JP2007078404A - 太陽電池パネル検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 6
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3563—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing solids; Preparation of samples therefor
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
- G01N2201/06126—Large diffuse sources
- G01N2201/06133—Light tables
Abstract
【解決手段】 太陽電池パネルのカバーガラスのクラックと結晶層の微細な内部欠陥を検出する太陽電池パネル検査装置において、複数の照明素子が2次元配列されたアレイ型照明装置と、上記アレイ型照明装置から照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るCCDカメラにより可能にしたものである。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明の実施の形態1に係わる撮像装置を示す図であり、1はアレイ型照明装置、2は太陽電池、3はCCDカメラ、4は搬送装置である。
アレイ型照明装置1は被検査体である太陽電池2に対して相対する位置にある撮像用CCDカメラ3に対して所定の角度に固定されている。
検査は半導体基板に対し透明な赤外線照明とカメラを用いるか、人間による目視検査によっている。
撮像用CCDカメラ3は高解像度(概略画素数100万程度)のカメラで素子が2次元に配列されたものであり、近赤外域に感度を有するCCDカメラ3である。
被検査体である太陽電池2はステージ4の上を搬送されて検査される。
アレイ型照明装置1は、CCDカメラ3が感度を有する近赤外域の波長成分を多く含むものを選定すべきである。
また、アレイ型照明装置1からの照射光の波長成分は、アレイ型照明装置1またはCCDカメラ3の前面にフィルタ等を使用して、CCDカメラ3の近赤外域の波長帯に効率よく利用することも可能である。
各LEDランプには通電用のリード配線(図には示されていない)を行い電流によって各LEDランプの照度を任意に調整できる。
LEDランプ配置に対応した周期的明暗パターンの中にクラック(左下から中央上へ伸びている)が明瞭に識別できる。
照射されるLEDランプ1個当たりのビーム径が、クラックの幅に対して、概ねオーダ的に近い大きさで、平行光に照射されるので、照射された光はクラック周辺では屈折や回り込みでクラック周囲へ拡散され、クラック部が光の変化でクラック部の周辺との差異が明確になる。
図4は本発明の実施の形態2に係わる撮像装置用パンチ板型照明装置の外観図であり、7は光拡散板、8はパンチ板である。
図において、LEDランプ等の発光源を2次元状に配列しなくとも、単一光源を使用した場合でも、図2と同様の機能を実現する方法について説明する。
ここで、パンチ板8は例えば、直径2mmの穴を板にパンチで打ち抜いて空けたものである。
図5は本発明の実施の形態3に係わる撮像装置用液晶シャッター型照明装置の外観図であり、9は液晶シャッターであり、7は図4と同じものである。
図において、この発明の撮像装置を構成するパターン化された照明用光源としては、光拡散板(導光板)7の前に液晶シャッター9を配置することで実現できる。
液晶シャッターでは光拡散板7から出力され、シャッターを通過する光の通過径を任意に設定できるので、光源と被検査体との距離に応じた適正な光照射径を選択できる。
図6は本発明の実施の形態4に係わる撮像装置用光スキャン型照明装置の外観図であり、10はLEDランプ、11はポリゴンミラーであり、2〜4は図1と同じものである。
実施の形態1の2次元でアレイ状のLEDランプを1個で実現する別の実現手段を図6に示した。
このことにより、被検査体には、あたかも、2次元状の照明器具から照射されたことと同じ効果を実現できる。
また、制御部はポリゴンミラーを2軸方向で回動するための制御を行う。
CCDカメラは赤外線カメラに比べ小型・軽量であることやアレイ型照明装置は発熱しない等、自動機への組み込みの制約はない。
また、撮像装置の位置情報と連動させて画像を予め取得し、メモリーに記録した後に一括して画像処理を行い、欠陥のある太陽電池を選別することもできる。
Claims (7)
- 太陽電池パネルの内部欠陥を検出する太陽電池パネル検査装置において、
複数の照明素子が2次元配列されたアレイ型照明装置と、
上記アレイ型照明装置から照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るCCDカメラと、
を具備したことを特徴とする太陽電池パネル検査装置。 - 上記照明素子として、LEDランプを使用することを特徴とする請求項1記載の太陽電池パネル検査装置。
- 上記アレイ型照明装置として、非平行光源の前に所定の穴径を有するパンチ板を配置することを特徴とする請求項2記載の太陽電池パネル検査装置。
- 上記アレイ型照明装置として、非平行光源の前に液晶シャッターを設置して電気的にシャッターの孔径を制御することを特徴とする請求項2記載の太陽電池パネル検査装置。
- 太陽電池パネルの内部欠陥を検出する検査装置において、
概ね平行である照射ビームを発生するための照明素子と、
上記照明素子から出力された照射ビームを、被検査体上へ2次元で照射するために2軸で回動するポリゴンミラーと、
上記照明素子の光強度を被検査体上で周期的な光強度パターンが得られるように電気的に制御し、上記ポリゴンミラーの2軸方向での回動を制御する制御部と、
上記ポリゴンミラーから2次元で照射された太陽電池の披検査箇所を撮像するために、赤外域に感度を有する撮像素子から成るCCDカメラと、
を具備したことを特徴とする太陽電池パネル検査装置。 - 上記照明素子を制御して被検査体の太陽電池上で周期的な光強度パターンが得られることを特徴とする請求項1記載または請求項5記載の太陽電池パネル検査装置。
- 被検査体の太陽電池上へ、上記照明素子からの照射方向と相反する方向で、被検査体である太陽電池上を撮像するように上記CCDカメラを配置したことを特徴とする請求項1記載または請求項5記載の太陽電池パネル検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005263839A JP2007078404A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 太陽電池パネル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005263839A JP2007078404A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 太陽電池パネル検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007078404A true JP2007078404A (ja) | 2007-03-29 |
Family
ID=37938894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005263839A Pending JP2007078404A (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 太陽電池パネル検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007078404A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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