JPH0618450A

JPH0618450A - 平面サンプル用断層撮影装置

Info

Publication number: JPH0618450A
Application number: JP4178161A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Iwata; 敏岩田; Moritoshi Ando; 護俊安藤; Shinji Suzuki; 伸二鈴木; Yoji Nishiyama; 陽二西山
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-07-06
Filing date: 1992-07-06
Publication date: 1994-01-25

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】プリント基板等の平面サンプルの関心領域を
画像再構成する際に、関心領域外のＸ線減衰による再構
成画像の劣化を抑止でき、平面サンプルの形状による画
像劣化の少ない平面サンプル用ＣＴ装置を提供するこ
と。【構成】平面サンプル３４を載置する回転ステージ３
２と、該平面サンプル３４にＸ線を照射するＸ線源３６
と、前記平面サンプル３４を透過したＸ線を検出して投
影データを得るＸ線センサ３８と、該得られた投影デー
タを用いて画像を再構成する処理回路４０と、を含む平
面サンプル用ＣＴ装置において、前記平面サンプル３４
を透過してＸ線センサ３８に検出されるＸ線を調整する
絞り部材３９と、該絞り部材３９を制御する絞り部材コ
ントローラ６２と、前記Ｘ線源３６を制御するＸ線源コ
ントローラ５８と、前記Ｘ線センサ３８を制御するＸ線
センサコントローラ６０とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平面サンプル用ＣＴ(C
omputed tomography：コンピュータ断層撮影）装置に関
し、詳細には、プリント基板等の平面サンプルを対象と
するＣＴ装置に関する。

【０００２】実装基板、プリント板の製造においては、
電子部品の微小化、高密度実装が進んできている。これ
に伴い、ハンダ等の接続部分も微小化が進行している。
使用されるハンダ量が少なくなるにつれ、その信頼性試
験は、外観からの良、不良だけの検査では不十分とな
り、ハンダ内部の品質（ボイドの有無、クラックの存
在）やチップと基板間の接続部の検査（バンプ形状な
ど）が必要となってきている。このような部分の検査に
は、Ｘ線を用いた検査手法が、有効な方法である。

【０００３】特に内部を観察する場合に、ＣＴ装置を用
いた手法は断面観察が可能であり、最も有効な方法の一
つであると考えられる。

【０００４】

【従来の技術】図４には、従来のＣＴ装置が示され、
（Ａ）は従来のＣＴ装置の構成を示し、（Ｂ）は投影デ
ータを示す。

【０００５】図４（Ａ）において、回転ステージ１０に
はサンプル１２が載置されており、Ｘ線源１４からのＸ
線はサンプル１２に照射され、該サンプル１２を通過し
たＸ線は、Ｘ線センサとしてのＸ線ＩＩ（Image Intens
ifier ）１６により検出される。すなわち、ある決まっ
た角度毎にサンプル１２を回転させると、Ｘ線ＩＩ１６
により投影データが採取され、画像再構成が行われる。
そして、図４（Ｂ）には、上記図４（Ａ）の従来のＣＴ
装置により得られた投影データが示されており、サンプ
ル１２の各角度ごとに、Ｘ線減衰量の投影データＤ₁，
Ｄ₂，Ｄ₃が採取されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図５には、平面サンプ
ルを用いた場合のＣＴ装置が示され、（Ａ）はＣＴ装置
の構成を示し、（Ｂ）は投影データを示す。

【０００７】図５（Ａ）において、符号１０，１４，１
６は、それぞれ、前記図４（Ａ）と同様に回転ステー
ジ、Ｘ線源、Ｘ線ＩＩを示し、回転ステージ１０には、
プリント基板等の平板状サンプル１８が載置されてい
る。

【０００８】図５（Ｂ）を参照すると、このような平板
状サンプル１８を用い、更に、該サンプル１８の再構成
領域２０が狭い場合には、関心領域２２の外の吸収部が
投影角度によって大きく影響を及ぼすため、得られる投
影データＤ₁，Ｄ₂，Ｄ₃間の総減衰量にばらつきが生
ずる。これにより、再構成画像上にアーティファクトが
現れ、画質が劣化する。また、サンプル１８の基板水平
方向の投影データのコントラストも著しく大きいため、
これも画質劣化の要因となる。

【０００９】本発明の目的は、プリント基板等の平面サ
ンプルの関心領域を画像再構成する際に、関心領域外の
Ｘ線減衰による再構成画像の劣化を抑止でき、平面サン
プルの形状による画質劣化の少ない平面サンプル用ＣＴ
装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、平面サンプル
（３４）を載置する回転ステージ（３２）と、該平面サ
ンプル（３４）にＸ線を照射するＸ線源（３６）と、前
記平面サンプル（３４）を透過したＸ線を検出して投影
データを得るＸ線センサ（３８）と、該得られた投影デ
ータを用いて画像を再構成する処理回路（４０）と、を
含む平面サンプル用ＣＴ装置において、前記平面サンプ
ル（３４）を透過してＸ線センサ（３８）に検出される
Ｘ線を調整する絞り部材（３９）と、該絞り部材（３
９）を制御する絞り部材コントローラ（６２）と、前記
Ｘ線源（３６）を制御するＸ線源コントローラ（５８）
と、前記Ｘ線センサ（３８）を制御するＸ線センサコン
トローラ（６０）と、を含み、前記絞り部材コントロー
ラ（６２）は、得られた投影データ上で無対象領域が検
出されると、該無対象領域を遮蔽するように絞り部材
（３９）を制御し、前記Ｘ線源コントローラ（５８）
は、対象領域から得られる投影データの全減衰量を等し
くするようにＸ線源（３６）の線源電流を制御すること
を特徴とする。

【００１１】

【作用】図１には、本発明によるＣＴ装置の原理が示さ
れている。なお、図１において、符号２４は、プリント
基板等の平面サンプルを示し、符号，は、平面サン
プル２４についての投影角度方向を示す。

【００１２】（１）まず、投影角度方向，につい
て、検査する平面サンプル２４の投影データを得る。得
られた投影データから、対象のない部分２６，２６；２
８，２８を検知する。これは、あるスレッシュホールド
を設定し、それより画像強度が大きい部分を抽出するこ
とにより行う。対象がない部分の位置を計算し、これに
より絞り幅を設定し、絞りを駆動させる。これにより、
無対象領域２６，２６；２８，２８を通過するＸ線をカ
ットし、センサのサチュレーションを防ぐことができ
る。

【００１３】（２）次に、再構成する関心領域３０に相
当する投影データを切出す。この時、投影角度方向，
により投影データの総減衰量にバラツキが生じる。（３）このバラツキを補正するように（すなわち全減衰
量をほぼ一定とするように）、線源電流を調整する。

【００１４】なお、投影データは、まずプリント基板２
４の垂直方向から検知し始め、以上の調整を行いつつ投
影データ採集を行う。（４）最後に、得られた投影データを用いてＣＴ画像の
再構成を行う。

【００１５】以上のように、本発明によれば、平面サン
プルによる投影データのバラツキによらず、良好な再構
成画像を生成することが可能となる。

【００１６】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例
を説明する。図２には、本発明の実施例によるＣＴ装置
のブロック回路が示されている。

【００１７】図２において、回転ステージ３２には、プ
リント基板等の平面サンプル３４が載置され、Ｘ線源３
６からのＸ線はサンプル３４に照射され、該サンプル３
４を透過したＸ線は、Ｘ線センサとしてのＸ線ＩＩ３８
により検出される。このＸ線ＩＩ３８には、該Ｘ線ＩＩ
３８に検出されるＸ線を調整する絞り板３９が設けられ
ている。

【００１８】符号４０は処理回路を示し、この処理回路
４０は、共通データバス４２と、該共通データバス４２
に接続されたＩ／Ｏ４４、投影データメモリ４６、フレ
ームメモリ４８、Ａ／Ｄ５０、画像処理装置５２、ディ
スプレイ５４、及びＣＰＵ５６と、を含む。処理回路４
０内のＩ／Ｏ４４は、Ｘ線源３６を制御するコントロー
ラ５８、Ｘ線ＩＩ３８を制御するコントローラ６０、及
び絞り板３９を制御するコントローラ６２に接続され、
また、処理回路４０内のＡ／Ｄ５０は、Ｘ線ＩＩ３８に
接続されている。

【００１９】以上の構成において、Ｘ線源３６から放射
されたＸ線は、プリント基板等の平面サンプル３４に放
射され、サンプル３４を透過後、絞り板３９を通してＸ
線ＩＩ３８により検知される。Ｘ線ＩＩ３８で得られた
透視データは、Ａ／Ｄ５０でデジタイズされ、フレーム
メモリ４８に蓄えられた後、再構成断面を透過したライ
ン状のデータが抽出されて投影データとなる。

【００２０】このようにして得られた投影データから、
無対象部分が計算により求められ、絞り板３９の調整が
行われる。また、全減衰量が求められ、平面サンプル３
４に対し、垂直方向から計測した投影データの全減衰量
と比較され、その差がある一定レベル以上の場合には、
Ｘ線源３６への電流または、Ｘ線ＩＩ３８のセンサゲイ
ンを調節し、再度投影データを得る。このようにして、
半周または、全周にわたり投影データを収集した後、Ｃ
Ｔ画像の再構成を行う。

【００２１】次に、図３には、本発明の他の実施例によ
るＣＴ装置のブロック回路が示されている。図３におい
ては、Ｘ線センサとして、蛍光板６４とＴＤＩ（Time D
elay Integration）センサ６６が用いられており、１次
元のデータを直接計測することができる。なお、符号６
８は、凸レンズを示す。

【００２２】また、センサとして、蛍光板、Ｘ線ＩＩ、
ラインセンサを用いることも可能である。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
投影データのバラツキによる画質劣化の少ない良好な再
構成画像を得ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるＣＴ装置の原理図である。

【図２】本発明の実施例によるＣＴ装置のブロック回路
図である。

【図３】本発明の他の実施例によるＣＴ装置のブロック
回路図である。

【図４】従来のＣＴ装置を示し、（Ａ）はＣＴ装置の構
成説明図であり、（Ｂ）は投影データの説明図である。

【図５】平面サンプルを用いた場合のＣＴ装置を示し、
（Ａ）はＣＴ装置の構成説明図であり、（Ｂ）は投影デ
ータの説明図である。

【符号の説明】

３２…回転ステージ３４…平面サンプル３６…Ｘ線源３８…Ｘ線II ３９…絞り板４０…処理回路５８…Ｘ線源コントローラ６０…Ｘ線IIコントローラ、ＴＤＩコントローラ６２…絞り板コントローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者西山陽二神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平面サンプル（３４）を載置する回転ス
テージ（３２）と、該平面サンプル（３４）にＸ線を照
射するＸ線源（３６）と、前記平面サンプル（３４）を
透過したＸ線を検出して投影データを得るＸ線センサ
（３８）と、該得られた投影データを用いて画像を再構
成する処理回路（４０）と、を含む平面サンプル用断層
撮影装置において、前記平面サンプル（３４）を透過してＸ線センサ（３
８）に検出されるＸ線を調整する絞り部材（３９）と、
該絞り部材（３９）を制御する絞り部材コントローラ
（６２）と、前記Ｘ線源（３６）を制御するＸ線源コン
トローラ（５８）と、前記Ｘ線センサ（３８）を制御す
るＸ線センサコントローラ（６０）と、を含み、前記絞り部材コントローラ（６２）は、得られた投影デ
ータ上で無対象領域が検出されると、該無対象領域を遮
蔽するように絞り部材（３９）を制御し、前記Ｘ線源コントローラ（５８）は、対象領域から得ら
れる投影データの全減衰量を等しくするようにＸ線源
（３６）の線源電流を制御することを特徴とする平面サ
ンプル用断層撮影装置。
【請求項２】請求項１記載の装置において、投影デー
タの全減衰量を等しくする際に、Ｘ線源コントローラ
（５８）がＸ線源（３６）の線源電流を制御する代わり
に、前記Ｘ線センサコントローラ（６０）は、Ｘ線セン
サ（３８）のゲイン調整を行うことを特徴とする平面サ
ンプル用断層撮影装置。
【請求項３】請求項１記載の装置において、前記Ｘ線
センサ（３８）は、Ｘ線ＩＩカメラを用いて高感度化を
図ることを特徴とする平面サンプル用断層撮影装置。
【請求項４】請求項１記載の装置において、前記Ｘ線
センサ（３８）は、蛍光板、ＴＤＩＣＣＤとレンズある
いはテーパを用いて投影データを一次元的に計測可能と
したことを特徴とする平面サンプル用断層撮影装置。
【請求項５】請求項１記載の装置において、前記Ｘ線
センサ（３８）は、蛍光板、ラインＣＣＤとレンズある
いはテーパ及びＩＩを用いて投影データを一次元的に計
測可能としたことを特徴とする平面サンプル用断層撮影
装置。
【請求項６】請求項１記載の装置において、前記Ｘ線
源（３６）は、マイクロフォーカスＸ線源を用いること
で微小部分の断面形状を再構成可能としたことを特徴と
する平面サンプル用断層撮影装置。