JP5403458B2 - 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 - Google Patents
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Description
先ず、ステップS1においては、ステージ1上に検査対象物8を載置し、図示省略の駆動機構を例えば手動操作してステージ1をXY方向に移動させ、検査対象物8の被測定位置を対物レンズ4の下側に位置付ける。そして、図示省略のモニター画面に表示された撮像手段5による撮像画像を見ながら、例えば手動により光学機構14を上下動させ、目視によりフォーカス調整を行う。又は、撮像手段5による撮像画像が鮮明となるようにオートフォーカス調整する。
4…対物レンズ
5…撮像手段
6…移動手段
7…制御手段
8…検査対象物
10…光源
12…マイクロミラー
Claims (5)
- 対物レンズを介して検査対象物上に複数の光ビームを照射して複数の測定点を指定し、前記対物レンズと検査対象物との間隔を連続的に変化させながら、撮像手段で前記複数の測定点からの反射光を受光して前記各測定点に対応する複数の輝度を取得し、該複数の輝度から前記各測定点のピーク輝度を検出して前記検査対象物表面の凹凸形状を測定する表面形状測定方法であって、
前記検査対象物への光ビームの照射をオン・オフ制御して明暗模様から成るパターンを生成するパターン生成手段により、所定の明暗模様の第1のパターンを生成して前記検査対象物に照射し、前記明暗模様の明部及び暗部に対応した点を夫々測定点として指定した後、該第1のパターンと明暗が反転した第2のパターンを生成して照射することにより、前記各測定点に対して光ビームの照射及び照射停止の明暗二つの状態を交互に与えて、前記測定点毎に前記明暗二つの状態における輝度を交互に取得する第1段階と、
前記測定点毎に前記交互に取得される明暗二つの状態の輝度のうち、少なくとも明状態の複数の輝度にて相前後して取得された輝度を補間処理して中点輝度を演算し、該中点輝度とこれに対応する暗状態の輝度とを減算処理して相対輝度を算出する第2段階と、
前記対物レンズと検査対象物との間隔を変化させながら前記測定点毎に得られた複数の前記相対輝度から各測定点のピーク輝度を検出する第3段階と、
を実行することを特徴とする表面形状測定方法。 - 前記パターン生成手段は、個別に傾動する複数のマイクロミラーをマトリクス状に備えたマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項1記載の表面形状測定方法。
- 前記対物レンズと検査対象物との間隔をステップ的に変化させながら、1ステップ毎に前記第1段階を実行することを特徴とする請求項1又は2記載の表面形状測定方法。
- 光源から入射する光をオン・オフ制御して射出し、明暗模様から成るパターンを生成して検査対象物に照射するパターン生成手段と、
前記検査対象物上に前記パターンを結像する対物レンズと、
前記対物レンズから前記パターン生成手段に向かう光路が分岐された光路上に設けられ前記検査対象物の表面を撮像する撮像手段と、
前記対物レンズと前記検査対象物との間隔を連続的に変化させる移動手段と、
前記移動手段を制御して前記対物レンズと前記検査対象物との間隔を変化させながら、前記撮像手段で撮像された複数の画像から前記検査対象物表面各部のピーク輝度を検出し、該ピーク輝度に基づいて前記検査対象物の表面形状を求める制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記パターン生成手段に対して所定の明暗模様から成る第1のパターン及び該第1のパターンと明暗が反転した第2のパターンを交互に生成させ、前記第1のパターンを前記検査対象物に照射して前記明暗模様の明部及び暗部に対応した点を夫々測定点として指定した後、前記第2のパターンを照射することにより、前記各測定点に対して光ビームの照射及び照射停止の明暗二つの状態を交互に与えて、前記測定点毎に前記明暗二つの状態における輝度を交互に取得し、前記測定点毎に前記交互に取得される明暗二つの状態の輝度うち、少なくとも明状態の複数の輝度にて相前後して取得された輝度を補間処理して中点輝度を演算し、該中点輝度とこれに対応する暗状態の輝度とを減算処理して相対輝度を算出し、前記対物レンズと検査対象物との間隔を変化させながら前記測定点毎に得られた複数の前記相対輝度から前記検査対象物表面の各測定点のピーク輝度を検出し、該ピーク輝度に基づいて前記検査対象物の表面形状を求める、
ことを特徴とする表面形状測定装置。 - 前記パターン生成手段は、個別に傾動する複数のマイクロミラーをマトリクス状に備えたマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項4記載の表面形状測定装置。
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