JP6198406B2 - マイクロ回折方法及び装置 - Google Patents
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Description
a) 試料の表面に沿ってy方向に延びる照射されるストリップ(照射ストリップ)に沿ってX線ビームを照射し;
b)前記試料と2次元検出器の間のマスクを通して前記照射ストリップに沿う試料によって回折されたX線を通過させ、前記マスクは、前記y方向に対して実質的に直交して延びるスリットを持ち、前記照射ストリップに沿う異なる位置から回折されるX線が前記2次元X線検出器上のy方向に沿う異なる位置において受光され、;
c) 前記2次元検出器のy方向に沿う異なる位置が前記照射ストリップに沿う異なる位置に対応し、且つ、前記2次元X線検出器上の線方向に対して直交する方向、z’、における異なる位置が異なる回折角2θに対応するようにして、前記試料により回折されるX線を前記2次元X線検出器において検出する、
ことを含む。
なお、図は模式的であり、寸法を示すものでない。
ラインに沿って成分が変化することがわかる。
4 X線ビーム
6 ソーススリット
10 試料
12 試料台
16 照射ストリップ
20 マスク
22 2次元X線検出器
Claims (10)
- 試料表面を有する試料を測定するためのX線回折法であって、
前記試料の表面のy方向に沿って延びる照射ストリップに沿ってX線ビームを照射するステップと;
前記照射ストリップに沿う試料によって回折されるX線を、前記試料と2次元X線検出器の間であって、前記照射ストリップから、前記照射ストリップと前記2次元X線検出器までの距離の20%〜80%の距離に配置され、前記y方向に直交する方向に延びるスリットを持つマスクを通過させ、前記照射ストリップに沿う異なる位置から回折されるX線が前記2次元X線検出器上のy方向に沿う異なる位置において同時に受光されるようにするステップと;
前記2次元X線検出器におけるy方向に沿う異なる位置が、前記照射ストリップに沿う異なる位置に対応し、前記2次元X線検出器上のy方向に直交する方向z’における異なる位置が、異なる回折角2θに対応するように、前記2次元X線検出器において前記試料から回折されるX線を同時に検出するステップ、
を有するX線回折方法。
- 前記ビームを照射するステップは、X線源を使用してX線を発生し、前記発生したX線を、前記試料を照射するためのソーススリットを通過させるステップを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記試料の表面上で前記照射ストリップの位置を移動させるために、前記ソーススリットを移動させるステップを更に有する請求項2に記載の方法。
- 付加的な調整用光学系を更に有する請求項1乃至3のいずれかの請求項に記載の方法。
- 前記試料は不均一な表面を有するものである請求項1乃至4のいずれかの請求項に記載の方法。
- 前記2次元X線検出器によって描かれる前記照射ストリップの長さを変えるために、前記マスクの位置を調節するステップを更に含む、請求項1乃至5のいずれかの請求項に記載の方法。
- 前記照射ストリップの幅が0.05mm〜2mmである請求項1乃至6のいずれかの請求項に記載の方法。
- 試料表面を有する試料を測定するためのX線回折装置であって、
X線ビームを発生するX線源と;
前記試料を支持する試料台と;
前記X線源と前記試料台との間に配置され、前記試料の表面にy方向に延びる照射ストリップを照射するために前記ビームを制限するように設けられるX線光学系と;
前記試料により回折されたX線を検出するための2次元X線検出器と;
前記試料と前記2次元X線検出器との間であって、前記照射ストリップから、前記照射ストリップと前記2次元X線検出器までの距離の20%〜80%の距離に配置され、配置され、前記y方向に直交して延びるスリットを有し、前記照射ストリップに沿う異なる位置から回折されるX線が前記2次元X線検出器上の前記y方向に沿う異なる位置において同時に受光されるようにしたマスク、
を有するX線回折装置。 - 前記X線光学系はソーススリットを有する請求項8に記載のX線回折装置。
- X線回折装置を操作する方法であって、
X線源からのX線ビームを、X線光学系を通過させて、試料上のy方向に延びる照射ストリップに沿って照射するステップと;
前記照射ストリップに沿った前記試料によって回折したX線を、前記照射ストリップから、前記照射ストリップと2次元X線検出器までの距離の20%〜80%の距離に配置されマスクのスリットを通し、前記照射ストリップに沿う異なる位置から回折されるX線が、2次元X線検出器上のy方向に沿う異なる位置で同時に受光されるようにするステップと;
前記2次元X線検出器におけるy方向に沿う異なる位置が、前記照射ストリップに沿う異なる位置に対応し、前記2次元X線検出器上のy方向に対して直交する方向z’における異なる位置が異なる回折角2θに対応するように、前記2次元X線検出器において前記試料により回折したX線を同時に検出するステップ、
を有する方法。
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