JPH07209213A - X線ホログラフィックct装置 - Google Patents
X線ホログラフィックct装置Info
- Publication number
- JPH07209213A JPH07209213A JP6004371A JP437194A JPH07209213A JP H07209213 A JPH07209213 A JP H07209213A JP 6004371 A JP6004371 A JP 6004371A JP 437194 A JP437194 A JP 437194A JP H07209213 A JPH07209213 A JP H07209213A
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- JP
- Japan
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- ray
- sample
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 X線計算機トモグラフィー(CT)において、
試料による回折や屈折効果による投影像のぼけを除去し
てCT像の解像度を向上させること。 【構成】 コヒーレントなX線を試料に照射して、透過
X線像を二次元画像検出器で計測し、得られた像を一度
ガボア型ホログラムとして計算機で像再生することによ
って、ぼけを除去した投影像を生成させる。この再生像
をCTとしての投影像として取扱い、CT像再生演算を
行うことによって、試料内部の断層像を得る。
試料による回折や屈折効果による投影像のぼけを除去し
てCT像の解像度を向上させること。 【構成】 コヒーレントなX線を試料に照射して、透過
X線像を二次元画像検出器で計測し、得られた像を一度
ガボア型ホログラムとして計算機で像再生することによ
って、ぼけを除去した投影像を生成させる。この再生像
をCTとしての投影像として取扱い、CT像再生演算を
行うことによって、試料内部の断層像を得る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はシンクロトロン放射X線
を単色化して用いるX線CT装置において試料による回
折や屈折効果による投影像のぼけを除去して空間分解能
を向上させるための方法に関する。
を単色化して用いるX線CT装置において試料による回
折や屈折効果による投影像のぼけを除去して空間分解能
を向上させるための方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、シンクロトロン放射を光源として
利用するX線CT装置おいては、例えばエックスレイ・
マイクロスコピィー・イン・バイオロジー・アンド・メ
ヂシン(1990年)179頁から190頁(X-ray Microscopy in B
iology and Medicine (1990) p179-p190)にある様に、
シンクロトロン放射光を分光器で単色化して、ここから
得られる単色かつほぼ平行なX線束を試料に入射して一
次元或は二次元検出器で透過X線像を測定し、通常の計
算機トモグラフィーの手法を用いて像再生する方法が使
われている。
利用するX線CT装置おいては、例えばエックスレイ・
マイクロスコピィー・イン・バイオロジー・アンド・メ
ヂシン(1990年)179頁から190頁(X-ray Microscopy in B
iology and Medicine (1990) p179-p190)にある様に、
シンクロトロン放射光を分光器で単色化して、ここから
得られる単色かつほぼ平行なX線束を試料に入射して一
次元或は二次元検出器で透過X線像を測定し、通常の計
算機トモグラフィーの手法を用いて像再生する方法が使
われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、既に上記文献中でも指摘されている様に、CT像の
分解能を向上させようとした場合に、入射X線束の平行
度と透過X線画像検出器の解像度を向上させることによ
って幾何学的な分解能を高くしても、試料による回折や
屈折によって分解能が制限され、実際の解像度は装置の
幾何学的な解像度よりも劣るという問題点があった。本
発明の目的はX線CT装置において試料を透過したX線
の回折や屈折による画像のぼけを除去してCT像の分解
能を向上させる為の手法を提供することにある。
は、既に上記文献中でも指摘されている様に、CT像の
分解能を向上させようとした場合に、入射X線束の平行
度と透過X線画像検出器の解像度を向上させることによ
って幾何学的な分解能を高くしても、試料による回折や
屈折によって分解能が制限され、実際の解像度は装置の
幾何学的な解像度よりも劣るという問題点があった。本
発明の目的はX線CT装置において試料を透過したX線
の回折や屈折による画像のぼけを除去してCT像の分解
能を向上させる為の手法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では試料にコヒーレントなX線を入射させ、
計測した透過X線像をガボア型のインラインホログラム
と見なして、計算機上で一度ホログラフィーとしての像
再生を行い、ここで再生された画像をCTとしての投影
像とみなして像再構成演算を行うものである。。
に、本発明では試料にコヒーレントなX線を入射させ、
計測した透過X線像をガボア型のインラインホログラム
と見なして、計算機上で一度ホログラフィーとしての像
再生を行い、ここで再生された画像をCTとしての投影
像とみなして像再構成演算を行うものである。。
【0005】
【作用】以下本発明の原理を図1にしたがって説明す
る。X線源1からの平行な単色X線束2が試料3に入射
される。試料3は計算機4で制御される回転台5によっ
て回転され試料に入射するX線の方向を変えることが出
来る。試料を透過したX線の投影像はX線画像検出器6
で検出され計算機4に取り込まれる。X線が十分に平行
でありかつ単色であれば試料に照射されるX線は部分的
に可干渉であり、この可干渉領域よりも試料が小さけれ
ば、画像検出器6で観測される像は試料によって散乱さ
れたり回折されたりした光と直進した光との干渉によっ
て生成されるガボア型のホログラムになる。
る。X線源1からの平行な単色X線束2が試料3に入射
される。試料3は計算機4で制御される回転台5によっ
て回転され試料に入射するX線の方向を変えることが出
来る。試料を透過したX線の投影像はX線画像検出器6
で検出され計算機4に取り込まれる。X線が十分に平行
でありかつ単色であれば試料に照射されるX線は部分的
に可干渉であり、この可干渉領域よりも試料が小さけれ
ば、画像検出器6で観測される像は試料によって散乱さ
れたり回折されたりした光と直進した光との干渉によっ
て生成されるガボア型のホログラムになる。
【0006】このホログラムを例えばフーリエ変換等の
数学的手法を用いて計算機4で物面上へのホログフィー
としての像再生を行う。再生された画像は試料上でのX
線の強度分布に相当しているため、この再生像は試料透
過X線による幾何学的な投影像と見なすことが出来て、
回折や屈折によるぼけが除去されている。
数学的手法を用いて計算機4で物面上へのホログフィー
としての像再生を行う。再生された画像は試料上でのX
線の強度分布に相当しているため、この再生像は試料透
過X線による幾何学的な投影像と見なすことが出来て、
回折や屈折によるぼけが除去されている。
【0007】試料3を回転台5で回転させて多数の方向
から投影像を観測して、各々の投影像にホログラフィー
としての像再生演算を行うことによって、多数の方向か
らの(回折によるぼけを除去した)X線投影像が得られ
る。これらの像を通常のCT演算によって逆投影するこ
とによって試料のCT像が得られる。
から投影像を観測して、各々の投影像にホログラフィー
としての像再生演算を行うことによって、多数の方向か
らの(回折によるぼけを除去した)X線投影像が得られ
る。これらの像を通常のCT演算によって逆投影するこ
とによって試料のCT像が得られる。
【0008】本手法によれば試料透過後の回折や屈折に
よる解像度の劣化を修正出来る。試料が有限の厚さを持
っているために、試料内部でのX線の回折等による拡散
は完全には修正出来ないが、ホログラフィーの再生像面
を試料中の関心領域にあわせることによって低減するこ
とが出来る。
よる解像度の劣化を修正出来る。試料が有限の厚さを持
っているために、試料内部でのX線の回折等による拡散
は完全には修正出来ないが、ホログラフィーの再生像面
を試料中の関心領域にあわせることによって低減するこ
とが出来る。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1にしたがって
説明する。本実施例では、X線源1としては、シンクロ
トロン放射光をSi(111)二結晶分光器によって波長1
オングストローム、バンド幅0.0002オングストロ
ーム程度に単色化している。本実施例では近似的に平行
なX線束2を実現するために、微小な点光源1からのX
線束2を用いて、ここから十分に離れた位置に試料3を
置く構成とした。
説明する。本実施例では、X線源1としては、シンクロ
トロン放射光をSi(111)二結晶分光器によって波長1
オングストローム、バンド幅0.0002オングストロ
ーム程度に単色化している。本実施例では近似的に平行
なX線束2を実現するために、微小な点光源1からのX
線束2を用いて、ここから十分に離れた位置に試料3を
置く構成とした。
【0010】X線源1の直径10ミクロンのピンホール
を通過した分光器出射光はピンホールから20m離れた
試料3を照射する。試料透過X線像は試料後方10mm
の距離に置いた二次元画像検出器6で検出される。試料
を回転台5で180度回転させながら0.5度おきに画
像検出器6からの透過X線像のデータを計算機4に転送
する。全画像を収集後に、各々の角度での画像に対して
ホロクラフィーとしての像再生演算を計算機4で行い、
試料位置でのX線の強度分布に変換する。
を通過した分光器出射光はピンホールから20m離れた
試料3を照射する。試料透過X線像は試料後方10mm
の距離に置いた二次元画像検出器6で検出される。試料
を回転台5で180度回転させながら0.5度おきに画
像検出器6からの透過X線像のデータを計算機4に転送
する。全画像を収集後に、各々の角度での画像に対して
ホロクラフィーとしての像再生演算を計算機4で行い、
試料位置でのX線の強度分布に変換する。
【0011】本実施例では二次元フーリエ変換を用いて
この像再生を行った。
この像再生を行った。
【0012】次に、この強度分布を投影像としてフィル
ター補正逆投影法を用いてCT像を再構成した。
ター補正逆投影法を用いてCT像を再構成した。
【0013】本実施例ではホログラムの再生を単純なフ
ーリエ変換で行っているが、共約像を消すために既に知
られている様な位相回復手法を用いても良い。
ーリエ変換で行っているが、共約像を消すために既に知
られている様な位相回復手法を用いても良い。
【0014】次に、本発明の他の実施例を図2に従って
説明する。本実施例では第1の実施例と同様に、X線源
1としては、シンクロトロン放射光をSi(111)二結晶
分光器によって波長1オングストローム、バンド幅0.
0002オングストローム程度に単色化している。
説明する。本実施例では第1の実施例と同様に、X線源
1としては、シンクロトロン放射光をSi(111)二結晶
分光器によって波長1オングストローム、バンド幅0.
0002オングストローム程度に単色化している。
【0015】本実施例では平行なX線束の替りに微小な
点光源からの発散X線束を用いた。分光器出射光は直径
0.1ミクロンのピンホールを有する遮蔽板7のピンホ
ールを通過する。このピンホールが仮想的な点光源とな
り、ここからの発散X線2がピンホールから1m後方の
回転台5上にある試料3に入射する。試料透過X線像は
ピンホールから4mの距離に置いた二次元画像検出器6
で検出される。
点光源からの発散X線束を用いた。分光器出射光は直径
0.1ミクロンのピンホールを有する遮蔽板7のピンホ
ールを通過する。このピンホールが仮想的な点光源とな
り、ここからの発散X線2がピンホールから1m後方の
回転台5上にある試料3に入射する。試料透過X線像は
ピンホールから4mの距離に置いた二次元画像検出器6
で検出される。
【0016】本実施例では試料位置での可干渉領域は1
mm、検出器6の位置での可干渉領域は4mmであり、
十分に大きい可干渉領域が得られている。また時間コヒ
ーレンス長は0.5ミクロンであり、検出器6上での4
mmの領域で時間コヒーレンスが成立する条件となって
いる。
mm、検出器6の位置での可干渉領域は4mmであり、
十分に大きい可干渉領域が得られている。また時間コヒ
ーレンス長は0.5ミクロンであり、検出器6上での4
mmの領域で時間コヒーレンスが成立する条件となって
いる。
【0017】CT像を得る為には第1の実施例と同様に
試料を回転台5で180度回転させながら0.5度おき
に画像検出器6からの透過X線像のデータを計算機4に
転送する。
試料を回転台5で180度回転させながら0.5度おき
に画像検出器6からの透過X線像のデータを計算機4に
転送する。
【0018】全画像を収集後に、各々の角度での画像に
対してホログラムとしての像再構成演算を計算機4で行
い、試料位置でのX線の強度分布に変換する。次に、こ
の強度分布を投影像としてフィルター補正逆投影法を用
いてCT像を再構成した。
対してホログラムとしての像再構成演算を計算機4で行
い、試料位置でのX線の強度分布に変換する。次に、こ
の強度分布を投影像としてフィルター補正逆投影法を用
いてCT像を再構成した。
【0019】本実施例では点光源からの発散光を用いて
おり、光源と試料の距離に比べて試料から検出器までの
距離が比較的長く取っているので、透過X線像が拡大さ
れてから(本実施例では4倍の拡大率)検出されるため、
検出器の分解能が悪くても高分解能が得られるという利
点がある。また、遠距離場の干渉縞を用いているので共
約像と物体像との距離が大きくなり、インラインホログ
ラフィーの再生における共約像によるバックグラウンド
の影響が少なくなると言う利点がある。
おり、光源と試料の距離に比べて試料から検出器までの
距離が比較的長く取っているので、透過X線像が拡大さ
れてから(本実施例では4倍の拡大率)検出されるため、
検出器の分解能が悪くても高分解能が得られるという利
点がある。また、遠距離場の干渉縞を用いているので共
約像と物体像との距離が大きくなり、インラインホログ
ラフィーの再生における共約像によるバックグラウンド
の影響が少なくなると言う利点がある。
【0020】
【発明の効果】本発明によれば、X線CT装置において
試料を透過したX線の回折や屈折による画像のぼけを除
去されるので、再構成されたCT像の分解能が向上する
という利点がある。
試料を透過したX線の回折や屈折による画像のぼけを除
去されるので、再構成されたCT像の分解能が向上する
という利点がある。
【図1】本発明の原理及び第1の実施例を示す図。
【図2】本発明の第2の実施例を示す図。
1:X線源、2:X線束、3:試料、4:計算機、5:
回転台、6:画像検出器、7:ピンホールを有する遮蔽
板。
回転台、6:画像検出器、7:ピンホールを有する遮蔽
板。
Claims (2)
- 【請求項1】平行な単色X線束を試料に照射して透過X
線像から計算機トモグラフィー(CT)の手法を用いて試
料の断層像を再構成する形式のCT装置において、透過
X線像をガボア型のホログラムとして一度計算機上で再
生し、この再生した透過X線像をCT演算における投影
像として用いることを特徴としたX線ホログラフィック
CT装置。 - 【請求項2】平行な単色X線束に代えて、X線点光源か
らの発散X線を試料に照射することを特徴とした請求項
1記載のX線ホログラフィックCT装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6004371A JPH07209213A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | X線ホログラフィックct装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6004371A JPH07209213A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | X線ホログラフィックct装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07209213A true JPH07209213A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11582516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6004371A Pending JPH07209213A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | X線ホログラフィックct装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07209213A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228784A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Kansai Tlo Kk | 3次元磁場分布および3次元電流分布の計測方法並びに計測装置 |
JP2011099839A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-05-19 | Fujitsu Ltd | X線分析装置及びx線分析方法 |
JP2011169900A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Panalytical Bv | X線回折及びコンピュータトモグラフィ |
JP2014008281A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Rigaku Corp | X線画像化装置及びx線画像化方法 |
-
1994
- 1994-01-20 JP JP6004371A patent/JPH07209213A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228784A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-24 | Kansai Tlo Kk | 3次元磁場分布および3次元電流分布の計測方法並びに計測装置 |
JP2011099839A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-05-19 | Fujitsu Ltd | X線分析装置及びx線分析方法 |
JP2011169900A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Panalytical Bv | X線回折及びコンピュータトモグラフィ |
JP2014008281A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Rigaku Corp | X線画像化装置及びx線画像化方法 |
US9250199B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-02-02 | Rigaku Corporation | X-ray imaging apparatus, and X-ray imaging method |
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