JP6142655B2 - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
外観検査装置及び外観検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6142655B2 JP6142655B2 JP2013099224A JP2013099224A JP6142655B2 JP 6142655 B2 JP6142655 B2 JP 6142655B2 JP 2013099224 A JP2013099224 A JP 2013099224A JP 2013099224 A JP2013099224 A JP 2013099224A JP 6142655 B2 JP6142655 B2 JP 6142655B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- imaging device
- magnification
- imaging
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
図1に示す本発明の第1の実施形態に係る外観検査装置1は、半導体装置などの外観検査に使用される。外観検査装置1は、撮影対象物100の画像を撮影する第1の撮像装置11及び第2の撮像装置12(以下において、第1の撮像装置11と第2の撮像装置12を総称して「撮像装置10」という。)と、撮像装置10によって撮影された撮影対象物100の画像の複数の領域をそれぞれ拡大して複数の拡大画像を作成する画像処理装置20と、画像処理装置20により作成された複数の拡大画像を表示する表示装置30と、撮像装置10の設置位置を調整する位置調整機構40とを備える。
図6に、本発明の第2の実施形態に係る外観検査装置1を示す。図6に示した外観検査装置1は、1台の撮像装置10(第1の撮像装置11)のみによって検査対象物が撮影される。このため、合成画像を作成する画像合成部22や、撮影対象物100からの検査光を分岐する光学装置50は不要である。その他の構成については、図1に示す第1の実施形態と同様である。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…撮像装置
11…第1の撮像装置
12…第2の撮像装置
15…倍率調整機構
20…画像処理装置
21…画像拡大部
22…画像合成部
30…表示装置
31…位置合わせパターン
40…位置調整機構
41…第1の調整装置
42…第2の調整装置
50…光学装置
60…ステージ
100…撮影対象物
101…基準マーカー
Claims (11)
- 倍率調整及び設置位置の調整が可能な撮像装置によって撮影対象物の画像を撮影するステップと、
前記撮像装置によって撮影された前記撮影対象物の前記画像の複数の領域をそれぞれ拡大して複数の拡大画像を作成するステップと、
表示装置に前記複数の拡大画像を表示するステップと、
前記表示装置に表示された前記複数の拡大画像を確認しながら前記撮像装置の前記設置位置を調整し、且つ前記撮像装置の倍率を調整するステップと、
前記設置位置及び前記倍率が調整された前記撮像装置によって撮影された検査対象物の画像を用いて外観検査を行うステップと
を含むことを特徴とする外観検査方法。 - 複数の撮像装置について前記設置位置及び前記倍率をそれぞれ調整した後に、複数の前記撮像装置によってそれぞれ撮影された前記撮影対象物の画像を重ね合わせた合成画像を作成するステップと、
前記合成画像に重ね合わせの位置ずれがないように前記複数の撮像装置の前記設置位置を調整するステップと
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の外観検査方法。 - 前記撮影対象物に配置された基準マーカーを含む領域について前記拡大画像を作成し、
前記表示装置の前記拡大画像を表示する画面に配置された位置合わせパターンと前記基準マーカーとを合わせることにより、前記撮像装置の前記設置位置及び前記倍率を調整することを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査方法。 - 矩形状である前記撮影対象物の四隅を撮影することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の外観検査方法。
- 前記検査対象物が太陽電池セルであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の外観検査方法。
- 前記撮影対象物として前記検査対象物を用いることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の外観検査方法。
- 倍率調整機構を有し、撮影対象物の画像を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置によって撮影された前記撮影対象物の前記画像の複数の領域をそれぞれ拡大して複数の拡大画像を作成する画像処理装置と、
前記複数の拡大画像を表示する表示装置と、
前記撮像装置の設置位置を調整する位置調整機構と
を備え、前記表示装置に表示された前記複数の拡大画像を確認しながら前記位置調整機構によって前記撮像装置の前記設置位置が調整され且つ前記倍率調整機構によって前記撮像装置の倍率が調整されて、前記設置位置及び前記倍率が調整された前記撮像装置によって撮影された検査対象物の画像を用いて外観検査が行われることを特徴とする外観検査装置。 - 前記撮像装置を複数備え、
前記画像処理装置が、複数の前記撮像装置によってそれぞれ撮影された前記撮影対象物の画像を重ね合わせた合成画像を作成し、
前記合成画像を確認しながら前記位置調整機構によって前記撮像装置の前記設置位置が調整されることを特徴とする請求項7に記載の外観検査装置。 - 矩形状である前記撮影対象物の四隅を撮影することを特徴とする請求項7又は8に記載の外観検査装置。
- 前記検査対象物が太陽電池セルであることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の外観検査装置。
- 前記撮影対象物として前記検査対象物を用いることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013099224A JP6142655B2 (ja) | 2013-05-09 | 2013-05-09 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013099224A JP6142655B2 (ja) | 2013-05-09 | 2013-05-09 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014219301A JP2014219301A (ja) | 2014-11-20 |
JP6142655B2 true JP6142655B2 (ja) | 2017-06-07 |
Family
ID=51937878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013099224A Expired - Fee Related JP6142655B2 (ja) | 2013-05-09 | 2013-05-09 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6142655B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101824888B1 (ko) * | 2016-10-04 | 2018-02-02 | 이경자 | 3차원 형상 측정 장치 및 그의 측정 방법 |
JP6740288B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2020-08-12 | ファナック株式会社 | 物体検査装置、物体検査システム、及び検査位置を調整する方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06167321A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Hitachi Ltd | リード測定方法および装置並びにそれが使用されたリード検査装置 |
JP3222729B2 (ja) * | 1995-06-28 | 2001-10-29 | 旭光学工業株式会社 | 倍率調整機能を備えた光学部材検査装置 |
JP4436523B2 (ja) * | 2000-03-15 | 2010-03-24 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
JP3891853B2 (ja) * | 2002-02-01 | 2007-03-14 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定装置及び画像測定装置用プログラム |
JP2006170622A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Olympus Corp | 外観検査装置 |
US20090097737A1 (en) * | 2004-12-10 | 2009-04-16 | Olympus Corporation | Visual inspection apparatus |
JP5193112B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-05-08 | 東レエンジニアリング株式会社 | 半導体ウエーハ外観検査装置の検査条件データ生成方法及び検査システム |
JP5824984B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2015-12-02 | 株式会社島津製作所 | 太陽電池セル検査装置 |
-
2013
- 2013-05-09 JP JP2013099224A patent/JP6142655B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014219301A (ja) | 2014-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101207198B1 (ko) | 기판 검사장치 | |
EP3171588B1 (en) | Image processing method and image processing apparatus executing that image processing method | |
JP6888617B2 (ja) | 検査装置、検査方法 | |
TWI484283B (zh) | 影像計算量測方法、影像計算量測裝置及影像檢查裝置 | |
CN106023193B (zh) | 一种用于浑浊介质中结构表面检测的阵列相机观测方法 | |
US20140293035A1 (en) | Image processing apparatus, imaging apparatus, microscope system, image processing method, and computer-readable recording medium | |
WO2019105315A1 (zh) | 视场角测试方法和系统 | |
TWI408358B (zh) | 缺陷修正裝置 | |
JP2007256272A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2012002676A (ja) | マスク欠陥検査装置およびマスク欠陥検査方法 | |
JP2014035261A (ja) | 情報処理方法、情報処理装置、プログラム、撮像装置、検査方法、検査装置、及び基板の製造方法 | |
JP2009229197A (ja) | 線状欠陥検出方法および線状欠陥検出装置 | |
JP6142655B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
KR101403860B1 (ko) | 웨이퍼표면 검사장치 및 이를 이용한 웨이퍼 표면 검사방법 | |
KR102026107B1 (ko) | 노광 장치 및 노광재 제조 방법 | |
JP2013117490A (ja) | 検査システム及びレシピ設定方法 | |
CN103630542A (zh) | 缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法 | |
JP5544894B2 (ja) | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 | |
JP2010243212A (ja) | 傾斜検出方法、および傾斜検出装置 | |
JP2005249946A (ja) | 表示装置の欠陥検査装置 | |
JP2013146760A (ja) | 欠陥修正装置、及び、欠陥修正方法 | |
JP5939442B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2021015035A (ja) | 画像表示装置の画像検査方法及び画像検査装置 | |
JP2008154195A (ja) | レンズのキャリブレーション用パターン作成方法、レンズのキャリブレーション用パターン、キャリブレーション用パターンを利用したレンズのキャリブレーション方法、レンズのキャリブレーション装置、撮像装置のキャリブレーション方法、および撮像装置のキャリブレーション装置 | |
JP2021015035A5 (ja) | 画像表示装置の検査方法、製造方法及び検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170424 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6142655 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |