JPH1068901A - ２次元スキャナ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、光量ロスが少なく、しかも、スキャ
ナ手段の回動（振り角）位置による画像ムラも防止でき
る２次元スキャナ装置を提供する。 【解決手段】Ｙガルバノメータスキャナ１５の振り角
（回動角）に同期させて、超音波モータ１７によるＹガ
ルバノメータスキャナ１５の、Ｙガルバノミラー１６へ
の入射レーザビームと平行方向の直線移動量を制御する
ことにより、Ｙガルバノミラー１６を反射したレーザビ
ームが、Ｙ方向走査位置に影響されることなく、常にＸ
ガルバノミラー１３の振り中心（回動中心）にくるよう
に制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査型レーザー顕
微鏡に用いられる２次元スキャナ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、走査型レーザー顕微鏡
は、点光源であるレーザビームを対物レンズを介して観
察試料に照射し、これにより観察試料からの反射光もし
くは点状光を照射したことにより試料から発生した蛍光
を、再び対物レンズ、光学系を介して点状に結像し、こ
れを検出器で検出して像の濃淡情報を得るようにしたも
ので、この場合、観察試料上にレーザビームが照射した
だけでは、点状の濃淡情報しか得られないことから、実
際は、レーザビームを観察試料表面の測定領域全体に２
次元スキャンする２次元スキャナ装置を採用し、観察試
料表面の濃淡分布情報を取り込み、この濃淡情報を２次
元走査に同期して表示することにより、観察試料表面の
２次元画像を得るようにしている。

【０００３】図７は、このような走査型レーザー顕微鏡
におけるレーザビームの具体的経路を示すもので、Ｌ方
向から入射したレーザビームは、ビームスプリッター３
１で反射され、ミラー３２へ向い、このミラー３２で反
射されたレーザビームは、２つのガルバノミラー３３、
３４を経て２次元に走査され、さらにミラー３５で反射
されて瞳投影レンズ３６に入射され、この瞳投影レンズ
３６を通過して図示していない対物レンズの像面にスポ
ットを結ぶ。この時、２つのガルバノミラー３３と３４
の回転（振り角）により、像面上を２次元スキャンする
ことで、像面上にある試料面からの反射光または蛍光が
上述したと同じ経路をたどってビームスプリッター３１
まで戻され、ここを通過した後、さらに検出光学系３７
を通り、フォトマルチプライア等からなる光検出器３８
に入射され、ここで電気信号に変換され、図示しないモ
ニターの各画素に、上述の２つのガルバノミラー３３、
３４のＸＹ方向の走査位置に対応させて濃淡で表示する
ことにより２次元画像を得られるようになる。

【０００４】ところで、このような走査型レーザ顕微鏡
において、レーザビームの２次元スキャンによりムラの
ない２次元画像を得るには、２つのガルバノミラー３
３、３４の回転角（振り角）にかかわらず、常に対物レ
ンズの瞳中心と対物レンズを通過するレーザビームの中
心を一致させることが必要であり、このためにはガルバ
ノミラー３３、３４の回転中心と対物レンズの瞳位置を
共役関係とすればよいことになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、レーザビー
ムを２次元スキャンするのに、２つのガルバノミラー３
３、３４を使用しているため、常に、これら２つのガル
バノミラー３３、３４の両方を対物レンズの瞳位置と共
役関係になるように設定することはできない。

【０００６】そこで、従来では、２つのガルバノミラー
３３、３４の中間の位置を対物の瞳位置と共役関係にな
るように設定（近接ガルバノ方式）することが行われて
いるが、こうすると、ガルバノミラー３３、３４の回転
角が大きくなるにつれてレーザビームが対物レンズの瞳
を通らずに対物レンズを保持する枠などで一部遮光され
ることがあり、例えばモニターに表示される２次元画像
は、周辺（モニター上の４隅）に向かうにつれて光量不
足に原因する表示ムラを生じることがある。

【０００７】また、２つのガルバノミラー３３、３４の
どちらか一方を対物レンズの瞳位置と共役関係になるよ
うに設定することも考えられるが、こうすると、対物レ
ンズの瞳位置と共役関係にないガルバノミラーの回転に
より、スキャンされる方向にムラが大きくなる。

【０００８】そこで、これらの不具合を解決する方法と
して、２つのガルバノミラー３３、３４の間に瞳リレー
レンズを介在し、それぞれのガルバノミラー同士を、瞳
リレーレンズにより共役関係にすることにより、２つの
ガルバノミラーと対物レンズの瞳位置を共役関係にする
方法も考えられている。

【０００９】しかし、この方法によると、瞳リレーレン
ズを使用することにより、レーザビームの波長域および
試料から発生した蛍光の波長域にわたり収差補正が必要
となり、このための、光学設計が複雑になって多くのレ
ンズ枚数が必要になり、さらに、レーザビームによる照
明光および試料からの観察光にも多くの光量ロスを生
じ、モニターの２次元画像が暗くなってしまう。特に、
試料が蛍光標本の場合は、標本から発する蛍光が微弱な
ために光量ロスにより蛍光像が観察しずらくなる問題が
生じる。この蛍光像を良好に観察できるようにレーザ光
を強めると、蛍光退色が早くなり、観察時間が短縮され
るばかりか、生きた標本の場合は熱によるイメージが大
きくなるという問題が生ずる。

【００１０】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、光量ロスが少なく、しかも、スキャナ手段の回動
（振り角）位置による画像ムラも防止できる２次元スキ
ャナ装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
レーザ光源からのレーザビームを２次元方向に走査する
とともに、該２次元走査されたレーザビームを対物レン
ズを通して試料に照射し、該試料からの観察像を検出す
る走査型レーザ顕微鏡において、前記対物レンズの瞳位
置と共役関係にある位置に回動可能に配置され、該回動
動作により前記レーザビームを所定方向に走査する第１
のスキャナ手段と、この第１のスキャナ手段に対向して
回動可能に配置され、該回動動作により前記第１のスキ
ャナ手段を経由した前記レーザビームを前記所定方向と
直交する方向に走査する第２のスキャナ手段と、この第
２のスキャナ手段を経由したレーザビームが常に前記第
１のスキャナ手段の回動中心を通るように該第２のスキ
ャナ手段の回動角に応じて該第２のスキャナ手段を直線
移動させる制御手段とにより構成している。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、制御手段は、第２のスキャナ手段の回動角に応じ
て直線移動量が決定される直線駆動手段を有している。
請求項３記載の発明は、レーザ光源からのレーザビーム
を２次元方向に走査するとともに、該２次元走査された
レーザビームを対物レンズを通して試料に照射し、該試
料からの観察像を検出する走査型レーザ顕微鏡であっ
て、前記対物レンズへ入射するレーザビームの光軸に直
交する第１の回転軸線を中心として回動するよう支持さ
れた第１のスキャナミラーと、この第１のスキャナミラ
ーに対向して配置され、且つ前記対物レンズへ入射する
レーザビームの光軸に平行な第２の回転軸線を中心とし
て回動するように支持された第２のスキャナミラーとを
備え、レーザ光源からのレーザビームを前記第２のスキ
ャナミラーにより反射し、この反射レーザビームを前記
第１のスキャナミラーにより反射して前記対物レンズに
入射するようにした２次元スキャナ装置において、前記
第１のスキャナミラーのミラー面上に位置するレーザビ
ームの回動中心と対物レンズの瞳位置が共役関係となる
ように第１のスキャナミラーを配置し、前記第２のスキ
ャナミラーを反射したレーザビームが常に前記第１のス
キャナミラーの回動中心を通るように前記第２のスキャ
ナミラーの回動角に応じて第２のスキャナミラーへの入
射レーザビームと平行方向に該第２のスキャナミラーを
直線移動させるようにしている。

【００１３】この結果、本発明によれば、第１のスキャ
ナ手段を反射したレーザビームは、常に対物レンズの瞳
位置の中心を通るようになるので、レーザビームの一部
遮光などの不具合が防止され、モニター表示される２次
元画像周辺での光量不足による表示ムラを解消でき、モ
ニター画面に表示ムラのない良好な画像が得られる。

【００１４】また、第１および第２のスキャナ手段同志
を瞳リレーレンズを使用して共役関係にすることなく常
に対物レンズの瞳位置の中心にレーザビームを通過させ
ることができるので、照明光は勿論、観察光についても
光量ロスのない明るい画像を確保できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１は、本発明の２次元スキャナ装
置が適用される走査型レーザ顕微鏡の概略構成を示して
いる。

【００１６】図において、１は顕微鏡本体で、この顕微
鏡本体１は、レーザ光源２、ミラー３、ビームスプリッ
ター４、２次元スキャナ装置５、レボルバ６、対物レン
ズ７、ステージ８、試料９、レンズ１０、光検出器１１
を有している。

【００１７】この場合、レーザ光源２は、試料９の表面
を走査するスポット光としてのレーザビームを発生する
ためのもので、このレーザ光源２からのレーザビームを
ミラー３により反射させ２次元スキャナ装置５に導くよ
うにしている。２次元スキャナ装置５は、ミラー３より
与えられたレーザ光源２からのレーザビームを試料９上
に２次元スキャンするためのもので、例えばＸ軸方向走
査用のガルバノミラーとＹ軸方向走査用のガルバノミラ
ーを有していて、図示しないＸＹ走査駆動制御部の制御
によりこれらガルバノミラーをＸ軸方向およびＹ軸方向
に振ることで、対物レンズ７に対するスポット光をＸＹ
方向に振らせるようになっている。レボルバ６は、倍率
の異なる複数の対物レンズ７を保持するもので、レボル
バ６の切り替えにより、複数の対物レンズ７のうち所望
の倍率を持つものを顕微鏡の観察光路中に選択挿入する
ようにしている。

【００１８】そして、選択挿入された対物レンズ７を通
して２次元スキャナ装置５により２次元スキャンされた
スポット光をステージ８上の試料９面に照射するように
している。

【００１９】一方、試料９からの反射光または蛍光など
の観察光を、対物レンズ７を通し２次元スキャナ装置５
を介してビームスプリッター４に戻すようにしている。
このビームスプリッター４は、２次元スキャナ装置５に
対するレーザ光源２の出射光路上に設けられた半透明鏡
であって、２次元スキャナ装置５を介して与えられる試
料９からの観察光を光検出系に導くためのものである。
そして、ビームスプリッター４を介して得られた試料９
からの観察光をレンズ１０を介して光検出器１１で検出
するようにしている。この光検出器１１は、レンズ１０
を介して検出される光を光量対応の電気信号に変換する
光検出素子からなっている。

【００２０】図２は、このような走査型レーザ顕微鏡に
適用される２次元スキャナ装置５の概略構成を示してい
る。図において、１２はＸガルバノメータスキャナで、
このＸガルバノメータスキャナ１２には、瞳投影レンズ
１４へ入射するレーザビームの光軸に直交する方向に回
転軸１２１を突出し、回転軸１２１にＸガルバノミラー
１３を回動可能に設け、このＸガルバノミラー１３の回
動にともなう振り動作によりレーザビームをＸ軸方向に
走査できるようにしている。この場合、Ｘガルバノミラ
ー１３は、瞳投影レンズ１４により対物レンズ７の瞳位
置と共役関係に配置されている。

【００２１】一方、１５はＹガルバノメータスキャナ
で、このＹガルバノメータスキャナ１５には、瞳投影レ
ンズ１４へ入射するレーザビームの光軸に平行に回転軸
１５１を突出し、回転軸１５１にＹガルバノミラー１６
を回動可能に設け、このＹガルバノミラー１６の回動に
ともなう振り動作によりレーザビームをＹ軸方向に走査
できるようにしている。この場合、Ｙガルバノメータス
キャナ１５は、超音波リニアモータ１７に設けられてい
て、Ｙガルバノミラー１６を反射したレーザビームが常
にＸガルバノミラー１３の振れ中心（回動中心）を通る
ように、Ｙガルバノミラー１６の回動角度（振れ角）に
応じてＹガルバノミラー１６への入射レーザビームと平
行方向の直線移動を制御されるようになっている。

【００２２】この場合、超音波モータ１７は、電気−機
械エネルギー変換素子を駆動源として直方体形状の弾性
体に対しその長手方向に沿った伸縮振動と該長手方向に
伝播する横波の屈曲振動を同時に発生させ、この弾性体
を被駆動部材に押圧させることにより駆動源に対し被駆
動部材を直線方向に移動させるようにしたもので、ここ
では、一対のコ字形状のガイド部材１７１、１７２を有
し、このうちガイド部材１７１を駆動源側に、ガイド部
材１７２を被駆動部材側に構成し、この被駆動部材側の
ガイド部材１７２にＹガルバノメータスキャナ１５を一
体に固定している。

【００２３】なお、１９は超音波モータ１７によるＹガ
ルバノメータスキャナ１５の移動量を検出するセンサで
ある。図３は、２次元スキャナ装置５の制御回路を示し
ている。図において、２１は、コントローラ（ＣＰＵ）
で、このコントローラ２１には、制御部２２を接続し、
この制御部２２にＸガルバノ駆動部２３、Ｙガルバノ駆
動部２４をそれぞれ接続している。そして、Ｘガルバノ
駆動部２３にＸガルバノメータスキャナ１２、Ｙガルバ
ノ駆動部２４にＹガルバノメータスキャナ１５を各別に
接続し、コントローラ２１の制御指令によりＸガルバノ
駆動部２３を介してＸガルバノメータスキャナ１２のＸ
ガルバノミラー１３を回動するとともに、Ｙガルバノ駆
動部２４を介してＹガルバノメータスキャナ１５のＹガ
ルバノミラー１６を回動するようにしている。

【００２４】また、コントローラ２１には、制御部２５
を接続し、この制御部２５にモータ駆動部２６を接続
し、このモータ駆動部２６に超音波モータ１７を接続し
ている。さらに、超音波モータ１７によるＹガルバノメ
ータスキャナ１５の移動量を検出するセンサ１９を制御
部２５に接続し、このセンサ１９の検出出力に応じて超
音波モータ１７の駆動を制御し、Ｙガルバノミラー１６
を反射したレーザビームが常にＸガルバノミラー１３の
振れ中心（回動中心）にくるように、Ｙガルバノメータ
スキャナ１５の直線方向の移動を制御するようにしてい
る。

【００２５】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。いま、レーザ光源２からレーザビームが
出射され、このレーザビームがミラー３で反射され２次
元スキャナ装置５に与えられると、２次元スキャナ装置
５では、まず、Ｙガルバノメータスキャナ１５のＹガル
バノミラー１６面に進み、このＹガルバノミラー１６
で、図示上方向に反射され、Ｘガルバノメータスキャナ
１２のＸガルバノミラー１３に進む。そして、このＸガ
ルバノミラー１３を反射したレーザビームは、瞳投影レ
ンズ１４を通過して、対物レンズ７よりステージ８上の
試料９面にスポットを結ぶ。

【００２６】一方、試料９面からの反射光または蛍光な
どの観察光は、照明光路と同一光路を逆向に進み、対物
レンズ７、瞳投影レンズ１４を通り、Ｘガルバノミラー
１３、Ｙガルバノミラー１６で反射され、ビームスプリ
ッター４を介して光検出器１１で検出されるようにな
る。

【００２７】ここで、いま、レーザビームが瞳レンズ１
４の光軸中心を通り、図４に示すように試料９上でレー
ザビームスポットが移動範囲の中心（Ｘ，Ｙガルバノミ
ラーの走査範囲の中心）のポイントＡを観察しているも
のとすると、この状態から、Ｘガルバノミラー１３を回
動させると、レーザビームスポットは、図示Ｘ方向に移
動し、さらにＹガルバノミラー１６を回動させるとレー
ザビームスポットは、図示Ｙ方向に移動する。具体的に
は、試料９上を走査するには、Ｙガルバノミラー１６を
モニターのＹ方向の１画素分回動させる毎に、Ｘガルバ
ノミラー１３を１ライン（Ｘ方向の全画素分）回動さ
せ、この動作をＹ方向の全画素分繰り返すことにより、
モニターの全範囲の走査が行われる。

【００２８】この場合、Ｙガルバノミラー１６を反射し
たレーザビームが、常にＸガルバノミラー１３の中心に
くるようにする。いま、図４に示すポイントＡを通る１
ライン（Ｘ方向の全画素分）ＢをＸガルバノミラー１３
が走査している時は、図５（ａ）に示すようにＹガルバ
ノミラー１６を位置させ、図４に示すモニター上端に対
応する１ライン（Ｘ方向の全画素分）ＣをＸガルバノミ
ラー１３が走査している時は、図５（ｂ）に示すように
Ｙガルバノミラー１６を位置させ、さらに、図４に示す
モニター下端に対応する１ライン（Ｘ方向の全画素分）
ＤをＸガルバノミラー１３が走査している時は、図５
（ｃ）に示すようにＹガルバノミラー１６を位置させて
いる。つまり、Ｙ方向の画素位置（Ｙガルバノミラー１
６の振れ角）に応じて、Ｙガルバノミラー１６を反射し
たレーザビームがＸガルバノミラー１３の中心にくるよ
うに、超音波モータ１７によるＹガルバノメータスキャ
ナ１５の直線移動距離とＹガルバノミラー１６の回動角
度（振れ角）を図３に示すコントローラ２１の指示によ
り同期して駆動するようにしている。

【００２９】この場合、図５（ａ）に示す状態を基準に
し、Ｙガルバノメータスキャナ１５の同図（ｂ）（ｃ）
の状態までの範囲内でのＹ方向の各画素位置での超音波
モータ１７によるＹガルバノメータスキャナ１５の移動
量Ｚt は、Ｙガルバノミラー１６の振れ角を同図（ｂ）
から（ｃ）の走査範囲内で−θ〜θとし、Ｙガルバノミ
ラー１６とＸガルバノミラー１３の距離をＬとし、ま
た、Ｙ方向の全画素数を２Ｐ、Ｙ方向画素中心、つまり
図４に示すポイントＡを通る１ライン（Ｘ方向の全画素
分）Ｂから、モニター上端に対応する１ライン（Ｘ方向
の全画素分）Ｃまたはモニター下端に対応する１ライン
（Ｘ方向の全画素分）ＤまでのＹ方向の各画素位置をＰ
t （図５（ａ）ではＰt ＝０、図５（ｂ）（ｃ）ではＰ
t ＝Ｐとなる。）とすると、下式で求められる。

【００３０】 Ｚt ＝Ｌtan （Ｐt ／Ｐ・θ）…（１）又は Ｚt ≒Ｐt ／Ｐ・Ｌtan θ …（２） （１）式は論理式で、（２）式は近似式である。（１）
式は、Ｙ方向画素位置がtan の関数に含まれているた
め、超音波モータ１７による移動量制御が難しくなり、
Ｙ方向画素位置に対してＹガルバノメータスキャナ１５
の移動量が比例する（２）式の方が回路を作りやすくな
る。

【００３１】ここで、θ＝１０°または２０°、Ｌ＝１
０ｍｍとした場合のＹ方向の各画素位置での（２）式か
ら算出したＺt の誤差は、図６（ａ）（ｂ）に示す。こ
こで算出した値は、通常の対物レンズの瞳位置より十分
に小さい値となっている。従って、走査型レーザ顕微鏡
のスキャナとして、（２）式を用いても十分の許容範囲
であることが確認できる。

【００３２】従って、このようにすれば、図４に示すコ
ントローラ２１によりＹガルバノメータスキャナ１５の
振り角（回動角）に同期させて、上述した（２）式に基
づいて超音波モータ１７によるＹガルバノメータスキャ
ナ１５の、Ｙガルバノミラー１６への入射レーザビーム
と平行方向の直線移動量を制御することにより、Ｙガル
バノミラー１６を反射したレーザビームは、Ｙ方向走査
位置に影響されることなく、常にＸガルバノミラー１３
の振り中心（回動中心）にくるように制御される。これ
により、Ｘガルバノミラー１３を反射したレーザビーム
は、常に対物レンズの瞳位置の中心を通るようになるの
で、従来のレーザビームが対物レンズの瞳を通らず一部
遮光され、モニター表示される２次元画像周辺（モニタ
ー上の４隅）に光量不足による表示ムラが生ずるような
ものと比べ、モニター全画面に表示ムラのない良好な画
像が得られ、さらに、従来のように、２つのＸ、Ｙガル
バノミラー１３、１６を対物レンズ７の瞳位置と共役関
係にするため、瞳リレーレンズを光軸上に配置する必要
がないので、照明光は勿論、観察光についても光量ロス
のない明るい画像を確保することができる。

【００３３】なお、上述した実施の形態では、Ｙガルバ
ノメータスキャナ１５を直線移動させるために超音波モ
ータを用いたが、サーボモータ、ステッピングモータ、
ピエゾ素子等を用いても可能で、ステッピングモータの
時は、位置センサが不要となり、より簡単な構成にでき
る。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、第
１のスキャナ手段を反射したレーザビームを、常に対物
レンズの瞳位置の中心を通るようにしたので、レーザビ
ームの一部分の遮光が防止され、モニター表示される２
次元画像周辺での光量不足による表示ムラを解消でき、
モニター全画面に表示ムラのない良好な画像を得られる
ようになる。

【００３５】また、第１および第２のスキャナ手段同志
を瞳リレーレンズを使用して共役関係にすることなく常
に対物レンズの瞳位置の中心にレーザビームを通過させ
ることができるので、照明光は勿論、観察光についても
光量ロスのない明るい画像を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の２次元スキャナ装置が適用される走査
型レーザ顕微鏡の概略構成を示す図。

【図２】本発明の２次元スキャナ装置の一実施の形態の
概略構成を示す図。

【図３】一実施の形態に用いられる制御回路の概略構成
を示す図。

【図４】一実施の形態のレーザビームスポットのＸ、Ｙ
走査を説明するための図。

【図５】一実施の形態の動作を説明するための図。

【図６】一実施の形態の超音波モータによるＹガルバノ
メータスキャナの移動量誤差を示す図。

【図７】従来の走査型レーザー顕微鏡におけるレーザビ
ームの具体的経路を示す図。

【符号の説明】

１…顕微鏡本体、 ２…レーザ光源、 ３…ミラー、 ４…ビームスプリッター、 ５…２次元スキャナ装置、 ６…レボルバ、 ７…対物レンズ、 ８…ステージ、 ９…試料、 １０…レンズ、 １１…光検出器、 １２…Ｘガルバノメータスキャナ、 １２１…回転軸、 １３…Ｘガルバノミラー、 １４…瞳投影レンズ、 １５…Ｙガルバノメータスキャナ、 １６…Ｙガルバノミラー、 １７…超音波モータ、 １７１、１７２…ガイド部材、 １９…センサ、 ２１…コントローラ、 ２２…制御部、 ２３…Ｘガルバノ駆動部、 ２４…Ｙガルバノ駆動部、 ２５…制御部、 ２６…モータ駆動部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源からのレーザビームを２次元
   方向に走査するとともに、該２次元走査されたレーザビ
   ームを対物レンズを通して試料に照射し、該試料からの
   観察像を検出する走査型レーザ顕微鏡において、 前記対物レンズの瞳位置と共役関係にある位置に回動可
   能に配置され、該回動動作により前記レーザビームを所
   定方向に走査する第１のスキャナ手段と、 この第１のスキャナ手段に対向して回動可能に配置さ
   れ、該回動動作により前記第１のスキャナ手段を経由し
   た前記レーザビームを前記所定方向と直交する方向に走
   査する第２のスキャナ手段と、 この第２のスキャナ手段を経由したレーザビームが常に
   前記第１のスキャナ手段の回動中心を通るように該第２
   のスキャナ手段の回動角に応じて該第２のスキャナ手段
   を直線移動させる制御手段とを具備したことを特徴とす
   る２次元スキャナ装置。
2. 【請求項２】 制御手段は、第２のスキャナ手段の回動
   角に応じて直線移動量が決定される直線駆動手段を有す
   ることを特徴とする請求項１記載の２次元スキャナ装
   置。
3. 【請求項３】 レーザ光源からのレーザビームを２次元
   方向に走査するとともに、該２次元走査されたレーザビ
   ームを対物レンズを通して試料に照射し、該試料からの
   観察像を検出する走査型レーザ顕微鏡であって、 前記対物レンズへ入射するレーザビームの光軸に直交す
   る第１の回転軸線を中心として回動するよう支持された
   第１のスキャナミラーと、 この第１のスキャナミラーに対向して配置され、且つ前
   記対物レンズへ入射するレーザビームの光軸に平行な第
   ２の回転軸線を中心として回動するように支持された第
   ２のスキャナミラーとを備え、 レーザ光源からのレーザビームを前記第２のスキャナミ
   ラーにより反射し、この反射レーザビームを前記第１の
   スキャナミラーにより反射して前記対物レンズに入射す
   るようにした２次元スキャナ装置において、 前記第１のスキャナミラーのミラー面上に位置するレー
   ザビームの回動中心と対物レンズの瞳位置が共役関係と
   なるように第１のスキャナミラーを配置し、 前記第２のスキャナミラーを反射したレーザビームが常
   に前記第１のスキャナミラーの回動中心を通るように前
   記第２のスキャナミラーの回動角に応じて第２のスキャ
   ナミラーへの入射レーザビームと平行方向に該第２のス
   キャナミラーを直線移動させることを特徴とする２次元
   スキャナ装置。