ステップＳ２）。例えば、図３のタイミングチャートの時間軸３１の時点のデータが読み出される。

次いで、図３のタイミングチャートの時間軸３１の時点のデータが通信信号表示部３８で画像処理されてハンドシェイク図表示部２６に表示される（ステップＳ３）。タイミングチャートの各処理が各ブロック３４にそれぞれ表示され、時間軸３１の時点で動作がON状態であるブロック３４が点灯される。

さらに、通信条件が動作コメント表示部２７に表示される（ステップＳ４）。具体的には、現在、図３のタイミングチャートの実行している箇所の動作条件の説明文が通信条件表示部３９で処理されて、動作コメント表示部２７に表示される。

次いで、タイミングチャートの実行箇所の動作条件が、正常か否かを判定する（ステップＳ５）。即ち、通信条件判定部４０にて、動作が正常かどうかを判定する。

次いで、その判定が、正常であるか否か、又は通信処理終了かを判断する（ステップＳ６）。ここで、判定が正常でないと判断した場合、例えば、搬送装置２０側で動作の不具合が発生した際に、本来、搬送装置２０から受信すべき信号が受信されない場合は、時間軸のインクリメント処理がされず、タイミングチャートが進まずに静止した状態となる。

次いで、この正常でない判定が１回目か否かを判定する（ステップＳ７）。なお、タイミングチャートが進まずに静止した状態、即ち、正常でない状態でステップＳ１〜７を一定時間以上繰り返しているか否かを判定しても良い。

このステップＳ７で１回目と判定した場合は、異常処理を行う（ステップＳ８）。即ち、問題が発生したときのハンドシェイク図表示部２６の表示及び図３のタイミングチャートのデータを記憶する。さらに、問題の内容を表した文言を処理進行位置記憶部４１から読み出して、動作コメント表示部２７に表示させる。さらに、設定されている場合は、警報信号を監視室へ送信する。

次いで、ステップＳ１の処理へ戻って、上述した処理を繰り返す。これにより、ステップＳ７で２回目以降と判定したときは、異常処理をせずに、ステップＳ１から繰り返し、問題が解決されるのを待つか、処理を停止してハンドシェイク図表示部２６の表示を固定し、待機状態にする。問題が解消したときはリセットされる。これにより、新たな問題が発生したとき、改めてステップＳ７で１回目か否かが判定され、ステップＳ８で異常処理がなされることになる。

また、前記判定が正常である場合は、タイミングチャートの時間軸をインクリメントして（ステップＳ９）、次の時間軸の処理が行われる。この時間軸をインクリメントした後の処理において、データを記憶するかどうかの判定がなされる（ステップＳ１０）。これは、予め設定された条件等に応じて判定される。問題発生前の一定時間分だけ記憶することを作業者が設定している場合は、データ出力が必要と判定される。これにより、一定時間分のデータが記憶されると、その後は、先入れ先出しで記憶内容が順次更新される。

ここで、データ出力が必要であると判定した場合は、当該データを決めえられたフォーマットに整列して、ハードディスク（図示せず）に記憶させ（ステップＳ１１）、ステップＳ１の処理へ戻って、上述した処理を繰り返し、図３のタイミングチャートの処理を１つずつ進める。必要がないと判定した場合は、記憶はせずにステップＳ１の処理へ戻って、上述した処理を繰り返して、図３のタイミングチャートの処理を１つずつ進める。

また、ステップＳ６で、全てのパネル２３の処理の終了等により、通信処理を終了する場合は、このフローチャートの処理を終了して待機状態となる。

これにより、現場の作業者は、動作コメント表示部２７のコメント内容を見て、問題内容を確認する。この問題に対して、現場の作業者が対処できる場合は、問題解決のための処理を行う。対処できない場合は、監視室にいるサービスマン等に連絡して、問題解決を要請する。

監視室のサービスマン等は、遠隔操作によって、動作コメント表示部２７の画面や図３のタイミングチャートのデータを読み出して、問題箇所を特定する。そして、遠隔操作で対応できる場合は、監視室の端末から遠隔操作で対応して問題を解決する。遠隔操作で対応できない場合は、現場へ行って修理等を行う。

従来は、点灯検査中に何らかの問題が発生して、検査装置が停止してしまった時、作業者が問題の原因や重度を把握することができず、復旧するまでの時間をかなり要していた。

以上のように、図４に示す画面が点灯検査装置１１のモニタ１７上に点灯検査の際、常に表示されているため、問題が発生しても検査員はその場で問題の原因を容易に把握することができるので、検査装置の復旧に必要となる時間が大幅に改善される。即ち、現場の作業者でも、容易に問題を把握して、迅速な対応をとることができる。

また、動作コメント表示部２７にコメントの内容を階層的に表示すると共に、オペレータの知識に応じて表示する階層を選択することで、問題発生時の対応を迅速に行うことができ、生産効率の向上を図ることができる。

前記実施形態に係る検査システムは、パネル２３を搬送する搬送装置２０、前記パネル２３を検査する検査装置１０等を備えてこれらを検査する検査システム全てに適用することができる。

１：検査システム、１０：検査装置、１１：セットステージ、１２：制御部、１３：ケーブル、１４：ロボットアーム、１５：保持部、１６：プローブユニット、１８：ローダ部、１９：検査部、２０：搬送装置、２２：制御部、２３：パネル、２４：ローラー、３６：通信制御部、３７：信号入出力部、３８：通信信号表示部、３９：通信条件表示部、４０：通信条件判定部、４１：処理進行位置記憶部、４２：信号入出力部。

Claims (9)

1. 被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムにおいて、
   前記検査装置が、少なくとも全体的な動作状況、検査の進行状況が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えたことを特徴とする検査システム。
2. 請求項１に記載の検査システムにおいて、
   前記動作コメント表示部が、前記タイミングチャートの各時間軸毎に決められた内容のコメントを、当該タイミングチャートの進行に沿って順次表示することを特徴とする検査システム。
3. 請求項１に記載の検査システムにおいて、
   前記動作コメント表示部が、問題発生時にその問題の具体的な状況を示す文章を表示することを特徴とする検査システム。
4. 請求項１に記載の検査システムにおいて、
   前記ハンドシェイク図表示部が、前記タイミングチャートで制御される各装置毎に分けて時系列に並べられると共に前記タイミングチャートに示された各動作と１対１に対応して各動作内容が表示されるブロックと、当該各動作内容が互いに関連して密接な関係にあるブロック同士を結んだリレーションシップラインとから構成されたことを特徴とする検査システム。
5. 請求項４に記載の検査システムにおいて、
   前記各ブロックが、その動作がON状態のときは点灯し、OFF状態のときは消灯して、処理動作の進行状況を表示することを特徴とする検査システム。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査システムにおいて、
   前記ハンドシェイク図表示部が、問題が発生した場合、その表示を固定してその問題が起きた箇所のブロックを点灯したままにすることを特徴とする検査システム。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の検査システムにおいて、
   前記動作コメント表示部が、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で簡潔に表示することを特徴とする検査システム。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査システムにおいて、
   前記タイミングチャートの処理データであって、問題発生時のもの又は、問題発生時点から過去へ一定時間分のものを保存する処理進行位置記憶部を設けたことを特徴とする検査システム。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査システムにおいて、
   前記動作コメント表示部に、内容を階層的にする複数のコメントを記憶したコメントテーブルを備えたことを特徴とする検査システム。

Images