JP2012237729A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. Ｘ線を用いて被検査物の検査を実行するＸ線検査装置において、前記被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法であって、
   前記被検査物の検査対象を含む第１の領域の可視画像を撮像するステップと、
   前記被検査物の前記検査対象を含む第２の領域に対して、Ｘ線画像を撮像するステップと、
   前記第１の領域についての前記可視画像と前記第２の領域についての前記Ｘ線画像を、位置および倍率をそろえて表示するステップと、
   前記Ｘ線画像における前記検査対象の位置について確認の入力を受け付け、前記検査領域を確定するステップとを備える、検査領域設定方法。
2. 前記被検査物は、複数の電子部品が搭載された基板であり、
   前記可視画像を撮像するステップは、前記基板の表面側の第１の可視画像および裏面側の第２の可視画像を撮像するステップを含み、
   前記表示するステップは、前記第１または第２の可視画像の一方と前記Ｘ線画像との位置および倍率をそろえて表示するステップを含み、
   前記確定するステップは、表面側および裏面側それぞれの前記検査領域を確定するステップを含む、請求項１記載の検査領域設定方法。
3. 前記Ｘ線画像は、複数の透視方向から撮影された複数のＸ線画像に基づいて再構成された前記被検査物の前記検査対象を含む領域の再構成画像である、請求項２記載の検査領域設定方法。
4. 前記再構成画像は、前記第１および第２の可視画像においては、死角となる前記検査対象を含む部分における前記基板に平行な断面での断層画像である、請求項３記載の検査領域設定方法。
5. 前記Ｘ線画像は、前記前記被検査物のＸ線の透過画像である、請求項１記載の検査領域設定方法。
6. 前記表示するステップは、
   切り替えの入力を受け付け、前記Ｘ線画像と併せて表示する可視画像を、前記被検査物の表面側の第１の可視画像と裏面側の第２の可視画像との間で切り替えるステップと、
   表示される可視画像が前記被検査物の表面側および裏面側のいずれを示すのかに応じて、前記Ｘ線画像の表示の向きを切り替えるステップとを含み、
   前記Ｘ線画像は、前記前記被検査物のＸ線の透過画像、および、複数の透視方向から撮影された複数のＸ線画像に基づいて再構成された前記被検査物の前記検査対象を含む領域の再構成画像のいずれかである、請求項１記載の検査領域設定方法。
7. Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査システムであって、
   前記被検査物における検査対象の位置を指定する情報を格納するための記憶手段と、
   前記被検査物の前記検査対象を含む第１の領域の可視画像を撮像する可視光画像撮影手段と、
   前記被検査物の前記検査対象を含む第２の領域に対して、Ｘ線画像を撮像するＸ線画像撮影手段と、
   前記第１の領域についての前記可視画像と前記第２の領域についての前記Ｘ線画像を、位置および倍率をそろえて表示する出力手段と、
   前記Ｘ線画像における前記検査対象の位置について確認の入力を受け付ける入力手段と、
   前記入力に応じて、確定された検査領域を特定するための設定情報を前記記憶手段に格納する制御手段とを備える、Ｘ線検査システム。
8. 前記被検査物は、複数の電子部品が搭載された基板であり、
   前記可視光画像撮影手段は、前記基板の表面側の第１の可視画像および裏面側の第２の可視画像を撮像し、
   前記出力手段は、前記第１または第２の可視画像の一方と前記Ｘ線画像との位置および倍率をそろえて表示し、
   前記制御手段は、表面側および裏面側それぞれの前記検査領域を特定するための設定情報を前記記憶手段に格納する、請求項７記載のＸ線検査システム。
9. 前記Ｘ線画像は、複数の透視方向から撮影された複数のＸ線画像に基づいて再構成された前記被検査物の前記検査対象を含む領域の再構成画像である、請求項８記載のＸ線検査システム。
10. 前記再構成画像は、前記第１および第２の可視画像においては、死角となる前記検査対象を含む部分における前記基板に平行な断面での断層画像である、請求項９記載のＸ線検査システム。
11. 前記Ｘ線画像は、前記前記被検査物のＸ線の透過画像である、請求項７記載のＸ線検査システム。