JPH05322803A - Ｘ線位置合わせ確認方法、ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線位置合わせ確認方法、ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びｘ線検査装置Info
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- JPH05322803A JPH05322803A JP4148439A JP14843992A JPH05322803A JP H05322803 A JPH05322803 A JP H05322803A JP 4148439 A JP4148439 A JP 4148439A JP 14843992 A JP14843992 A JP 14843992A JP H05322803 A JPH05322803 A JP H05322803A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線透過部とＸ線不透過部とがともに位置
合わせ要部を構成している場合にも、Ｘ線検査によりそ
の位置合わせ確認、及び必要に応じて位置合わせ制御を
行うことができるＸ線位置合わせ確認方法、Ｘ線位置合
わせ確認・位置合わせ方法、及びＸ線検査装置を提供す
ること。 【構成】 被検体１のＸ線像と、被検体の可視光像と
を重ね合わせて位置合わせ確認を行うことを可能とし、
あるいは更にＸ線像と前記可視光像との重ね合わせデー
タにより位置合わせ制御を行う制御手段を設けたＸ線位
置合わせ確認（位置合わせ）方法。被検体にＸ線を照
射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視光源
とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを重ね
合わせ表示する表示手段を設け、あるいは更に被検体の
位置合わせ制御を行う制御手段を設けたＸ線検査装置。
合わせ要部を構成している場合にも、Ｘ線検査によりそ
の位置合わせ確認、及び必要に応じて位置合わせ制御を
行うことができるＸ線位置合わせ確認方法、Ｘ線位置合
わせ確認・位置合わせ方法、及びＸ線検査装置を提供す
ること。 【構成】 被検体１のＸ線像と、被検体の可視光像と
を重ね合わせて位置合わせ確認を行うことを可能とし、
あるいは更にＸ線像と前記可視光像との重ね合わせデー
タにより位置合わせ制御を行う制御手段を設けたＸ線位
置合わせ確認（位置合わせ）方法。被検体にＸ線を照
射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視光源
とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを重ね
合わせ表示する表示手段を設け、あるいは更に被検体の
位置合わせ制御を行う制御手段を設けたＸ線検査装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線位置合わせ確認方
法、Ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及び位置合
わせ確認を行う、あるいは位置合わせ確認と位置合わせ
とを行うＸ線検査装置に関する。本発明は、例えば、電
子材料（半導体装置等）の組み立ての際の位置合わせに
ついて、利用することができる。
法、Ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及び位置合
わせ確認を行う、あるいは位置合わせ確認と位置合わせ
とを行うＸ線検査装置に関する。本発明は、例えば、電
子材料（半導体装置等）の組み立ての際の位置合わせに
ついて、利用することができる。
【０００２】
【従来の技術】従来より、Ｘ線透視技術を用いて各種の
検査を行うＸ線検査装置が知られている。例えば、特開
平２−２６９９４４号には、被検体である自動車用ステ
アリングホイール等を、Ｘ線撮像手段による画像に基づ
いてその検査部位の良否を検査する装置が開示されてい
る。また、特開平３−７２２４９号には、プリント配線
板に電子部品が実装されていないときと実装されている
ときのＸ線画像信号によりその半田付検査を行う装置が
開示されている。その他、この種の技術として、特開平
３−１７９２０７号に開示のものがある。
検査を行うＸ線検査装置が知られている。例えば、特開
平２−２６９９４４号には、被検体である自動車用ステ
アリングホイール等を、Ｘ線撮像手段による画像に基づ
いてその検査部位の良否を検査する装置が開示されてい
る。また、特開平３−７２２４９号には、プリント配線
板に電子部品が実装されていないときと実装されている
ときのＸ線画像信号によりその半田付検査を行う装置が
開示されている。その他、この種の技術として、特開平
３−１７９２０７号に開示のものがある。
【０００３】これら従来のＸ線検査技術は、いずれもＸ
線像しか見えず、あるいはＸ線像のみの解析を行って、
検査を行うものであった。
線像しか見えず、あるいはＸ線像のみの解析を行って、
検査を行うものであった。
【０００４】このため、例えば半導体装置製造の分野に
おいて、例えば、Ｓｉ基板上にＩＣチップを設置する場
合の位置合わせについては、従来のＸ線検査技術を用い
ただけでは、Ｘ線像しか見えないため、Ｘ線像に映った
部分（例えば金属部）と、映らない部分（例えば樹脂
部、印刷されたマーク例えば位置合わせ用のマーク、基
板のソルダーレジスト等薄膜上のレジスト、薄膜等）と
の位置関係の比較が不可能であった。
おいて、例えば、Ｓｉ基板上にＩＣチップを設置する場
合の位置合わせについては、従来のＸ線検査技術を用い
ただけでは、Ｘ線像しか見えないため、Ｘ線像に映った
部分（例えば金属部）と、映らない部分（例えば樹脂
部、印刷されたマーク例えば位置合わせ用のマーク、基
板のソルダーレジスト等薄膜上のレジスト、薄膜等）と
の位置関係の比較が不可能であった。
【０００５】このため、Ｘ線による位置合わせが不可能
な現状にあっては、次のような位置合わせ確認手段が採
用されている。例えば、図５（ａ）に側断面で示し図５
（ｂ）に平面で示すような基板10上のリード線13ａ〜13
ｄに、ＩＣチップ11のバンプと称される接続部12ａ，12
ｂを接続して、いわゆるＣｈip on Wafer を形成する場
合、図５（ｂ）の×印で示す位置合わせ部14ａ〜14ｄで
接続部とリード線とを合わせるためには、図６に示すよ
うに、両者の狭い隙間Ｌ（20μ程度）から顕微鏡で両者
を観察しつ、位置合わせを行うという困難で手間のかか
る手段を用いざるを得なかった。
な現状にあっては、次のような位置合わせ確認手段が採
用されている。例えば、図５（ａ）に側断面で示し図５
（ｂ）に平面で示すような基板10上のリード線13ａ〜13
ｄに、ＩＣチップ11のバンプと称される接続部12ａ，12
ｂを接続して、いわゆるＣｈip on Wafer を形成する場
合、図５（ｂ）の×印で示す位置合わせ部14ａ〜14ｄで
接続部とリード線とを合わせるためには、図６に示すよ
うに、両者の狭い隙間Ｌ（20μ程度）から顕微鏡で両者
を観察しつ、位置合わせを行うという困難で手間のかか
る手段を用いざるを得なかった。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、上記のようにＸ線透過部とＸ
線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場
合にも、Ｘ線検査によりその位置合わせ確認、及び必要
に応じて更に位置合わせ制御を行うことができるＸ線位
置合わせ確認方法、Ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方
法、及びＸ線検査装置を提供することを目的とする。
線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場
合にも、Ｘ線検査によりその位置合わせ確認、及び必要
に応じて更に位置合わせ制御を行うことができるＸ線位
置合わせ確認方法、Ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方
法、及びＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本出願の請求項１の発
明は、Ｘ線により被検体の位置合わせ確認を行うＸ線位
置合わせ確認方法であって、被検体のＸ線像と、被検体
の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行うこと
を可能としたＸ線位置合わせ確認方法であって、これに
より上記目的を達成するものである。
明は、Ｘ線により被検体の位置合わせ確認を行うＸ線位
置合わせ確認方法であって、被検体のＸ線像と、被検体
の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行うこと
を可能としたＸ線位置合わせ確認方法であって、これに
より上記目的を達成するものである。
【０００８】本出願の請求項２の発明は、Ｘ線により被
検体の位置合わせ確認を行う工程を含むＸ線位置合わせ
確認・位置合わせ方法であって、被検体のＸ線像と、被
検体の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行う
ことを可能とするとともに、前記Ｘ線像と前記可視光像
との重ね合わせデータにより位置合わせ制御を行う制御
手段を設けたことを特徴とするＸ線位置合わせ確認・位
置合わせ方法であって、これにより上記目的を達成する
ものである。
検体の位置合わせ確認を行う工程を含むＸ線位置合わせ
確認・位置合わせ方法であって、被検体のＸ線像と、被
検体の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行う
ことを可能とするとともに、前記Ｘ線像と前記可視光像
との重ね合わせデータにより位置合わせ制御を行う制御
手段を設けたことを特徴とするＸ線位置合わせ確認・位
置合わせ方法であって、これにより上記目的を達成する
ものである。
【０００９】本出願の請求項３の発明は、被検体にＸ線
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを
重ね合わせ表示する表示手段を設けたことを特徴とする
Ｘ線検査装置であって、これにより上記目的を達成する
ものである。
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを
重ね合わせ表示する表示手段を設けたことを特徴とする
Ｘ線検査装置であって、これにより上記目的を達成する
ものである。
【００１０】本出願の請求項４の発明は、被検体にＸ線
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを
重ね合わせ表示する表示手段及び被検体の位置合わせ制
御を行う制御手段を設けたことを特徴とするＸ線検査装
置であって、これにより上記目的を達成するものであ
る。
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを
重ね合わせ表示する表示手段及び被検体の位置合わせ制
御を行う制御手段を設けたことを特徴とするＸ線検査装
置であって、これにより上記目的を達成するものであ
る。
【００１１】本出願の請求項５の発明は、被検体にＸ線
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視像との重
ね合わせデータに基づいて被検体の位置合わせ制御を行
う制御手段を設けたことを特徴とするＸ線検査装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視像との重
ね合わせデータに基づいて被検体の位置合わせ制御を行
う制御手段を設けたことを特徴とするＸ線検査装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
【００１２】本出願の請求項６の発明は、撮像手段が、
Ｘ線〜可視光の撮像が可能な単一の撮像手段である請求
項３ないし５のいずれかに記載のＸ線検査装置であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
Ｘ線〜可視光の撮像が可能な単一の撮像手段である請求
項３ないし５のいずれかに記載のＸ線検査装置であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
【００１３】本出願の請求項７の発明は、撮像手段が、
Ｘ線用撮像手段と、可視光用撮像手段との双方から成る
請求項３ないし５のいずれかに記載のＸ線検査装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
Ｘ線用撮像手段と、可視光用撮像手段との双方から成る
請求項３ないし５のいずれかに記載のＸ線検査装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
【００１４】本出願の請求項８の発明は、Ｘ線像と可視
光像との像濃度比率の調節手段を設けた請求項３ないし
７のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、これによ
り上記目的を達成するものである。
光像との像濃度比率の調節手段を設けた請求項３ないし
７のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、これによ
り上記目的を達成するものである。
【００１５】本出願の請求項９の発明は、表示手段が表
示用ディスプレイである請求項３ないし８のいずれかに
記載のＸ線検査装置であって、これにより上記目的を達
成するものである。
示用ディスプレイである請求項３ないし８のいずれかに
記載のＸ線検査装置であって、これにより上記目的を達
成するものである。
【００１６】本出願の請求項10の発明は、表示手段が感
光材料である請求項３ないし８のいずれかに記載のＸ線
検査装置であって、これにより上記目的を達成するもの
である。
光材料である請求項３ないし８のいずれかに記載のＸ線
検査装置であって、これにより上記目的を達成するもの
である。
【００１７】
【作用】本出願の発明においては、被検体のＸ線像と、
被検体の可視像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行
い、あるいはその重ね合わせデータにより位置合わせ制
御まで行うようにしたので、Ｘ線透過部とＸ線不透過部
とがともに位置合わせ要部を構成している場合も、Ｘ線
検査によりその位置合わせ、及び必要に応じて位置合わ
せ制御を行うことができる。
被検体の可視像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行
い、あるいはその重ね合わせデータにより位置合わせ制
御まで行うようにしたので、Ｘ線透過部とＸ線不透過部
とがともに位置合わせ要部を構成している場合も、Ｘ線
検査によりその位置合わせ、及び必要に応じて位置合わ
せ制御を行うことができる。
【００１８】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。但し当然のことではあるが、本発明は実施
例により限定されるものでない。
て説明する。但し当然のことではあるが、本発明は実施
例により限定されるものでない。
【００１９】実施例１ この実施例は、本発明を、金属部分、樹脂部分、マーク
等を有する被検体の、Ｘ線を利用した位置合わせ確認に
具体化したものである。
等を有する被検体の、Ｘ線を利用した位置合わせ確認に
具体化したものである。
【００２０】図１に、本実施例のシステムの全体を示
す。図中、符号１は被検体（サンプル）、２は撮像手段
であるカメラ、３は表示手段であるディスプレイを表
す。４はＸ線、５は可視光線を表し、41，51はそれぞれ
の光源である。
す。図中、符号１は被検体（サンプル）、２は撮像手段
であるカメラ、３は表示手段であるディスプレイを表
す。４はＸ線、５は可視光線を表し、41，51はそれぞれ
の光源である。
【００２１】ここで、被検体１が、例えば図２のような
ものとする。図２中、６は樹脂の板、７は金属板であ
る。８は封止樹脂で、この封止樹脂８は金属板７を完全
に覆っていて、外部からは金属板７が見えないようにな
っている。９は樹脂の板６の上に印刷されたマークであ
る。
ものとする。図２中、６は樹脂の板、７は金属板であ
る。８は封止樹脂で、この封止樹脂８は金属板７を完全
に覆っていて、外部からは金属板７が見えないようにな
っている。９は樹脂の板６の上に印刷されたマークであ
る。
【００２２】そして検査として、金属板７の先端とマー
ク９の先端が直線上にあることが要求されているものと
する。
ク９の先端が直線上にあることが要求されているものと
する。
【００２３】従来のＸ線検査技術では、可視光での検
査、Ｘ線での検査は独立して行われていた。即ち、仮
に図１を参照して説明すれば、Ｘ線４または可視光線５
のどちらか一方のみで被検体１を検査していた。
査、Ｘ線での検査は独立して行われていた。即ち、仮
に図１を参照して説明すれば、Ｘ線４または可視光線５
のどちらか一方のみで被検体１を検査していた。
【００２４】しかし、被検体が図２のようなサンプルで
上記のような検査を必要とした場合、検査の際、見えて
なければならない金属板７、マーク９のうち、可視光で
の検査では、金属板７が見えず、Ｘ線による検査では、
マーク９が見えない。よって、Ｘ線、可視光どちらの検
査手段をとっても、マーク９と金属板７の位置関係をこ
の状態で把握することはできない。
上記のような検査を必要とした場合、検査の際、見えて
なければならない金属板７、マーク９のうち、可視光で
の検査では、金属板７が見えず、Ｘ線による検査では、
マーク９が見えない。よって、Ｘ線、可視光どちらの検
査手段をとっても、マーク９と金属板７の位置関係をこ
の状態で把握することはできない。
【００２５】これに対し、本実施例においては、図１に
示すようにＸ線４と可視光線５の両方を併用する。これ
により、表示手段３であるディスプレイの上に、金属板
７、マーク９の両方が表示される。この結果、両者の位
置関係の確認ができる。
示すようにＸ線４と可視光線５の両方を併用する。これ
により、表示手段３であるディスプレイの上に、金属板
７、マーク９の両方が表示される。この結果、両者の位
置関係の確認ができる。
【００２６】このように、従来は検査できなかった被検
体が、本実施例によればＸ線透視技術を利用してその位
置合わせの確認が可能となったものである。
体が、本実施例によればＸ線透視技術を利用してその位
置合わせの確認が可能となったものである。
【００２７】本実施例において、撮像手段２として、可
視光〜Ｘ線までの長い波長域をカバーする撮像素子（Ｃ
ＣＤ，撮像管等）を用い、光源41，51より各々Ｘ線４、
可視光５を出射し、撮像手段２で被検体１のＸ線像と可
視光像を同時に見る構成とすることができる。このよう
にすると、表示手段３には、Ｘ線像、可視光像の２つの
重なった像が映る。よって、被検体１が図２に示す金属
板７（Ｘ線不透過部）とマーク９（Ｘ線透過部）とを被
検部位として有するサンプルであっても、金属板７とマ
ーク９の両方の確認が可能となる。
視光〜Ｘ線までの長い波長域をカバーする撮像素子（Ｃ
ＣＤ，撮像管等）を用い、光源41，51より各々Ｘ線４、
可視光５を出射し、撮像手段２で被検体１のＸ線像と可
視光像を同時に見る構成とすることができる。このよう
にすると、表示手段３には、Ｘ線像、可視光像の２つの
重なった像が映る。よって、被検体１が図２に示す金属
板７（Ｘ線不透過部）とマーク９（Ｘ線透過部）とを被
検部位として有するサンプルであっても、金属板７とマ
ーク９の両方の確認が可能となる。
【００２８】Ｘ線像と可視光像の像濃度の比率は、光源
41，51の調整により変化させることができる。あるい
は、図１の撮像手段２と表示手段３との間に補正回路を
設け、Ｘ線４による像と可視光５による像のバランスを
とる等の方法をとって調整することもできる。
41，51の調整により変化させることができる。あるい
は、図１の撮像手段２と表示手段３との間に補正回路を
設け、Ｘ線４による像と可視光５による像のバランスを
とる等の方法をとって調整することもできる。
【００２９】このバリエーションとして、撮像手段２を
フィルムを用いたカメラにし、Ｘ線〜可視光までをカバ
ーするフィルムを表示手段３として用いることができ、
この構成によっても上記と同様の結果が得られる。
フィルムを用いたカメラにし、Ｘ線〜可視光までをカバ
ーするフィルムを表示手段３として用いることができ、
この構成によっても上記と同様の結果が得られる。
【００３０】実施例２ 本実施例は、図３に示すように、撮像手段として、Ｘ線
用撮像手段２ａ、可視光用撮像手段２ｂの２台の撮像手
段を用いた例である。10は２つの信号の重ね合わせ回路
である。この構成によっても、図１と同様の効果が得ら
れる。可視光像とＸ線像のバランスは、重ね合わせ回路
10で調整できる。
用撮像手段２ａ、可視光用撮像手段２ｂの２台の撮像手
段を用いた例である。10は２つの信号の重ね合わせ回路
である。この構成によっても、図１と同様の効果が得ら
れる。可視光像とＸ線像のバランスは、重ね合わせ回路
10で調整できる。
【００３１】実施例３ 本実施例を図４に示す。本実施例は、実施例２と同様に
撮像手段であるカメラとしてＸ線用撮像手段２ａと可視
光用撮像手段２ｂの２台を用いるとともに、更に、表示
手段たるディスプレイも２台とし、Ｘ線像用表示手段３
ａと、可視像用表示手段３ｂとを設けた例である。
撮像手段であるカメラとしてＸ線用撮像手段２ａと可視
光用撮像手段２ｂの２台を用いるとともに、更に、表示
手段たるディスプレイも２台とし、Ｘ線像用表示手段３
ａと、可視像用表示手段３ｂとを設けた例である。
【００３２】本実施例の場合、表示手段３ａ上のＸ線像
と表示手段３ｂ上の可視光像の相関をとる装置11を設け
る。
と表示手段３ｂ上の可視光像の相関をとる装置11を設け
る。
【００３３】実施例４ 本実施例は、図１に示した装置を用い、更に、図示しな
いが、位置合わせ制御手段を設けたものである。即ち、
図１の如く被検体１にＸ線４を照射するＸ線光源41と、
被検体１に可視光５を照射する可視光源51とを備え、被
検体１のＸ線像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示
する表示手段３を備えるとともに、本実施例では、更
に、被検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設ける。
この制御手段は、位置合わせを要する部品の位置合わせ
を機械的に行うものであり、即ち図２の被検体１の例で
言えば金属板７とマーク９とについて、両者のそれぞれ
両端が必要とする直線上にない場合に、両者が相対的に
移動するような制御を行い、適正な位置合わせを行うよ
うにしたものである。
いが、位置合わせ制御手段を設けたものである。即ち、
図１の如く被検体１にＸ線４を照射するＸ線光源41と、
被検体１に可視光５を照射する可視光源51とを備え、被
検体１のＸ線像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示
する表示手段３を備えるとともに、本実施例では、更
に、被検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設ける。
この制御手段は、位置合わせを要する部品の位置合わせ
を機械的に行うものであり、即ち図２の被検体１の例で
言えば金属板７とマーク９とについて、両者のそれぞれ
両端が必要とする直線上にない場合に、両者が相対的に
移動するような制御を行い、適正な位置合わせを行うよ
うにしたものである。
【００３４】よって本実施例では、表示手段３であるデ
ィスプレイ上のＸ線像及び可視光像の視認に基づいて、
制御手段により両者の適正な位置合わせを達成できる。
ィスプレイ上のＸ線像及び可視光像の視認に基づいて、
制御手段により両者の適正な位置合わせを達成できる。
【００３５】実施例５ 本実施例は、実施例４の制御手段による位置合わせを、
画像処理により自動的に行うことを可能ならしめた例で
ある。
画像処理により自動的に行うことを可能ならしめた例で
ある。
【００３６】即ち本実施例は、被検体にＸ線を照射する
Ｘ線光源と、被検体に可視光を照射する可視光源とを備
え、被検体のＸ線像と被検体の可視像との重ね合わせデ
ータに基づいて被検体の位置合わせ制御を行う制御手段
を設けたものである。
Ｘ線光源と、被検体に可視光を照射する可視光源とを備
え、被検体のＸ線像と被検体の可視像との重ね合わせデ
ータに基づいて被検体の位置合わせ制御を行う制御手段
を設けたものである。
【００３７】本実施例におけるデータ処理に基づいて位
置合わせ制御は、各種の公知画像処理システムに基づく
ことができる。例えば、特開平３−１７９２０７号に開
示の技術、あるいは特開平２−２５３４８３号に開示の
技術等を用いることができる。
置合わせ制御は、各種の公知画像処理システムに基づく
ことができる。例えば、特開平３−１７９２０７号に開
示の技術、あるいは特開平２−２５３４８３号に開示の
技術等を用いることができる。
【００３８】本例によれば、位置合わせの確認と、更に
それに基づいて位置合わせの制御とを、自動的に行うこ
とが可能ならしめられる。
それに基づいて位置合わせの制御とを、自動的に行うこ
とが可能ならしめられる。
【００３９】
【発明の効果】本出願の発明によれば、Ｘ線透過部とＸ
線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場
合にも、Ｘ線検査によりその位置合わせ確認、及び必要
に応じて位置合わせ制御を行うことができるという効果
を得ることができる。
線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場
合にも、Ｘ線検査によりその位置合わせ確認、及び必要
に応じて位置合わせ制御を行うことができるという効果
を得ることができる。
【図１】実施例１の構成を示す図である。
【図２】実施例１における被検体を示す平面略示図であ
る。
る。
【図３】実施例２の構成を示す図である。
【図４】実施例３の構成を示す図である。
【図５】従来技術を示す図である。
【図６】従来技術の問題点を示す図である。
１ 被検体 ２，２ａ，２ｂ 撮像手段（カメラ） ３，３ａ，３ｂ 表示手段（ディスプレイ，フィル
ム） ４ Ｘ線 ５ 可視光
ム） ４ Ｘ線 ５ 可視光
Claims (10)
- 【請求項１】Ｘ線により被検体の位置合わせ確認を行う
Ｘ線位置合わせ確認方法であって、 被検体のＸ線像と、被検体の可視光像とを重ね合わせて
位置合わせ確認を行うことを可能としたＸ線位置合わせ
確認方法。 - 【請求項２】Ｘ線により被検体の位置合わせ確認を行う
工程を含むＸ線位置合わせ確認・位置合わせ方法であっ
て、 被検体のＸ線像と、被検体の可視光像とを重ね合わせて
位置合わせ確認を行うことを可能とするとともに、 前記Ｘ線像と前記可視光像との重ね合わせデータにより
位置合わせ制御を行う制御手段を設けたことを特徴とす
るＸ線位置合わせ確認・位置合わせ方法。 - 【請求項３】被検体にＸ線を照射するＸ線光源と、被検
体に可視光を照射する可視光源とを備え、被検体のＸ線
像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示する表示手段
を設けたことを特徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項４】被検体にＸ線を照射するＸ線光源と、被検
体に可視光を照射する可視光源とを備え、被検体のＸ線
像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示する表示手段
及び被検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設けたこ
とを特徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項５】被検体にＸ線を照射するＸ線光源と、被検
体に可視光を照射する可視光源とを備え、被検体のＸ線
像と被検体の可視像との重ね合わせデータに基づいて被
検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設けたことを特
徴とするＸ線検査装置。 - 【請求項６】撮像手段が、Ｘ線〜可視光の撮像が可能な
単一の撮像手段である請求項３ないし５のいずれかに記
載のＸ線検査装置。 - 【請求項７】撮像手段が、Ｘ線用撮像手段と、可視光用
撮像手段との双方から成る請求項３ないし５のいずれか
に記載のＸ線検査装置。 - 【請求項８】Ｘ線像と可視光像との像濃度比率の調節手
段を設けた請求項３ないし７のいずれかに記載のＸ線検
査装置。 - 【請求項９】表示手段が表示用ディスプレイである請求
項３ないし８のいずれかに記載のＸ線検査装置。 - 【請求項10】表示手段が感光材料である請求項３ないし
８のいずれかに記載のＸ線検査装置。
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