JP5104962B2 - Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線検査方法およびＸ線検査装置に関する。特に、本発明は、Ｘ線照射を用いて対象物を検査するための撮影方法であって、Ｘ線検査方法およびＸ線検査装置に適用しうる技術に関する。

近年、サブミクロンの微細加工技術によりＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）の高集積化が進み、従来複数のパッケージに分かれていた機能をひとつのＬＳＩに積め込むことができるようになった。従来のＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）やＰＧＡ（Ｐｉｎ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）では、ワンパッケージに必要な機能を組み込むことによるピン数の増加に対応できなくなったため、最近では、特に、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）やＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）パッケージのＬＳＩが使用される。また、携帯電話機などの超小型化が必要なものでは、ピン数がそれほど必要なくてもＢＧＡパッケージが使用されている。

ＬＳＩのＢＧＡやＣＳＰパッケージは超小型化には大いに貢献する反面、半田部分等がアセンブリ後には外観からは目に見えないという特徴がある。そこで、ＢＧＡやＣＳＰパッケージを実装したプリント基板等を検査する際は、検査対象品にＸ線を照射して得られた透視画像を分析することで、品質の良否判定が行なわれてきた。

例えば、特許文献１（特開２００３−３４４３１６号公報）では、Ｘ線の照射角度を任意に選択して傾斜三次元Ｘ線ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）により、対象物の３次元データの再構成を行なうための方法が開示されている。

図３２を参照して、特許文献１に開示されているＸ線検査装置について説明する。図３２は、特許文献１に記載のＸ線検査装置の模式図である。図３２を参照して、この検査装置は、対象物の検査対象領域（視野）に対して、斜めにＸ線を照射する。

また、特許文献２（特開２００６−１６２３３５号公報）では、平行Ｘ線検出装置で取得したＸ線画像に基づいて２次元的な検査を実施し、傾斜Ｘ線検出装置にて取得したＸ線画像に基づいて３次元的な検査を行なうことで、双方の検査を高速に行なうことができるＸ線検査装置が開示されている。ここでは、複数のＸ線画像に基づいて検査対象品の３次元データを再構成する技術についても言及がある。再構成の手法としては、たとえば、「フィルタ補正逆投影法」が挙げられている。

図３３を参照して、特許文献２に開示されているＸ線検査装置を用いた３次元的な検査について説明する。図３３を参照して、３次元的な検査を行なう場合、Ｘ線検査装置は、検査対象およびＸ線検出装置を、円軌道上で移動する。

特開２００３−３４４３１６号公報 特開２００６−１６２３３５号公報

従来のＸ線検査方法では、ＡＸＩ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｘ−ｒａｙ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ）、すなわち、Ｘ線によるインライン検査を十分に高速化することができなかった。

特許文献１や特許文献２に記載のように、Ｘ線検査にあたり、Ｘ線検出器を、円軌道上に動かすには、複雑な移動機構が必要となる。また、移動に時間がかかるため、検査時間が長くなる。

本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであって、高速なＸ線検査方法、ならびに、高速なＸ線検査を実現できるＸ線検査装置を提供することを課題とする。

本発明の１つの局面に従うと、Ｘ線源が出力し、対象物の検査対象領域を透過した画像をＸ線検出部で撮像し、撮像された画像に基づいて、検査対象領域の３次元データを再構成するＸ線検査方法を提供する。Ｘ線検査装置は、Ｘ線源のＸ線焦点位置と検査対象領域との相対的な位置関係を変更するとともに、Ｘ線焦点位置と検査対象領域との相対的な位置関係により定まる撮像位置にＸ線検出部を移動させた状態で、画像を撮像するステップと、検査対象領域を基準とした場合に、Ｘ線焦点位置となる点を含む仮想平面とＸ線焦点位置および検査対象領域を結ぶ線分とのなす角度が、複数の異なる値をとるように、するステップを繰返すステップと、検査対象領域について複数の角度において撮像された複数の画像から３次元データを再構成するステップとを含む。

好ましくは、Ｘ線焦点位置は固定されており、するステップにおいて、対象物を移動する。

さらに好ましくは、繰返すステップは、Ｘ線検出部を第１の方向に並んだ複数の撮像位置に直線的に移動するステップと、Ｘ線検出部を第１の方向と異なる第２の方向に移動するステップと、Ｘ線検出部を第２の方向へ移動した後、Ｘ線検出部を第１の方向に並んだ別の複数の撮像位置に直線的に移動するステップとを含む。

好ましくは、繰返すステップは、Ｘ線焦点位置を複数の撮像位置が並んだ第１の方向に走査するステップを含む。

さらに好ましくは、繰返すステップにおいて、第１の方向に沿う１本の直線上でＸ線焦点位置を走査する。

さらに好ましくは、繰返すステップは、Ｘ線検出部を第１の方向に並んだ複数の撮像位置に直線的に移動するステップと、Ｘ線検出部を第１の方向と異なる第２の方向に移動するステップと、Ｘ線検出部を第２の方向へ移動した後、Ｘ線検出部を第１の方向に並んだ複数の撮像位置に直線的に移動するステップとを含む。

あるいは、さらに好ましくは、検査対象領域は、第１の方向と異なる第２の方向について、複数の部分領域に分割されており、Ｘ線検出部は、第２の方向に並んだ複数のＸ線検出器を含み、Ｘ線検出部を第１の方向に移動するステップにおいて、共通のＸ線焦点位置から出力し、互いに異なる部分領域を透過したＸ線が、互いに異なるＸ線検出器に入射するように、各Ｘ線検出器を第１の方向に直線的に移動させる。

さらに好ましくは、Ｘ線検出部を第１の方向に移動するステップにおいて、複数のＸ線検出器のうちの一部のＸ線検出器が画像を撮像している間に、一部のＸ線検出器とは異なる他の一部のＸ線検出器を第１の方向に移動させる。

あるいは好ましくは、Ｘ線源は、第１の方向に沿う複数のライン上でＸ線焦点位置を走査可能な走査型Ｘ線源であり、Ｘ線検出部は、複数のＸ線検出器を含み、Ｘ線検出部を第１の方向に移動するステップにおいて、互いに異なるラインから出力し、検査対象領域を透過したＸ線が、互いに異なるＸ線検出器に入射するように、各Ｘ線検出器を第１の方向に直線的に移動し、繰返すステップにおいて、各ライン上でＸ線焦点位置を走査する。

さらに好ましくは、走査型Ｘ線源は、複数のライン上にそれぞれ配置された複数の反射型のターゲットを含む。

あるいは、さらに好ましくは、Ｘ線検出部を第１の方向に移動するステップにおいて、複数のＸ線検出器のうちの一部のＸ線検出器が画像を撮像している間に、一部のＸ線検出器とは異なる他の一部のＸ線検出器を第１の方向に移動させる。

あるいは、さらに好ましくは、繰返すステップは、Ｘ線検出部を第１の方向と異なる第２の方向に移動するステップと、Ｘ線検出部を第２の方向へ移動した後、Ｘ線検出部を第１の方向に並んだ複数の撮像位置に直線的に移動するステップとを含む。

好ましくは、Ｘ線検出部は、第１の方向に並ぶ複数の受光部を有する。
本発明の他の局面に従うと、対象物の検査対象領域の３次元データを再構成するためのＸ線検査装置を提供する。Ｘ線検査装置は、Ｘ線を出力するＸ線源と、Ｘ線を撮像するＸ線検出部と、Ｘ線検出部を移動する移動機構と、Ｘ線検査装置の動作を制御する制御部とを含む。制御部は、Ｘ線源に、そのＸ線焦点位置と検査対象領域との相対的な位置関係を変更させるとともに、移動機構に、Ｘ線焦点位置と検査対象領域との相対的な位置関係により定まる撮像位置にＸ線検出部を移動させ、相対的な位置関係の変更および移動がなされた状態で、Ｘ線源およびＸ線検出部に画像を撮像させ、検査対象領域およびＸ線焦点位置となる点を含む仮想平面と、Ｘ線焦点位置および検査対象領域を結ぶ線分とのなす角度が、複数の異なる値をとるように、画像の撮像を繰返させ、検査対象領域について複数の角度において撮像された複数の画像から３次元データを再構成する、ように構成される。

さらに好ましくは、Ｘ線源は、複数の撮像位置が並んだ第１の方向に沿う１本の直線上でＸ線焦点位置を走査可能な走査型Ｘ線源である。

あるいは、さらに好ましくは、Ｘ線源は、複数の撮像位置が並んだ第１の方向に沿う複数のライン上でＸ線焦点位置を走査可能な走査型Ｘ線源であり、Ｘ線検出部は、複数のＸ線検出器を含み、各Ｘ線検出器は、互いに異なるラインから出力し、検査対象領域を透過したＸ線が、互いに異なるＸ線検出器に入射するように配置される。

さらに好ましくは、走査型Ｘ線源は、複数のライン上にそれぞれ配置された複数の反射型のターゲットを含む。

本発明によれば、Ｘ線検出部をある方向に並んだ複数の撮像位置に直線的に移動する。また、検査対象領域を透過したＸ線が、各撮像位置にあるＸ線検出部に入射するように、Ｘ線焦点と検査対象領域との間の位置関係を変更する。したがって、本発明によれは、Ｘ線検査を高速化できる。

Ｘ線検査装置の概略ブロック図である。 Ｘ線検査装置の構成を説明するための図である。 検査対象駆動機構として基板レールを備えるＸ線検査装置を示す図である。 第１の実施の形態に係るＸ線検出器および検査対象の軌道を示す図である。 第１の実施の形態に係るＸ線検出器の撮像位置を説明する図である。 従来の方法におけるＸ線検出器および検査対象の軌道を示す図である。 従来の方法での撮像位置を示す図である。 第１の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れをフローチャート形式で示す図である。 図８で説明したＣＴ撮像の処理の流れをフローチャート形式で示す図である。 検査対象の分割が必要となるＸ線検出器および検査対象の配置を示す図である。 第２の実施の形態に係るＸ線検査装置の構成を説明するための図である。 Ｘ線源の断面図である。 Ｘ線源の斜視図である。 連続面のターゲットを備えるＸ線源を示す図である。 第２の実施の形態における検査対象領域を示す図である。 第２の実施の形態におけるＸ線焦点位置およびＸ線検出器のＹ方向移動の一例を説明するための図である。 第２の実施の形態における撮像時の、Ｘ線検出器、検査対象、ならびに、Ｘ線焦点位置の位置関係の一例を示す図である。 第２の実施の形態におけるＸ線検出器および検査対象のＸ方向移動について説明するための図である。 複数の検査対象領域について検査するときのＸ線検査装置の動作の一部の一例を示す図である。 全検査対象領域について検査するときのＸ線検査装置の動作の一例を説明するための図である。 第２の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れをフローチャート形式で示す図である。 図２１で説明したＣＴ撮像の処理の流れをフローチャート形式で示す図である。 第３の実施の形態に係るＸ線検査装置の構成を説明するための図である。 第３の実施の形態におけるＸ線焦点位置およびＸ線検出器のＹ方向移動の一例を示す図である。 第３の実施の形態における撮像時の、Ｘ線検出器、検査対象、ならびに、Ｘ線焦点位置の位置関係の一例を示す図である。 第３の実施の形態に係る検出器の独立移動について説明するための図である。 第３の実施の形態におけるＸ線検出器および検査対象のＸ方向移動について説明するための図である。 第３の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れをフローチャート形式で示す図である。 図２８におけるＣＴ撮像の処理の流れをフローチャート形式で示す図である。 第４の実施の形態に係るＸ線検査装置の構成を説明するための図である。 第４の実施の形態に係る撮像方式について説明するための図である。 特許文献１に記載のＸ線検査装置の模式図である。 特許文献２に記載のＸ線検査装置の模式図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部分には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがってそれらについての詳細な説明は繰返さない。

［第１の実施の形態］
（構成の概略）
図１を参照して、第１の実施の形態に係るＸ線検査装置１００の構成について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るＸ線検査装置１００の概略ブロック図である。

Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線１８を出力するＸ線源１０と、Ｘ線検出器２３と、Ｘ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２によるＸ線検出器２３の駆動やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０とを備える。さらに、Ｘ線検査装置１００は、入力部４０と、出力部５０と、Ｘ線源制御機構６０と、演算部７０と、メモリ９０とを備える。

Ｘ線源１０とＸ線検出器２３との間には検査対象１が配置される。本実施形態においては、検査対象１は、部品が実装された回路基板であるとする。

Ｘ線源１０は、Ｘ線源制御機構６０によって制御され、検査対象１に対して、Ｘ線１８を照射する。

検査対象１は、検査対象移動機構２０（図１には図示せず）により移動される。検査対象駆動機構２０としては、例えば、Ｘ−Ｙ−Ｚステージや、検査対象１を挟む１対のレールを用いることができる。検査対象駆動機構２０の詳細については後述する。

Ｘ線検出器２３は、Ｘ線源１０から出力され、検査対象１を透過したＸ線を検出して画像化する２次元Ｘ線検出器である。Ｘ線検出器２３としては、Ｉ．Ｉ．（Ｉｍａｇｅ Ｉｎｔｅｎｓｉｆｉｅｒ）管や、ＦＰＤ（フラットパネルディテクタ）を用いることができる。設置スペースの観点からは、Ｘ線検出器２３には、ＦＰＤを用いることが望ましい。また、インライン検査で使うことができるようにＸ線検出器２３は、高感度であることが望ましく、ＣｄＴｅを使った直接変換方式のＦＰＤであることが特に望ましい。

Ｘ線検出器駆動部２２は、Ｘ線検出器２３を指定された位置に駆動する。Ｘ線検出器駆動部２２の構成の詳細については、後述する。Ｘ線検出器駆動部２２により駆動されたＸ線検出器２３の位置は位置センサ（図示しない）によって知ることができ、演算部７０は、Ｘ線検出器２３の位置を検出器駆動制御部３２を介して取り込むことができる。

画像取得制御機構３０は、検出器駆動制御部３２と画像データ取得部３４とを含む。検出器駆動制御部３２は、演算部７０より指定された位置にＸ線検出器２３を移動させるようにＸ線検出器駆動部２２を制御する。画像データ取得部３４は、演算部７０から指定されたＸ線検出器２３の画像データを取得する。

入力部４０は、ユーザからの指示入力等を受け付けるための操作入力機器である。出力部５０は、測定結果等を外部に出力する装置である。本実施の形態では、出力部５０は、演算部７０で構成されたＸ線画像等を表示するためのディスプレイである。

すなわち、ユーザは、入力部４０を介して様々な入力を実行することができ、演算部７０の処理によって得られる種々の演算結果が出力部５０に表示される。出力部５０に表示される画像は、ユーザによる目視の良否判定のために出力されてもよいし、あるいは、後で説明する良否判定部７８の良否判定結果として出力されてもよい。

Ｘ線源制御機構６０は、電子ビームの出力を制御する電子ビーム制御部６２を含む。電子ビーム制御部６２は、演算部７０から、Ｘ線焦点位置、Ｘ線エネルギー（管電圧、管電流）の指定をうける。指定されるＸ線エネルギーは、検査対象の構成によって異なる。

演算部７０は、メモリ９０に格納されたプログラム９６を実行して各部を制御し、また、所定の演算処理を実施する。演算部７０は、Ｘ線源制御部７２と、画像取得制御部７４と、再構成部７６と、良否判定部７８と、検査対象位置制御部８０と、Ｘ線焦点位置計算部８２と、撮像条件設定部８４とを含む。

Ｘ線源制御部７２は、Ｘ線焦点位置、Ｘ線エネルギーを決定し、Ｘ線源制御機構６０に指令を送る。

画像取得制御部７４は、Ｘ線検出器２３が画像を取得するように、画像取得制御機構３０に指令を送る。また、画像取得制御部７４は、画像取得制御機構３０から、画像データを取得する。

再構成部７６は、画像取得制御部７４により取得された複数の画像データから３次元データを再構成する。

良否判定部７８は、再構成部７６により再構成された３次元データ、あるいは、透視データをもとに検査対象の良否を判定する。たとえば、良否判定部７８は、半田ボールの形状を認識し、認識された形状が予め定められた許容範囲内であるか否かを判定する等により良否判定を行なう。なお、良否判定を行なうアルゴリズム、あるいは、アルゴリズムへの入力情報は、検査対象によって異なるため、良否判定部７８は、これらを撮像条件情報９４から入手する。

検査対象位置制御部８０は、検査対象移動機構２０を制御する。
Ｘ線焦点位置計算部８２は、検査対象１のある検査エリアを検査する際に、その検査エリアに対するＸ線焦点位置や照射角などを計算する。

撮像条件設定部８４は、検査対象１に応じて、Ｘ線源１０からＸ線を出力する際の条件（たとえば、Ｘ線源に対する印加電圧、撮像時間等）を設定する。

メモリ９０は、Ｘ線焦点位置情報９２と、撮像条件情報９４と、上述した演算部７０が実行する各機能を実現するためのプログラム９６と、Ｘ線検出器２３が撮像した画像データ９８とを含む。Ｘ線焦点位置情報９２には、Ｘ線焦点位置計算部８２によって計算されたＸ線焦点位置が含まれる。撮像条件情報９４は、撮像条件設定部８４によって設定された撮像条件や、良否判定を行なうアルゴリズムに関する情報を含む。

なお、メモリ９０は、データを蓄積することができるものであればよい。メモリ９０は、例えば、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）やＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ Ｅｒａｓａｂｌｅ ａｎｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）やＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｃ Ｄｒｉｖｅ）等の記憶装置により構成される。

（具体的構成）
第１の実施の形態に係るＸ線検査装置１００の具体的構成について、図２を参照して説明する。図２は、第１の実施の形態に係るＸ線検査装置１００の構成を説明するための図である。なお、図２において、図１と同一部分には、同一符号を付している。また、図２では、図１に示した部分のうち、Ｘ線焦点位置の制御、Ｘ線検出器位置の制御、検査対象位置の制御等に直接関係し、説明に必要な部分を抜き出して記載している。

Ｘ線源１０は、本実施の形態では、Ｘ線を発生する位置（Ｘ線焦点位置１７）が固定されている、固定焦点型のＸ線源である。Ｘ線源１０は、Ｘ線源制御機構６０を通した演算部７０からの命令に従って、Ｘ線を発生させる。

Ｘ線検出器駆動部２２は、直交タイプの２軸のロボットアーム２２ａと検出器支持部２２ｂとを備える。Ｘ線検出器駆動部２２は、ロボットアーム２２ａにより、Ｘ線検出器２３を、ＸＹ方向に移動する。検出器駆動制御部３２は、移動時点でのＸ線検出器２３の位置情報を演算部７０に送る。

なお、本実施の形態では、後述するように、Ｘ線検出器駆動部２２は、Ｘ線検出器２３を、Ｘ方向よりもＹ方向で多く移動する。そのため、ロボットアーム２２ａとしては、図２に示したように、Ｘ軸のアームにＹ軸のアームを載せたものを用いることが好ましい。この構成によれば、Ｙ軸のアームが動かすべき物体の総重量が軽いので、Ｙ方向の移動を高速化できる。

ただし、Ｘ線検出器駆動部２２の構成は、これに限られない。このようなＸ−Ｙ方向の移動を実現できる他の機構をＸ線検出器駆動部２２として用いてもよい。なお、Ｘ線検出器駆動部２２は、拡大率を調整するためにＸ線検出器２３を上下に昇降する機構をさらに備えることが望ましい。

検査対象駆動機構２０は、アクチュエータと検査対象を固定する機構とを備える。検査対象駆動機構２０は、演算部７０内の検査対象位置制御部８０に制御される検査対象位置駆動機構により、上記Ｘ線検出器２３．１または２３．２とは独立に、検査対象の視野を、ＸＹ方向に移動可能である。

インライン検査の際には、検査対象駆動機構２０は、基本的に、検査対象１をＸ方向に移動する。つまり、検査対象駆動機構２０は、未検査の検査対象１を図２の右（あるいは左）方向から左（あるいは右）に移動して、Ｘ線の照射範囲まで運ぶ。また、検査対象駆動機構２０は、検査が終了した検査対象１を、さらに左（あるいは右）に移動する。ただし、後述のように、データ再構成に必要な画像を撮像するために、検査対象駆動機構２０は、検査対象１をＹ方向にも移動する。

検査対象駆動機構２０としては、Ｘ線を妨げない装置を用いることが好ましい。例えば、検査対象駆動機構２０としては、基板レールを用いることができる。図３に、検査対象駆動機構２０として基板レールを備えるＸ線検査装置１００を示す。

図３を参照して、検査対象駆動機構２０は、検査対象１をその両端から挟むレール２５ａおよび２５ｂと、検査対象１のＺ方向の位置を測定する位置センサ２１とを含む。なお、図３では、検査対象１は、回路基板であるとする。検査対象１上には、回路部品２が配置されている。回路部品２を含む領域が、検査エリアである。

レール２５ａおよび２５ｂは、検査対象１をＸＹＺ方向に移動可能である。位置センサ２１は、検査対象１、特に回路部品２のＺ方向の位置を測定する。回路部品２の位置は、回路基板２の反りに起因して、検査対象１によって、変動する。レール２５ａおよび２５ｂは、位置センサ２１の測定結果に基づいて、検査対象１の高さ方向の位置を調節する。

図２に戻って、演算部７０は、検出器駆動制御部３２、画像データ取得部３４、走査Ｘ線源制御機構６０に命令を送り、後に説明するような検査処理のためのフローチャートで示されるプログラムを実行する。

特に、演算部７０は、検出器駆動制御部３２を通した命令により指示されるタイミングでＸ線透視画像の取得および撮像データの転送を行なう。また、演算部７０は、入力部４０からの入力によって検査装置の動作を制御し、各部の状態、または検査結果を出力部５０より出力することができる。

（撮像方式）
３次元データの再構成のためには、複数の方向から検査対象領域を撮像する必要がある。本実施の形態に係るＸ線検査装置１００は、Ｘ線検出器２３および検査対象１のそれぞれをＸＹ平面内で動かすことで、複数の方向からの撮像を実現する。

本実施の形態に係るＸ線検出器２３および検査対象１の軌道について、図４および図５を参照して説明する。図４は、第１の実施の形態に係るＸ線検出器２３および検査対象１の軌道を示す図である。図５は、第１の実施の形態に係るＸ線検出器２３の撮像位置を説明する図である。

図４および図５を参照して、検出器駆動部２２は、まず、Ｘ線検出器２３を、Ｙ方向に並んだ撮像位置ｓ１、ｓ２、ｓ３、ｓ４に、順番に移動する。その後、検出器駆動部２２は、Ｘ線検出器２３を、Ｘ方向に移動し、撮像位置ｓ５に移動する。検出器駆動部２２は、このようなＹ方向の直線移動およびＸ方向の直線移動を繰返して、Ｘ線検出器を撮像位置ｓ１〜ｓ１６に移動する。

また、検査対象移動機構２０は、各撮像位置のＸ線検出器２３に、検査対象１の検査対象領域を透過したＸ線が入射するように、検査対象１を移動する。したがって、図４に示すように、検査対象１の軌道は、Ｘ線検出器２３の軌道に相似なものになる。

言い換えれば、図４に示すように、Ｘ線源１０のＸ線焦点位置１７と検査対象１（厳密には、検査対象１のうちの検査対象領域）との相対的な位置関係を順次変更するとともに、Ｘ線焦点位置１７と検査対象１（のうちの検査対象領域）との当該相対的な位置関係により定まる撮像位置にＸ線検出器２３を移動させた状態で、画像が撮像される。各撮像位置での画像の撮像について見れば、検査対象１（のうちの検査対象領域）を基準とした場合に、Ｘ線焦点位置１７となる点を含む仮想平面（図４の例では、Ｘ−Ｙ平面と平行で、かつ、Ｘ線焦点位置１７を含む平面）とＸ線焦点位置１７および検査対象１（のうちの検査対象領域）を結ぶ線分とのなす角度（撮像角）が、複数の異なる値をとるように、画像の撮像が繰返される。

図４に示す例では、検査対象１の軌道上において画像の撮像が行われる点Ｐ１およびＰ２についてみれば、点Ｐ１においては、Ｘ線焦点位置１７と点Ｐ１とを結ぶ線分Ｌ１が仮想平面との間でなす角度はα１となり、点Ｐ２においては、Ｘ線焦点位置１７と点Ｐ２とを結ぶ線分Ｌ２が仮想平面との間でなす角度はα２となる。これらの角度α１と角度α２とは異なる値をとる。このように、検査対象１を図４に示すような軌道に沿って移動させながら、順次撮像を行うことで、撮像角の異なる複数の画像を取得することができる。

本実施の形態に係る撮像方法によれば、Ｘ線検出器２３および検査対象１の円運動をともなわないため、Ｘ線検査を高速化することができる。例として、ＸＹステージによりＸ線検出器２３を移動し、１６方向から検査対象を撮像する場合について説明する。

Ｘ線検出器２３（および検査対象）を円軌道で動かす場合、Ｘ線検出器２３を、Ｘ方向およびＹ方向に、それぞれ、１５回移動する必要がある。撮像位置の変更にあたり、Ｘ線検出器２３のＸ軸移動およびＹ軸移動を並行して行なったとしても、（Ｘ軸移動時間とＹ軸移動時間の遅い方）×１５の総移動時間がかかる。

一方、本実施形態で説明した直線起動撮像の場合、２軸同時動作より、高速な１軸（特にＹ軸）移動を実現できる。図５に示した軌道では、総移動時間は、１２回のＹ軸移動時間と３回のＸ軸移動時間の和となる。したがって、本実施の形態に係る撮像方法では、検査を高速化できる。

また、この撮像方法によれば、従来の円軌道上で移動させるＸ線検査装置を用いる方法に比べ、検出器駆動部２２の可動範囲を有効活用し、得られる再構成データの画質を向上することができる。このことを、図５（既に示している）、図６および図７を参照して説明する。図６は、従来の方法におけるＸ線検出器２３および検査対象１の軌道を示す図である。図７は、従来の方法での撮像位置を示す図である。

図５には、図７に示すＸ線検出器の軌道を点線で示す。両方法の比較のため、いずれの方法においても、撮像位置の数は１６であるとしている。また、円軌道の直径と、図５に示す軌道のＸ方向の長さおよびＹ方向の長さとは、同じであるとする。なお、後の説明から分かるように、実際に本方法を用いる場合も、図５に示すように、円軌道の外接矩形を、軌道の一部とすることが好ましい。

本方法では、円軌道での撮像よりも、より斜めからの撮像が可能である。例えば、本方法による撮像位置ｓ１６からの撮像角は、円軌道での対応する撮像位置ｃ１１からの撮像角に比べ大きい。したがって、本方法によれば、再構成データを高画質化することができる。

また、円軌道上で撮像する場合は、撮像角が一定の斜めＣＴになるのに対し、本方法によれば、撮像角が異なる複数の画像を作成できる。したがって、本方法によれば、アーチファクトの低減など再構成データの高画質化を実現できる。

（処理の流れ）
図８は、第１の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れをフローチャート形式で示す図である。図８を参照して、第１の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れについて説明する。

図８を参照して、まず、処理が開始されると（ステップＳ８００）、Ｘ線検査装置１００は、検査対象１（厳密には、検査対象１のうちの検査対象領域）を撮像可能な位置に移動する（ステップＳ８０２）。通常、Ｘ線検査においては、検査対象１の位置の特定のために光学カメラ（図示せず）が搭載されており、光学カメラの画像をもとに検査対象領域を決めることが可能である。その他の方法として、検査対象領域は、検査対象１のＣＡＤデータをもとにＸ線検査装置１００が、自動的に決めてもよいし、作業者が目視で決定してもよい。

その上で、Ｘ線検査装置１００は、透視画像の撮像を行なう（ステップＳ８０４）。Ｘ線検査装置１００は、透視画像を検査して、取得した透視画像に基づいて、検査対象１の視野（透視画像で撮像されている範囲）の良否判定を行なう（ステップＳ８０６）。良否判定手法は、様々な手法が提案されており、公知のためここでは詳細を記述しない。例えば、もっとも基本的な検査としては、透視画像を一定の値で２値化し、ＣＡＤデータ等の設計情報と比較し、透視画像上の所定の位置に部品があるかないかを面積により判断する。

続いて、Ｘ線検査装置１００は、再構成データ画像による検査が必要か否かを判断する（ステップＳ８０８）。判断の基準は、ＣＡＤデータ等の設計情報をもとに予め設定しておくことができるし、透視画像の良否判定結果から判断することも可能である。例えば、実装基板の検査において、片面にのみ部品が実装されている場合、透視画像で良否判定することが可能なため再構成画像による良否判定を行なう必要がない場合もある。

再構成データによる検査が必要ない場合には（ステップＳ８０８においてＮＯ）、Ｘ線検査装置１００は、検査を終了する（ステップＳ８１８）。

一方、再構成画像による検査が必要な場合は（ステップＳ８０８においてＹＥＳ）、Ｘ線検査装置１００は、続いて、検査対象領域についてのＣＴ撮像を行なう（ステップＳ８１０）。Ｘ線検査装置１００は、ＣＴ撮像においては、検査対象領域を複数の方向から撮像する。ステップＳ８１０の詳細については、後述する。

次に、Ｘ線検査装置１００は、複数方向の撮像画像から再構成データ画像を生成する（ステップＳ８１２）。再構成処理は、様々な方法が提案されており、たとえば、Ｆｅｌｄｋａｍｐ法を用いることができる。

続けて、Ｘ線検査装置１００は、再構成データによる良否判定を行なう（ステップＳ８１４）。良否判定の方法は、３次元データを直接用いる方法や２次元データ（断層画像）、１次元データ（プロファイル）を用いる等の方法が考えられる。これらの良否判定手法は周知であるため検査項目に適した良否判定手法を用いればよく、ここでは詳細の説明は繰返さない。以下に、良否判定の１例について説明する。まず、３次元再構成画像に一定の値で２値化する。ＣＡＤデータ等の設計情報から、再構成画像内で部品（たとえば、ＢＧＡの半田ボール）のある位置を特定する。２値化画像から部品のある位置に隣接した画素の体積を計算し、部品のあるなしを判断することができる。

さらに、Ｘ線検査装置１００は、全検査領域の検査を終了したか否かを判断する（ステップＳ８１６）。検査の終了していない検査領域がある場合は（ステップＳ８１６においてＮＯ）、処理は、ステップＳ８０２に復帰する。一方で、全検査領域について検査が終了していれば（ステップＳ８１６においてＹＥＳ）、Ｘ線検査装置１００は、検査を終了する（ステップＳ８１８）。

第１の実施の形態に係るＣＴ撮像の詳細について、図９を参照して説明する。図９は、図８で説明したＣＴ撮像の処理の流れをフローチャート形式で示す図である。

図９を参照して、１視野のＣＴ撮像が開始されると（ステップＳ９００）、まず、Ｘ線検査装置１００は、現在の検査対象領域が、所定の撮像位置で撮像されるように、Ｘ線検出器２３および検査対象１をＹ方向に移動する（ステップＳ９０２）。撮像位置は、ＣＡＤデータ等の設計情報から自動的に算出することができる。

次に、Ｘ線検査装置１００は、検査対象領域を撮像する（ステップＳ９０４）。検査対象領域の撮像データは、Ｘ線源１０からＸ線を照射し、Ｘ線検出器２３を露光することで得られる。露光時間は、検査対象領域のサイズや、Ｘ線源１０の発生するＸ線の強度から予め決めておくことが可能である。

続いて、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線検出器２３で撮像した画像データを演算部７０に転送する（ステップＳ９０６）。すなわち、画像データ取得部３４は、３次元データの再構成のために、撮像された画像データを、再構成処理を行なう演算部７０に転送する。

さらに、続いて、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線検出器２３または検査対象１を、規定回数Ｙ方向に移動したかを判断する（ステップＳ９０８）。規定回数は、例えば、検査をする前にＣＡＤデータ等の設計情報から決めることができる。なお、図４および図５に示した例では、規定回数は、３回である。

規定回数に達していない場合は（ステップＳ９０８においてＮＯ）、処理は、ステップＳ９０２に復帰する。一方、規定回数に達している場合は（ステップＳ９０８においてＹＥＳ）、Ｘ線検査装置１００は、現在の検査対象領域が、所定の撮像位置で撮像されるように、Ｘ線検出器２３および検査対象１をＸ方向に移動する（ステップＳ９１０）。

続いて、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線検出器２３または検査対象１を、規定回数Ｘ方向に移動したかを判断する（ステップＳ９１２）。規定回数は、例えば、検査をする前にＣＡＤデータ等の設計情報から決めることができる。なお、図４および図５に示した例では、規定回数は、３回である。

規定回数に達していない場合は（ステップＳ９１２においてＮＯ）、処理は、ステップＳ９０４に復帰する。一方、規定回数に達している場合は（ステップＳ９１２においてＹＥＳ）、Ｘ線検査装置１００は、ＣＴ撮像を終了する（ステップＳ９１４）。

（変形例）
図２および図３では、Ｘ線検出器２３は、検査対象１に比べ、十分大きく、検査対象１の全範囲が、Ｘ線検出器２３で撮像されるように見える。しかしながら、Ｘ線検出器２３および検査対象１のサイズ、および、これらの位置関係によっては、１度の撮像で、検査対象１の全範囲を撮像できないこともある。

このような場合は、Ｘ線検査装置１００は、検査対象１を複数の検査対象領域に分けて撮像することになる。図１０を参照して、検査対象１を複数の検査対象領域に分ける必要のある例について説明する。図１０は、検査対象１の分割が必要となるＸ線検出器２３および検査対象１の配置を示す図である。

Ｘ線検出器２３は、受光部２４で、Ｘ線を検出する。受光部２４は、図１０に示すように、Ｘ線検出器２３の中央付近の一部の領域に設置されることが多い。Ｘ線焦点位置１７、検査対象１およびＸ線検出器の幾何的関係により、この場合、受光部２４には、検査対象１の４分の１の領域を透過したＸ線しか入射しない。したがって、検査対象１の全域を検査する場合、Ｘ線検査装置１００は、検査対象１を４つの検査対象領域に分けて、各検査対象領域について検査する。

なお、以上の例では、Ｘ線検出器２３および検査対象１を、２方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動している。しかしながら、一方向に並んだ複数の撮像位置からの撮像により、十分な質の３次元データを再構成できるのであれは、Ｘ線検出器２３および検査対象１を１方向のみに動かせばよい。ただし、一般には、良質の再構成データを得るためには、本実施の形態で示したように、２方向に並んだ撮像位置から検査対象を撮像することが好ましい。

［第２の実施の形態］
（構成）
第２の実施の形態に係るＸ線検査装置２００の構成について図１１を参照して説明する。図１１は、第２の実施の形態に係るＸ線検査装置２００の構成を説明するための図である。

Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線源１０と、Ｘ線検出器２３．１および２３．２と、Ｘ線検出器駆動部２２．１および２２．２と、画像取得制御機構３０と、入力部４０と、出力部５０と、Ｘ線源制御機構６０と、演算部７０と、メモリ９０とを備える。画像取得制御機構３０、Ｘ線源制御機構６０、演算部７０、および、メモリ９０は、図１を参照して説明したような構成を有する。第１の実施の形態と異なるのは、Ｘ線源１０の構成、ならびに、Ｘ線検出器およびＸ線検出器駆動部２２がそれぞれ２つあることである。

第２の実施の形態に係るＸ線源１０は、１方向にＸ線焦点位置１７を走査可能な走査型Ｘ線源である。図１１（既出）および図１２を参照して、第２の実施の形態に係るＸ線源１０の構成について説明する。図１２は、Ｘ線源１０の断面図である。

図１２を参照して、Ｘ線源１０においては、電子ビーム制御部６２によって制御された電子銃１９から、タングステンなどのターゲット１１に対し電子ビーム１６が照射される。そして、電子ビーム１６がターゲットに衝突した場所（Ｘ線焦点位置１７）からＸ線１８が発生し、放射（出力）される。図１１および図１２を参照して分かるように、Ｘ線源１０は電子ビームの透過方向にＸ線を出力する、透過型のＸ線源である。

なお、電子ビーム系は、真空容器９の中に収められている。真空容器９の内部は、真空ポンプ１５によって真空に保たれており、電子銃１９から高圧電源１４によって加速された電子ビーム１６が発射される。

Ｘ線源１０は、電子線収束コイル１３により収束された後、偏向ヨーク１２によって電子ビーム１６を偏向することにより、電子ビーム１６がターゲット１１に衝突する場所を変更することができる。たとえば、偏向ヨーク１２によって偏向された電子ビーム１６ａはターゲット１１に衝突し、Ｘ線焦点位置１７ａからＸ線１８ａが出力される。また、同様に、偏向ヨーク１２によって偏向された電子ビーム１６ｂはターゲット１１に衝突し、Ｘ線焦点位置１７ｂからＸ線１８ｂが出力される。

図１３を参照して、Ｘ線焦点位置１７の走査について説明する。図１３は、Ｘ線源１０の斜視図である。図１３に示すように、ターゲット１１は、直線状のターゲットである。したがって、Ｘ線源１０は、Ｘ線焦点位置１７を一方向に走査可能である。本実施の形態では、図１１に示すように、Ｘ線源１０は、ターゲット１１がＹ方向に沿うように配置される。

なお、以上では、Ｘ線源１０は、直線状のターゲット１１を備えていたが、Ｘ線源１０は、図１４に示すような、連続面のターゲット１１＃を備えていてもよい。このＸ線源１０によれば、Ｘ線焦点位置１７を、ターゲット１１＃内の範囲で自由に設定できる。本撮像方法にこのＸ線源１０を用いる場合には、Ｘ線焦点位置１７を一方向に制限すればよい。

なお、Ｘ線焦点位置を移動させるには、たとえば、Ｘ線源自体の位置を、その都度、機械的に移動させることも可能である。ただし、走査型Ｘ線源を用いれば、Ｘ線焦点位置を移動させるにあたり、一定の範囲内であれば、Ｘ線源１０を機械的に移動させることを必要とせず、保守性や信頼性に優れたＸ線検査装置を実現できる。また、走査型Ｘ線源によるＸ線走査は、機械的な走査よりも、所要時間がはるかに短い。したがって、本実施の形態では、走査型Ｘ線源を用いる。

（撮像方式）
ここからは、第２の実施の形態に係る撮像方式について説明する。ここでは、検査対象１は、複数の検査対象領域に分割されているものとする。図１５に、第２の実施の形態における検査対象領域を示す。図１５に示すように、検査対象１は、Ｘ方向に４つ、Ｙ方向に３つに分割されている。したがって、検査対象１は、１２個の検査対象領域に分割されている。各検査対象領域を、Ｖ００，Ｖ０１，・・・，Ｖ２３で示す。

Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線検出器２３．１および２３．２を、Ｙ方向に並んだ複数の撮像位置に直線的に移動する。また、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線焦点位置１７をＹ方向に走査する。これらの移動の間、Ｘ線検査装置２００は、検査対象１を移動しない。ここで、Ｘ線焦点位置１７の移動方向と、Ｘ線検出器２３．１および２３．２の移動方向とは、互いに逆向きである。Ｘ線焦点位置１７は、検査対象領域を透過したＸ線が、Ｘ線検出器２３．１あるいは２３．２に入射するように、移動される。

図１６を参照して、第２の実施の形態に係る撮像方式について具体的に説明する。図１６は、第２の実施の形態におけるＸ線焦点位置１７およびＸ線検出器２３．１のＹ方向移動の一例を説明するための図である。図１６では、検査対象領域Ｖ１１を撮像する場合の、Ｘ線焦点位置１７およびＸ線検出器２３．１の動きを示している。

図１６に示す例では、Ｙ方向に６つの撮像位置が設定されているものとする。検査の開始時に、Ｘ線検出器２３．１およびその受光部２４．１は、図１６において実線で示した撮像位置にある。Ｘ線源１０は、撮像位置に対応する位置に、Ｘ線焦点位置１７を設定し、Ｘ線を出力する。Ｘ線検出器２３．１は、検査対象１を透過したＸ線の画像を撮像する。

最初の撮像が終わると、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線検出器２３．１を、＋Ｙ方向（図１６の左方向）に移動する。また、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線焦点位置１７を、−Ｙ方向（図１６の右方向）に移動する。Ｘ線検出器２３．１およびＸ線焦点位置１７の移動の完了後、Ｘ線源１０は、Ｘ線を出力し、Ｘ線検出器２３．１は、画像を撮像する。

このようなＸ線検出器２３．１およびＸ線焦点位置１７の移動および画像の撮像を繰り返し、最終的に、受光部２４．１は、図１６において点線で示した位置で、画像を撮像する。なお、図１６中では、移動後のＸ線検出器２３．１全体の図示を省略している。以降の図でも、Ｘ線検出器２３．１（あるいは２３．２）については、全体の図示を省略し、受光部２４．１（あるいは２４．２）のみを示すことがある。この一連の動作により、Ｙ方向について異なる角度から撮像された６枚の画像が撮像される。

本実施の形態に係るＸ線検査装置２００によれば、第１の実施の形態と同様、Ｘ線検出器２３．１および２３．２を直線的に動かすため、検査時間を短縮できる。さらに、Ｘ線検査装置２００によれば、Ｙ方向の撮像位置が異なる複数の画像を撮像するにあたり、検査対象１を移動しないでよい。

また、Ｘ線検査装置２００は、２つのＸ線検出器２３．１および２３．２を備えるため、１つのＸ線焦点位置から出力し、かつ、異なる２つの検査対象領域を通過するＸ線を撮像することができる。このことを、図１７を参照して説明する。図１７は、第２の実施の形態における撮像時の、Ｘ線検出器２３．１および２３．２、検査対象１、ならびに、Ｘ線焦点位置１７の位置関係の一例を示す図である。図１７では、Ｘ線検出器２３．１および２３．２、検査対象１、ならびに、Ｘ線焦点位置１７をＹ方向から見ている。

図１７を参照して、Ｘ線焦点位置１７から出たＸ線が検査対象領域Ｖ１１を通過して受光部２４．１に入射するとき、Ｘ線は、同時に、検査対象領域Ｖ１３を通過して受光部２４．２に入射する。

したがって、Ｘ線検査装置２００は、一連のＸ線焦点位置１７の走査により、２つの検査対象領域の各々について、Ｙ方向の撮像位置が異なる複数の画像を撮像することができる。これは、総検査時間の短縮につながる。

円軌道で移動する複数のＸ線検出器を用いる場合は、幾何学的条件から複数のＸ線検出器を独立動作できないことがある。特に、高速化のために、Ｘ線源からＸ線検出器間の距離は短い方がよいが、この場合、Ｘ線検出器の大きさの問題があり、複数配置の円軌道独立動作はさらに困難となる。本実施の形態では、直線的に各Ｘ線検出器を動かすため、このような問題は生じない。

ところで、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ方向について複数の位置から検査対象領域の画像を撮像するため、Ｘ線検出器２３．１、Ｘ線検出器２３．２および検査対象１をＸ方向に移動する。この移動について、図１８を参照して説明する。図１８は、第２の実施の形態におけるＸ線検出器２３．１、Ｘ線検出器２３．２および検査対象１のＸ方向移動について説明するための図である。

図１８Ａには、検査開始時の、Ｘ線検出器２３．１、Ｘ線検出器２３．２および検査対象１のＸ方向についての配置を示す。この配置において、受光部２４．１には、検査対象領域Ｖ００を透過したＸ線が入射する。受光部２４．２には、検査対象領域Ｖ０２を透過したＸ線が入射する。

Ｘ線検出器２３．１（あるいはＸ線検出器２３．２）が、図１８ＡのＸ位置におけるすべての撮像位置で、画像を撮像したあと、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線検出器２３．１（あるいはＸ線検出器２３．２）を＋Ｘ方向（図１８Ａの右方向）に移動する。また、Ｘ線検出器２３．１および２３．２での撮像完了後、Ｘ線検査装置２００は、検査対象１を＋Ｘ方向に移動する。

図１８Ａの配置から移動した後の、Ｘ線検出器２３．１、Ｘ線検出器２３．２および検査対象１のＸ方向についての配置を図１８Ｂに示す。この配置において、受光部２４．１には、検査対象領域Ｖ００を透過したＸ線が入射する。受光部２４．２には、検査対象領域Ｖ０２を透過したＸ線が入射する。ただし、Ｘ線の入射角度は、図１８Ａのときのものと異なる。

Ｘ線検出器２３．１（あるいはＸ線検出器２３．２）が、図１８ＢのＸ位置におけるすべての撮像位置で、画像を撮像したあと、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線検出器２３．１（あるいはＸ線検出器２３．２）を＋Ｘ方向（図１８Ｂの右方向）に移動する。また、Ｘ線検出器２３．１および２３．２での撮像完了後、Ｘ線検査装置２００は、検査対象１を＋Ｘ方向に移動する。

図１８Ｂの配置から移動した後の、Ｘ線検出器２３．１、Ｘ線検出器２３．２および検査対象１のＸ方向についての配置を図１８Ｃに示す。この配置において、受光部２４．１には、検査対象領域Ｖ００を透過したＸ線が入射する。受光部２４．２には、検査対象領域Ｖ０２を透過したＸ線が入射する。ただし、Ｘ線の入射角度は、図１８Ａおよび図１８Ｂのときのものと異なる。

図１８に示したＸ方向の移動によれば、検査対象領域Ｖ００およびＶ０２の各々について、３つのＸ位置から撮像した画像が得られる。図１６で説明したように、各Ｘ位置でＹ位置の異なる６つの撮像位置があるので、各検査対象領域について、３×６＝１８の異なる方向から撮像した画像が得られる。

図１９を参照して、検査対象領域Ｖ００，Ｖ１０，Ｖ２０，Ｖ０２，Ｖ１２，Ｖ２２について検査する場合の、Ｘ線検査装置２００の動作を説明する。図１９は、複数の検査対象領域について検査するときのＸ線検査装置２００の動作の一部の一例を示す図である。

検査対象領域Ｖ００およびＶ０２が撮像されるように検査対象１が配置されている状態から説明を始める。この状態において、Ｘ線検査装置２００は、複数のＹ位置から、検査対象領域Ｖ００およびＶ０２の画像を撮像する。すなわち、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線焦点位置１７のＹ方向走査と、Ｘ線検出器２３．１，２３．２のＹ方向移動とを行ない、検査対象領域Ｖ００およびＶ０２の画像を撮像する。なお、図１９では、撮像される検査対象領域を太枠で囲んで示している。また、図１９では、Ｘ線源１０の中心位置を丸で示している。

次に、Ｘ線検査装置２００は、検査対象領域Ｖ１０およびＶ１２を撮像できるように、検査対象１を−Ｙ方向（図１９の下方向）に移動する。Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線焦点位置１７の走査と、Ｘ線検出器２３．１，２３．２の移動とを行ない、複数のＹ位置から検査対象領域Ｖ１０およびＶ１２の画像を撮像する。

次に、Ｘ線検査装置２００は、検査対象領域Ｖ２０およびＶ２２を撮像できるように、検査対象１をさらに−Ｙ方向に移動する。Ｘ線検査装置２００は、Ｘ線焦点位置１７の走査と、Ｘ線検出器２３．１，２３．２の移動とを行ない、複数のＹ位置から検査対象領域Ｖ２０およびＶ２２の画像を撮像する。

続いて、Ｘ線検査装置２００は、検査対象１、Ｘ線検出器２３．１およびＸ線検出器２３．２を−Ｘ方向（図１９の左方向）に移動する。そして、Ｘ線検査装置２００は、先の撮像とは、異なるＸ位置から、検査対象領域Ｖ２０およびＶ２２の画像を撮像する。このあと、−Ｙ方向への移動および撮像のセットを、２回繰り返し、検査対象領域Ｖ１０およびＶ１２の画像、ならびに、検査対象領域Ｖ００およびＶ０２の画像を撮像する。

続いて、Ｘ線検査装置２００は、検査対象１、Ｘ線検出器２３．１およびＸ線検出器２３．２をさらに−Ｘ方向に移動する。そして、Ｘ線検査装置２００は、先の撮像とは、異なるＸ位置から、検査対象領域Ｖ００およびＶ０２の画像を撮像する。このあと、＋Ｙ方向への移動および撮像のセットを、２回繰り返し、検査対象領域Ｖ１０およびＶ１２の画像、ならびに、検査対象領域Ｖ２０およびＶ２２の画像を撮像する。

以上のように撮像すれば、Ｘ線検査装置２００は、検査対象１の移動距離をなるべく短く抑えつつ、複数の検査対象領域の検査を行なうことができる。

また、Ｘ線検査装置２００を利用して、全検査対象領域の検査を行なうことができる。図２０を参照して、全検査対象領域について検査する場合の、Ｘ線検査装置２００の動作の一例を説明する。図２０は、全検査対象領域について検査するときのＸ線検査装置２００の動作の一例を説明するための図である。なお、図２０中では、移動前後の検査対象１の位置関係を示すため、同じ位置にある検査対象領域を太枠で囲んで示す。

まず、Ｘ線検査装置２００は、初期の検査対象１の位置について、各検査対象領域の画像を撮像する（図２０Ａ）。すなわち、Ｘ線検査装置２００は、すでに説明したような、Ｘ線焦点位置１７の走査、Ｘ線検出器２３．１および２３．２のＹ方向移動、検査対象１のＹ方向移動、ならびに、Ｘ線検出器２３．１および２３．２のＸ方向移動を組み合わせて、各検査対象領域を複数の（ここでは、６つとする）Ｙ位置から撮像する。

Ｘ線検査装置２００は、検査対象１を−Ｘ方向（図２０の左方向）に移動し、次の検査対象１の位置について、各検査対象領域の撮像を行なう（図２０Ｂ）。

同様に、Ｘ線検査装置２００は、図２０Ｃ〜図２０Ｆに示す各検査対象１の位置について、各検査対象領域の画像を取得する。その結果、Ｘ線検査装置２００は、各検査対象領域について、６×６＝３６の異なる方向からの画像を取得できる。

なお、上では、図２０Ａから図２０Ｆの各状態で、Ｘ線検出器２３．１および２３．２をＸ方向移動するとしているが、この動作を省略し、Ｘ線検出器２３．１および２３．２をＸ方向に固定しておいても構わない。この場合、Ｘ線検査装置２００は、Ｘ方向について合計２つの位置から各検査対象領域を撮像できる。したがって、Ｘ線検査装置２００は、各検査対象領域について、２×６＝１２の異なる方向からの画像を取得できる。

（処理の流れ）
図２１は、第２の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れをフローチャート形式で示す図である。図２１を参照して、第２の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れについて説明する。

図２１を参照して、まず、処理が開始されると（ステップＳ２１００）、Ｘ線検査装置２００は、検査対象領域を撮像可能な位置に移動し、透視画像の撮像を行なう（ステップＳ２１０２）。

Ｘ線検査装置２００は、透視画像を検査して、取得した透視画像に基づいて、検査対象１の視野（透視画像で撮像されている範囲）の良否判定を行なう（ステップＳ２１０４）。良否判定手法は、様々な手法が提案されており、公知のためここでは詳細を記述しない。

続いて、Ｘ線検査装置２００は、再構成データ画像による検査が必要か否かを判断する（ステップＳ２１０６）。判断の基準は、ＣＡＤデータ等の設計情報をもとに予め設定しておくことができるし、透視画像の良否判定結果から判断することも可能である。例えば、実装基板の検査において、片面にのみ部品が実装されている場合、透視画像で良否判定することが可能なため再構成画像による良否判定を行なう必要がない場合もある。

再構成データによる検査が必要ない場合には（ステップＳ２１０６においてＮＯ）、Ｘ線検査装置２００は、検査を終了する（ステップＳ２１１４）。

一方、再構成画像による検査が必要な場合は（ステップＳ２１０６においてＹＥＳ）、Ｘ線検査装置２００は、続いて、検査対象領域についてのＣＴ撮像を行なう（ステップＳ２１０８）。Ｘ線検査装置２００は、ＣＴ撮像においては、検査対象領域を複数の方向から撮像する。ステップＳ２１０８の詳細については、後述する。

次に、Ｘ線検査装置２００は、複数方向の撮像画像から再構成データ画像を生成する（ステップＳ２１１０）。再構成処理は、様々な方法が提案されており、たとえば、Ｆｅｌｄｋａｍｐ法を用いることができる。

続けて、Ｘ線検査装置２００は、再構成データによる良否判定を行なう（ステップＳ２１１０）。良否判定の方法は、３次元データを直接用いる方法や２次元データ（断層画像）、１次元データ（プロファイル）を用いる等の方法が考えられる。これらの良否判定手法は周知であるため検査項目に適した良否判定手法を用いればよく、ここでは詳細の説明は繰返さない。そして、Ｘ線検査装置２００は、検査を終了する（ステップＳ２１１８）。

第２の実施の形態に係るＣＴ撮像の詳細について、図２２を参照して説明する。図２２は、図２１で説明したＣＴ撮像の処理の流れをフローチャート形式で示す図である。なお、図２１において、フローチャートが３つに分岐した部分については、左の行はＸ線検出器２３．１の動作、右の行はＸ線検出器２３．２の動作を表しており、横方向に並んだ処理は同時に行なわれることを表わす。

図２２を参照して、まず、ＣＴ撮像処理が開始されると（ステップＳ２２００）、演算部７０は、ステップＳ２２０２において、検査したい検査対象領域を適切な位置に移動させるために、検査対象１を移動させる。さらに、演算部７０は、Ｘ線検出器２３．１および２３．２も、初期位置に、移動しておく。Ｘ線検出器２３．１よび２３．２の位置や検査対象１の位置は、Ｘ線検出器駆動部２２．１，２２．２や検査対象移動機構２０にエンコーダが搭載されていれば、エンコーダを用いて設定してもよい。あるいは、汎用的な検出器（レーザー変位計等）を用いて、これらの位置を設定してもよい。

続いて、演算部７０は、Ｘ線焦点位置１７を所定の位置に設定して、Ｘ線を照射する（ステップＳ２２０４）。また、演算部７０は、Ｘ線検出器２３．１で画像を撮像する（ステップＳ２２０６）。撮像時間（検出器の露光時間）は予め設定しておいてもよいし、ユーザが目視により所望の時間に設定することもできる。

ステップＳ２２１２において、演算部７０は、Ｘ線検出器２３．１を次の撮像位置に移動させるとともに、Ｘ線検出器２３．１による撮像データを、再構成部７６での再構成処理のために、たとえば、メモリ９０に転送する。並行して、演算部７０は、ステップＳ２２２２において、Ｘ線検出器２３．２で画像を撮像する。

ステップＳ２２２４において、演算部７０は、Ｘ線検出器２３．２を次の撮像位置に移動させるとともに、Ｘ線検出器２３．２による撮像データを、再構成部７６での再構成処理のために、たとえば、メモリ９０に転送する。

続いて、演算部７０は、Ｘ線焦点位置１７を変更する必要があるかどうか判断する（ステップＳ２２３０）。演算部７０は、焦点位置を変更する必要があるかどうかを、例えば、焦点位置の変更回数が所定の回数に達したかどうかなどに基づいて判断する。

Ｘ線焦点位置１７を変更する必要がある場合（ステップＳ２２３０においてＹＥＳ）、演算部７０は、ステップＳ２２３２において、Ｘ線焦点位置１７を変更させたあと、ステップＳ２２４０に進む。一方、変更する必要がない場合（ステップＳ２２３０においてＮＯ）、演算部７０は、そのまま、ステップＳ２２４０に進む。

ステップＳ２２４０において、演算部７０は、現在の検査対象位置で撮像が規定枚数に達したかを判定する。演算部７０は、例えば、撮像回数のカウント結果、あるいはＸ線検出器２３．１および／または２３．２の移動回数をカウント結果に基づいて、この判断を行なう。規定枚数に達していなければ（ステップＳ２２４０においてＮＯ）、演算部７０は、ステップＳ２２０４からの処理を繰返す。

規定枚数に達していれば（ステップＳ２２４０においてＹＥＳ）、演算部７０は、ステップＳ２２５０において、検査対象１を移動する必要があるかどうか判定する。演算部７０は、例えば、検査対象１の移動回数が所定の回数に達していないときに、検査対象１を移動する必要があると判断する。あるいは、演算部７０は、撮像された画像の総数が所定の枚数に達していないときに、検査対象１を移動する必要があると判断する。

検査対象を移動する必要があるとき（ステップＳ２２５０においてＹＥＳ）、演算部７０は、ステップＳ２２５２において、検査対象１をＸ方向に移動する。そして、演算部７０は、ステップＳ２２０４からの処理を繰返す。

検査対象を移動する必要がないとき（ステップＳ２２５０においてＮＯ）、演算部７０はＣＴ撮像処理を終了する（ステップＳ２２６０）。

本実施の形態においては、受光部２４．１および受光部２４．２の間隔は、受光部２４．１あるいは２４．２の幅と同じになるように、Ｘ線検出器２３．１および２３．２が配置されるものとする。この配置によれば、Ｘ線検出器２３．１および２３．２をＸ方向に移動することで、検査対象１上のすべての領域を検査することができる。

さらに、Ｘ線検査装置２００は、一方のＸ線検出器２３．１（あるいは２３．２）で撮像を行なっている間に、他方のＸ線検出器２３．２（あるいは２３．１）を次の撮像位置に移動するものとする。この方法によれば、Ｘ線検出器２３．１および２３．２の移動時間が、画像の撮像時間により隠されるため、全体の検査時間をさらに短縮できる。なお、本実施の形態では、２つのＸ線検出器がＸ方向に独立に移動するときに、検出器がお互い干渉しないように一般的なメカの工夫がされているものとする。

（変形例）
Ｘ線検査装置２００は、３つ以上のＸ線検出器を備えていてもよい。検出器の受光部に比べ、検査対象１が大きい場合には、多くのＸ線検出器を用いる方が、検査時間を短縮できる。

逆に、Ｘ線検出器は１つでもよい。検査対象領域が小さく、全領域が一度に撮像できる場合には、この構成で十分である。

［第３の実施の形態］
（構成）
第３の実施の形態に係るＸ線検査装置３００の構成について図２３を参照して説明する。図２３は、第３の実施の形態に係るＸ線検査装置３００の構成を説明するための図である。

Ｘ線検査装置３００は、Ｘ線源１０の構成を除き、第２の実施の形態と同様の構成を有する。Ｘ線源１０は、対向する２つの直線形状の反射型のターゲット１１ａおよび１１ｂを有する。そのため、透過型のターゲットを有するＸ線源に比べ、高強度のＸ線を出力することができる。反射型ターゲットは、熱放出性に優れ、高エネルギーの電子を衝突させることが可能だからである。したがって、Ｘ線検査装置３００によれば、露光時間の短縮、Ｘ線画像の画質向上を実現できる。

（撮像方式）
Ｘ線検査装置３００は、第２の実施の形態に係るＸ線検査装置２００と同様に、Ｘ線をＹ方向に走査し、Ｘ線検出器２３．１および２３．２をＹ方向に直線的に移動することにより、複数のＹ位置から画像を撮像できる。

図２４に、第３の実施の形態におけるＸ線焦点位置１７およびＸ線検出器２３．２のＹ方向移動の一例を示す。図２４では、ターゲット１１ａを出力し、検査対象領域を透過したＸ線を撮像する場合の、Ｘ線焦点位置１７およびＸ線検出器２３．２の動きを示している。この図の意味するところは、図１６の説明と同様であり、その詳細な説明は繰返さない。

本実施の形態に係るＸ線検査装置３００によれば、第１および第２の実施の形態と同様、Ｘ線検出器２３．１および２３．２を直線的に動かすため、検査時間を短縮できる。さらに、Ｘ線検査装置３００によれば、第２の実施の形態と同様、Ｙ方向の撮像位置が異なる複数の画像を撮像するにあたり、検査対象１を移動しないでよい。

また、Ｘ線検査装置３００は、２つのターゲット１１ａ，１１ｂ、および、２つのＸ線検出器２３．１，２３．２を備えるため、Ｘ線焦点位置をターゲット間で切り替えることで、１つの検査対象領域を通過するＸ線を、Ｘ線検出器２３．１，２３．２および検査対象１を動かすことなしに、２方向から撮像することができる。

このことを、図２５を参照して説明する。図２５は、第３の実施の形態における撮像時の、Ｘ線検出器２３．１および２３．２、検査対象１、ならびに、Ｘ線焦点位置１７の位置関係の一例を示す図である。図２５では、Ｘ線検出器２３．１および２３．２、検査対象１、ならびに、Ｘ線焦点位置１７をＹ方向から見ている。図２５を参照して、ターゲット１１ａからＸ線が出力するとき、受光部２４．２で検査対象領域の画像が撮像される。また、ターゲット１１ｂからＸ線が出力するとき、受光部２４．１で検査対象領域の画像が撮像される。

特に、Ｘ線検査装置３００は、一方のＸ線検出器２３．１（あるいは２３．２）で撮像を行なっている間に、他方のＸ線検出器２３．２（あるいは２３．１）を次の撮像位置に移動するものとする。この方法によれば、Ｘ線検出器２３．１および２３．２の移動時間が、画像の撮像時間により隠されるため、全体の検査時間をさらに短縮できる。なお、ターゲットの切り替えは、電子ビーム走査で行われるため高速であり、検査時間には、ほとんど影響しない。メカによる移動時間が数百ｍｓなのに対し、電子ビーム走査にかかる時間は数ｍｓである。

図２６を参照して、検出器の独立移動について説明する。図２６は、第３の実施の形態に係る検出器の独立移動について説明するための図である。まず、Ｘ線検査装置３００は、ターゲット１１ｂ上の焦点位置ｂ１で出力したＸ線を実線で示した位置の受光部２４．１で検出する。次に、Ｘ線検査装置３００は、ターゲットを切り替えて、ターゲット１１ａ上の焦点位置ａ１でＸ線を出力する。Ｘ線検査装置３００は、このＸ線を、受光部２４．２で撮像する。その間に、Ｘ線検査装置３００は、受光部２４．１を点線で示す位置に移動する。受光部２４．２でのＸ線の撮像が終了すれば、Ｘ線検査装置３００は、焦点位置ｂ２でＸ線を出力し、点線位置の受光部２４．１でＸ線を撮像する。

Ｘ線検査装置３００は、一連のＸ線走査の間に、Ｘ方向について２つの位置から画像を撮像できる。したがって、一連のＸ線走査の間に、Ｘ線検査装置３００は、２×（Ｙ方向の撮像位置の数）の方向からの画像を撮像できる。

なお、撮像枚数が足りない場合には、Ｘ線検査装置３００は、すでに説明した実施の形態と同様に、Ｘ方向に検出器２３．１、２３．２および検査対象１を移動することで、撮像枚数を増やすことができる。この移動の様子を、図２７に示す。図２７は、第３の実施の形態におけるＸ線検出器２３．１、Ｘ線検出器２３．２および検査対象１のＸ方向移動について説明するための図である。図２７の内容は、第２の実施の形態で図１８を用いて説明したものと同様であり、その詳細な説明は繰返さない。

（処理の流れ）
図２８は、第３の実施の形態に係るＸ線検査全体の流れをフローチャート形式で示す図である。この処理の流れおよび各処理の内容は、第１の実施の形態で図８を参照して説明したものと、ほぼ同様であるので、その説明は繰返さない。ただし、ステップＳ２８１０のＣＴ撮像の内容が異なる。

第３の実施の形態に係るＣＴ撮像の詳細について、図２９を参照して説明する。図２９は、図２８におけるＣＴ撮像の処理の流れをフローチャート形式で示す図である。図２９において、フローチャートが３つに分岐した部分については、左の行はＸ線源１０の動作、中央の行はＸ線検出器２３．１の動作、右の行はＸ線検出器２３．２の動作を表しており、横方向に並んだ処理は同時におこなわれていることをあらわす。

ＣＴ撮像処理が開始されると（ステップＳ２９００）、演算部７０は、Ｘ線焦点をＸ線検出器２３．１に対応する位置に移動してＸ線を照射し（ステップＳ２９０２）、Ｘ線検出器２３．１で撮像する（ステップＳ２９１２）。並行して、演算部７０は、Ｘ線検出器２３．２を次の撮像位置に移動させるとともに、Ｘ線検出器２３．２による撮像データを、再構成部７６での再構成処理のために、たとえば、メモリ９０に転送する（ステップＳ２９２２）。なお、撮像開始直後、つまり、まだＸ線検出器２３．２の撮像データがない場合は、この処理は不要である。

次に、演算部７０は、Ｘ線焦点をＸ線検出器２３．２に対応する位置に移動してＸ線を照射し（ステップＳ２９０４）、Ｘ線検出器２３．２で撮像する（ステップＳ２９２４）。並行して、演算部７０は、Ｘ線検出器２３．１を次の撮像位置に移動させるとともに、Ｘ線検出器２３．１による撮像データを、再構成部７６での再構成処理のために、メモリ９０に転送する（ステップＳ２９１４）。

続いて、演算部７０は、現在の検査対象１およびＸ線検出器の位置において、規定回数Ｘ線を照射したかどうか判断する（ステップＳ２９３０）。照射回数が規定回数に達していなければ（ステップＳ２９３０においてＮＯ）、演算部７０は、処理をステップＳ２９０２，２９１２，２９２２に復帰する。一方、規定回数に達していれば（ステップＳ２９３０においてＹＥＳ）、演算部７０は、検査対象１（基板）とＸ線検出器とをＸ方向に移動する（ステップＳ２９４０）。なお、演算部７０は、ステップＳ２９３０のかわりに、撮像画像が規定枚数に達したかの判断を行なってもよい。

続いて、演算部７０は、再構成に必要な枚数の画像を撮像したかどうか判断する（ステップＳ２９５０）。必要な枚数撮像している場合（ステップＳ２９５０においてＹＥＳ）、演算部７０は、ＣＴ撮像処理を終了する（ステップＳ２９６０）。必要な枚数撮像していない場合は、演算部７０は、処理をステップＳ２９０２，２９１２，２９２２に復帰する。

［第４の実施の形態］
第４の実施の形態に係るＸ線検査装置４００の構成について図３０を参照して説明する。図３０は、第４の実施の形態に係るＸ線検査装置４００の構成を説明するための図である。

Ｘ線検査装置４００は、Ｘ線検出器２３．１，２３．２の構成を除き、第３の実施の形態と同様の構成を有する。第４の実施の形態では、Ｘ線検出器２３．１（２３．２）は、Ｙ方向に並べて配置された２つのＸ線検出器２３．１ａ、２３．１ｂ（２３．２ａ、２３．２ｂ）を組み合わせたものである。

Ｘ線検査装置４００によれば、第３の実施の形態に係るＸ線検査装置３００の奏する効果に加え、Ｙ方向へのＸ線検出器２３．１，２３．２を削減できる。このことを図３１を参照して説明する。図３１は、第４の実施の形態に係る撮像方式について説明するための図である。

Ｘ線検査装置４００によれば、縦方向に並んだ２つの検査対象領域（視野）を同時に撮像することができる。したがって、Ｙ方向に複数の検査対象領域がある場合、Ｘ線検出器のＹ方向への移動回数を、約半分に削減できる。なお、Ｙ方向に３つ以上Ｘ線検出器を組み合わせてもよい。

一体物の大型の受光部を有するＸ線検出器は、準備することが難しい、あるいは高価であるため、このように複数のＸ線検出器を組み合わせて利用することが、実用的である。

［その他］
上記の各実施の形態を適宜組み合わせたものも、本発明の範囲に含まれることはもちろんである。例えば、第１の実施の形態および第２の実施の形態においても、第４の実施の形態のようにＹ方向についてＸ線検出器を並べてもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 検査対象、２ 回路部品、９ 真空容器、１０ Ｘ線源、１１ ターゲット、１２ 偏向ヨーク、１３ 電子線収束コイル、１４ 高圧電源、１５ 真空ポンプ、１６ 電子ビーム、１７ Ｘ線焦点位置、１８ Ｘ線、１９ 電子銃、２０ 検査対象移動機構、２２ Ｘ線検出器駆動部、２２ａ ロボットアーム、２２ｂ 検出器支持部、２３ Ｘ線検出器、２４ 受光部、２５ａ，２５ｂ レール、３０ 画像取得制御機構、３２ 検出器駆動制御部、３４ 画像データ取得部、４０ 入力部、５０ 出力部、６０ Ｘ線源制御機構、６２ 電子ビーム制御部、７０ 演算部、７２ Ｘ線源制御部、７４ 画像取得制御部、７６ 再構成部、７８ 良否判定部、８０ 検査対象位置制御部、８２ Ｘ線焦点位置計算部、８４ 撮像条件設定部、９０ メモリ、９２ Ｘ線焦点位置情報、９４ 撮像条件情報、９６ プログラム、９８ 画像データ、１００ Ｘ線検査装置、２００ Ｘ線検査装置、３００ Ｘ線検査装置、４００ Ｘ線検査装置。

Claims (11)

1. Ｘ線源が出力し、対象物の検査対象領域を透過したＸ線をＸ線検出部で撮像し、撮像された画像に基づいて、前記検査対象領域の３次元データを再構成するＸ線検査方法であって、
   前記Ｘ線源の固定されたＸ線焦点位置と前記検査対象領域との相対的な位置関係を変更するとともに、前記Ｘ線焦点位置と前記検査対象領域との前記相対的な位置関係により定まる撮像位置に前記Ｘ線検出部を移動させた状態で、前記画像を撮像するステップと、
   前記対象物を移動させて前記撮像するステップを繰返すステップと、
   前記検査対象領域について撮像された複数の画像から前記３次元データを再構成するステップとを備え、
   前記繰返すステップは、
   前記Ｘ線検出部を第１の方向に並んだ複数の前記撮像位置に直線的に移動するステップと、
   前記Ｘ線検出部を前記第１の方向と異なる第２の方向に移動するステップと、
   前記Ｘ線検出部を前記第２の方向へ移動した後、前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に並んだ別の複数の前記撮像位置に直線的に移動するステップとを含む、Ｘ線検査方法。
2. Ｘ線源が出力し、対象物の検査対象領域を透過したＸ線をＸ線検出部で撮像し、撮像された画像に基づいて、前記検査対象領域の３次元データを再構成するＸ線検査方法であって、
   前記Ｘ線源のＸ線焦点位置と前記検査対象領域との相対的な位置関係を変更するとともに、前記Ｘ線焦点位置と前記検査対象領域との前記相対的な位置関係により定まる撮像位置に前記Ｘ線検出部を移動させた状態で、前記画像を撮像するステップと、
   前記Ｘ線焦点位置を複数の前記撮像位置が並んだ第１の方向に走査させて前記撮像するステップを繰返すステップと、
   前記検査対象領域について撮像された複数の画像から前記３次元データを再構成するステップとを備え、
   前記繰返すステップは、
   前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に並んだ複数の前記撮像位置に直線的に移動するステップと、
   前記Ｘ線検出部を前記第１の方向と異なる第２の方向に移動するステップと、
   前記Ｘ線検出部を前記第２の方向へ移動した後、前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に並んだ別の複数の前記撮像位置に直線的に移動するステップと、
   前記第１の方向に沿う１本の直線上で前記Ｘ線焦点位置を走査するステップとを含む、Ｘ線検査方法。
3. 前記検査対象領域は、前記第１の方向と異なる第２の方向について、複数の部分領域に分割されており、
   前記Ｘ線検出部は、前記第２の方向に並んだ複数のＸ線検出器を含み、
   前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に移動するステップにおいて、共通の前記Ｘ線焦点位置から出力し、互いに異なる前記部分領域を透過した前記Ｘ線が、互いに異なる前記Ｘ線検出器に入射するように、各前記Ｘ線検出器を前記第１の方向に直線的に移動させる、請求項２に記載のＸ線検査方法。
4. 前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に移動するステップにおいて、前記複数のＸ線検出器のうちの一部の前記Ｘ線検出器が前記画像を撮像している間に、前記一部のＸ線検出器とは異なる他の一部の前記Ｘ線検出器を前記第１の方向に移動させる、請求項３に記載のＸ線検査方法。
5. 前記Ｘ線源は、前記第１の方向に沿う複数のライン上で前記Ｘ線焦点位置を走査可能な走査型Ｘ線源であり、
   前記Ｘ線検出部は、複数のＸ線検出器を含み、
   前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に移動するステップにおいて、互いに異なる前記ラインから出力し、前記検査対象領域を透過した前記Ｘ線が、互いに異なる前記Ｘ線検出器に入射するように、各前記Ｘ線検出器を前記第１の方向に直線的に移動し、
   前記繰返すステップにおいて、各前記ライン上で前記Ｘ線焦点位置を走査する、請求項２に記載のＸ線検査方法。
6. 前記走査型Ｘ線源は、複数の前記ライン上にそれぞれ配置された複数の反射型のターゲットを含む、請求項５に記載のＸ線検査方法。
7. 前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に移動するステップにおいて、前記複数のＸ線検出器のうちの一部の前記Ｘ線検出器が前記画像を撮像している間に、前記一部のＸ線検出器とは異なる他の一部の前記Ｘ線検出器を前記第１の方向に移動させる、請求項５または６に記載のＸ線検査方法。
8. 前記繰返すステップは、
   前記Ｘ線検出部を前記第１の方向と異なる第２の方向に移動するステップと、
   前記Ｘ線検出部を前記第２の方向へ移動した後、前記Ｘ線検出部を前記第１の方向に並んだ複数の前記撮像位置に直線的に移動するステップとを含む、請求項５〜７のいずれか１項に記載のＸ線検査方法。
9. 前記Ｘ線検出部は、第１の方向に並ぶ複数の受光部を有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載のＸ線検査方法。
10. 対象物の検査対象領域の３次元データを再構成するためのＸ線検査装置であって、
    Ｘ線を出力するＸ線源と、
    前記Ｘ線を撮像する複数のＸ線検出部と、
    前記複数のＸ線検出部を移動する移動機構と、
    前記Ｘ線検査装置の動作を制御する制御部とを備え、
    前記制御部は、
    前記Ｘ線源に、そのＸ線焦点位置と前記検査対象領域との相対的な位置関係を変更させるとともに、前記移動機構に、前記Ｘ線焦点位置と前記検査対象領域との前記相対的な位置関係により定まる撮像位置に前記複数のＸ線検出部を移動させ、前記相対的な位置関係の変更および移動がなされた状態で、前記Ｘ線源および前記複数のＸ線検出部に画像を撮像させ、
    前記Ｘ線焦点位置と前記検査対象領域との前記相対的な位置関係の各々において、前記Ｘ線焦点位置となる点を含む仮想平面と前記Ｘ線焦点位置および前記検査対象領域を結ぶ線分とのなす角度が異なる値をとるように、前記画像の撮像を繰返させ、
    前記検査対象領域について複数の前記角度において撮像された複数の画像から前記３次元データを再構成する、ように構成され、
    前記Ｘ線源は、複数の前記撮像位置が並んだ第１の方向に沿う複数のライン上で前記Ｘ線焦点位置を走査可能な走査型Ｘ線源であり、
    前記複数のＸ線検出部の各々は、互いに異なる前記ラインから出力し、前記検査対象領域を透過した前記Ｘ線が、互いに異なる前記Ｘ線検出部に入射するように配置される、Ｘ線検査装置。
11. 前記走査型Ｘ線源は、前記複数のライン上にそれぞれ配置された複数の反射型のターゲットを含む、請求項１０に記載のＸ線検査装置。

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