JP2006220424A - X線ct検査装置及びx線ct検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子基板に搭載される被検体を透過した透過X線像を用いて被検体の断層画像を生成するX線CT検査装置であって、被検体にX線を照射する手段126と、前記被検体を透過したX線を計測する手段125と、X線計測手段125により計測したX線データを用いて被検体の断層画像の画像再構成を行う手段152と、電子基板上の被検体の表面形状データ(高さ位置)を計測する手段121と、電子基板内の異なる2領域以上の表面形状データから、断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段153と、を備え、決定した基板近似平面を基準に、画像再構成手段152により画像化する領域を決定する。
【選択図】図1
Description
前記電子基板内の異なる2領域以上の表面形状データから、前記断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段と、を備え、前記決定した基板近似平面を基準に、前記画像再構成手段により画像化する領域を決定することを特徴としたものである。
但し、H(x、y)は、任意座標(x、y)における表面形状データ
Ia(x、y)は、任意座標(x、y)におけるPSDの出力信号値1
Ib(x、y)は、任意座標(x、y)におけるPSDの出力信号値2
B(x、y)=Ia(x、y)+Ib(x、y)・・・(式2)
但し、B(x、y)は、検査面座標(x、y)における輝度値
Ia(x、y)は、検査面座標(x、y)におけるPSDの出力信号値1
Ib(x、y)は、検査面座標(x、y)におけるPSDの出力信号値2
なお、上記では、レーザー三角測量を用いた形状データ計測方法を示したが、その他形状データ計測においては、レーザー変位計を用いたり、CCDカメラやX線によるステレオ計測により基板面の高さを計測してもよい。ステレオ法の場合、基板上面の回路パターンの位置を画像処理により求め、その回路パターンの高さを基板面高さとして決定してもよい。
V=(p1−p2)×(p3−p2)・・・(式3)
但し、Vは、法線ベクトル、p1は、座標(plx、ply、plz)、p2は、座標(p2x、p2y、p2z)、p3は、座標(p3x、p3y、p3z)、×は、外積を表す。
Ax+By+Cz+d=0・・・(式4)
そして(式4)にて決定した基板近似平面420を基準に、X線CTにおいて画像再構成を行う再構成マトリクス430の座標を決定する。具体的には、画像再構成マトリクス430のXY座標を、基板近似平面420と平行にし、Z座標を基板近似平面の法線方向に配置する。
V=(p2−p1)×(pls−p1)×(p2−p1) ・・・(式5)
但し、Vは法線ベクトル、p1は、座標(plx、ply、plz)、p2は、座標(p2x、p2y、p2z)、plsは、座標(plx、ply、0)、×は、外積を表す。
122 レーザーユニット
123 レーザー反射光受光センサ
125 X線データ計測部
126 X線源
127 X線センサ
129 被検体
Claims (7)
- 電子基板に搭載される被検体を透過した透過X線像を用いて被検体の断層画像を生成するX線CT検査装置であって、
前記被検体にX線を照射する手段と、
前記被検体を透過したX線を計測する手段と、
前記X線計測手段により計測したX線データを用いて前記被検体の断層画像の画像再構成を行う手段と、
前記電子基板上の被検体の表面形状データを計測する手段と、
前記電子基板内の異なる2領域以上の表面形状データから、前記断層画像の基準面となる基板近似平面を決定する手段と、
を備え、
前記決定した基板近似平面を基準に、前記画像再構成手段により画像化する領域を決定することを特徴とするX線CT検査装置。 - 前記画像再構成手段により画像化する領域は、前記基準平面を1底面として構成して、前記被検体を包含する画像再構成領域を直方体とすることを特徴とする請求項1に記載のX線CT検査装置。
- 前記近似平面を決定する手段は、前記電子基板上の表面形状データを用いて近似平面を決定することを特徴とする請求項1に記載のX線CT検査装置。
- 前記近似平面を決定する手段は、前記電子基板上の異なる位置の3領域から近似平面を決定することを特徴とする請求項1に記載のX線CT検査装置。
- 前記表面形状データを計測する手段は、三角測量法によって計測することを特徴とする請求項1に記載のX線CT検査装置。
- 電子基板に搭載される被検体を透過した透過X線像を用いて被検体の断層画像を生成するX線CT検査方法であって、
前記被検体にX線を照射し、
前記被検体を透過したX線を計測し、
前記透過したX線を計測して得られるX線データを用いて前記被検体の断層画像の画像再構成を行うとともに、
前記電子基板上の被検体の表面形状データを計測し、
前記電子基板内の異なる2領域以上の表面形状データから、前記断層画像の基準面となる基板近似平面を決定し、
前記決定した基板近似平面を基準に、前記画像再構成を行って画像化する領域を決定することを特徴とするX線CT検査方法。 - 前記画像再構成を行って画像化する領域は、前記基準平面を1底面として構成して、前記被検体を包含する画像再構成領域を直方体とすることを特徴とする請求項6に記載のX線CT検査方法。
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