JP2016217728A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動反射部100は、第1回転軸102を中心に回転可能である。制御部200は、可動反射部100の回転量を制御する。光源部300は、第1回転軸102が向いている方向から見た場合に複数の光を互いに異なる入射角で可動反射部100に入射させる。撮像部400は、可動反射部100で反射された光が対象物20を照射する位置を撮像する。判断部500は、上記した位置に照射された光が上記した複数の光のいずれであるかを判断する。算出部600は、可動反射部100の回転量、撮像部400が生成した画像データ、及び判断部500の判断結果に基づいて、上記した位置を算出する。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態に係る検査装置10の構成を示す図である。検査装置10は、可動反射部100、制御部200、光源部300、撮像部400、判断部500、及び算出部600を備える。可動反射部100は、第1回転軸102を中心に回転可能である。制御部200は、可動反射部100の回転量を制御する。光源部300は、第1回転軸102が向いている方向から見た場合に複数の光を互いに異なる入射角で可動反射部100に入射させる。撮像部400は、可動反射部100で反射された光が対象物20を照射する位置を撮像する。判断部500は、上記した位置に照射された光が上記した複数の光のいずれであるかを判断する。算出部600は、可動反射部100の回転量、撮像部400が生成した画像データ、及び判断部500の判断結果に基づいて、上記した位置を算出する。以下、詳細に説明する。
図4は、第2の実施形態に係る検査装置10の一部の構成を示す図である。本実施形態に係る検査装置10は、以下の点を除いて、第1の実施形態に係る検査装置10と同様の構成である。
20 対象物
100 可動反射部
102 第1回転軸
104 第2回転軸
106 反射面
110 枠体
120 可動電極
130 保持部材
140 第1固定電極
200 制御部
210 検出部
300 光源部
310 光源
400 撮像部
500 判断部
600 算出部
Claims (8)
- 第1回転軸を中心に回転可能である可動反射部と、
前記可動反射部の回転量を制御する制御部と、
前記第1回転軸が向いている方向から見た場合に複数の光を互いに異なる入射角で前記可動反射部に入射させる光源部と、
前記可動反射部で反射された前記光が対象物を照射する位置を撮像する撮像部と、
前記位置に照射された前記光が前記複数の光のいずれであるかを判断する判断部と、
前記可動反射部の回転量、前記撮像部が生成した画像データ、及び前記判断部の判断結果に基づいて、前記位置を算出する算出部と、
を備える検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記複数の光は、波長が互いに異なり、
前記判断部は、前記波長に基づいて、前記位置を照射する前記光が前記複数の光のいずれであるかを判断する検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記複数の光は、互いに異なるアナログ信号がパルス変調された信号であり、
前記判断部は、前記信号の変調に基づいて、前記位置を照射する前記光が前記複数の光のいずれであるかを判断する検査装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記可動反射部は、前記第1回転軸と異なる方向を向いている第2回転軸を中心に回転可能であり、
前記光源部は、前記第2回転軸が向いている方向から見た場合に他の光を前記光とは異なる入射角で前記可動反射部に入射させる検査装置。 - 第1回転軸を中心に回転可能である可動反射部と前記可動反射部の回転量を制御する制御部を設け、
前記第1回転軸が向いている方向から見た場合に複数の光を互いに異なる入射角で前記可動反射部に入射させ、
前記可動反射部で反射された前記光が対象物を照射する位置を撮像部で撮像し、
前記位置に照射された前記光が前記複数の光のいずれであるかを判断部で判断し、
前記可動反射部の回転量、前記撮像部が生成した画像データ、及び前記判断部の判断結果に基づいて、前記位置を算出する、検査方法。 - 請求項5に記載の検査方法において、
前記複数の光は、波長が互いに異なり、
前記波長に基づいて、前記位置を照射する前記光が前記複数の光のいずれであるかを判断する、検査方法。 - 請求項5に記載の検査方法において、
前記複数の光は、互いに異なるアナログ信号がパルス変調された信号であり、
前記信号の変調に基づいて、前記位置を照射する前記光が前記複数の光のいずれであるかを判断する、検査方法。 - 請求項5〜7のいずれか一項に記載の検査方法において、
前記可動反射部は、前記第1回転軸と異なる方向を向いている第2回転軸を中心に回転可能であり、
前記第2回転軸が向いている方向から見た場合に他の光を前記光とは異なる入射角で前記可動反射部に入射させる、検査装置。
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JP2015099139A JP6500586B2 (ja) | 2015-05-14 | 2015-05-14 | 検査装置及び検査方法 |
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JP6500586B2 JP6500586B2 (ja) | 2019-04-17 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6263804A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 線条光投影装置 |
JP2004061383A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Hamamatsu Metrix Kk | 形状測定装置 |
JP2007078404A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池パネル検査装置 |
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2015
- 2015-05-14 JP JP2015099139A patent/JP6500586B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPS6263804A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 線条光投影装置 |
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JP6500586B2 (ja) | 2019-04-17 |
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