JP2011169900A - X線回折及びコンピュータトモグラフィ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イメージシステムは;X線ビームを放射するX線源と;2次元X線検出器と;試料位置;前記X線源、X線検出器及び試料を、前記試料位置でお互いに相対的に位置させるゴニオメーターと;前記2次元検出器からのインプットを処理し、前記2次元検出器からのインプットと、X線源、X線検出器及び試料の前記相対的位置に基づいて、試料の情報をアウトプットするコンピュータを含み;前記イメージシステムが、前記X線検出器を用いて回折角度2θの関数として、前記X線回折を測定して前記試料の角度分散X線回折を実行するX線回折モードで操作するように、及び試料の吸収を、2次元X線検出器を用いて前記試料に亘り位置の関数として試料の吸収を測定するコンピュータトモグラフィモードで操作するように、配置される。
【選択図】図1
Description
4 X線源
6 試料台
8 試料
10 2次元光子計数X線検出器
11 ビームコンディショナー
12 モノクロメータ
13 コリメータ
14 直接ビーム吸収体、ビームストップ
16 コンピュータ
18 複合装置
20 検出器ハウジング
22 2次元画素検出器
24 試料台
26 回転軸
28 モーター
30 モーターハウジング
32 台板
34 台
36 開口部
38 スクリュー
Claims (15)
- イメージシステムであり:
X線ビームを放射するX線源と;
2次元X線検出器と;
試料位置と;
前記X線源、X線検出器及び試料を、前記試料位置でお互いに相対的に位置させるゴニオメーターと;
前記2次元検出器からのインプットを処理し、前記2次元検出器からのインプットと、X線源、X線検出器及び試料の前記相対的位置に基づいて、試料の情報をアウトプットするコンピュータとを含み;
当該イメージシステムが、前記X線検出器を用いて回折角度2θの関数として、前記X線回折を測定して前記試料の角度分散X線回折を実行するX線回折モードで操作するように、及び試料の吸収を、2次元X線検出器を用いて前記試料に亘り位置の関数として試料の吸収を測定するコンピュータトモグラフィモードで操作するように、配置される、イメージシステム。 - 前記X線源が、4.5keVから25keVの範囲のエネルギーバンドにおけるX線の少なくとも1つの線における強度が全放射X線の強度の少なくとも30%を有するX線を放射する、請求項1に記載のイメージシステム。
- 前X線源が、Cr、Co、Cu、Mo又はAgターゲットを用いる、請求項1又は2のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- 前記X線検出器が、2次元光子計数検出器である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- 前記イメージシステムが、前記CTモードでの操作が、前記X線源及び前記検出器に関して前記試料を回転することで、前記試料の前記吸収の複数の吸収測定を、前記試料に亘る位置の関数として取得し、及び前記複数の測定された吸収測定を組み合わせてCTイメージを生成するように、配置される、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- 前記検出器から5cm内に前記試料を載せるための回転試料台を含む、複合装置をさらに含む、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- 前記複合装置が、前記CTモードでCT測定のために複数の異なる方向に前記回転試料台を回転させるため、前記試料台に連結された回転駆動装置をさらに含む、請求項6に記載のイメージシステム。
- 前記X線源に隣接して設けられた、ピンホール、スリット又はX線ミラーであるビームコンディショナーをさらに含む、請求項1乃至7のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- モノクロメーターをさらに含む、請求項1乃至8のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- 前記XRDモード前記試料の後の前記X線ビームの直接ラインに置かれ、CTモードでは取り外されるビームストップをさらに含む、請求項1乃至9のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- イメージシステムの操作方法で:
X線源、X線検出器及び試料位置の試料をお互いに相対的に位置させ;
前記試料に向けて前記X線源からX線ビームを放射し;
2次元X線検出器を用いて試料と相互作用した後の前記ビームを検出することを含み;
前記方法は、前記2次元検出器からのインプットを処理し、前記2次元検出器からのインプットと、X線源、X線検出器及び試料の前記相対的位置に基づいて、試料の情報をアウトプットし;
前記イメージシステムが、前記X線検出器を用いて回折角度2θの関数として、前記X線回折を測定して前記試料の角度分散X線回折を実行するX線回折モードで操作するように、及び
試料の吸収を、2次元X線検出器を用いて前記試料に亘り位置の関数として試料の吸収を測定するコンピュータトモグラフィモードで操作するように、
配置する、イメージシステムの操作方法。 - 前X線源が、Cr、Co、Cu、Mo又はAgターゲットにより照射される、請求項11に記載の方法。
- 前記ビームの検出が、2次元光子計数X線検出器を用いる、請求項11又は12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記CTモードでの操作が、前記X線源及び前記検出器に関して前記試料を回転することで、前記試料の前記吸収の複数の吸収測定を、前記試料に亘る位置の関数として取得するように操作すること、及び前記複数の測定された吸収測定をCTイメージを生成するように組み合わせることを含む、請求項11、12又は13のいずれか1項に記載のイメージシステム。
- 前記2次元X線検出器と、前記検出器から5cm内に前記試料を載せるための回転試料台を含む、複合装置に試料を載せ、及び
前記複数の吸収測定を得るために前記回転試料台の上の前記試料を回転させることをさらに含む、請求項14に記載のイメージシステム。
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