JP2012237729A - 検査領域設定方法およびx線検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査物の検査を実行するX線検査装置において、被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法は、被検査物の検査対象を含む第1の領域の可視画像を撮像するステップ(S104)と、被検査物の検査対象を含む第2の領域に対して、X線画像を撮像するステップ(S112)と、第1の領域についての可視画像と第2の領域についてのX線画像を、位置および倍率をそろえて、検査対象の位置を示すマークとともに同時に表示するステップ(S118)と、表示した検査対象のマークの位置およびX線画像における検査対象の位置について確認の入力を受け付け、検査領域を確定するステップ(S120)とを備える。
【選択図】図3
Description
この発明の他の局面に従うと、X線を用いて被検査物を検査するX線検査システムであって、被検査物における検査対象の位置を指定する情報を格納するための記憶手段と、被検査物の検査対象を含む第1の領域の可視画像を撮像する可視光画像撮影手段と、被検査物の検査対象を含む第2の領域に対して、X線画像を撮像するX線画像撮影手段と、第1の領域についての可視画像と第2の領域についてのX線画像を、位置および倍率をそろえて表示するとともに、記憶手段に格納された情報に基づいて検査対象の位置を示すマークを同時に表示する出力手段と、表示した検査対象のマークの位置およびX線画像における検査対象の位置について確認の入力を受け付ける入力手段と、入力に応じて、確定された検査領域を特定するための設定情報を記憶手段に格納する制御手段とを備える。
図1を参照して、本実施の形態に係るX線検査装置100の構成について説明する。図1は、本実施の形態に係るX線検査装置100の概略ブロック図である。
検査対象1は、X線源10とX線検出器23との間に配置される。本実施の形態においては、検査対象1は、部品が実装された回路基板であるとする。なお、図1では、下から順にX線源10、検査対象1、X線検出器23が設置されているが、X線源の保守性の観点より、下から順に、X線検出器23、検査対象1、X線源10との並びでこれらを配置してもよい。
を取得する。
本実施の形態に係るX線検査装置100の具体的構成について、図2を参照して説明する。図2は、本実施の形態に係るX線検査装置100の構成を説明するための図である。なお、図2において、図1と同一部分には、同一符号を付している。また、図2では、図1に示した部分のうち、X線焦点位置の制御、X線検出器位置の制御、検査対象位置の制御等に直接関係し、説明に必要な部分を抜き出して記載している。
元ステージであって、X線検出器23を、水平方向および垂直方向に移動可能である。
以下では、検査対象物である電子部品が表面側および裏面側に実装されているプリント基板を例にとって、本実施の形態のX線検査装置100の動作について説明する。
以上により、基板の表側の可視光画像と裏側の可視光画像とが撮影され、さらに、X線画像が撮影されたので、X線検査装置100の演算部70の制御により、これら3つの画像の位置合せが実行され(S114)、さらに、画像の伸縮(倍率の変更)と重ね合わせ処理が実行される(S116)。さらに、演算部70の制御により、出力部50に対して、重ね合わせ画像の表示が行なわれる(S118)。特に限定されないが、たとえば、表側の可視光画像とX線画像とが重ね合わされた画像から表示がされるものとして説明する。
X線カメラ: 分解能:可変 10、15、20、25、30μm
このうち、ティーチングのウィンドウ設定に用いるX線カメラの分解能は、20μmとする。すなわち、光学カメラとX線カメラとの分解能とは、必ずしも一致していない。また、製造時において、光学カメラで撮影された表側の画像上の位置と、これに対応するX線カメラで撮影された画像上の位置とは、両者が一致するように較正されているものとする。
=光学カメラ画像(オリジナル)のサイズ×22/20
続いて、可視光画像(表側)とX線画像とが重ねあわされる(S202)。
図12は、本実施の形態に係るX線検査の流れをフローチャート形式で示す図である。図12を参照して、本実施の形態に係るX線検査全体の流れについて説明する。
離だけ離れた高さの断層画像を、検査に用いる検査画像として取得する。ここで、検査画像の高さと基板高さとの間の距離は、使用者により設定されるものとする。なお、この距離は、検査対象1の設計データおよび検査方法に応じて設定されることが好ましい。本実施の形態では、部品が配置されている基板の表面から、部品が配置されている側に少し離れた高さの断層画像が検査画像に設定される。
図1に示した構成では、検査対象DB200は、X線検査装置100の内部に設けられる構成であった。
Claims (10)
- X線を用いて被検査物の検査を実行するX線検査装置において、前記被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法であって、
前記被検査物の検査対象を含む第1の領域の可視画像を撮像するステップと、
前記被検査物の前記検査対象を含む第2の領域に対して、X線画像を撮像するステップと、
前記第1の領域についての前記可視画像と前記第2の領域についての前記X線画像を、位置および倍率をそろえて、前記検査対象の位置を示すマークとともに同時に表示するステップと、
表示した前記検査対象の前記マークの位置および前記X線画像における前記検査対象の位置について確認の入力を受け付け、前記検査領域を確定するステップとを備える、検査領域設定方法。 - 前記被検査物は、複数の電子部品が搭載された基板であり、
前記可視画像を撮像するステップは、前記基板の表面側の第1の可視画像および裏面側の第2の可視画像を撮像するステップを含み、
前記同時に表示するステップは、前記第1または第2の可視画像の一方と前記X線画像との位置および倍率をそろえて表示するステップを含み、
前記確定するステップは、表面側および裏面側それぞれの前記検査領域を確定するステップを含む、請求項1記載の検査領域設定方法。 - 前記X線画像は、複数の透視方向から撮影された複数のX線画像に基づいて再構成された前記被検査物の前記検査対象を含む領域の再構成画像である、請求項2記載の検査領域設定方法。
- 前記再構成画像は、前記第1および第2の可視画像においては、死角となる前記検査対象を含む部分における前記基板に平行な断面での断層画像である、請求項3記載の検査領域設定方法。
- 前記X線画像は、前記前記被検査物のX線の透過画像である、請求項1記載の検査領域設定方法。
- X線を用いて被検査物を検査するX線検査システムであって、
前記被検査物における検査対象の位置を指定する情報を格納するための記憶手段と、
前記被検査物の前記検査対象を含む第1の領域の可視画像を撮像する可視光画像撮影手段と、
前記被検査物の前記検査対象を含む第2の領域に対して、X線画像を撮像するX線画像撮影手段と、
前記第1の領域についての前記可視画像と前記第2の領域についての前記X線画像を、位置および倍率をそろえて表示するとともに、前記記憶手段に格納された情報に基づいて前記検査対象の位置を示すマークを同時に表示する出力手段と、
表示した前記検査対象の前記マークの位置および前記X線画像における前記検査対象の位置について確認の入力を受け付ける入力手段と、
前記入力に応じて、確定された前記検査領域を特定するための設定情報を前記記憶手段に格納する制御手段とを備える、X線検査システム。 - 前記被検査物は、複数の電子部品が搭載された基板であり、
前記可視光画像撮影手段は、前記基板の表面側の第1の可視画像および裏面側の第2の可視画像を撮像し、
前記出力手段は、前記第1または第2の可視画像の一方と前記X線画像との位置および倍率をそろえて表示し、
前記制御手段は、表面側および裏面側それぞれの前記検査領域を特定するための設定情報を前記記憶手段に格納する、請求項6記載のX線検査システム。 - 前記X線画像は、複数の透視方向から撮影された複数のX線画像に基づいて再構成された前記被検査物の前記検査対象を含む領域の再構成画像である、請求項7記載のX線検査システム。
- 前記再構成画像は、前記第1および第2の可視画像においては、死角となる前記検査対象を含む部分における前記基板に平行な断面での断層画像である、請求項8記載のX線検査システム。
- 前記X線画像は、前記前記被検査物のX線の透過画像である、請求項6記載のX線検査システム。
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