JP5824984B2 - 太陽電池セル検査装置 - Google Patents
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Description
また、多結晶半導体ウエハに欠陥があるか否かを次々と確実に判定するクラック検出装置も開示されている(例えば、特許文献3参照)。図7は、従来のクラック検出装置の一例を示す概略構成図である。
また、ウエハ搬送部203は、複数個のローラ218が一列に配設されたものであり、各ローラ218の両端部はベルト219で互いに連結されている。搬送駆動部211と接続された1個のローラ218が回転することでベルト219が回転し、これにより、他のローラ218も回転して、多結晶シリコンウエハ202を搬送する。ローラ218の回転の運転及び停止と、回転速度とは搬送駆動部211で制御されるようになっている。これにより、多結晶シリコンウエハ202は、ウエハ供給部よりウエハ搬送部203上に載置され、左から右方向へ搬送されることになる。
よって、クラック検出装置201によれば、ウエハ搬送部203の前段に配置された第一ラインセンサカメラ205で撮影された後、ウエハ搬送部203の後段に配置された第二ラインセンサカメラ207で撮影されることにより、多結晶シリコンウエハ202に欠陥があるか否かを、次々と確実に判定することができる。
このような太陽電池セル2の生産ラインでは、太陽電池セル2に欠陥(クラック、端部の欠け、反射防止膜の抜け(ピンホール)、膜厚のばらつき、フィンガー電極のパターン異常(抜け、幅異常))等があるか否かを判定する検査は、検査員の目、すなわち目視に頼って実施されていた(ただし、膜厚のばらつきは、目視による色検査と膜厚測定装置(エリプソメトリ)による抜き取り検査である)。
そのため、太陽電池セル2のクラック、欠け、ピンホール、電極等の欠陥を一定の判定レベルで、極めて短時間(例えば2秒以下)で、かつ、コストメリットの出る安価な装置を生産ラインに導入し、インラインで検査する検査方法が工業的に必要とされている。
よって、同じ位置での撮像を実施するため、反射画像を撮影する装置と、透過画像を撮影する装置とを一体化させようとした。ところが、使用する光の波長が近赤外領域と可視光領域と異なるので、照明が異なるだけでなく、結像レンズも収差補正の波長範囲が異なる。したがって、同じ位置での撮像を実施することは困難であった。
本発明の太陽電池セル検査装置によれば、第一照射部は半導体ウエハの第一面に向かって可視光を照射するとともに、第二照射部は半導体ウエハの第二面に向かって赤外光を照射する。つまり、可視光と赤外光とを同時に照射する。そして、ビームスプリッタは、設定波長未満の光を第一撮像部に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部に導く。これにより、第一撮像部は、設定波長以上の光を検出せずに、半導体ウエハの画像を撮像する。一方、第二撮像部は、設定波長未満の光を検出せずに、半導体ウエハの画像を撮像する。
また、本発明の太陽電池セル検査装置は、平板形状の半導体ウエハの第一面に向かって可視光を照射する第一照射部と、前記半導体ウエハで反射した可視光を受光することにより、前記半導体ウエハの反射画像を取得する第一撮像部と、前記半導体ウエハの第一面に対向する前記半導体ウエハの第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部と、前記半導体ウエハを透過した赤外光を受光することにより、前記半導体ウエハの透過画像を取得する第二撮像部と、前記反射画像及び透過画像に基づいて、前記半導体ウエハに膜厚及びクラックの欠陥があるか否かを判定する判定部とを備える太陽電池セル検査装置であって、前記第一照射部は、青色光源、緑色光源及び赤色光源を備え、前記第一撮像部の受光面の前方には、第一設定波長未満の光を透過するとともに、第一設定波長以上の光を反射する第一フィルタが配置されており、前記第二撮像部の受光面の前方には、第二設定波長以上の光を透過するとともに、第二設定波長未満の光を反射する第二フィルタが配置されているようにしている。
以上のように、本発明の太陽電池セル検査装置によれば、各撮像部の受光面の前方には、波長を選択反射するフィルタがそれぞれ配置されているため、反射画像と透過画像とを同時に同じ位置で撮影することができる。
また、上記の発明において、前記第一設定波長は、前記第二設定波長より長波長であるようにしてもよい。
また、上記の発明において、前記第二撮像部の解像度は、前記第一撮像部の解像度より高いようにしてもよい。
本発明の太陽電池セル検査装置によれば、クラックやピンホールや欠けの検査には高解像度の第二撮像部で、膜厚検査には低解像度の第一撮像部で撮像するため、コストメリットが出る。
さらに、上記の発明において、前記半導体ウエハは、太陽電池セルであり、前記判定部は、前記半導体ウエハに、膜厚、クラック、電極検査、欠け、及び、表面欠陥の内から選択される少なくとも1つの欠陥があるか否かを判定するようにしてもよい。
図1は、本発明の第一実施形態である太陽電池セル検査装置の一例を示す概略構成図である。なお、上述したクラック検出装置201と同様のものについては、同じ符号を付している。
太陽電池セル検査装置1は、太陽電池セル2を搬送するウエハ搬送部(図示せず)と、ウエハ搬送部の途中に設置された撮像装置10と、太陽電池セル検査装置1全体の制御を行うコンピュータ20とを備える。また、撮像装置10は、箱状の筐体を備え、その筐体内部に、搬送される太陽電池セル2の上部より光を照射する第一照射部4と、太陽電池セル2を撮像する第一CCDセンサカメラ(第一撮像部)5と、太陽電池セル2の下部より光を照射する第二照射部6と、太陽電池セル2を撮像する第二CCDセンサカメラ(第二撮像部)7と、第一CCDセンサカメラ5と第二CCDセンサカメラ7との間に配置されたビームスプリッタ11とを有する。
なお、地面に水平な右方向をX方向とし、地面に水平でX方向と垂直な方向をY方向とし、X方向とY方向とに垂直な上方向をZ方向とする。
太陽電池セル2は、大きさが156mm角かつ厚さが180μm程である略平板形状であり、結晶シリコン(多結晶、単結晶を含む)製の半導体ウエハを基板に用いたものである。
なお、上記太陽電池セルは、基板切り出し状態のもの、洗浄後のもの、表面テクスチャ形成後のもの、反射防止膜成膜後のもの、表面フィンガー電極付のものであってもよい。ただし、裏面電極(アルミ)形成後は赤外光が透過されないので、その場合は、赤外光を表面から照射し、裏面電極から反射してきた像を使用することになる。
(1)膜厚
太陽電池セル2の上面(第一面、表面)に向かって3色(BlueとGreenとRed)の各光をそれぞれ照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ5、7で太陽電池セル2の上面で反射した各光をそれぞれ受光して、3枚の反射画像を得ることにより、得られた3枚の反射画像の相対強度比(スペクトル)に基づいて、膜厚を算出する。
なお、予めBlue若しくはGreenの反射強度と膜厚との相関を取得して検量線を作成しておき、画素毎若しくは一定の画素領域のB、G強度から検量線を参照して、膜厚変化、膜厚分布を求めてもよい。
太陽電池セル2の下面(第二面、裏面)に向かって赤外光(900nm〜1100nm)を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ7で太陽電池セル2を透過した赤外光を受光して、透過画像を得ることにより、得られた透過画像に基づいて、太陽電池セル2の内部にクラックがあるか否かを判定する。
(3)電極検査
太陽電池セル2の上面に向かってRedの光を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ7で太陽電池セル2の上面で反射したRedの光を受光して、反射画像を得ることにより、得られた反射画像に基づいて、電極があるか否かを判定する。
太陽電池セル2の下面に向かって白色光を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ5で太陽電池セル2を通過した白色光を受光して、端部を強調する通過画像を得ることにより、得られた通過画像に基づいて、太陽電池セル2に欠けがあるか否かを判定する。
(5)表面欠陥
太陽電池セル2の上面に向かってRedの光を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ7で太陽電池セル2の上面で反射したRedの光を受光して、反射画像を得ることにより、得られた反射画像に基づいて、表面欠陥があるか否かを判定する。
第一照射部4は、470nmの光を出射する青色光源4aと、525nmの光を出射する緑色光源4bと、660nmの光を出射する赤色光源4cと、太陽電池セル2の上面を均一な光強度で照明するためのドーム型の反射型拡散板4dとを備える。なお、青色光源4aと緑色光源4bと赤色光源4cとは、XY面上で同一の円周上に等間隔を空けて配置されている。そして、第一照射部4は、太陽電池セル2の上部に配置されている。
これにより、470nmの光が出射されれば、470nmの光が反射型拡散板4dで反射した後、太陽電池セル2の上面を−Z方向で照射するようになっている。また、525nmの光が出射されれば、525nmの光が反射型拡散板4dで反射した後、太陽電池セル2の上面を−Z方向で照射するようになっている。さらに、660nmの光が出射されれば、660nmの光が反射型拡散板4dで反射した後、太陽電池セル2の上面を−Z方向で照射するようになっている。
第二撮像部7は、5M(2456×2058)ピクセルのCCDカメラである。そして、第二撮像部7は、第二撮像部7の受光面が下方(−Z方向)を向くようにして太陽電池セル2の上部に配置されている。
まず、ステップS101の処理において、太陽電池セル2の個数を示す個数パラメータN=1とする。
次に、ステップS102の処理において、搬送駆動部21aは、太陽電池セル2を左から右方向(X方向)へ搬送させて、撮像装置10内の所定の位置に太陽電池セル2を配置させる。そして、搬送駆動部21aは、Stop信号(太陽電池セルセット完了、撮像OK信号)を出力する。
一方、ステップS103の処理〜ステップS103’の処理を実行すると同時に、ステップS105の処理において、光源駆動部21bは、赤色光源4cから660nmの光照射を開始する。次に、ステップS106の処理において、画像取得部21cは、第二撮像部7で660nmの光による反射画像を撮像させ、ステップS105’の処理にて660nmの光照射をOFFにする。このとき、ステップS105の処理〜ステップS105’の処理を0.1秒間で実施する。つまり、0.1秒間で470nmの光による反射画像と、660nmの光による反射画像との2枚の画像を取得することになる。
一方、ステップS107の処理〜ステップS107’の処理を実行すると同時に、ステップS109の処理において、光源駆動部21bは、第二照射部6の赤外光源から970nmの赤外光照射を開始する。次に、ステップS110の処理において、画像取得部21cは、第二撮像部7で970nmの赤外光による透過画像を撮像させ、ステップS109’の処理にて970nmの光照射をOFFにする。このとき、ステップS109の処理〜ステップS109’の処理を0.1秒間で実施する。つまり、0.1秒間で525nmの光による反射画像と、970nmの赤外光による透過画像との2枚の画像を取得することになる。
次に、ステップS113の処理において、N=Nmaxであるか否かを判定する。N=Nmaxでないと判定したときには、ステップS114の処理において、N=N+1とする。そして、ステップS115の処理において、搬送駆動部21aは、N−1の太陽電池セル2を左から右方向(X方向)へ搬送させて、撮像装置10内の所定の位置から取り除いて、ステップS102の処理に戻る。
一方、N=Nmaxであると判定したときには、本フローチャートを終了させることになる。
図5は、本発明の第二実施形態である太陽電池セル検査装置の一例を示す概略構成図である。なお、上述した太陽電池セル検査装置1と同様のものについては、同じ符号を付している。
太陽電池セル検査装置101は、太陽電池セル2を搬送するウエハ搬送部(図示せず)と、ウエハ搬送部の途中に設置された撮像装置10と、太陽電池セル検査装置101全体の制御を行うコンピュータ120とを備える。また、撮像装置10は、箱状の筐体を備え、その筐体内部に、搬送される太陽電池セル2の上部より光を照射する第一照射部4と、太陽電池セル2を撮像する第一CCDセンサカメラ105と、太陽電池セル2の下部より光を照射する第二照射部106と、太陽電池セル2を撮像する第二CCDセンサカメラ107と、第一CCDセンサカメラ105の受光面の前方に配置された第一フィルタ112と、第二CCDセンサカメラ107の受光面の前方に配置された第二フィルタ111とを有する。
(1’)膜厚
太陽電池セル2の上面(第一面、表面)に向かって3色(BlueとGreenとRed)の各光をそれぞれ照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ105で太陽電池セル2の上面で反射した各光をそれぞれ受光して、3枚の反射画像を得ることにより、得られた3枚の反射画像の相対強度比(スペクトル)に基づいて、膜厚を算出する。
太陽電池セル2の下面(第二面、裏面)に向かって赤外光(900nm〜1100nm)を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ107で太陽電池セル2を透過した赤外光を受光して、透過画像を得ることにより、得られた透過画像に基づいて、太陽電池セル2の内部にクラックがあるか否かを判定する。
(3)電極検査
太陽電池セル2の上面に向かってRedの光を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ107で太陽電池セル2の上面で反射したRedの光を受光して、反射画像を得ることにより、得られた反射画像に基づいて、電極があるか否かを判定する。
太陽電池セル2の上面に向かってRedの光を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ107で太陽電池セル2の上面で反射したRedの光を受光して、反射画像を得ることにより、得られた反射画像に基づいて、太陽電池セル2に欠けがあるか否かを判定する。
(5)表面欠陥
太陽電池セル2の上面に向かってRedの光を照射し、太陽電池セル2の上面側に配置したCCDセンサ107で太陽電池セル2の上面で反射したRedの光を受光して、反射画像を得ることにより、得られた反射画像に基づいて、表面欠陥があるか否かを判定する。
第二照射部106は、970nmの赤外光を出射する赤外線管を備える。そして、第二照射部106は、太陽電池セル2の下部に配置されている。これにより、970nmの赤外光が出射されれば、970nmの赤外光が太陽電池セル2の下面をZ方向で照射するようになっている。
第二撮像部107は、5M(2456×2058)ピクセルのCCDカメラである。そして、第二撮像部107は、第一撮像部105の受光面が下方(−Z方向)を向くようにして太陽電池セル2の上部に配置されている。また、第二撮像部107の受光面の前方(−Z方向)には、600nm(第二設定波長)未満の光を反射するとともに600nm以上の光を透過する第二フィルタ111が配置されている。なお、第一撮像部105と第二撮像部107とは隣り合うように配置されている。
また、青色光源4aから470nmの光が−Z方向で出射されれば、太陽電池セル2の上面でZ方向に反射した470nmの光が第一フィルタ112を透過した後、第一撮像部105の受光面で受光される。つまり、第一撮像部105で470nmの光による反射画像が撮像される。さらに、緑色光源4bから525nmの光が−Z方向で出射されれば、太陽電池セル2の上面でZ方向に反射した525nmの光が第一フィルタ112を透過した後、第一撮像部105の受光面で受光される。つまり、第一撮像部105で525nmの光による反射画像が撮像される。
そして、第二照射部106の赤外光源から970nmの近赤外光がZ方向で出射されれば、太陽電池セル2をZ方向に透過した970nmの近赤外光が第二フィルタ111を透過した後、第二撮像部107の受光面で受光される。つまり、第二撮像部107で970nmの赤外光による透過画像が撮像される。
まず、ステップS201の処理において、太陽電池セル2の個数を示す個数パラメータN=1とする。
次に、ステップS202の処理において、搬送駆動部121aは、太陽電池セル2を左から右方向(X方向)へ搬送させて、撮像装置10内の所定の位置に太陽電池セル2を配置させる。そして、搬送駆動部121aは、Stop信号(太陽電池セルセット完了、撮像OK信号)を出力する。
次に、ステップS207の処理において、光源駆動部121bは、緑色光源4bから525nmの光照射を開始する。次に、ステップS208の処理において、画像取得部121cは、第一撮像部105で525nmの光による反射画像を撮像させ、ステップS207’の処理にて525nmの光照射をOFFにする。このとき、ステップS207の処理〜ステップS207’の処理を0.1秒間で実施する。
一方、N=Nmaxであると判定したときには、本フローチャートを終了させることになる。
(1)上述したような太陽電池セル検査装置1では、第一撮像部5と第二撮像部7との2台の撮像部を備える構成としたが、3台の撮像部を備えるような構成としてもよい。
(2)上述したような太陽電池セル検査装置1では、第一撮像部5等は、0.4M(768×494)ピクセルのCCDカメラである構成としたが、撮像部はCCDラインセンサやCMOSカメラやカラーカメラであるような構成としてもよい。
(4)上述したような太陽電池セル検査装置101では、第一撮像部105と第二撮像部107とは隣り合うように配置されている構成としたが、第一撮像部105は、第一撮像部105の受光面が右方(Y方向)を向くようにして配置され、第二撮像部107は、第二撮像部107の受光面が下方(−Z方向)を向くようにして配置され、ハーフミラーが50%の光を左方(−Y方向)に反射して第一撮像部105の受光面に導くとともに、50%の光をZ方向に透過して第二撮像部107の受光面に導くように配置されているような構成としてもよい。
2 太陽電池セル(半導体ウエハ)
4 第一照射部
5 第一撮像部
6 第二照射部
7 第二撮像部
11 ビームスプリッタ
21d 判定部
Claims (7)
- 平板形状の半導体ウエハの第一面に向かって可視光を照射する第一照射部と、
前記半導体ウエハで反射した可視光を受光することにより、前記半導体ウエハの反射画像を取得する第一撮像部と、
前記半導体ウエハの第一面に対向する前記半導体ウエハの第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部と、
前記半導体ウエハを透過した赤外光を受光することにより、前記半導体ウエハの透過画像を取得する第二撮像部と、
前記反射画像及び透過画像に基づいて、前記半導体ウエハに膜厚及びクラックの欠陥があるか否かを判定する判定部とを備える太陽電池セル検査装置であって、
前記第一撮像部と前記第二撮像部との間に配置され、前記第一撮像部及び前記第二撮像部と前記半導体ウエハとの間に配置されるビームスプリッタを備え、
前記第一照射部は、青色光源、緑色光源及び赤色光源を備え、
前記ビームスプリッタは、設定波長未満の光を第一撮像部に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部に導くことを特徴とする太陽電池セル検査装置。 - 平板形状の半導体ウエハの第一面に向かって可視光を照射する第一照射部と、
前記半導体ウエハで反射した可視光を受光することにより、前記半導体ウエハの反射画像を取得する第一撮像部と、
前記半導体ウエハの第一面に対向する前記半導体ウエハの第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部と、
前記半導体ウエハを透過した赤外光を受光することにより、前記半導体ウエハの透過画像を取得する第二撮像部と、
前記反射画像及び透過画像に基づいて、前記半導体ウエハに膜厚及びクラックの欠陥があるか否かを判定する判定部とを備える太陽電池セル検査装置であって、
前記第一照射部は、青色光源、緑色光源及び赤色光源を備え、
前記第一撮像部の受光面の前方には、第一設定波長未満の光を透過するとともに、第一設定波長以上の光を反射する第一フィルタが配置されており、
前記第二撮像部の受光面の前方には、第二設定波長以上の光を透過するとともに、第二設定波長未満の光を反射する第二フィルタが配置されていることを特徴とする太陽電池セル検査装置。 - 前記第一撮像部と前記第二撮像部との間に配置され、前記第一撮像部及び前記第二撮像部と前記半導体ウエハとの間に配置されるハーフミラーを備え、
前記ハーフミラーは、一部の光を第一撮像部に導くとともに、残りの光を第二撮像部に導くことを特徴とする請求項2に記載の太陽電池セル検査装置。 - 前記第一設定波長は、前記第二設定波長より長波長であることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の太陽電池セル検査装置。
- 前記第二撮像部の解像度は、前記第一撮像部の解像度より高いことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の太陽電池セル検査装置。
- 前記第一照射部は、青色光源と緑色光源と赤色光源とを備え、
前記第二照射部は、赤外光源を備えることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の太陽電池セル検査装置。 - 前記半導体ウエハは、太陽電池セルであり、
前記判定部は、前記半導体ウエハに、膜厚及びクラックの欠陥に加え、電極検査、欠け、及び、表面欠陥の内から選択される少なくとも1つの欠陥があるか否かを判定することを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池セル検査装置。
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