TWI394490B

TWI394490B - Ｘ射線檢查裝置及ｘ射線檢查方法

Info

Publication number: TWI394490B
Application number: TW098121501A
Authority: TW
Inventors: Shinji Sugita; Noriyuki Kato; Masayuki Masuda; Tsuyoshi Matsunami; Yasushi Sasaki
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Priority date: 2008-09-10
Filing date: 2009-06-26
Publication date: 2013-04-21
Also published as: EP2325627A4; CN102150036A; JPWO2010029862A1; JP5104956B2; US8254519B2; WO2010029862A1; TW201012303A; EP2325627A1; US20110243299A1

Description

X射線檢查裝置及X射線檢查方法

本發明係有關於X射線檢查方法及X射線檢查裝置。尤其係使用X射線照射來檢查對象物的攝像方法，係有關於可應用於X射線檢查方法、X射線檢查裝置的技術。

近年來，利用次微米的微細加工技術，進行LSI(Large-Scale Integration)的高積體化，而可將以往分成複數個封裝之功能裝入1個LSI。在以往的QFP(Quad Flat Package)或PGA(Pin Grid Array)，因為無法應付將必要之功能裝入1個封裝所引起之接腳數的增加，所以在最近，尤其使用BGA(Ball Grid Array)或CSP(Chip Size Package)封裝的LSI。又，在手機等之需要超小型化者，即使接腳數不需要那麼多，亦使用BGA封裝。

LSI之BGA或CSP封裝具有對超小型化有很大的貢獻，相反地在組裝後從外觀看不到焊接部分等之特徵。因此，在檢查已組裝BGA或CSP封裝之印刷電路板等時，藉由分析對檢查對象品照射X射線所得之透視圖像，而判定品質的好壞。

例如，在專利文獻1，揭示一種X射線斷層面檢查裝置，其由於為了檢測透過X射線而使用X射線檢測器，結果可得到鮮明的X射線圖像。

又，在專利文獻2，揭示一種方法，其用以任意地選擇X射線的照射角度而進行在傾斜三維X射線CT(Computed Tomography)之圖像的再構成。

在專利文獻3(特開2003-329616號)揭示一種攝像方法，其如第21圖所示，在X射線的攝像時，視野(檢查對象)將旋轉。在此所揭示的方法，雖然在攝像中X射線源和檢測器都不必移動，但是為了改變攝像角度，每拍攝1張必須使檢查對象轉動。

又，專利文獻4(特開2006-162335號)揭示一種X射線檢查裝置，其如第22圖所示，根據以並行X射線檢查裝置所取得之X射線圖像而實施二維檢查，再根據以傾斜X射線檢測手段所取得之X射線圖像而進行三維檢查，藉此，可高速地進行雙方的檢查。在此，作為再構成的手法，例舉「過濾修正逆投影法」。此專利文獻4所揭示之X射線攝像方法是「藉複數個檢測器和焦點固定式X射線源之攝像方法」，使用為了拍攝垂直方向之已透過像而設置的檢測器、及用以取得一面在圓軌道移動一面改變角度之透過像的複數個檢測器。在此，因為X射線源是固定焦點，所以藉由使基板移動並拍攝，而對1個視野從複數個角度進行拍攝。

又，專利文獻5(特表2004-515762號)揭示一種X射線攝像方法，如第23圖所示，其係藉掃描式X射線源和被固定位置之1個X射線檢測器的方法。

又，專利文獻6(特開平6-177600號)揭示一種X射線攝像方法，如第24圖所示，其中包含具備有可移動之複數個X射線源和個數和X射線源相同的X射線檢測器的裝置。

[X射線CT之圖像再構成方法]

如上述所示，X射線CT，係在透過對象物後，根據以X射線檢測器所檢測之觀測值，至少再構成對象物之截面圖像。此外，因為可得到對象物或對象物的一部分之三維X射線之吸收率的分布，所以可再構成對象物或對象物的一部分之任意的截面圖像，即有關和X射線檢測器之感光面相交的面之圖像。作為這種再構成手法，已知「解析性手法」和「反復性手法」。以下，簡單地整理這種圖像再構成手法。

(X射線之投影資料的說明)

第25圖係用以說明圖像再構成手法的圖。X射線圖像再構成一種求得X射線吸收係數的分布之手法，是藉由從複數個角度量測從檢查對象物之外部所照射的X射線被檢查對象物吸收(衰減)了多少，藉以求得檢查對象物內部之X射線吸收係數的分布之手法。

此外，以下對於使用所謂的掃描式X射線源作為X射線源進行量測者進行說明。

參照第25圖，從對應於X射線檢測器Da的X射線焦點Fa所發射的X射線透過檢查對象(未圖示)而到達X射線檢測器Da之像素Pa。由於X射線透過檢查對象，X射線量(X射線強度)僅衰減相當於構成檢查對象之元件等之各自所具有之固有的X射線吸收係數的量。將X射線強度的衰減量作為檢測器像素Pa的像素值來記錄。

將從X射線焦點Fa所發射之X射線強度設為I、將從X射線焦點Fa至檢測器像素Pa為止之X射線所通過的路徑設為t、將在檢查對象之X射線吸收係數分布設為f(x,y,z)時，則到達檢測器像素Pa之X射線的強度Ia表示為以下的第(1)式。

將此式之兩邊取對數時，沿著路徑t之X射線吸收係數分布如以下的第(2)式所示，由線積分值表示。將利用X射線檢測器量測此X射線吸收係數分布的值稱為投影資料。即，X射線檢測器檢測X射線衰減量分布(亦可置換為X射線強度分布)。

(解析性手法(例如FBP法：Filtered Back-Projection)：過濾修正逆投影法)的說明)

如第25圖所示，在使用解析性手法時，對1個檢查對象物(或者檢查對象物的1個部分)，由被配置於和X射線檢測器Da之配置相異的位置之X射線檢測器Db檢測從焦點Fb所發射並到達的X射線強度Ib。實際上對1個檢查對象(或檢查對象物的1個部分)，就複數個配置而檢測這種投影資料，藉此從這些投影資料再構成檢查對象物的截面圖像。

第26圖係從上面看第25圖所示之在檢查對象物的視野FOV、視野FOV中之再構成的計算對象之再構成像素V、X射線焦點Fa、Fb以及X射線檢測器Da、Db之配置的圖。已透過再構成像素V之X射線在成像於X射線檢測器Da、Db上時，成為因應於(從焦點至再構成像素V之距離)對(從焦點至X射線檢測器之距離)的比而被放大的像。

Feldkamp們提議用於以此第(2)式為根據而進行三維圖像再構成之再構成法則。此法則(所謂的Feldkamp法)如非專利文獻1所示，因為是周知的技術，所以在此未詳細說明。在以下，簡單說明是一般性手法之一的過濾修正逆投影法。

將從投影資料，沿著X射線所通過的路徑t將投影資料相加而求得X射線吸收係數分布f(x,y,z)的操作稱為逆投影。但是，因為單純地將投影資料相加時，將因攝像系統的點擴散函數而產生散景，所以將投影資料進行過濾。此過濾器使用例如Shepp-Logan過濾器等的高頻加強過濾器。雖然施加過濾之方向是對X射線之已透過路徑的方向垂直之方向較佳，但是在Feldkamp法能以將投影資料之已透過路徑的方向近似成全部相同之方式進行過濾，並再構成可檢查的圖像。

以下，表示在本實施形態之圖像再構成的步驟。首先，將已將X射線檢測器Da之檢測器像素Pa的投影資料pa過濾的值pa’和再構成像素V的像素值v相加。又，將已將X射線檢測器Db之檢測器像素Pb的投影資料pb過濾的值pb’和再構成像素V的像素值v相加。於是，v=pa’+pb’。藉由對全部的X射線檢測器或一部分的X射線檢測器進行此逆投影操作，而根據以下的第(3)式表示最後之再構成像素V的像素值v。

v =Σ(pa' +pb' +…)…(3)

藉由對再構成區域(視野)FOV內之全部的再構成像素V進行此操作，而求得檢查對象的X射線吸收係數分布，並得到再構成圖像資料。

第27圖係表示這種過濾修正逆投影法之處理步驟的流程圖。

參照第27圖，當解析性手法之處理開始時(S5002)，首先，從複數個所拍攝之投影資料中選擇成為處理對象的投影資料(S5004)。接著，進行對所選擇之投影資料施加過濾的處理(S5006)。

又，選擇再構成視野FOV中之未處理的再構成像素V(S5008)，再求對應於再構成像素V的檢測器像素(S5010)。

接著，將已過濾的像素值和再構成像素V相加(S5012)，再判斷是否已對全部的再構成像素相加(S5014)。若對全部之再構成像素的處理未結束，回到步驟S5008，而若結束，則處理移至S5016。

在S5016，判斷是否已對全部的投影資料進行處理。若對全部的投影資料未結束，處理回到S5004。另一方面，若對全部的投影資料結束，結束再構成圖像的產生(S5018)。

(反復性手法(SART)的說明)

在反復性手法，是將檢查對象之X射線吸收係數分布f(x,y,z)和投影資料ln(I/Ia)當作方程式並再構成的手法。

第28圖係表示在使用掃描式X射線源之情況的反復手法之處理的概念之示意圖。另一方面，第29圖係從上面看第28圖之示意圖的上視圖。

以下，參照第28圖及第29圖，說明以反復性手法進行再構成的步驟。以以下的第(4)式及第(5)式表達將再構成圖像的像素值排成一列之向量v(為了表示向量而在頭部附加→：以下在文件本文中記為「v」)、和將投影資料排成一列之向量p(為了表示向量而在頭部附加→：以下在文件本文中記為「p」)。

在以下，例如，在將再構成像素V的值假設為某值時，將關於被計算為來自X射線焦點Fa的X射線成像於X射線檢測器Da上之圖像的像素設為中間投影像素Qa，將實際上在X射線檢測器Da所觀測的像素稱為檢測器像素Pa。關於X射線檢測器Db，亦各自稱為中間投影像素Qb、檢測器像素Pb。

在反復性手法，對所假設之再構成像素向量v和與其對應之中間投影像資料向量q，如以下的說明所示，關於中間投影像資料向量q，至可將實際所量測檢測器像素Pa或Pb當作和投影資料一致為止，利用更新所假設之向量v的反復計算而求解v。

其中，J是再構成區域(視野)內的像素數，I是投影資料的像素數。又，T表示轉置。以以下的第(6)式之I×J係數矩陣表示將v和p賦與關係的投影計算。

W ={w _ij }…(6)

此時，在反復性手法的圖像再構成，可當作解以下的第(7)式線性方程式而求v的問題而定型化。

即，將vj對pi之貢獻設為wij。此外，W表示再構成像素的像素值v對投影資料之像素值p的貢獻程度，可從X射線焦點和X射線檢測器之幾何學上的位置求得，亦稱為檢測概率或加權。

在反復性手法，雖然提議以代數解方程式的手法或考慮統計性雜訊之手法等，但是以下說明是一般所使用之代數性手法的SART(Simultaneous Algebraic Reconstruction Technique)。其細節記載於非專利文獻2。

SART最初假設以以下的第(8)式表示之起始再構成圖像v0(為了表示向量而在頭部附加→：以下在文件本文中記為「v0」)。

起始再構成圖像v0亦可是全部為0的資料，亦可假設從CAD(Computer Aided Design)資料等所取得之資料。

接著，使用投影計算W，產生以以下的第(9)式表示的中間投影像資料q0(為了表示向量而在頭部附加→：以下在文件本文中記為「q0」)。

中間投影像資料q0的產生，亦可對1個投影資料進行，亦可對複數個投影資料進行。以下以對1個投影資料進行來說明。

比較所產生之中間投影像資料q0和從X射線檢測器所取得之投影資料p。雖然比較方法有取差的方法和除的方法，但是SART係取差(p-q0)。

更新起始再構成圖像v0。更新所使用之數學式(反復式)如第(10)式所示。

此外，藉由預先計算第(10)式中之以下的第(11)式及第(12)式，而可縮短更新的計算時間。

將藉上述之計算所產生之再構成圖像作為起始圖像並代入，藉由反復進行同一處理複數次，而得到再構成圖像資料。

第30圖係用以說明反復手法之處理的流程圖。

參照第30圖，首先，在根據反復性手法的處理開始時(S5102)，接著設定起始再構成圖像(S5104)。如上述所示，作為起始再構成圖像，例如亦可全部是0的值。接著，從對應於複數個X射線檢測器位置之複數個投影資料中選擇成為處理對象之投影資料(S5106)。

產生中間投影資料。中間投影資料的產生方法是如上述所示(S5108)。

又，選擇再構成視野FOV中之未處理的再構成像素V(S5110)。

求對應於再構成像素的檢測器像素(S5112)。

根據反復式，更新再構成像素V的值(S5114)。

接著，判斷是否已對全部之再構成像素進行更新(S5116)，若對全部之再構成像素的處理未結束，則處理回到步驟S5110，若結束，則處理移至步驟S5118。

在步驟S5118，判斷是否已對全部之投影資料進行處理。若對全部之投影資料的處理未結束，則處理回到步驟S5106。另一方面，若對全部之投影資料的處理已結束，則處理移至步驟S5120。

在步驟S5120，判斷是否已進行規定之反復次數的處理，若未反復，則處理回到步驟S5104，將現在之再構成像素值用作起始再構成圖像，並重複處理，若處理已反復規定次數，則結束再構成圖像的產生(S5022)。

如以上所示，從由X射線檢測器所取得之投影資料，可再構成檢查對象物之三維圖像。

[專利文獻1]特開2000-46760號

[專利文獻2]特開2003-344316號

[專利文獻3]特開2003-329616號

[專利文獻4]特開2006-162335號

[專利文獻5]特表2004-515762號

[專利文獻6]特開平6-177600號

[非專利文獻1]L.A.Feldkamp,L.C.Davis and J.W.Kress,“Practical cone-beam algorithm”,Journal of the Optical Sosiety oFameica.A,612-619(1984)

[非專利文獻2]A.H.Anderson and A.C.Kak,“SIMULTANEOUS ALGEBRAIC RECONSTRUCTION TECHNIQUE(SART)：A SUPERIOR IMPLEMENTATION OF THE ART ALGORITHM”,ULTRASONIC IMAGING 6,81-94(1984)

在如上述所示之以往的X射線檢查裝置，具有以下所示的問題。

首先，在第21圖所示之專利文獻3所揭示的方法，雖然在攝像中X射線源及X射線檢測器都不必移動，但是為了改變攝像角度，每拍攝1張必須使檢查對象轉動，1)因為視野為圓形，以再構成圖像一次可檢查的區域窄。2)為了拍攝相異的視野，必須使工作台移動以使檢查對象視野移至旋轉中心。

又，在第22圖所示之專利文獻4所揭示的方法，雖然檢測器為複數個並可移動，但是1)因為4個檢測器同時移動，所以有檢測器和X射線源的非運轉時間。2)檢測器共5個(除了移動之4個以外，在垂直透過像取得專用需要1個)。3)因為在1次之檢測動作中各個檢測器所拍攝之視野不是同一位置，所以再構成之時序將延遲(使基板不移動時不會從複數個角度拍攝1個視野)。4)因為檢測器在圓軌道移動，所以移動費時。而且，因為X射線焦點是1個，所以處理對象不移動時，無法以複數個檢測器拍攝同一視野。又，為了變更攝像角度，因為該傾斜檢測器同時移動，所以在此移動時間中無法拍攝。

又，在第23圖所示之專利文獻5所揭示的方法，雖然連續取得複數個區域的X射線透過像，但是因為X射線檢測器的位置是固定，所以為了實施CT攝像，需要以工作台使檢查對象物移動。在此移動時間中無法拍攝透過像。

又，在第24圖所示之專利文獻6所揭示的方法，雖然具有不必為了將1個視野進行CT攝像，而進行X射線源/X射線檢測器/檢查對象物之機構移動的優點，但是為了移動檢查對象的視野，必須使放上檢查對象物的工作台移動，所以在檢查複數個視野時，在該移動時間中無法拍攝。

可是，在工廠之線上檢查，因為需要進行產品之全部檢查，從製造效率的觀點，需要縮短X射線檢查所需的時間。

在關於以往之X射線檢查的X射線攝像技術，為了變更檢查區域，需要移動攝像系統或檢查對象工件，而可動部分增加。這不僅有上述之X射線檢查需要時間的問題，而且和用以製造驅動部分的費用、或維修性、可靠性亦有關。例如，在檢查如上述所示之印刷電路板時，檢查對象的部分被放置於工作台之印刷電路板的一部分的情況多。而且，在這種情況，為了將所得之X射線像變成放大像，雖然將X射線檢測器驅動至比較遠離檢查對象的位置，但是因為成為檢查對象的部分是微小部分，所以需要極高精度地控制攝像系統的驅動。因而，關於攝像系統的驅動，必須以儘量少的自由度進行所需之圖像的攝像。

本發明是為了解決如上述所示的問題而開發者，其目的在於提供可選擇性地高速檢查檢查對象物之既定的檢查區域之X射線檢查裝置及利用這種X射線攝像方法的X射線檢查方法。

本發明之其他的目的在於提供減少可動部分、費用低、維修性或可靠性優異之X射線檢查裝置及利用這種X射線攝像方法的X射線檢查方法。

本發明之其他的目的在於進一步提供可在不使檢查對象物移動的情況下高速地對檢查對象物之複數個部分進行檢查的X射線檢查裝置及利用此X射線檢查方法之X射線檢查方法

根據本發明之一種形態，是一種X射線檢查裝置，其藉由於複數個檢測面拍攝從因對象物之檢查對象區域而異之方向透過的X射線，而執行檢查對象區域之像的再構成處理，該裝置具備有：複數個X射線檢測器，係用以於複數個檢測面作拍攝，且個數比檢測面的個數少；檢測器驅動手段，係使複數個X射線檢測器中之一部分和其他的一部分獨立地移動；X射線輸出手段，係在X射線檢測器移至作為1個檢測面之攝像位置後，且在該X射線檢測器移至作為其他的檢測面之攝像位置之前，對複數個檢查對象區域執行個別檢測面之X射線輸出動作，其依序改變X射線之放射的起點位置，使得已透過各檢查對象區域的X射線射入位於該攝像位置的X射線檢測器，並輸出X射線，而且，使該複數個X射線檢測器向作為複數個檢測面之複數個攝像位置移動，而對各檢測面執行個別檢測面的X射線輸出動作；以及控制手段，係控制該X射線檢查裝置的動作；控制手段包含有：圖像取得控制手段，係控制各X射線檢測器的曝光時序和檢測器驅動手段；X射線輸出控制手段，係用以控制該X射線輸出手段；以及圖像再構成處理手段，係根據於複數個該檢測面所拍攝之已透過各檢查對象區域之X射線的強度分布資料，而再構成複數個檢查對象區域的像資料；圖像取得控制手段及該X射線輸出控制手段並行地執行以下的處理：使複數個X射線檢測器中之該一部分在該複數個攝像位置中之第1位置作拍攝的處理；及使複數個X射線檢測器中之該其他的一部分移至複數個攝像位置中之和第1位置相異之第2位置的處理。

該圖像再構成處理手段和藉該圖像取得控制手段及該 X射線輸出控制手段之該X射線檢測器的移動處理及該X射線檢測器的曝光處理並行地執行用於該再構成的處理較佳。

最好該檢測器驅動手段包含有單軸驅動手段，其使該複數個X射線檢測器沿著既定之一軸方向獨立地移動。

最好該複數個X射線檢測器的該檢測面各自是矩形形狀；該檢測器驅動手段包含有自轉手段，其使該複數個X射線檢測器進行自轉，使得該複數個X射線檢測器之該檢測面的一端在各該攝像位置和朝向該X射線輸出手段之方向相交。

最好圖像再構成處理手段藉反復性手法而再構成該檢查對象區域的圖像資料。

最好圖像再構成處理手段藉解析性手法而再構成該檢查對象區域的圖像資料。

若根據本發明之其他的形態，提供一種X射線檢查裝置，其藉由於複數個檢測面拍攝已透過對象物之檢查對象區域的X射線，而執行檢查對象區域之像的再構成處理，該裝置具備有：複數個X射線檢測器，係用以於該複數個檢測面作拍攝，且個數比檢測面的個數少；檢測器驅動手段，係使複數個X射線檢測器中之一部分和其他的一部分獨立地移動；X射線輸出手段，係對應使已透過檢查對象區域的X射線射入各自移至作為檢測面之複數個攝像位置的複數個X射線檢測器地輸出X射線；以及控制手段，係控制該X射線檢查裝置的動作。控制手段包含有：圖像取得控制手段，係控制各X射線檢測器的曝光時序和檢測器驅動手段；X射線輸出控制手段，係用以控制X射線輸出手段；以及圖像再構成處理手段，係根據於複數個檢測面所拍攝之已透過檢查對象區域之X射線的強度分布資料，而再構成檢查對象區域的像資料。圖像取得控制手段及X射線輸出控制手段並行地執行以下的處理：使複數個X射線檢測器中之一部分在複數個攝像位置中之第1位置作拍攝的處理；及使複數個X射線檢測器中之其他的一部分移至複數個攝像位置中之和第1位置相異之第2位置的處理。

最好圖像取得控制手段及X射線輸出控制手段為了對1個該對象物的檢查對象區域，分成複數次進行在對圖像資料之再構成所預設之個數的攝像位置的攝像，而對複數個X射線檢測器中之一部分，執行使在第1位置作拍攝的處理、及在該攝像後使向和第1位置相異之下一個第1位置移動的處理；以及對複數個X射線檢測器中之其他的一部分，和使一部分在第1位置作拍攝的處理並行地執行使向和第1位置、下一個第1位置以及前面之第2位置的任1個都相異之對應於下次之攝像的第2位置移動的處理、及和使一部分向下一個第1位置移動之處理並行地執行使在第2位置作拍攝的處理。

最好X射線輸出控制手段包含有起點設定手段，其對複數個檢測面，設定各個X射線之放射的起點位置成X射線透過檢查對象區域並射入各檢測面。X射線輸出手段使X射線源的X射線焦點位置移至各起點位置，並產生X射線。

最好X射線輸出手段藉由使照射於是X射線源之連續面的標靶面上的電子束偏向，而使X射線源焦點位置移動。

最好檢測器驅動手段包含有單軸驅動手段，其使複數個X射線檢測器沿著既定之一軸方向獨立地移動。

最好複數個檢測面是矩形且形狀相同，彼此對應之邊是平行。

若根據本發明之其他的形態，是一種X射線檢查方法，其藉由於各自對應於複數個檢測面之X射線檢測器接收已透過對象物之複數個檢查對象區域的X射線，而執行該檢查對象區域之像的再構成處理，該方法具備有：移動步驟，係使該複數個X射線檢測器獨立地移至對應之複數個攝像位置；X射線輸出步驟，係以使已透過該檢查對象區域的X射線射入移至該攝像位置之該X射線檢測器的方式輸出X射線；並行執行步驟，係並行地執行使該複數個X射線檢測器中的1個停在該複數個攝像位置中的第1位置，並以該X射線透過的方式掃描該焦點而使該複數個檢查對象區域曝光的處理、及使和曝光中之該X射線檢測器相異之其他的X射線檢測器移至該複數個攝像位置中之第2位置的處理；以及再構成步驟，係根據於複數個該檢測面所檢測之已透過該檢查對象區域之X射線的強度分布資料，而再構成該檢查對象區域的像資料。

最好並行執行該像資料的再構成步驟和該移動步驟及該並行執行步驟。

最好在該使獨立地移動的步驟，使該複數個X射線檢測器沿著既定之一軸方向獨立地移動。

最好該複數個X射線檢測器的該檢測面各自是矩形形狀；該X射線檢測器在移動時，使該複數個X射線檢測器進行自轉，使得該複數個X射線檢測器之該檢測面的一端在各該攝像位置和朝向該X射線輸出手段之方向相交。

最好再構成該像資料的步驟藉反復性手法而再構成該檢查對象區域的圖像資料。

最好再構成該像資料的步驟藉解析性手法而再構成該檢查對象區域的圖像資料。

若根據本發明之其他的形態，提供一種X射線檢查方法，其藉由於各自對應於複數個檢測面之X射線檢測器拍攝已透過對象物之檢查對象區域的X射線，而執行檢查對象區域之像的再構成處理。此X射線檢查方法具備有：移動步驟，係使各X射線檢測器獨立地移至作為對應之檢測面的攝像位置；X射線輸出步驟，係以使已透過檢查對象區域的X射線射入各自移至複數個攝像位置之複數個X射線檢測器的方式輸出X射線；並行執行步驟，係並行地執行使複數個X射線檢測器中的一部分在複數個攝像位置中的第1位置作拍攝的處理、及使和一部分相異之其他的一部分移至複數個攝像位置中之和第1位置相異的第2位置的處理；以及再構成步驟，係根據於複數個檢測面所拍攝之已透過檢查對象區域之X射線的強度分布資料，而再構成檢查對象區域的像資料。

最好並行執行步驟為了對1個對象物的檢查對象區域，分成複數次進行在對圖像資料之再構成所預設之個數的攝像位置的攝像，而包含有執行如下之處理的步驟：對複數個X射線檢測器中之一部分，執行使在第1位置作拍攝的處理、及在該攝影後使向和第1位置相異之下一個第1位置移動的處理；以及對複數個X射線檢測器中之其他的一部分，和使一部分在第1位置作拍攝的處理並行地執行使向和第1位置、下一個第1位置以及前面之第2位置的任1個都相異之第2位置移動的處理、及和使一部分向下一個第1位置移動的處理並行地執行使在第2位置作拍攝的處理。

最好X射線輸出步驟包含有藉由使照射於是X射線源之連續面的標靶面上的電子束偏向，而使X射線源焦點位置移動的步驟。

若依據本發明之X射線檢查方法及X射線檢查裝置，可選擇性地高速檢查檢查對象物之既定的檢查區域。

或者，若依據本發明之X射線檢查方法及X射線檢查裝置，可減少可動部分，並以低費用執行在維修性或可靠性優異之X射線檢查。

或者，若依據本發明之X射線檢查方法及X射線檢查裝置，可高速檢查檢查對象物之複數個部分。

以下，一面參照圖式，一面說明本發明之實施形態。在以下的說明，對同一元件附加同一符號。那些元件之名稱及功能亦相同。因此，對那些元件不重複說明。

[第1實施形態] (1.本發明之構成)

第1圖係本發明之X射線檢查裝置100的示意方塊圖。

參照第1圖，說明本發明之X射線檢查裝置100。其中，關於在以下所記載之構成、尺寸、形狀以及其他的相對配置等，只要無特定的記載，未將本發明之範圍限定為僅那些記載。

X射線檢查裝置100具備有：掃描式X射線源10，係將中心軸作為軸21並輸出X射線；及X射線檢測器驅動部22，係安裝複數個X射線檢測器23.1~23.N，並如後面之說明所示，用以將各X射線檢測器23.1~23.N驅動至所指定的位置。又，將檢查對象20配置於掃描式X射線源10和X射線檢測器23.1~23.N之間。此外，X射線檢查裝置100具備有：圖像取得控制機構30，係用以對藉X射線檢測器驅動部22之各X射線檢測器23.1~23.N的驅動或來自X射線檢測器23.1~23.N之圖像資料的取得進行控制；輸入部40，係用以受理來自使用者之指示輸入；以及輸出部50，係用以向外部輸出量測結果。又，X射線檢查裝置100還具備有掃描X射線源控制機構60、計算部70以及記憶體90。在這種構成，計算部70執行記憶體90所儲存之未圖示的程式而控制各部，又，實施既定之計算處理。

掃描式X射線源10由掃描X射線源控制機構60控制，並對檢查對象20照射X射線。

第2圖係表示掃描式X射線源10之構成的剖面圖。

在一般的工業用X射線透視裝置，在檢查對象是微小的情況，希望得到被儘量放大的X射線透視像。因而，作為X射線之產生區域的焦點之大小必須極小。因此，使用焦點尺寸為數μm之屬於透過式X射線源的微焦點X射線源。第2圖的掃描式X射線源10是可掃描焦點位置之微焦點X射線源。

參照第2圖，在掃描式X射線源10，從由電子束控制部62所控制的電子槍19，對鎢等的標靶11照射電子束16。然後，從電子束16碰撞標靶的位置(X射線焦點位置17)產生並放射(輸出)X射線18。此外，電子束系統被收容於真空容器9內。真空容器9的內部利用真空泵15保持真空，從電子槍19發射藉高壓電源14所加速的電子束16。

在掃描式X射線源10，電子束16利用電子束聚焦線圈13聚焦後，利用偏向軛12使電子束16偏向，藉以可任意地變更電子束16碰撞標靶11的位置。例如，由偏向軛12所偏向之電子束16a碰撞標靶11，而從X射線焦點位置17a輸出X射線18a。又，一樣地，由偏向軛12所偏向的之電子束16b碰撞標靶11，而從X射線焦點位置17b輸出X射線18b。此外，在未特別告知的情況，在本發明，掃描式X射線源10是透過式。又，如後面的說明所示，為了在從因應於檢查對象物的檢查對象部分所設定之應成為X射線之放射起點的位置(以下稱為「X射線之放射的起點位置」)產生X射線時，可提高該位置之設定的自由度，不是環形，而是連續面的標靶較佳。又，在以下的說明，在記載時未特別區別位置的情況，在總稱上，只是表示X射線焦點位置17。

此外，要使X射線焦點位置移至上述之X射線之放射的各起點位置，例如，亦可每次使X射線源本身的位置機械式地移動。其中，若是第2圖所示之構成，在使X射線焦點位置移至X射線之放射的起點位置時，若是固定之範圍內，不必使X射線源機械式地移動，而可實現在維修性或可靠性優異之X射線檢查裝置。

換言之，若特定在攝像所使用之X射線檢測器23.i(i是1~N中之已特定的1個)的空間位置和檢查對象20之檢查對象部的空間位置，「X射線之放射的起點位置」意指可特定的空間位置，X射線焦點位置意指實際上輸出X射線之標靶上的位置。因此，使X射線焦點位置位於「X射線之放射的起點位置」的是藉掃描式X射線源之電子束的掃描。

回到第1圖，掃描X射線源控制機構60包含有控制電子束的輸出的電子束控制部62。電子束控制部62從計算部70接受X射線能量(管電壓、管電流)的指定。X射線能量根據檢查對象之構成而異。

檢查對象20配置於掃描式X射線源10和X射線檢測器23(以下總稱「X射線檢測器23.1~23.N」時，稱為「X射線檢測器23」)之間。在移動檢查對象20之位置時，亦可作成以X-Y-Z工作台移至任意的位置，亦可作成如皮帶輸送帶般藉由在一方向移動而配置於檢查的位置。此外，在檢查對象如印刷組裝基板般小的情況，雖然亦可如上述所示採用將掃描式X射線源10和X射線檢測器23固定而使檢查對象移動者，但是亦可在如玻璃基板等檢查對象為大面積，而難使檢查對象側任意地移動的情況，在掃描式X射線源10和X射線檢測器23之相對位置依然固定下，使掃描式X射線源10及X射線檢測器23移動。

X射線檢測器23是檢測從掃描式X射線源10輸出並透過檢查對象20的X射線，再進行圖像化的二維X射線檢測器。例如是 CCD(Charge Coupled Device)相機、I.I.(Image Intensifier)管等。在本發明，因為將複數個X射線檢測器配置於X射線檢測器驅動部22，所以空間效率佳的FPD(Flat Panel Detector)較佳。又，為了可在線上檢查使用而成高靈敏度較佳，是使用CdTe之直接轉換方式的FPD特別佳。

關於X射線檢測器驅動部22之構成的細節將後述。

圖像取得控制機構30包含有：檢測器驅動控制部32，係控制X射線檢測器驅動部22，以使X射線檢測器23移至由計算部70所指定之位置；及圖像資料取得部34，係用以取得由計算部70所指定之X射線檢測器23的圖像資料。此外，作為從計算部70取得圖像資料者，而同時所指定之X射線檢測器，如後面之說明所示，根據攝像的狀況而可能有1個和複數個的情況。

由X射線檢測器驅動部22所驅動之X射線檢測器23的位置可藉位置感測器(未圖示)而得知，並可經由檢測器驅動控制部32而取入計算部70。

又，X射線檢測器驅動部22為了調整放大率而可上下地昇降較佳。在此情況，可藉感測器(未圖示)而得知X射線檢測器驅動部22之上下方向的位置，並可經由檢測器驅動控制部32而取入計算部70。

輸入部40是用以受理使用者之輸入的操作輸入機器。

輸出部50是用以顯示由計算部70所構成之X射線圖像等的顯示器。

即，使用者可經由輸入部40而執行各種的輸入，並將藉計算部70之處理所得之各種的計算結果顯示於輸出部50。輸出部50所顯示之圖像亦可為了使用者以目視判定好壞而輸出，或者亦可作為後面所說明之好壞判定部78的好壞判定結果而輸出。

計算部70包含有掃描X射線源控制部72、圖像取得控制部74、3D圖像再構成部76、好壞判定部78、檢查對象位置控制部80、X射線焦點位置計算部82以及攝像條件設定部84。

掃描X射線源控制部72決定X射線焦點位置、X射線能量，並向掃描X射線源控制機構60傳送指令。

圖像取得控制部74在由X射線檢測器驅動部22驅動至指定位置之X射線檢測器23之中決定取得圖像的X射線檢測器23，並向圖像取得控制機構30傳送指令。又，從圖像取得控制機構30取得圖像資料。

3D圖像再構成部76從圖像取得控制部74所取得之複數個圖像資料再構成三維資料。

好壞判定部78根據藉3D圖像再構成部76所再構成之三維圖像資料或透視資料而判定檢查對象的好壞。例如，識別焊劑球之形狀，藉由判定該形狀是否是所預定之容許範圍內等而進行好壞判定。此外，從因檢查對象而異之攝像條件資訊94取得進行好壞判定之法則或者對法則的輸入資訊。

檢查對象位置控制部80控制使檢查對象20移動之機構(未圖示)，例如工作台。

X射線焦點位置計算部82在檢查有檢查對象20的檢查區域時，計算對該檢查區域的X射線焦點位置或照射角等。此外，細節將後述。

攝像條件設定部84因應於檢查對象20而設定從掃描式X射線源10輸出X射線時的條件。例如，對X射線源之施加電壓、攝像時間等。

記憶體90除了儲存由X射線焦點位置計算部82所計算之X射線焦點位置的X射線焦點位置92、及儲存由攝像條件設定部84所設定之攝像條件、或進行好壞判定之法則的資訊等之攝像條件資訊94以外，還包含有用以實現上述之計算部70所執行之各功能的程式。此外，記憶體90只要可儲存資料即可，由RAM(Random Access Memory)或EEPROM(Electrically Erasable and Programmable Read-Only Memory)或HDD(Hard Disc Drive)等記憶裝置所構成。

(X射線檢測器驅動部22之構成1：檢測器用以獨立移動之構成)

在X射線檢查裝置100，是(X射線檢測器)<<(再構成所需之攝像張數)。這是由於從FPD所需之費用的觀點，同時設置所需之攝像張數份量的檢測器不切實際。因此，在進行超過X射線檢測器個數之攝像的時刻，需要使(X射線檢測器)/(X射線源)/(放置檢查對象的工作台)機械式地移動，在這種機械式的移動中無法進行攝像處理。

如以下之說明所示，第1實施形態的X射線檢查裝置100可減少對系統整體之高速化無益的空閒時間。

(機械式移動之攝像處理時間之損失的問題點)

在以下，作為說明第1實施形態之X射線檢查裝置100的構成及動作的前提，預先說明在可設想為其他的X射線檢查裝置之構成，可實現攝像系統或檢查對象之機械式移動之移動機構部分之構成的概略和其問題點。

X射線斷層攝像所需的時間是i)攝像之構成要素((X射線檢測器)/(X射線源)/(放置檢查對象的工作台))之機械式移動時間、ii)X射線透過像之攝像時間(感測器的曝光時間)、以及iii)圖像再構成、檢查時間。

其中，藉由掃描式X射線源之高亮度化或X射線檢測器的高靈敏度化，而亦可縮短ii)X射線透過像之攝像時間，藉由資訊處理裝置之高性能化，而亦可縮短iii)圖像再構成、檢查時間。

另一方面，i)藉由X射線檢查裝置100之構成及動作，而可縮短構成要素之機械式移動時間。

因而，如以下之說明所示，在X射線檢查裝置100，其特徵為：1)X射線檢測器為2個以上，可使其獨立地移動；2)X射線源使用在標靶上可自由地改變焦點之位置的掃描式X射線源。

藉由採用這種構成，不僅在(拍攝1張X射線透過像所需的時間)≒(機械式移動的時間)的情況，而且在(機械式移動的時間)>>(1張之攝像(感測器曝光)時間)的情況，亦可縮短檢查所需的時間。

此外，在縮短這種檢查所需之時間的情況，作為必須考慮的點，亦有「視野」的問題。即，實際的檢查，不僅1個視野，需要將複數個視野進行CT攝像並檢查。例如，在檢查對象為40×40mm之QFP的情況，需要分割成4個視野再拍攝(1個視野為20×20mm)。

第3圖係用以在模式上說明使用掃描式X射線源來拍攝這種複數個視野之情況的方法之一的圖。

如第3圖所示，在對1個視野位置進行複數個方向之攝像後，拍攝下1個視野之構成，需要每隔一次的曝光期間使感測器移動，而在處理產生攝像所需之構成元件的機械式移動時間份量之損失。

一般，為了使用二維X射線檢測器將檢查對象物中之寬的感興趣區域進行斷層攝像(CT攝像：Computer Tomography)，將對象區域分割成複數個後拍攝，再對所分割之各部分進行圖像再構成。將此已分割之感興趣區域中之部分的每1個稱為「視野」。將「CT攝像」定義為「再構成圖像檢查所需之從相異角度的複數張X射線透過圖像攝像」。

第4圖係表示這種CT攝像所需之移動機構的例子的示意圖。在第4圖，將X射線檢測器在X-Y面內機械式平行移動，而且在θ方向旋轉，同時亦將視野(檢查對象的檢查部分)在X-Y面內平行移動，藉此，得到再構成所需之複數張攝像張數。

如以下之詳細說明所示，在第4圖的情況，為了得到複數個攝像資料，產生攝像系統或檢查對象之機械式移動，因為在此移動中無法進行攝像，所以此移動時間妨礙系統的高速化。

第5圖係表示將第4圖之移動機構用於再構成圖像檢查之檢查整體的流程圖。

參照第5圖，首先，開始處理時(S100)，將檢查對象之檢查部分(視野)移至可拍攝之位置(S102)。即，為了拍攝透視圖像，將放置檢查對象之工作台和X射線檢測器移至既定的位置。

然後，拍攝透視圖像(S104)，檢查透視圖像，再從所取得之透視圖像進行檢查對象之視野(以透視圖像拍攝之範圍)的好壞判定(S106)。

接著，判斷是否需要藉再構成圖像之檢查(S108)。

在不需要藉再構成圖像之檢查的情況，結束檢查(S118)。

另一方面，在需要藉再構成圖像之檢查的情況，接著，對1個視野進行CT攝像(S110)。在CT攝像，從複數個方向拍攝檢查對象內之視野(再構成區域或和上述之透視圖像攝像範圍一樣的區域)。

其次，從複數個方向的攝像圖像產生再構成圖像(S112)。接著，根據再構成圖像進行好壞判定(S114)。

此外，判斷全視野之檢查是否已結束(S116)。在未結束的情況，處理回到步驟S102。另一方面，若對全視野檢查已結束，結束本檢查(S118)。

第6圖係根據在第5圖所說明之流程圖之檢查整體的時序流程圖。

在以下的說明，將檢查對象分割成M個(例如4個)視野，作為CT攝像，拍攝N張。記號之定義如以下所示。

此時，設拍攝檢查對象整體的時間為Ti、設拍攝1個視野的時間為Tv、設機械式移動(工作台、X射線檢測器等的移動)所需的時間為Tm、設攝像(X射線檢測器的曝光)時間為Ts。

如第6圖所示，因為檢查對象整體的CT攝像時間Ti是拍攝M個視野和(M-1)次之機械式移動時間Tm的總和，所以能以以下的第(13)式表示。

Ti=MTv+(M-1)Tm...(13)

第7圖係表示在第5圖所說明之1個視野之CT攝像的處理的流程圖。

參照第7圖，1個視野之CT攝像開始時(S200)，首先，將攝像系統及/或檢查對象移至關於現在之視野的攝像位置(S202)。可從CAD資料等的設計資訊自動地算出攝像位置。因為檢查對象放在工作台，可和工作台之移動或旋轉同時移動視野。

接著，拍攝檢查對象的視野部分(S204)。檢查對象的攝像資料是藉由從X射線源照射X射線，將X射線檢測器進行曝光而得到。曝光時間是可根據檢查對象的尺寸或X射線圖像所產生之X射線的強度而預先決定。

接著，向計算部傳輸以X射線檢測器所拍攝之圖像資料(S206)。即，為了再構成攝像圖像資料，而向進行再構成處理的計算部傳輸。

又，接著，判斷是否已拍攝規定張數(S208)。規定張數亦可在檢查前根據CAD資料等的設計資訊而決定，亦可由作業員以目視判斷。在達到規定張數的情況，結束CT攝像(S210)，並進行圖像再構成處理(第6圖的S112)。另一方面，在未達到規定張數的情況，處理回到步驟S202，為了從下一攝像位置拍攝視野，再移動攝像系統及/或檢查對象。

第8圖係在第7圖所說明之4視野之CT攝像的處理，在複數個方向(在此，設為8個方向)進行攝像之處理的時序圖。

在此，例如在第4圖所示之構成，安裝於1個圓旋轉機構之X射線檢測器有S個(在第4圖為1個)，其利用檢測器旋轉機構一體地旋轉。其中，在一次的攝像，對每1個X射線檢測器拍攝。

此時，如第8圖所示，因為X射線檢測器之1個視野的CT攝像時間Tv是N次之攝像時間Ts(在第8圖中以S1、S2、...、SN表示，在此，N=8)和所需之機械式移動時間的總和，例如，以以下的第(14)式表示。

在檢測器為1個的情況：Tv=8Ts+7Tm...(14)

此外，此時，和機械式移動同時進行攝像圖像之資料傳輸。

因此，對4個視野份量進行上述的處理時，總時間變成如下式所示。

Ti=32Ts+31Tm

在第4圖所示之攝像的構成，為了對複數個視野進行CT攝像，需要使放上檢查對象物的工作台機械式地移動。因為在使對應於視野而拍攝之構成元件機械式地移動之間無法進行透過像攝像，所以在這種方法，(用以使視野移動的時間)，即(機械式移動時間)妨礙系統整體的高速化。

(X射線檢查裝置100的攝像處理順序)

為了排除使用第3圖~第8圖所示所說明之高速化的障礙，在X射線檢查裝置100，使用掃描式X射線源10和複數個可獨立移動的X射線檢測器23，並採用一種攝像順序，其使用1個檢測器連續拍攝複數個視野，在該攝像期間其他的檢測器機械式地移動。

第9圖係用以說明這種X射線檢查裝置100之攝像處理順序之概念的圖。

即，在X射線檢查裝置100之攝像處理順序，在拍攝和1個感測器位置相關之複數個視野份量後，拍攝和下1個感測器位置相關之複數個視野份量。

若採用這種順序，因為只要在拍攝複數個視野之間完成檢測器的移動即可，所以可減輕對移動機構的負擔。又，亦可減少1個檢查對象所需之總移動次數。

這是根據以下的理由。

i)在為了仔細地拍攝檢查對象物之寬區域而將對象區域分割成複數個視野的情況，在不會花費移動視野所需之機械式移動時間下，拍攝複數個視野的X射線透過像。

ii)在為了實施CT攝像而需要X射線檢測器之機械式移動的情況，滅少無法進行攝像處理之機械式移動時間。

這種順序縮短攝像(曝光)所需的時間及再構成的計算處理所需的時間，在(攝像所需之構成元件之機械式移動的時間)>>(1張之攝像(感測器曝光)時間)的情況有效。

(第1實施形態之X射線檢查裝置100的構成及動作)

以下，詳細說明第1實施形態之X射線檢查裝置100的構成及動作。

在第1實施形態之X射線檢查裝置100，有以下之構成之特徵。

1)以設置至少2個以上的X射線檢測器23，而且可獨立移動的方式構成X射線檢測器驅動部22.

2)作為X射線源，使用在標靶上可自由地改變焦點位置之掃描式X射線源10。

3)解析法、反復法都可被使用作為圖像再構成的法則。

第10圖係用以說明第1實施形態之X射線檢查裝置100之構成的圖。此外，對和第1圖相同的部分附加相同的符號，而且以抽出和X射線焦點位置之控制、X射線檢測器位置之控制、檢查對象位置之控制等有直接相關的部分中需要說明的部分方式記載。

參照第10圖，X射線檢測器驅動部22為能分別以XYθ之自由度驅動X射線檢測器23.1及23.2的XYθ動作機構，其中使用掃描式X射線源作為X射線源10。

在第10圖所示之構成，為了移動檢查對象的位置，而設置可固定該檢查對象並以二維移動之檢查對象位置驅動機構(例如X-Y工作台)、和檢查對象位置控制部80。

又，在第10圖，雖然使用2個可獨立移動的X射線檢測器，但是亦可設置2個以上的X射線檢測器。

X射線檢測器23.1和X射線檢測器23.2可獨立地進行X-Y-θ動作。此外，如後面之說明所示，根據X射線檢測器23的驅動方法，亦可未必要設置θ旋轉機構。又，X射線檢測器23.1和X射線檢測器23.2為藉X射線檢測器驅動部22的致動器而在Z方向亦可改變位置之構成，藉由變更Z方向之位置，而可調整透過像的放大率。

X射線檢測器驅動部22具備有正交型式之2軸機械臂22.1、及具有轉軸的檢測器支持部22.2，藉以進行X射線檢測器23之移動、轉動。其中，其是可實現這種X-Y方向之移動或在X-Y平面內之θ旋轉的構成，但是只要係對X射線檢測器23的移動具有相同之功能者，亦可使用其他的機構。

又，檢查對象的視野利用由計算部70內之檢查對象位置控制部80所控制的檢查對象位置驅動機構，可和該X射線檢測器23.1或23.2獨立地進行X-Y動作。此外，如上述所示，掃描式X射線源10之掃描式X射線源可使X射線焦點位置17向X射線標靶上之任意的位置高速地移動。

計算部70向檢測器驅動控制部32、圖像資料取得部(X射線檢測器控制器)34以及掃描X射線源控制機構60傳送命令，以執行如後面之說明所示之檢查處理所需之流程圖所示的程式。又，根據來自輸入部40的輸入而控制檢查裝置的動作，並可自輸出部50輸出各部之狀態或檢查結果。

檢查對象位置控制機構具備有致動器和固定檢查對象的機構，並根據來自檢查對象位置控制部80的命令而使檢查對象移動。

X射線檢測器驅動部22具備有正交型式之2軸機械臂22.1、及具有轉軸的檢測器支持部22.2，並透過檢測器驅動控制部32，根據來自計算部70的命令而使X射線檢測器23移至所指定之位置。又，檢測器驅動控制部32向計算部70傳送在該時刻之X射線檢測器23的位置資訊。

計算部70在由透過檢測器驅動控制部32之命令所指示的時序，進行X射線透視圖像的取得和攝像資料的傳輸。

X射線源10根據透過掃描X射線源控制機構60之來自計算部70的命令，藉電子槍19產生電子束，再藉電子束聚焦線圈13及偏向軛12使電子束聚焦於標靶上之指定位置，並使X射線焦點17高速地移動。因此，可電性地改變位置之掃描式X射線源10的焦點之移動時間相對於X射線檢測器23或檢查對象位置驅動機構之移動速度、攝像時間，係短至可忽略的程度。

第11圖係用以說明藉第10圖所示之X射線檢查裝置100的構成，對4個視野連續進行X射線透過像攝像之情況的示意圖。

即，第11圖表示一構成，係將檢查對象中之檢查區域分割成4個視野FL1~FL4，並使用X射線檢測器23.1、23.2拍攝各個視野之放大圖像。此外，在此雖然以視野的個數為4個來進行說明，但是視野的個數只要是2個以上，不管幾個都可。

從斜方向使X射線透過視野FL1，並將視野FL1投影於X射線檢測器23.1之大部分的X射線焦點位置當作焦點FP1a。換言之，以焦點FP1a為起點所產生之X射線通過視野1而被投影至X射線檢測器23.1，並由X射線檢測器23.1檢測其強度的二維分布。一樣地，將用以在X射線檢測器23.1的大部分拍攝視野FL2~FL4的X射線焦點當作焦貼FP2a~FP4a，並將用以在X射線檢測器23.2的大部分拍攝視野FL1~FL4的X射線焦點各自當作焦點FP1b~FP4b。

首先，掃描式X射線源10從焦點FP1a照射X射線， X射線檢測器23.1取得視野FL1之來自斜方向的透過像(得到X射線強度分布)。接著，掃描式X射線源10從焦點FP2a照射X射線，而X射線檢測器23.1取得視野FL2之來自斜方向的透過像。在此過程所拍攝之視野FL1、2的X射線透過像為以大致相同的角度拍攝，並藉由適當地進行圖像處理，而可一樣地用於檢查所需的圖像再構成。這對根據焦點FP3a、FP4a的攝像亦相同。

此外，檢查對象移動機構在預先設定在檢查時使檢查對象移動的目的位置的情況，可預先根據這種焦點位置和X射線檢測器的位置關係，而以表格預先保持拍攝時之X射線對X射線檢測器的入射角等，再根據此表進行再構成所需的計算。

接著，掃描式X射線源10從焦點FP1b對檢查對象照射X射線，X射線檢測器23.2取得視野FL1之來自斜方向的透過像。因為此時之照射角度是和在上述之X射線檢測器23.1的拍攝大為相異的角度，所以可有效地用作用以再構成視野FL1之檢查圖像的異角度圖像。此對焦點FP2b~FP4b亦相同。

第12圖係從X射線檢查裝置100的上部側看第11圖所示之X射線檢測器及檢查對象之配置的圖。

在第12圖，是表示設想從等角度拍攝8張X射線透過像的動作例。此外，為了1個視野的再構成而拍攝之X射線透過像亦可是8張以上或8張以下。又，雖然在圖上將拍攝之視野的順序設為視野FL1→FL2→FL3→FL4，但是即使拍攝的順序與此相異，或是在途中改變順序都可。又，X射線檢測器23所移動之位置的順序亦可和所圖示之順序(A1→A2→A3→A4、B1→B2→B3→B4)相異。其中，在一面拍攝一面根據反復法進行圖像再構成的情況，因為如圖所示藉由將連續取得的圖像之位置作為視野之中心點圖像的檢測器位置(A1→B1)，所以可根據以更相異角度所拍攝之圖像資訊進行再構成的處理，所以可得到有效地有助於計算之收歛的圖像。

拍攝之順序的概要如以下所示。

首先，X射線檢測器23.1和X射線檢測器23.2可獨立地動作之範圍係分開的。而且，將X射線檢測器之位置A1及B1各自作為X射線檢測器23.1及23.2的起始位置。又，將位置A1~A4、位置B1~B4各自作為取得圖像再構成所需之已透過像之X射線檢測器23.1及23.2的位置。

在第12圖所示的例子，X射線檢測器23.1及23.2以攝像系統之原點為中心移動固定距離。結果，在從上看攝像系統的情況，各自具有半圓的軌跡。

又，第12圖中之由「檢測器23.1之位置A2的焦點軌跡」的圓所包圈的4個點，是在檢測器23.1靜止於位置A2的期間之X射線標靶上的X射線焦點位置，如第11圖之說明所示，各自是以X射線檢測器23.1拍攝視野FL1~FL4的位置。此外，關於「檢測器23.2之位置B1的焦點軌跡」亦相同。

X射線檢測器23.1及X射線檢測器23.2分別一面從位置A1向位置A4移動及從位置B1向位置B4移動，一面在各個位置靜止並拍攝。又，X射線檢測器23.1及23.2一方面在拍攝的時間同時，另一方面向下一拍攝位置移動的方式進行動作。

因為在第12圖所示的動作例X射線檢測器23不會自轉，所以適合用於反復性再構成手法或tomosynthesis等之再構成手法。這是由於反復性再構成手法或tomosynthesis可和X射線檢測器之方向無關地進行再構成。在此動作的情況，因為不必使X射線檢測器23進行自轉，所以可簡化X射線檢測器移動機構，使機械機構高速化，並提高維修性。

另一方面，為了達成適合使用由Feldkamp們所發明之方法所代表的解析性再構成手法的檢測器動作，只要隨著位置移動進行使檢測器總是對檢查對象朝向同一方的的自轉即可。

第13圖係表示將第10圖之移動機構用於再構成圖像檢查之檢查整體的流程圖。

即，開始檢查時(S300)，X射線檢查裝置100使X射線檢測器23和檢查對象移至起始位置(S302)，再拍攝透視圖像(S304)。從X射線源10照射X射線，而將X射線檢測器23的任一方進行曝光。雖未特別限定，在拍攝這種透視圖像時，使X射線檢測器23.1移至檢查對象之視野的正上。然後，從掃描式X射線源10所照射之X射線通過檢查對象的視野內，並射入X射線檢測器23.1。因X射線的透過路徑，而X射線之被吸收量相異，所以從X射線檢測器23.1可得到圖像資料。

從所取得之透視圖像判定檢查對象之視野(以透視圖像所拍攝之範圍)的好壞(S306)。提議各種好壞判定手法，因為係周知，在此不記述細節。例如，根據固定的值將透視圖像進行二值化，並和CAD資料等的設計資訊比較，再根據面積而判斷在透視圖像上是否有元件。

接著，X射線檢查裝置100的好壞判定部78判斷是否需要根據再構成圖像的檢查(S308)。判斷的基準可根據CAD資料等的設計資訊而預先設定，亦可從透視圖像之好壞判定結果來判斷。例如，在組裝基板的檢查，僅在單面組裝元件的情況，因為可根據透視圖像而進行好壞判定，所以亦有不必根據再構成圖像的好壞判定的情況。

在步驟S308，判斷是需要根據再構成圖像之好壞判定的情況，接著，X射線檢查裝置100在依然固定檢查對象之位置下，每次移動X射線檢測器23.1及23.2的位置一面對M個視野進行CT攝像，一面並行地進行圖像再構成處理(S310)。

在此，X射線檢查裝置100在M個視野的CT攝像，從複數個方向拍攝檢查對象內的視野(再構成區域或和上述之透視圖像拍攝範圍相同的區域)。與其並行地，X射線檢查裝置100進行用以從複數個方向的攝像圖像產生再構成圖像的處理。再構成處理亦可使用解析法，亦可使用反復法。這些方法如在第27圖或第30圖的說明所示，可在既定之張數全部的攝像圖像完全到齊之前，根據至該時刻為止所拍攝之圖像，逐次實施再構成處理的一部分。

此外，X射線檢查裝置100之藉攝像所取得之透過圖像各自不是等間隔、等角度。

接著，X射線檢查裝置100進行根據再構成圖像的好壞判定(S314)。好壞判定的方法有直接使用三維資料的方法，或使用二維資料(斷層圖像)、一維資料(輪廓)等的方法。因為這些好壞判定手法係周知，所以只要使用適合檢查項目的好壞判定手法即可。說明好壞判定的一例，首先，好壞判定部78根據固定的值二值化成三維再構成圖像。從CAD資料等的設計資訊在再構成圖像內特定有元件的位置。從二值化圖像計算和有元件的位置相鄰之像素的體積，而可判斷元件的有無。

接著，X射線檢查裝置100的計算部70判斷是否已對全部的視野完成檢查(S316)。判斷的方去只要在檢查前預先決定應檢查的視野數，並每次檢查視野時計數已檢查的視野數即可。判斷的結果，若已檢查全部的視野，則結束檢查(S318)。除了M視野以外，對其他的視野亦需要檢查，只要對全部的視野未完成檢查，就使處理移至步驟S302，X射線檢查裝置100進行下一視野的檢查。

在X射線檢查裝置100的攝像順序，對第2個以後的視野，縮短視野之移動時間。因為和對1個視野之最後攝像的開始同時預先使另一方的X射線檢測器移至下一視野的攝像位置。此時，檢查對象移動機構例如為了不必使工作台移動而藉由僅變更X射線焦點位置而應付。即，如在動作例所示，根據視野，而拍攝成所拍攝之角度相異。其中，雖然進行這種不是等間隔之攝像時有再構成圖像變差的可能性，但是藉由使用反復法而可減輕惡化。

此外，在第13圖中，雖然根據透視圖像和再構成圖像雙方進行檢查，但是亦可不進行根據透視圖像的檢查，而僅進行根據再構成圖像的檢查。一般，因為再構成處理比較費時，所以在根據再構成圖像的檢查之前，可藉由根據透視圖像進行好壞判定而縮短整體的檢查時間。

第14圖係用以更詳細說明第13圖所示之步驟S310之處理的流程圖。

第15圖係用以說明藉X射線檢測器23的移動和來自X射線源10之X射線照射而拍攝之X射線檢測器23的位置與成為攝像對象之視野的關係的時序流程圖。在第15圖，在橫方向分開地表示X射線源10和X射線檢測器23.1以及X射線檢測器23.2的動作。又，流程圖之橫方向當作在時間上一致地動作者。

X射線檢測器23.1及X射線檢測器23.2各自在不重複的時序連續拍攝M個視野。攝像資料的傳輸可和拍攝或位置的移動同時地進行。

在此，在第15圖，將攝像時間、檢測器的移動所花的時間各自設為Ts、Tm。所取得之圖像之往計算部70的傳輸可和圖像的取得、或X射線檢測器23之位置移動同時實施。

例如，假設圖像之再構成所需之已透過像的攝像張數為8張，使用X射線檢查裝置100的攝像方式時，在第15圖的動作例用以得到再構成所需之8張圖像所花的時間，在4Ts≧Tm的情況為32Ts，而在4Ts<Tm的情況為8Ts+6Tm，在任一種情況，和習知法之(32Ts+31Tm)相比，都大幅度縮短從8方向拍攝4視野所需的時間。

參照第14圖及第15圖，首先，攝像處理開始時(S400)，X射線檢查裝置100使來自X射線源10的X射線透過M個視野FL1~FLM，並依序投影於X射線檢測器23.1(S402.1~S402.M)，X射線檢測器23.1(例如位置A1)對M個各視野連續拍攝M張(S410)。

另一方面，X射線檢查裝置100在以X射線檢測器23.1拍攝來自X射線源10的X射線中，X射線檢測器23.2移至下一攝像位置(例如位置B1)(S420)。

接著，從X射線焦點位置FP1b產生X射線，使M個視野FL1~FLM透過，並依序投影於X射線檢測器23.2(S404.1~S404.M)，X射線檢測器23.2(例如位置B1)對M個各視野連續拍攝M張(S422)。在X射線檢測器23.2拍攝中，X射線檢測器23.1移至預先所決定之下一攝像位置(例如位置A2)(S412)。

在X射線檢測器23.2(例如位置B1)的攝像和X射線檢測器23.1的移動結束時，計算部70判斷是否已完成規定張數的攝像(S440)，若攝像已結束，則結束處理(S422)，而處理回到步驟S314。

另一方面，在規定張數的攝像未結束的情況，X射線檢查裝置100馬上使X射線焦點位置移至和X射線檢測器23.1之下一攝像對應的位置，X射線檢測器23.1(例如位置A2)對M個各視野連續拍攝M張(S410)。在此攝像中，X射線檢測器23.2移至預先所決定之下一攝像位置(例如位置B2)(S422)。

此外，和這種在X射線檢測器23的攝像和X射線檢測器23的移動並行地進行M個視野之圖像再構成的處理(S430)。關於此處理，將在後面說明。

藉由重複這種處理，而可減少X射線檢測器之移動時間所伴隨之X射線源的暫停時間，並得到圖像再構成所需的攝像張數。

在此，在第14圖的流程圖，雖然說明和對M個視野的拍攝並行地進行圖像再構成處理，但是圖像再構成亦可採用在規定張數之攝像結束後一起進行之構成。

又，第16圖係用以說明在第14圖所示的流程圖，CT攝像和圖像再構成處理之時間經過的時序圖。

即，第16圖說明第14圖中的步驟S430之「將M個視野進行圖像再構成」之處理的圖像再構成步驟。

在第16圖，符號「FL1-A1」意指「在檢測器位置A1拍攝視野FL1之透過圖像」。關於除此以外之視野編號FLm(m=1、...、M)、檢測器記號(Ai、Bi：i=1、2、...、n)亦一樣。又，在第16圖，作為一例，雖然表示透過圖像使用來自2(=檢測器數)×n方向之透過圖像的例子，但是檢測器的個數是2個以上或是以下都可。

藉在第14圖之步驟S410、S422的攝像步驟所得之視野FL1~視野FLM的X射線透過圖像，如在第16圖附記為CT攝像之虛線的框內所示，按照在取得和檢測器位置A1對應之M張透過圖像後，取得和檢測器位置B1對應之M張透過圖像的順序，對全部的檢測器位置以攝像處理取得透過圖像。

為了將某1個視野進行圖像再構成，需要將從對應於該視野之複數個角度的透過像以圖像再構成法則依序進行處理。因而，如第16圖所示，藉由並行地實施對應於各個視野的圖像處理，而得到各視野的再構成圖像。

即，在解析法，如第27圖所示，因為本質上是進行將已過濾處理之像素值依序累加的處理，即使規定之總張數份量的攝像未結束，亦可局部地進行再構成處理。又，在反復法，亦因為是對起始投影圖像依序逐次更新，所以此計算亦可局部地每次得到透過圖像就逐次處理。

當然，雖然這種圖像再構成處理亦可在對某視野之規定張數的透過圖像全部到齊後實施，但是如第16圖所示，一取得一張透過圖像，就作為對再構成法則的輸入，並在其他的視野之透過圖像攝像中實施再構成處理，藉此，可有效地利用檢查時間。

此時，將所得之透過圖像的X射線焦點、視野、檢測器各自的三維位置資訊和透過圖像賦與對應，並向再構成法則輸入。此位置資訊雖然亦可將根據預先所決定的圖型而決定者預先保持並輸入，但是在拍攝時檢測X射線焦點、視野、檢測器的位置，再將和預先所決定之位置的偏差作為修正量輸入，藉此可得到更高畫質之再構成圖像。關於各個之位置檢測方法，因為是周知，所以在此不記述細節。

[第1實施形態的變形例]

第17圖係說明第1實施形態之變形例的X射線檢查裝置102之構成的圖。X射線檢查裝置102使用直線移動式的X射線檢測器和作為X射線源10的掃描式X射線源。第1實施形態的X射線檢查裝置100和第1實施形態之變形例的X射線檢查裝置102之構成及動作的相異點基本上是在X射線檢查裝置102設置3個X射線檢測器23及所伴隨之動作的變更。

即，在X射線檢查裝置102，3個X射線檢測器23.1、23.2以及23.3是各自可獨立地進行Y移動及θ轉動。在第17圖，表示X射線檢測器支持部22.3可自轉，而且，在軌道上可在Y方向移動之X射線檢測器驅動部22的動作機構。其中，只要係具有一樣之功能者，即使是第17圖所示以外的機構亦無問題。又，X射線檢測器23的自轉機構是因應於再構成的方法，不是必需。

是X射線源10的掃描式X射線源可使X射線焦點位置向X射線標靶上之任意的位置高速地移動。

此外，對和第1圖、第10圖相同的部分附加相同的符號。又，在第17圖，亦抽出並記載和X射線焦點位置的控制、X射線檢測器位置之控制、檢查對象位置的控制等有直接相關之部分中需要說明的部分。

在第17圖，雖然使用3個可獨立地移動的X射線檢測器，但是作為X射線檢測器的個數，只要是2個以上即可。此外，在X射線檢測器的個數為奇數的情況，因為具有以下所說明的優點，所以設置3個以上之奇數個的X射線檢測器更佳。即，藉由設置奇數個的X射線檢測器，而可藉在正中央之軌道上移動的X射線檢測器從正上拍攝檢查對象。這例如在根據第13圖所說明之流程圖動作的情況，適合拍攝步驟S304的透視圖像。其中，在將檢測器的個數和移動機構的個數抑制為最少上，從費用的觀點，3個較佳。

在第17圖所示之構成，X射線檢測器驅動部22具備有在軌道上可在Y方向移動X射線檢測器並對自轉軸可自轉的檢測器支持部22.3，進行X射線檢測器23的移動、自轉。

又，和第10圖所示之構成一樣，檢查對象的視野利用由計算部70內之檢查對象位置控制部80所控制之檢查對象位置驅動機構(檢查對象所搭乘之X-Y工作台等)，可和該X射線檢測器23.1、23.2以及23.3獨立地進行X-Y動作。此外，如上述所示，X射線源10之掃描式X射線源可使X射線焦點位置17向X射線標靶上之任意的位置高速地移動。

X射線檢測器驅動部22透過檢測器驅動控制部32，根據來自計算部70的命令而使X射線檢測器23移至所指定之位置。又，檢測器驅動控制部32向計算部70傳送在該時刻之X射線檢測器23的位置資訊。

X射線源10根據透過掃描X射線源控制機構60之來自計算部70的命令，藉電子束聚焦線圈13及偏向軛12使電子束聚焦於標靶上之指定位置，並使X射線焦點17高速地移動。

第18圖係在第17圖所示之X射線檢查裝置102之構成，以上視圖表示X射線檢測器23和掃描式X射線源之移動軌跡的圖。

第18圖所示的動作例是從上看第17圖之構成者，是關於X射線檢測器23的攝像位置，設想在將X射線檢測器23.1固定於位置A1、將X射線檢測器23.2固定於位置B1、將X射線檢測器23.3固定於位置C1之狀態，掃描X射線焦點位置，並對4個視野的各視野從相異之角度拍攝各3張而共3×4=12張之X射線透視圖像的動作例。

在第18圖，如上述所示，X射線檢測器23.1、23.2以及23.3各自具有可在軌道上直線地移動之機構。此外，X射線檢測器23.1、23.2以及23.3因應於需要，而各自具有能以X射線檢測器之中心為中心進行自轉之轉動機構。

在第18圖，位置A1~A3、位置B1~B2、位置C1~C3各自是取得圖像再構成所需之透視圖像的X射線檢測器23.1、23.2以及23.3的位置。位置所附加之1~3的編號意指拍攝的順序，X射線檢測器23.1最初在位置A1拍攝，最後在位置A3拍攝。X射線檢測器23.2最初在位置B1拍攝，最後在位置B2拍攝。X射線檢測器23.3最初在位置C1拍攝，最後在位置C3拍攝。

第18圖的第1動作例適合根據反復法進行再構成處理。其中，為了使用由Feldkamp的方法所代表之解析性手法，使X射線檢測器23自轉，並控制成在各攝像位置X射線之照射方向和X射線檢測器23的方向變成一致較佳。即，雖然一般在解析性手法，對投影資料進行過濾處理，但是過濾方向是對X射線之已透過路徑的方向垂直的方向較佳。因而，這是為了使用解析性手法，而使X射線檢測器對X射線的透過路徑垂直，即使X射線檢測器朝向視野拍攝較佳的緣故。

第19圖係用以更詳細說明第13圖所示之步驟S310的處理之第1實施形態之變形例的動作的流程圖。

參照第19圖，首先，攝像處理開始時(S500)，X射線檢查裝置102使來自X射線源10的X射線透過M個視野FL1~FLM，並依序投影於X射線檢測器23.1(S502.1~S502.M)，X射線檢測器23.1(例如位置A1)對M個各視野連續拍攝M張(S510)。

另一方面，X射線檢查裝置102在X射線檢測器23.1拍攝來自X射線源10的X射線中，X射線檢測器23.2及X射線檢測器23.3移至下一攝像位置(例如位置B1、C1)(S520、S530)。

接著，從對應於X射線檢測器23.2之X射線焦點位置產生X射線，使M個視野FL1~FLM透過，並依序投影於X射線檢測器23.2(S504.1~S504.M)，X射線檢測器23.2(例如位置B1)對M個各視野連續拍攝M張(S522)。在X射線檢測器23.2拍攝中，X射線檢測器23.1及X射線檢測器23.3移至預先所決定之下一攝像位置(例如位置A2、C1)(S512、S530)。

在X射線檢測器23.2(例如位置B1)的攝像及X射線檢測器23.1與X射線檢測器23.3的移動結束時，接著，從對應於X射線檢測器23.3之X射線焦點位置產生X射線，使M個視野FL1~FLM透過，並依序投影於X射線檢測器23.3(S506.1~S506.M)，X射線檢測器23.3(例如位置C1)對M個各視野連續拍攝M張(S532)。

在X射線檢測器23.3(例如位置C1)的攝像及X射線檢測器23.1與X射線檢測器23.3的移動結束時，計算部70判斷是否已完成規定張數的攝像(S550)，若攝像已結束，則結束處理(S560)，而處理回到步驟S314。

另一方面，在規定張數的處理未結束的情況，X射線檢查裝置102馬上使X射線焦點位置移至和X射線檢測器23.1之下一攝像對應的位置，以X射線檢測器23.1(例如位置A2)對M個各視野連續拍攝M張(S510)。

如以上所示，X射線檢測器23.1、23.2以及23.3在其他的X射線檢測器23移動中進行攝像。

此外，和這種X射線檢測器23的攝像及X射線檢測器23的移動並行地進行M個視野之圖像再構成的處理(S540)。

此外，在第19圖的流程圖，雖然說明和對M個視野的拍攝並行地進行圖像再構成處理，但是圖像再構成亦可採用在規定張數之攝像結束後一起進行之構成。

又，第20圖係在第19圖所示的流程圖，用以說明CT攝像和圖像再構成處理之時間經過的時序圖。

即，第20圖說明第19圖中之步驟S540之「將M個視野進行圖像再構成」處理所需的圖像再構成步驟。

在第20圖，符號「FL1-A1」意指「在檢測器位置A1拍攝視野FL1之透過圖像」。關於除此以外之視野編號FLm(m=1、...、M)、檢測器記號(Ai、Bi：i=1、2、...、n)亦一樣。又，在第20圖，作為一例，表示透過圖像使用來自3(=檢測器數)×n方向之透過圖像的例子。

因為以後之處理內容的說明本質上係和在第16圖所說明者一樣，不重複其說明。

在第1實施形態及第1實施形態的變形例，在縮短攝像時間時，使大且重的X射線源不移動，而使可比較高速地移動之X射線檢測器和檢查對象移動。

又，在X射線檢查裝置停止之狀態，可一面以極短時間進行在X射線源之焦點位置的掃描，一面拍攝複數個視野。

此外，藉由作成使各構成元件之移動為直線之簡單的機械性機構，因為不僅X射線檢測器移至既定位置為止的距離變短，而且移動速度變大，所以縮短機械性移動時間，可實現高速的檢查。

應認為這次所揭示之實施形態在所有的點是舉例表示，不是限制性的。本發明之範圍不是上述的說明，而由申請專利範圍所表示，意指包含和申請專利範圍均等的意義及範圍內之所有的變更。

10‧‧‧掃描式X射線源

11‧‧‧標靶

12‧‧‧偏向軛

13‧‧‧電子束聚焦線圈

14‧‧‧高壓電源

15‧‧‧真空泵

19‧‧‧電子槍

16‧‧‧電子束

17‧‧‧X射線焦點位置

18‧‧‧X射線

20‧‧‧檢查對象

22‧‧‧X射線檢測器驅動部

23‧‧‧X射線檢測器

30‧‧‧圖像取得控制機構

32‧‧‧檢測器驅動控制部

34‧‧‧圖像資料取得部

40‧‧‧輸入部

50．．．輸出部

60．．．掃描X射線源控制機構

62．．．電子束控制部

70．．．計算部

72．．．掃描X射線源控制部

74．．．圖像取得控制部

76．．．3D圖像再構成部

78．．．好壞判定部

80．．．工作台控制部

82．．．X射線焦點位置計算部

84．．．攝像條件設定部

90．．．記憶體

92．．．X射線焦點位置資訊

94．．．攝像條件資訊

100．．．X射線檢查裝置

第1圖係本發明之X射線檢查裝置100的示意方塊圖。

第2圖係表示掃描式X射線源10之構成的剖面圖。

第3圖係用以在模式上說明使用掃描式X射線源來拍攝複數個視野之情況的方法之一的圖。

第4圖係表示CT攝像所需之移動機構的例子的示意圖。

第9圖係用以說明X射線檢查裝置100之攝像處理順序之概念的圖。

第10圖係用以說明第1實施形態之X射線檢查裝置100之構成的圖。

第15圖係用以說明X射線檢測器23之位置與成為攝像對象之視野的關係的時序流程圖。

第16圖係用以說明CT攝像和圖像再構成處理之時間經過的時序圖。

第17圖係說明第1實施形態之變形例的X射線檢查裝置102之構成的圖。

第18圖係在X射線檢查裝置102之構成，以上視圖表示X射線檢測器23和掃描式X射線源之移動軌跡的圖。

第20圖係在第19圖所示的流程圖，用以說明CT攝像和圖像再構成處理之時間經過的時序圖。

第21圖係在X射線的攝像，表示視野(檢查對象)旋轉之攝像方法的圖。

第22圖係表示藉由根據以傾斜X射線檢測手段所取得之X射線圖像進行三維檢查而可高速地進行檢查之X射線檢查裝置的圖。

第23圖係作為X射線攝像方法，表示藉掃描式X射線源和已固定位置之1個X射線檢測器之方法的圖。

第24圖係作為X射線攝像方法，表示具備有可移動之複數個X射線源及個數和X射線源相同之X射線檢測器的裝置的圖。

第25圖係用以說明圖像再構成手法的圖。

第26圖係從上面看視野FOV中之再構成的計算對象之再構成像素V、X射線焦點Fa、Fb以及X射線檢測器Da、Db之配置的圖。

第27圖係表示過濾修正逆投影法之處理步驟的流程圖。

第28圖係表示在使用掃描式X射線源之情況的反復手法之處理的概念之示意圖。

第29圖係從上面看第28圖之示意圖的上視圖。

第30圖係用以說明反復手法之處理的流程圖。

10．．．掃描式X射線源

20．．．檢查對象

21．．．軸

22．．．X射線檢測器驅動部

23．．．X射線檢測器

30．．．圖像取得控制機構

32．．．檢測器驅動控制部

34．．．圖像資料取得部

40．．．輸入部