CN105518440A - 基板检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及能够缩短检查时间、提高使用者便利性的基板检查装置。根据本发明一特征的基板检查装置包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从测量单元传送的各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置多个检查区域的优化的测量顺序及多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过优化模块而优化的测量顺序及数据处理顺序相关的优化相关信息。

Description

基板检查装置
技术领域
本发明涉及基板检查装置，更详细而言，涉及一种用于在缩短对包括多个检查区域的基板的检查时间的同时谋求使用者的便利的基板检查装置。
背景技术
一般而言，为了验证贴装了电子部件的印刷电路基板的可靠性，在电子部件的贴装前后，进行检查印刷电路基板的不良与否的检查工序。例如，在把电子部件贴装于印刷电路基板之前，进行检查对于印刷电路基板的焊盘区域的焊料涂布状态的SPI工序，及在把电子部件贴装于印刷电路基板后检查电子部件的贴装状态的AOI工序。
印刷电路基板的检查工序通过包括测量单元的基板检查装置实现，所述测量单元具备向基板照射光的照明部及拍摄基板的图像而获得图像数据的照相机。最近开发了一种三维基板检查装置，其利用照射栅格图案光的照明部，获得印刷电路基板的三维信息，由此能够提高印刷电路基板的检查可靠性。
另一方面，由于照相机的视野范围(FieldOfView：FOV)已经限定，因此，为了检查大型尺寸的印刷电路基板，把印刷电路基板分割成多个检查区域而进行检查。因此，在使测量单元移动到多个检查区域的同时进行检查，从而发生检查时间增加的问题。
发明内容
解决的技术问题
因此，本发明正是鉴于这种问题而研发的，本发明提供一种能够使印刷电路基板的检查时间缩短、使检查工序的使用者便利性提高的基板检查装置。
技术方案
本发明一个特征的基板检查装置包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述数据处理顺序相关的优化相关信息。
所述优化模块考虑所述测量单元的移动时间及所述各检查区域的影像数据的数据处理时间中至少一个，使对所述多个检查区域的测量顺序及所述多个数据处理部的数据处理顺序进行优化。
所述用户界面可以包括检查区域顺序图部，所述检查区域顺序图部显示所述多个数据处理部对所述各检查区域影像数据进行数据处理的数据处理顺序，其中所述各检查区域的多个影像数据根据通过所述优化模块而优化的测量顺序而获得。
所述检查区域顺序图部在x轴显示时间，在y轴显示所述多个数据处理部的序号，把所述各检查区域的影像数据的数据处理顺序显示为具有与数据处理时间对应长度的条形态的检查区域块。
所述检查区域顺序图部可以根据使用者的选择，把代表所述检查单元的移动时间的移动时间块显示于所述检查区域块的前端。
所述用户界面还可以包括条图部，所述条图部对所述检查区域的测量顺序，以块形态排列成一列进行显示。
所述用户界面还可以包括基板图像显示部，所述基板图像显示部对所述多个检查区域所显示的所述检查基板的图像进行显示。所述基板图像显示部可以对现在进行检查中或由使用者直接选择的检查区域进行加亮处理并显示。
所述用户界面可以还包括属性显示部，其包括显示根据执行一个以上的优化算法的结果数据的算法显示部、显示硬件的参数的参数显示部、用于使路径优化运行的优化运行部、用于使模拟运行的模拟运行部，及显示由使用者选择的对于检查区域的详细信息的检查区域信息显示部中至少一个。
发明效果
根据如上所述的基板检查装置，考虑测量单元的移动时间及各检查区域的数据处理时间等，使多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部的数据处理顺序等优化，从而能够缩短对检查基板的检查时间。
另外，通过用户界面，提供与通过优化模块而优化的多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部的数据处理顺序等相关的优化相关信息，从而能够提高检查工序的使用者便利性。
附图说明
图1是概略地表示本发明一个实施例的基板检查装置的图。
图2是表示本发明一个实施例的用户界面的显示画面的图。
图3是表示图2所示检查区域顺序图部的图。
图4是放大图3所示A部分的放大图。
图5是表示图2所示条图部的图。
图6是表示图2所示基板图像显示部的图。
图7是表示图6所示基板图像显示部的加亮功能的图。
图8是表示图2所示属性显示部的图。
具体实施方式
本发明可以施加多样的变更，可以具有多种形态，将在附图中示例性图示特定实施例，在正文中加以详细说明。但是，这不是要把本发明限定于特定的公开形态，应理解为包括本发明的思想及技术范围内包含的所有变更、等同物及至替代物。
第1、第2等术语可以用于说明多样的构成要素，但所述构成要素不由所述术语所限定。所述术语只用于把一个构成要素区别于其它构成要素的目的。例如，在不超出本发明的权利范围的同时，第1构成要素可以命名为第2构成要素，类似地，第2构成要素也可以命名为第1构成要素。
在本申请中使用的术语单纯用于说明特定的实施例，并非要限定本发明之意。只要在文理上未明确表示不同，单数的表现也包括复数的表现。在本申请中，“包括”或“具有”等术语，是要指定说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们的组合的存在，应解释为不预先排除一个或共以上的其它特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们的组合的存在或附加可能性。
只要未不同地定义，包括技术性或科学性术语在内，此处使用的所有术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员一般理解的内容相同的意义。
与在一般使用的字典中定义的内容相同的术语，应解释为具有与相关技术的文理上具有的意义一致的意义，只要在本申请中未明确定义，不得过于理想性地、过度地解释为形式上的意义。
下面参照附图，更详细地说明本发明的优选实施例。
图1是概略性地表示本发明一个实施例的基板检查装置的图。
如果参照图1，本发明一个实施例的基板检查装置包括测量单元100、控制部200及用户界面300。
测量单元100针对包括多个检查区域的检查基板110，根据确定的测量顺序，依次测量多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据。
测量单元100例如包括用于向检查基板110照射栅格图案光的一个以上的投影部120及拍摄因所述栅格图案光而产生的检查基板110的反射图像的至少一个照相机130。
投影部120为了检查贴装于检查基板110的贴装部件的贴装状态，向检查基板110照射用于获得高度信息、可见度(visibility)信息等三维信息的栅格图案光。例如，投影部120可以包括产生光的光源、用于使来自所述光源的光变换成栅格图案光的栅格元件、用于把借助所述栅格元件变换的栅格图案光投影到检查基板110的投影透镜等。所述栅格元件为了栅格图案光的相移，可以通过压电致动器(piezoactuator：PZT)等栅格移送工具而移送n-1次，每次2/n。其中，n为2以上的自然数。另一方面，栅格元件可以以不需要物理性移送的液晶栅格形成。为了提高检查精密度，具有这种构成的投影部120可以以照相机130为中心，沿圆周方向隔开既定角度地安装多个。
照相机130通过投影部120的栅格图案光的照射而拍摄检查基板110的图像。例如，照相机130安装于从检查基板110垂直的上部，照相机130可以使用利用了CCD传感器的全局快门(globalshutter)方式的照相机。全局快门方式的照相机130把视野范围内的图像拍摄成快照(snapshot)，一次获得影像数据。不同于此，照相机130可以使用利用了CMOS传感器的卷帘快门(rolleringshutter)方式的照相机。卷帘快门方式的照相机130按行单位扫描二维排列的像素而获得影像数据。
另一方面，测量单元100还可以包括用于拍摄检查基板110的平面性图像的照明部(图中未示出)。所述照明部作为用于检查基板110的初始对齐或检查区域设置等的照明，以圆形的环状形成，向检查基板110提供一种以上的单色光。例如，所述照明部可以包括产生白色光的荧光灯，或包括分别产生红色、绿色及蓝色光的红色发光二极管、绿色发光二极管及蓝色发光二极管。
具有如上所述构成的测量单元100利用投影部120或所述照明部，向检查基板110照射光，通过照相机130拍摄检查基板110的图像，获得贴装了贴装部件的检查基板110的多个影像数据。
另一方面，照相机130由于具有限定的视野范围(FOV：FieldofView)，因而对于大型尺寸的检查基板110，对应于照相机130的视野范围FOV，分割成多个检查区域进行检查。因此，测量单元100根据预定的测量顺序，依次测量多个检查区域，从而获得各检查区域的多个影像数据。
控制部200包括多个数据处理部210及优化模块220，所述数据处理部210执行从测量单元100传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块220用于设置对检查基板110的多个检查区域的优化的测量顺序。
数据处理部210通过对从测量单元100传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据变换，获得检查基板110的包括高度信息的三维信息或二维信息，利用获得的三维信息或二维信息，检查贴装部件的贴装状态。
优化模块220针对包括多个检查区域的检查基板110，利用特定算法，优化测量单元100对多个检查区域的测量顺序。另外，优化模块220针对多个数据处理部210，利用特定算法而优化数据处理顺序。
例如，优化模块220考虑测量单元100的多个检查区域间的移动时间和所述各检查区域的影像数据的数据处理时间等，使测量单元100对多个检查区域的测量顺序及/或对多个数据处理部210的数据处理顺序进行优化。即，测量单元100的移动时间根据各检查区域间的隔开距离而异，需要按各检查区域进行处理的数据量不同，因而数据处理时间相异，考虑测量单元100的移动时间及各检查区域的数据处理时间等，优化多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部210的数据处理顺序等，从而能够缩短对检查基板110的检查时间。
用户界面300经由通过测量单元100及控制部200而对检查基板110进行检查的全部过程，执行从使用者接受输入各种输入信息，并向使用者显示各种检查信息的功能。特别是用户界面300显示与通过优化模块220而优化的多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部210的数据处理顺序等相关的优化相关信息。
图2是表示本发明一个实施例的用户界而的显示画面的图。
如果参照图1及图2，用户界面300根据使用者的优化作业请求，在显示画面上显示检查区域顺序图部310、条图部320、基板图像显示部330及属性显示部340等。例如，检查区域顺序图部310配置于显示画面的上端，条图部320配置于检查区域顺序图部310的下部，基板图像显示部330及属性显示部340配置于条图部320的下部。另一方面，检查区域顺序图部310、条图部320、基板图像显示部330及属性显示部340的配置位置不限定于此，可以根据使用者的便利而多样地进行变更。
图3是表示图2所示检查区域顺序图部的图，图4是放大图3所示A部分的放大图。
如果参照图3及图4，检查区域顺序图部310以图表显示对于多个数据处理部210的数据处理顺序。即，检查区域顺序图部310针对根据通过优化模块220而优化的测量顺序所依次获得的所述各检查区域的多个影像数据，按时间数列排列在多个数据处理部210进行数据处理的数据处理顺序并向使用者显示。
检查区域顺序图部310在x轴显示时间，在y轴显示多个数据处理部210的序号，以具有与数据处理时间对应长度的条形态的检查区域块312，显示所述各检查区域的影像数据的数据处理顺序。由于在各个检查区域需要处理的数据量不同，对各个检查区域的数据处理时间会相异，因而多个处理时间块312可以显示成按各检查区域，与数据处理时间相对应地，具有相互相异的长度。
检查区域顺序图部310可以根据使用者的选择，把显示检查单元100的移动时间的移动时间块314显示于检查区域块312的前端。由于检查区域间的距离会不相同，因而把测量单元100的移动时间可以与检查区域间的移动距离相对应地，显示成具有相互相异的长度。
另外，检查区域顺序图部310可以把代表测量单元100的抓取(grab)时间的抓取时间块316显示于检查区域块312与移动时间块314之间。
因此，对各个检查区域的整体作业时间，成为合计了测量单元100移动时间、抓取时间及数据处理时间的时间。
优化模块220实质上可以考虑对所述各检查区域的整体作业时间，从而设置数据处理部210的数据处理顺序。即，优化模块220在把从测量单元100依次传送的各检查区域的影像数据依次分配给多个数据处理部210方面，按照优先分配给现在未进行数据处理的数据处理部210的方式，设置数据处理顺序。例如，如图3所示，在分配对于第11号检查区域的影像数据方面，由于第3号及第4号数据处理部仍在执行数据处理作业中，因而分配给数据处理已经结束的第5号数据处理部。通过如此考虑多个数据处理部210的数据处理现状而设置数据处理顺序，可以缩短整体的基板检查时间。
图5是表示图2所示条图部的图。
如果参照图5，条图部320以针对检查基板110中包括的全体检查区域而按测量顺序排列成一列的圆角形状的检查区域块322形态显示。
条图部320可以把多个检查区域块322按设置的组进行组合显示。条图部320在没有设置的组的情况下，可以把全体检查区域块322显示为1个组。另外，条图部320可以根据状态而对检查区域块322进行区分显示。另外，条图部320可以包括使检查区域块322通过右键菜单方式或拖放方式等而移动的检查区域移动功能。
条图部320可以包括用于对当前检查区域块322的排列顺序、分组等的状态存储成书签的书签按钮324。另外，条图部320可以包括用于从存储的书签加载所需检查区域块322的状态的加载按钮326。
图6是表示图2所示基板图像显示部的图，图7是表示图6所示基板图像显示部的加亮功能的图。
如果参照图6及图7，基板图像显示部330显示对于现在正进行检查的检查基板110的基板图像。基板图像显示部330中显示的所述基板图像，在保持实际检查基板110的纵横比的同时，与基板图像显示部330区域的大小相匹配地显示。
在基板图像显示部330中，一同显示实质上进行检查的多个检查区域332。另外，在多个检查区域332中，现在进行检查中的检查区域332可以区别于其它检查区域332地进行显示。
基板图像显示部330可以如图7所示，对现在进行检查中的或使用者直接选择的检查区域332a进行加亮处理并显示。例如，对除现在进行检查中的或使用者直接选择的检查区域332a之外的其余基板图像区域可模糊地进行半透明处理并显示，从而可以只对特定的检查区域332a进行加亮处理并显示。
此外，基板图像显示部330可以利用鼠标控制，对基板图像和检查区域332进行放大/缩小显示。另外，基板图像显示部330可以利用鼠标拖动，移动基板图像和检查区域332并显示。
图8是表示图2所示属性显示部的图。
如果参照图8，属性显示部340可以包括算法显示部341、参数显示部342、优化运行部343、模拟运行部344、检查区域信息显示部345等。
算法显示部341显示根据一个以上的优化算法的执行的多个结果数据。其中，所述结果数据，意味着通过任意一个优化算法对检查基板110所有检查区域进行检查所耗费的总时间。算法显示部341在执行路径优化功能之前显示为非激活，执行路径优化功能后，针对得出优化执行结果数据的项目，个别地得到激活并显示。算法显示部341在执行完对所有优化算法的路径优化后，把时间最小的值设置为最终结果值(Rcsult)并显示。
参数显示部342是对与测量单元100及数据处理部210等相关的硬件的参数进行设置及显示的区域。例如，参数显示部342显示测量单元100的速度、加速度及减速度、数据处理部210的个数等。
参数显示部342根据登录权限而形成激活或非激活并显示。例如，参数显示部342在装备制造商登录的情况下形成激活显示，以便能够编辑，而在普通使用者登录的情况下显示非激活，以使不能进行编辑。
优化运行部343是形成有用于运行路径优化的路径优化按钮的区域。如果在优化运行部343中勾选了利用实际检查时间的勾选框，则可以以实际检查时间信息值执行优化。
如果在优化运行部343中点击路径优化运行按钮，则执行路径优化，显示按算法显示进行情况的优化对话。此时，根据路径优化的执行状态，可以进行暂停、继续、取消、关闭等。完成路径优化执行后，在算法显示部341更新并显示结果数据，时间最小的值显示为最终结果值(Result)。结果数据更新后，如果使用者选择了结果数据中的任意值，那么，现在模块的检查区域信息更新为选择的结果数据，检查区域顺序图部310得到更新并显示。
模拟运行部344是形成有用于执行对路径优化的模拟的模拟运行按钮的区域。在模拟运行部344形成有用于设置模拟时间的输入窗口。
如果在模拟运行部344中输入模拟时间后点击模拟运行按钮，那么，根据现在设置的优化路径，按顺序执行对检查区域的模拟。执行模拟后，则显示出显示对于模拟的进行状况的对话。此时，根据模拟的执行状态，可以进行暂停、继续、取消、关闭等。另外，在执行模拟的过程中，在检查区域顺序图部310、条图部320、基板图像显示部330等中，现在模拟作业中的检查区域可以以加亮形态显示。
检查区域信息显示部345显示对于由使用者选择的检查区域的详细信息。例如，如果使用者在检查区域顺序图部310或条图部320选择检查区域，那么，检查区域信息显示部345显示对于选择的检查区域的检查区域ID、检查区域坐标、拍摄时间、执行时间、组件个数等的信息。另外，如果使用者在算法显示部341选择算法，则显示对于选择的算法的详细信息。如果使用者选择了多个检查区域，那么对于选择的多个检查区域的信息可以按顺序罗列并纵向滚动。
如上所述，通过用户界面，提供与通过优化模块进行优化的多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部的数据处理顺序等相关的优化相关信息，从而能够提高检查工序的使用者便利性。
在前面说明的本发明的详细说明中，参照本发明的优选实施例进行了说明，但只要是所属技术领域的熟练的技术人员或具有所属领域的普通技术人员便会理解，在不超出本发明的权利要求书中记载的本发明的思想及技术领域的范围内，可以多样地修改及变更本发明。

Claims (9)

1.一种基板检查装置，其中，包括：
测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；
控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及
用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述数据处理顺序相关的优化相关信息。
2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，
所述优化模块考虑所述测量单元的移动时间及所述各检查区域的影像数据的数据处理时间中至少一个，使对所述多个检查区域的测量顺序及所述多个数据处理部的数据处理顺序进行优化。
3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，
所述用户界面包括检查区域顺序图部，所述检查区域顺序图部显示所述多个数据处理部对所述各检查区域影像数据进行数据处理的数据处理顺序，其中所述各检查区域的多个影像数据根据通过所述优化模块而优化的测量顺序而获得。
4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中，
所述检查区域顺序图部在x轴显示时间，在y轴显示所述多个数据处理部的序号，把所述各检查区域的影像数据的数据处理顺序显示为具有与数据处理时间对应长度的条形态的处理时间块。
5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其中，
所述检查区域顺序图部根据使用者的选择，把代表所述检查单元的移动时间的移动时间块显示于所述检查区域块的前端。
6.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中，
所述用户界面还包括条图部，所述条图部针对所述检查基板中包括的全体检查区域，以按测量顺序排列成一列的检查区域块形态显示。
7.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中，
所述用户界面还包括基板图像显示部，所述基板图像显示部对所述多个检查区域显示的所述检查基板的图像进行显示。
8.根据权利要求7所述的基板检查装置，其中，
所述基板图像显示部根据使用者的检查区域选择，对选择的检查区域进行加亮处理并显示。
9.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中，
所述用户界面还包括属性显示部，其包括显示根据执行一个以上的优化算法的结果数据的算法显示部、显示硬件的参数的参数显示部、用于使路径优化运行的优化运行部、用于使模拟运行的模拟运行部，及显示由使用者选择的对于检查区域的详细信息的检查区域信息显示部中至少一个。
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