JP2002243663A

JP2002243663A - Ｘ線透視装置

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Publication number: JP2002243663A
Application number: JP2001034153A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Kamegawa; 正之亀川
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2001-02-09
Filing date: 2001-02-09
Publication date: 2002-08-28
Anticipated expiration: 2021-02-09
Also published as: JP3487292B2

Abstract

(57)【要約】【課題】試料中における特定部位のＸ線光軸方向への
位置が判らなくとも、その特定部位の画面上での撮像倍
率を常に正確に計算することのできるＸ線透視装置を提
供する。【解決手段】表示器１５の画面上で試料Ｗ内の注目部
位Ｗａを指定する手段と、その指定された注目部位Ｗａ
の画面上での移動量を計測する手段を設け、試料Ｗを載
せた試料テーブル３をＸ線光軸に直交する平面上で所定
距離Δだけ移動させたときの注目部位Ｗａの画面上での
移動量δを計測して、Δとδの比によって注目部位Ｗａ
の撮像倍率ρを計算することで、試料Ｗ内での注目部位
ＷａのＸ線光軸方向への位置が不明であっても、その注
目部位Ｗａについての正確な撮像倍率ρを求めることを
可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工業計測や、内部
欠陥の検査並びに内部構造の調査などの非破壊検査に用
いられるＸ線透視装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線透視装置においては、一般に、３次
元方向に移動可能な試料テーブル上に試料を載せた状態
でＸ線発生装置からのＸ線を照射し、試料テーブルを挟
んでＸ線発生装置に対向配置された２次元Ｘ線検出器に
よりその透過Ｘ線を検出して、その検出器出力に基づい
て表示器の画面上に試料のＸ線透過像を表示する。

【０００３】このようなＸ線透視装置を用いて、各種物
品の内部構造の調査を行う場合には、Ｘ線透過像中にお
ける特定の部位の実寸法や、異物混入検査の場合にはそ
の異物の実寸法を知りたいという要求がある。そこで、
従来のこの種のＸ線透視装置においては、基本的に下記
に示す方法を用いて撮像倍率ρを算出し、その算出結果
に応じて画面上にスケールバーを表示する機能などを持
たせる等によってこの要求に対応している。

【０００４】試料の実寸法に対する画面上のＸ線透視像
の寸法の倍率、つまり撮像倍率ρの計算は、図７に示す
ように、Ｘ線発生装置５１のＸ線出力窓（以下、Ｘ線源
５１ａと称する）とＸ線検出器５２とのなす距離ＳＩＤ
と、同じくＸ線源５１ａと試料テーブル５３上の試料Ｗ
内の実寸法を知ろうとする部位Ｗａとのなす距離ＳＯＤ
を用いるとともに、Ｘ線検出器５２のサイズＤと、その
サイズＤに対応する表示器５３のサイズＭを用いること
により、 ρ＝（ＳＩＤ／ＳＯＤ）×（Ｍ／Ｄ）・・・・（１）によって求めることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、実際の透視
においては、上記したＳＯＤを正確に知ることが困難で
あり、このことが撮像倍率の計算誤差となって現れる。
すなわち、Ｘ線源５１ａとＸ線検出器５２とのなす距離
ＳＩＤは、装置定数並びにこれらのいずれかを移動させ
た場合にはその移動機構に設けたエンコーダ等の出力に
基づいて正確に知ることができ、また、試料テーブル５
３の表面とＸ線源５１ａとの距離ｐについても、同じく
試料テーブル５３の移動機構に設けたエンコーダ等に設
けたエンコーダ等の出力から正確に知ることができるも
のの、試料Ｗの内部における実寸法を計測したい部位Ｗ
ａの、試料テーブル５３の表面からの距離ｑについては
正確には判らない場合が殆どである。

【０００６】特に、試料Ｗ内に混入している異物等の寸
法を知りたい場合や、試料Ｗ内の特定部位がその一端面
から一定の距離の所に位置しているとは限らないような
場合、その異物や特定部位と試料テーブル５３の表面と
の距離ｑが正確に判らず、従ってこの場合、ＳＯＤは概
略値でしか与えることができない。実際のこの種のＸ線
透視装置においても、その多くは、撮像倍率の計算に当
たって、Ｘ線源５１ａとＸ線検出器５２とのなす距離Ｓ
ＩＤや、Ｘ線源位置と試料テーブル５３の表面とのなす
距離ｐについては装置が自動的に入力するが、試料テー
ブル５３の表面から試料Ｗの特定部位までの距離ｑは人
手により入力するようになっている。

【０００７】ここで、撮像倍率が高くなればなるほど、
前記した（１）式中におけるＳＯＤの値の僅かな違い
が、撮像倍率の計算結果に大きな影響を与える。極端な
例を示せば、（１）式においてＭ＝Ｄとし、ＳＩＤが６
００ｍｍでＳＯＤが３ｍｍとした場合には撮像倍率は２
００倍となるが、ＳＯＤの値が１ｍｍだけ間違っており
実際には２ｍｍであったとすれば、真の撮像倍率は３０
０倍となり、大きな誤差が生じてしまうという問題があ
る。

【０００８】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、試料中における特定部位の試料テーブルの表面
からの距離が判らなくとも、その特定部位の撮像倍率を
常に正確に計算することのできるＸ線透視装置の提供を
目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のＸ線透視装置は、Ｘ線発生装置と、３次元
方向への移動機能を備えた試料テーブルと、その試料テ
ーブルの各方向への移動量を計測する計測手段と、上記
試料テーブルを挟んでＸ線発生装置に対向配置された２
次元のＸ線検出器と、そのＸ線検出器からの画素情報に
基づくＸ線透視画像を表示する表示器を備えたＸ線透視
装置において、上記表示器に表示されているＸ線透視画
像上における注目部位を指定する指定手段と、その指定
手段により指定された注目部位の表示器の画面上での移
動量を求める画像移動量演算手段を備えるとともに、上
記試料テーブルをＸ線発生装置とＸ線検出器とを結ぶ線
に対して直交する方向に移動させたときの当該試料テー
ブルの移動量と、そのときの上記注目部位の画面上での
移動量を用いて、上記注目部位近傍の撮像倍率を算出す
る演算手段を備えていることによって特徴づけられる
（請求項１）。

【００１０】ここで、本発明においては、上記画像移動
量演算手段による画面上での注目部位の移動量の計算手
法として、画像の移動前後における画素情報の相互相関
関数を利用する手法を採用すること（請求項２）が好ま
しい。

【００１１】また、本発明においては、撮像倍率の算出
指令の付与により上記試料テーブルを自動的に移動させ
るテーブル自動移動手段を備えるとともに、そのテーブ
ル自動移動手段は、上記試料テーブルの移動により画面
上での注目部位の移動量があらかじめ設定された量に達
するように当該試料テーブルの移動量を求めること（請
求項３）とすることができる。

【００１２】更に、本発明においては、上記画像移動量
演算手段による画面上での注目部位の移動量の計算に当
たり、あらかじめ入力されている上記２次元Ｘ線検出器
による画像の歪みを補正するように構成すること（請求
項４）が好ましい。

【００１３】本発明は、Ｘ線源とＸ線検出器間、並びに
Ｘ線源と試料の特定部位間の各距離などから撮像倍率を
算出するのではなく、表示器に表示された試料のＸ線透
過像中で実寸法を知りたい部位を注目部位として指定し
た後、試料テーブルをＸ線光軸に直交する方向に移動さ
せ、そのときの注目部位の画面上での移動量δを計測し
て、実際の移動量Δと画面上での注目部位の移動量δの
比から撮像倍率を求めることで、所期の目的を達成しよ
うとするものである。

【００１４】すなわち、試料テーブルをＸ線光軸に直交
する平面上でΔだけ移動させると、試料内部の注目部位
もΔだけ移動し、画面上の注目部位も移動する。その画
面上での注目部位の移動量δのΔに対する比は、Ｘ線光
軸に直交し、かつ、当該注目部位の位置する平面での撮
像倍率を表す。従って、実寸法を知ろうとする部位の試
料内部でのＸ線光軸方向への位置が不明であっても、そ
の部位における撮像倍率を常に正確に算出することがで
きる。

【００１５】また、請求項２に係る発明のように、画面
上での注目部位の移動量の演算に、相互相関関数を利用
すると、注目部位の画面上の重心位置の移動量を正確に
知ることができ、注目部位の画面上でのエッジ部分の移
動量を求める手法等に比して、画像の鮮明度などの影響
を受けることがなく、撮像倍率の精度向上に寄与すると
ころ大である。

【００１６】更に、請求項３に係る発明のように、撮像
倍率の算出指令を与えることによって、自動的に試料テ
ーブルを移動させるように構成するとともに、その移動
量を、注目部位の画面上での移動量が規定量となるよう
に自動的に求めるように構成すれば、撮像倍率の較正に
手間がかからず、かつ、試料テーブルの移動量に人為差
が生じることなく、試料テーブルの移動量を常に撮像倍
率の算出に誤差が生じにくい適度な量とすることができ
る。

【００１７】また、２次元Ｘ線検出器は、一般にはイメ
ージインテンシファイアと２次元ＣＣＤとの組み合わせ
によって構成されるが、ＣＣＤを用いて撮影された画像
には、通常、糸巻型の歪みが存在するので、請求項４に
係る発明のように、その２次元Ｘ線検出器による画像の
歪みを補正したうえで画面上での注目部位の移動量を算
出して撮像倍率の演算に供すれば、得られる撮像倍率は
より一層高精度なものとなる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。図１は本発明の実施の形
態の構成図であり、光学的構成を表す模式図と電気的構
成を表すブロック図とを併記して示す図である。

【００１９】Ｘ線発生装置１はＸ線放射窓を鉛直上方に
向けて配置され、鉛直方向（ｚ方向）のＸ線光軸Ｌに沿
ってＸ線を上向きに放射する。Ｘ線発生装置１の鉛直上
方には、例えばイメージインテンシファイアと２次元Ｃ
ＣＤからなる２次元Ｘ線検出器２が配設されている。そ
して、これらのＸ線発生装置１と２次元Ｘ線検出器２と
の間に、試料Ｗを載せるためのカーボン等からなる試料
テーブル３が設けられている。

【００２０】試料テーブル３は、テーブル３次元駆動機
構３ａの各モータを駆動することによって、鉛直のｚ軸
と、そのｚ軸に直交する平面、つまり水平面上で互いに
直交するｘ軸およびｙ軸の合計３軸方向にそれぞれ独立
的に移動できるようになっている。このテーブル３次元
駆動機構３ａの各モータは、コンピュータ１１の制御下
にあるモータコントロール回路１２によって駆動制御さ
れ、コンピュータ１１に接続されているキーボード１１
ａやマウス１１ｂを操作することによって、試料テーブ
ル３をｘ，ｙおよびｚの任意の方向に移動させることが
できる。試料テーブル３の各軸方向への移動量は、各軸
に対応して設けられているエンコーダ４ｘ，４ｙおよび
４ｚにより検出され、コンピュータ１１に取り込まれ
る。

【００２１】前記したＸ線発生装置１は、コンピュータ
１１の制御下に置かれているＸ線コントロール回路１３
によって駆動制御される。また、２次元Ｘ線検出器２の
各画素出力は、キャプチャーボード１４によってそれぞ
れにデジタル化された後にコンピュータ１１に取り込ま
れ、コンピュータ１１では、その各画素データに基づく
Ｘ線透過像を表示器１５に表示する。そして、後述する
ように、キーボード１１ａないしはマウス１１ｂを操作
することによって、この表示器１５の画面上において試
料ＷのＸ線透過像中の注目部位Ｗａを指定することがで
きる。なお、２次元Ｘ線検出器２あるいはＸ線発生装置
１がｚ軸方向に移動できる場合には、その移動量を検出
できるエンコーダが設けられている。

【００２２】さて、キーボード１１ａの操作により、表
示器１５の画面上のＸ線透過像のうちの注目部位Ｗａを
指定した後、撮像倍率の較正指令を与えると、コンピュ
ータ１１は以下に示す手順により、試料テーブル３を一
定の方向、例えばｘ方向に自動的に移動させ、そのとき
の表示器１５の画面上での注目部位Ｗａの移動量を自動
的に求め、その移動量と試料テーブル３の移動量を用い
て注目部位の撮像倍率を算出して記憶する。

【００２３】図２はその手順を示すフローチャートであ
る。まず、試料Ｗを試料テーブル３上に載せてＸ線を照
射し、表示器１５に試料ＷのＸ線透過像を表示させ、そ
の画面を見ながら、キーボード１１ａやマウス１１ｂ等
の操作によって試料Ｗ内部の注目部位ＷａがＸ線検出器
２の視野内、つまり表示器１５の画面内に入るように試
料テーブル３を適宜に移動させる。

【００２４】試料テーブル３の位置が決まったら、図３
（Ａ）に模式的に例示するように、キーボード１１ａ並
びにマウス１１ｂを操作して注目部位Ｗａをオペレータ
が指定する。この注目部位Ｗａの指定は、図示のように
注目部位Ｗａを含む方形のエリアＡを指定することによ
って行う。コンピュータ１１では、このエリアＡが指定
されると、図３（Ｂ）に示すように、ｙ方向の寸法はそ
のままで、ｘ方向の寸法を、後述する移動の向きに伸ば
したエリアＡ′を自動的に設定する。これは、以下に示
すように、撮像倍率の算出指令を与えたとき、注目部位
Ｗａの画面上での移動量が設定量となるように自動的に
試料テーブル３をｘ方向に移動させることから、その移
動後にも注目部位ＷａがエリアＡ′内に含まれるように
するためである。

【００２５】その後、撮像倍率の算出指令を与える。コ
ンピュータ１１では、この指令が与えられると、まず、
その時点におけるエリアＡ′内の全ての画素データを取
り込み、次に、試料テーブル３をＸ線光軸に直交する平
面上で一定の方向、この例ではｘ方向に移動させる。こ
の移動は、後述する撮像倍率ρの算出時における誤差が
極力少なくなるよう、表示器１５の画面上での注目部位
Ｗａの移動量が、あらかじめ設定されている相当量にほ
ぼ一致するように行われる。この画面上での移動の設定
量は、移動後にも注目部位Ｗａが画面内に入り、かつ、
大きいほどよく、例えば画面の１／３〜１／２程度の適
宜量とされる。

【００２６】その具体的手法について説明すると、試料
テーブル３のｚ軸上での位置はエンコーダ４ｚの出力に
より判っているとともに、Ｘ線発生装置１および／また
はＸ線検出器２がｚ軸方向に移動できるものについて
は、前記したようにその位置は付属のエンコーダの出力
により判明している。従って、表示器１５の画面上にお
ける注目部位Ｗａの概略の撮影倍率は、前記した（１）
式に準じて算出することができる。すなわち、注目部位
Ｗａのｚ軸方向への位置が、例えば試料テーブル３の表
面上に位置していると仮定し、（１）式を用いてその概
略撮像倍率を算出する。そして、その算出結果を用い
て、画面上での注目部位Ｗａの移動量が設定量となるで
あろう試料テーブル３の移動量を算出し、その算出結果
に基づく量だけ試料テーブル３を移動させ、そのときの
実際の注目部位Ｗａの画面上での移動量を後述する手法
によって算出する。

【００２７】注目部位Ｗａの試料テーブル３の表面から
の距離が不明であることから、この（１）式に準じて求
めた撮像倍率には誤差があり、従って、通常は上記した
試料テーブル３の移動によっては画面上での注目部位Ｗ
ａの移動量は設定量とは相違したものとなる。この相違
に基づき、試料テーブル３を元の位置に戻したのち、撮
像倍率の概略値を補正したうえで、注目部位Ｗａが画面
上で設定量だけ移動するように再度試料テーブル３をｘ
方向に移動させてもよい。

【００２８】なお、この実施の形態においては、試料Ｗ
をｘ方向右向きに移動させたが、もし、オペレータが設
定した注目部位Ｗａの画面上での初期位置が、画面の中
心より右にあった場合には、十分な大きさの領域Ａ′が
確保できなくなるため、注目部位Ｗａが画面から逸脱し
ない範囲で左向きに移動させた位置を初期状態として、
上記の動作を開始してもよい。

【００２９】さて、図３（Ｃ）に模式的に示すように、
注目部位Ｗａの画面上での移動量がほぼ設定量と一致し
たものとなれば、そのときの試料テーブル３の当初の位
置決め状態からの移動量Δをエンコーダ４ｘの出力に基
づいて記憶するとともに、移動後の画面上におけるエリ
アＡ′内の全ての画素データを取り込む。そして、その
画素データと、移動前に取り込んだエリアＡ′内の全画
素データの各輝度Ｉの相互相関関数を演算する。エリア
Ａ′内の座標ｘ，ｙにおける画素の輝度を、移動前の値
をＩ_M1（ｘ，ｙ）、移動後の値をＩ_M2（ｘ−ｄ，ｙ）と
するとともに、図４に示すように、エリアＡ′内の画素
を（ｘ_i,ｙ_j）として、ｉ＝１〜ｎ，ｊ＝１〜ｍとすれ
ば、相互相関関数ＣＣ（ｄ）は

【００３０】

【数１】

【００３１】で表され、グラフで表すと図５に例示する
通りとなり、そのピーク位置から注目部位Ｗａの画面上
の重心のｘ方向への移動量δを正確に求めることができ
る。このピーク位置の算出には、ピーク位置近傍の３点
もしくは５点のデータをもとに補間計算を行うことで、
このピーク位置の空間分解能を画素分解能以上に高くす
ることが可能となる。例えば１画素が１０μｍに対応す
る倍率設定においても、その１／１０程度まで、すなわ
ちμｍオーダーまで計算が可能となる。そして、この画
面上での注目部位Ｗａの移動量δと、先に記憶している
試料テーブル３の移動量Δとから、注目部位Ｗａの撮像
倍率ρを ρ＝δ／Δ ・・・・（３）によって算出して記憶する。この撮像倍率ρは、例えば
画面上にスケールバーを表示したり、あるいはマウス１
１ｂを用いて画面上の２点を選択したときにその２点間
の実寸法を算出して表示するといった公知の機能に活用
される。

【００３２】以上の本発明の実施の形態によると、実寸
法を知りたい注目部位Ｗａの試料Ｗ内部でのｚ方向位置
が判らなくとも、その注目部位Ｗａの画面上での撮像倍
率ρを正確に算出することができる。また、画面上での
注目部位Ｗａの移動量を、試料テーブル３の移動前後の
画素データの相互相関関数を用いて求めているので、像
のエッジ部分の移動量を画像処理により求める場合に比
して、移動量の計測に誤差が殆ど介在することがなく、
撮像倍率の算出結果を正確なものとすることができる。

【００３３】また、相互相関関数を用いる場合、コント
ラストの大きい部位が相対的に移動量の算出結果を支配
するため、オペレータが注目している部位と、移動量の
計算対象となる画像との同一性を確実にとることがで
き、注目部位の近傍に計算時においてノイズとなる他の
像が存在するような曖昧さを含んだ部位指定において
も、よりオペレータの意図に近い結果を示すことが可能
となり、オペレータに対する操作上の注意を強く促す必
要がない。つまり使いやすいシステムとなり得る。

【００３４】更に、撮像倍率の算出指令を与えることに
より、試料テーブル３が自動的に所定方向にほぼ設定量
だけ移動し、しかもその移動量は、撮像倍率の算出時の
誤差が生じないように相当量に設定しているので、人為
差なく常に正確な撮像倍率の算出が可能となる。

【００３５】ここで、ＣＣＤにより撮像された画像に
は、通常、糸巻型の歪みが生じることが知られており、
このようなＣＣＤを用いた２次元Ｘ線検出器２を用いる
場合、画面上での注目部位Ｗａの移動量の算出結果にそ
の歪みの影響が及ぶ可能性がある。そこで、ＣＣＤによ
る画像の歪みをあらかじめ計測して記憶しておき、その
歪みを補正したうえで画面上での注目部位Ｗａの移動量
の算出を行うことにより、ＣＣＤによる画像の歪みの影
響を受けない撮像倍率を求めることができる。

【００３６】この歪みの補正方法の例を挙げると、ま
ず、準備段階として、図６（Ａ）に模式的に示すよう
に、アクリル板５１にタングステンワイヤ５２を例えば
１０ｍｍ間隔程度で格子状に配したグリッドファントム
５０を用意し、図６（Ｂ）に示すように、このグリッド
ファントム５０を２次元Ｘ線検出器２の受光面に密着配
置してＸ線を照射する。そして、その状態で２次元Ｘ線
検出器２の出力に基づく画像を取り込む。この画像が、
図６（Ｃ）に模式的に例示するような糸巻型の歪みを生
じていたとすると、この画像中の各格子点を検出し、画
像の歪みεを表すテーブルとして記憶する。この実測値
に基づくテーブルにない歪みεについては、各格子点の
補間計算により求めることにより、補間テーブルを求め
て記憶する。

【００３７】実際の計測に際しては、試料Ｗの像を入力
した後、補間テーブルを用いて歪みεを較正した画像を
構築し、その較正後の画像上の画素データを用いて、前
記した手法によって注目領域Ｗａの移動量を算出すれば
よい。

【００３８】なお、画面上での注目部位Ｗａの移動量の
算出に当たり、前記した例に代えて、エリアＡ内の各画
素の移動前後の輝度Ｉ_M1，Ｉ_M2を、各ｘ位置においてｙ
方向に加算したプロファイルで相互相関関数を求めても
よい。この場合の関数は、各画素を図４に示した通りに
表すと、

【００３９】

【数２】

【００４０】となり、そのピーク位置を求めることによ
り、画面上での注目部位Ｗａの移動量δを求めることが
できる。この場合、上記した例に比べてやや精度は劣る
が、計算に要する時間を短縮できるという利点がある。

【００４１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、試料の
Ｘ線透過像上で、実寸法を知りたい部位を注目部位とし
て指定した後、Ｘ線光軸に直交する面上で試料テーブル
を移動させ、そのときの画面上で注目部位の移動量と、
試料テーブルの実際の移動量との比から、画面上の注目
部位の撮像倍率を算出するので、試料中における注目部
位のＸ線光軸方向への位置が全く不明であっても、常に
正確に撮像倍率を求めることができる。

【００４２】また、請求項２に係る発明のように、注目
部位の画面上での移動量の計測に、移動前後の画素デー
タの相互相関関数を用いることにより、Ｘ線透過像の鮮
明度等の影響を受けることなく、常に正確な計測が可能
となり、撮像倍率の正確さの向上並びに信頼性に寄与す
るところ大である。

【００４３】更に、請求項３に係る発明のように、撮像
倍率の算出指令を与えることによって、画面上での注目
部位の移動量があらかじめ設定されている適宜量となる
ように自動的に試料テーブルを移動させるように構成す
れば、人為差を生じることなく、常に一定の正確度のも
とに撮像倍率を求めるとこができる。

【００４４】更にまた、請求項４に係る発明のように、
２次元Ｘ線検出器による画像の歪みを補正した上で画面
上での注目部位の移動量を求めることによって、２次元
Ｘ線検出器による画像の歪みの有無や大小に係わらず、
常に正確な撮像倍率の計算が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の構成図で、光学的構成を
表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して
示す図である。

【図２】本発明の実施の形態により撮像倍率の較正を行
う際の手順を示すフローチャートである。

【図３】本発明の実施の形態により撮像倍率の較正を行
うに当たっての注目部位Ｗａの指定の仕方を説明するた
めの模式図であり、（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ試料
テーブル３の移動前後の表示器１５の画面を表す図であ
る。

【図４】本発明の実施の形態により相互相関関数を用い
て注目部位Ｗａの移動量を求める際の画素の位置情報の
説明図である。

【図５】本発明の実施の形態による、試料テーブル３の
移動前後の画面上のエリアＡ内の画素データの相互相関
関数の計算結果を示すグラフである。

【図６】本発明の実施の形態において、２次元Ｘ線検出
器２による画像の歪みを補正する方法の例の説明図であ
る。

【図７】Ｘ線透視装置による撮像倍率の従来の計算手法
の説明図である。

【符号の説明】

１Ｘ線発生装置２２次元Ｘ線検出器３試料テーブル３ａ３次元駆動機構４ｘ，４ｙ，４ｚエンコーダ１１コンピュータ１１ａキーボード１１ｂマウス１２モータコントロール回路１３Ｘ線コントロール回路１４キャプチャーボード１５表示器Ｗ試料Ｗａ注目部位

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ線発生装置と、３次元方向への移動機
能を備えた試料テーブルと、その試料テーブルの各方向
への移動量を計測する計測手段と、上記試料テーブルを
挟んでＸ線発生装置に対向配置された２次元のＸ線検出
器と、そのＸ線検出器からの画素情報に基づくＸ線透視
画像を表示する表示器を備えたＸ線透視装置において、上記表示器に表示されているＸ線透視画像上における注
目部位を指定する指定手段と、その指定手段により指定
された部位の表示器の画面上での移動量を求める画像移
動量演算手段を備えるとともに、上記試料テーブルをＸ
線発生装置とＸ線検出器とを結ぶ線に対して直交する方
向に移動させたときの当該試料テーブルの移動量と、そ
のときの上記注目の画面上での移動量を用いて当該注目
部位近傍の撮像倍率を算出する演算手段を備えているこ
とを特徴とするＸ線透視装置。
【請求項２】上記画像移動量演算手段は、画像の移動
前後における画素情報の相互相関関数を利用して上記注
目部位の移動量を求めることを特徴とする請求項１に記
載のＸ線透視装置。
【請求項３】撮像倍率の算出指令の付与により上記試
料テーブルを自動的に移動させるテーブル自動移動手段
を備えるとともに、そのテーブル自動移動手段は、上記
試料テーブルの移動により画面上での注目部位の移動量
があらかじめ設定された量に達するように当該試料テー
ブルの移動量を決定することを特徴とする請求項１また
は２に記載のＸ線透視装置。
【請求項４】上記画像移動量演算手段は、あらかじめ
入力されている上記２次元Ｘ線検出器による画像の歪み
を補正したうえで注目部位の画面上での移動量を算出す
ることを特徴とする請求項１，２または３に記載のＸ線
透視装置。